专利名称：除尘输送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种除尘输送装置，特别是一种供液晶显示器玻璃基板使用 的除尘输送装置。
背景技术：
液晶显示器(Liquid Crystal Display, LCD)广泛应用在电脑、电视及行 动电话等各种电子产品上。液晶显示器的玻璃基板是液晶显示器重要组成组 件之一。除了平整度外，液晶显示器玻璃基板的洁净度亦直接影响液晶显示 器制造的成本与合格率。
制造液晶显示器会经过如气相薄膜沉积、曝光、显影、蚀刻等多道工艺， 各个工艺通常在个别独立的区间中进行。因此，玻璃基板需要在各个工艺的 区间之间进行输送作业。
如图1所示，在现有技术中，基板200由滚轮101组成的输送带100输 送。在输送的过程中，大多会以气体吹拂基板200的表面，以此将附着于基 板200表面的尘屑扬起，并带离基板200表面。然而，离开基板200表面的 尘屑并未真正被移除，而是散布在空气当中，有可能落下而再度附着于基板 200表面。以上所述现有输送基板200的设计有改进的空间。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种除尘输送装置，可在液晶显示器玻璃基 板于工艺间的输送过程中，减少附着于基板表面的尘屑，以提高整体的生产 效率。
本发明的除尘输送装置包含输送带、上盖板、上气体吹气装置以及下盖 板。输送带可沿输送方向输送基板。上盖板设置于输送带上方，且具有上盖 板内表面。上盖板内表面设置于上盖板相对于输送带的一侧，上盖板内表面 设置有上黏着层。上气体吹气装置设置于上盖板相对于输送带的一侧。下盖板设置于输送带下方，且具有下盖板内表面，下盖板内表面设置于下盖板相 对于输送带的一侧，下盖板内表面设置有下黏着层。
本发明的实施例中，输送带包含多个滚轮，所述滚轮以可主动转动的方 式沿输送方向输送基板。滚轮还具有除尘滚轮，除尘滚轮的表面具有滚轮黏 种层。滚轮还包含第一滚轮组及第二滚轮组。其中，第一滚轮组及第二滚轮 组以垂直于输送方向具有第一高度差的方式设置。
上气体吹气装置包含吹气枪，吹气枪的吹气角度可进一步随基板于输送 带上的移动而改变。除尘输送装置还包含上气体抽气装置，上气体抽气装置 设置于上气体吹气装置的两侧。除尘输送装置还包含下气体吹气装置，下气 体吹气装置设置于下盖板相对于输送带的一侧。下气体吹气装置包含吹气 孔。除尘输送装置还包含下气体抽气装置，下气体抽气装置设置于下盖板相 对于输送带的一侧。下气体抽气装置包含抽气孔。
除尘输送装置还包含除尘装置，除尘装置相对于除尘滚轮设置，用以去 除黏着于滚轮黏着层的尘屑。除尘装置包含毛刷，其设置于除尘滚轮下方， 且与滚轮黏着层接触。
下盖板还具有第一下盖板部及第二下盖板部。第一下盖板部及第二下盖 板部以垂直于输送方向具有第二高度差的方式设置，用以改变上吹气装置吹 出的气体于上盖板与该下盖板间形成的气体流场。第一下盖板部包含设置于 第二下盖板部两侧，且以第二高度差高于第二下盖板。
本发明的有益技术效果在于，本发明的除尘输送装置可在液晶显示器玻 璃基板于工艺间的输送过程中，减少附着于基板表面的尘屑，以提高整体的 生产效率。
图1为现有技术示意图2a为本发明较佳实施例示意图2b为本发明具有不同设置的输送带的实施例示意图3a至图3i为本发明中吹气枪调整角度的实施例动作示意图4为本发明具有不同设置的下盖板的实施例示意图5a为本发明还具有上抽气装置及下抽气装置的实施例示意图;图5b为本发明还具有上抽气装置及下抽气装置的气体流场的实施例示 总阁；
其中，附图标记说明如下 100输送带 101a第一滚轮组 102履带
1011a滚轮黏着层 201尘屑
310上盖板内表面 400输送方向 500上气体吹气装 502第二吹气枪 520下气体吹气装 620下气体抽气装 710下盖板内表面 720第一下盖板部 800除尘输送装置 山第一高度差 L基板长度
e,第一吹气角度
03第三吹气角度
具体实施例方式
本发明提供一种除尘输送装置。以较佳实施例而言，此除尘输送装置供 输送液晶显示器玻璃基板使用。可在液晶显示器玻璃基板于工艺间的输送过 程中，减少附着于基板表面的尘屑，以提高整体的生产效率。然而在不同实 施例中，此除尘输送装置亦可供输送其它需避免尘屑附着的电子产品的基板 使用。
如图2a所示的较佳实施例,本发明的除尘输送装置800包含输送带100、 上盖板300、上气体吹气装置500以及下盖板700。输送带100可沿输送方
101滚轮 101b第二滚轮组 1011除尘滚轮 200基板 300上盖板 311上黏着层 402转动方向 501第一吹气枪 503第三吹气枪 610上气体抽气装置 700下盖板 711下黏着层 740第二下盖板部 900除尘装置 <12第二高度差
e吹气角度
02第二吹气角度向400输送基板200。在此较佳实施例中，输送带100包含多个滚轮101， 滚轮101以可主动转动的方式沿输送方向400输送基板200。具体而言，输 送带100如图2a所示由多个滚轮101所组成。其中，各个滚轮101沿转动 方向402主动转动，进而带动基板200往输送方向400前进。然而在如图2b 所示的不同实施例中，输送带100可以为履带装置，并通过履带102带动基 板200往输送方向400前进。
如图2a所示的较佳实施例，上盖板300设置于输送带100上方，其具 有上盖板内表面310。上盖板内表面310设置于上盖板300相对于输送带100 的一侧。上盖板内表面310设置有上黏着层311。下盖板700设置于输送带 100下方，其具有卞盖板内表面710。下盖板内表面710设置于下盖板700 相对于输送带100的一侧。下盖板内表面710设置有下黏着层711,上黏着 层311及下黏着层711较佳的分别为氰酸脂基化合物等感压黏着物，可以通 过黏性黏附尘屑。然而在不同实施例中，上黏着层311及下黏着层711分别 可带有静电，并通过静电吸附尘屑。
如图2a所示的较佳实施例，上气体吹气装置500设置于上盖板300相 对于输送带100的一侧。在此较佳实施例中，上气体吹气装置500为吹气枪。 其中，吹出的气体流速较佳但不限为2000±300mm/min。然而在如图2b所 示的不同实施例中，上气体吹气装置500包含吹气孔。
.进一步说明本发明除尘输送装置800的作用方式。如图2a所示的较佳 实施例，当基板200由左方进入除尘输送装置800后，会通过构成输送带100 的滚轮101沿转动方向402的主动转动带动而往输送方向400移动。在基板 200的移动过程当中，上气体吹气装置500吹出的气体可将尘屑201带离基 板200的表面，并游移于上盖板300与下盖板700之间。当游移的尘屑201 碰触到上盖板300的上黏着层311或下盖板700的下黏着层711时，会受到 黏力或静电力等的作用而黏附在上黏着层311或下黏着层711上。以此，可 在基板200于工艺间的输送过程中，减少附着于基板200表面的尘屑，进一 步增加产品合格率，提髙整体的生产效率。
如图2a所示的较佳实施例，构成输送带100的滚轮101还具有除尘滚 轮IOII，除尘滚轮1011.的表面具有滚轮黏着层1011a。其中，经由上气体 吹气装置500吹出的气体带离基板200表面的尘屑201，除了可以黏附于上黏着层311或下黏着层711夕卜，若触碰至滚轮黏着层1011a，亦可黏附于滚 轮黏着层1011a。以此，可增加本发明除尘输送装顰800的除尘效果。在较 佳实施例中，除尘输送装置800还包含除尘装置900，其相对于除尘滚轮1011 设置，用以去除黏着于滚轮黏着层1011a的尘屑201。除尘装置卯O较佳为 毛刷，设置于除尘滚轮1011的下方，且与滚轮黏着层.1011a接触。
如图3a至图3i所示，作为上气体吹气装置500的吹气枪的吹气角度可 进--步随基板200于输送带IOO上的移动而改变。其中，第一吹气枪501、 第二吹气枪502及第三吹气枪503的吹气角度0的改变范围较佳但不限分别 为0至卯。、0至180°及0至90°。第一吹气枪501、第二吹气枪502及第三 吹气枪503间的距离较佳但不限为基板200的基板长度L的1.5倍。
以下进一步说明在较佳实施例中，吹气枪的吹气角度随基板200于输送 带100上的移动而改变的状况。如图3a所示，当基板200距离第一吹气枪 501正下方2倍于基板长度L时，第一吹气枪501、第二吹气枪502及第三 吹气枪503均在吹气角度e为-180。的位置，且均为无吹气状态。如图3b所 示，当基板200移动至距离第一吹气枪501正下方1倍于基板长度L时，第 二吹气枪502及第三吹气枪503维持位置在吹气角度0为-180°且均为无吹气 的状态。第一吹气枪501则调整其第一吹气角度e,成-135。土10。，以此使吹 出的气体较直接地吹向基板200的表面。其中，第一吹气枪501吹出的气体 流速较佳为2000±300mm/min。
如图3c所示，当基板200移动至其右侧边缘接近第一吹气枪501的下 方时，第二吹气枪502及第三吹气枪503维持位置在吹气角度6为-180°且 均为无吹气的状态。第一吹气枪501则调整其第一吹气角度6,成-90。土10。。 其中，第一吹气枪501吹出的气体流速较佳为2000±300mm/min。
如图3d所示，当基板200移动至位于第一吹气枪501的下方时，第三 吹气枪503维持位置在吹气角度0为-180°且为无吹气的状态。第一吹气枪 501将其第一吹气角度e,自-90°±10°调整回到-135°±10。，而第二吹气枪502 则调整其第二吹气角度02成-135°±10°。其中，第一吹气枪501及第二吹气 枪502吹出的气体流速较佳为2000±300mm/min。
如图3e所示，当基板200移动至其右侧接近第二吹气枪502的下方时， 第三吹气枪503维持位置在吹气角度0为-180°且为无吹气的状态。第一吹气枪501将其第一吹气角度et自-135°±10°调整回到-180°，并且在下一片基板 200进入前，保持无吹气状态。第二吹气枪502则调整其第二吹气角度02成 -90°±10°。其中，第二吹气枪502吹出的气体流速较佳为2000士300mm/min。
如图3f所示，当基板200移动至其右侧边缘位于第二吹气枪502及第三 吹气枪503的两个吹气枪下方的中间时，第一吹气枪501维持位置在吹气角 度0为-180°且为无吹气的状态。第二吹气枪502将其第二吹气角度02调整 至-45°±10°,而第三吹气枪503则调整其第三吹气角度03成-135°±10°。其中， 第二吹气枪502及第三吹气枪503吹出的气体流速较佳为2000±300mm/min。
如图3g所示，当基板200移动至其右侧边缘位于第三吹气枪503的正 下方时，第一吹气枪501维持位置在吹气角度0为-180°且为无吹气的状态。 第二吹气枪502将其第二吹气角度02调整至0°，第三吹气枪503则调整其第 三吹气角度03成-卯°±10°。其中，第二吹气枪502及第三吹气枪503吹出的 气体流速较佳为2000 ± 300mm/min。
如图3h所示，当基板200移动至其左侧位于第三吹气枪503的下方时， 第一吹气枪501维持位置在吹气角度0为-180°且为无吹气的状态。第二吹气 枪502维持位置在其第二吹气角度02为0。。第三吹气枪503则将其第三吹气 角度03自-卯°±10。调整回到-135°±10°。其中，第二吹气枪502及第三吹气枪 503吹出的气体流速较佳为2000±300mm/min。
如图3i所示，当基板200持续往右移动离开第三吹气枪503的下方时， 第一吹气枪501维持位置在吹气角度9为-180°，第二吹气枪502将其第二吹 气角度62自0调整回到-180°，第三吹气枪503则将及第三吹气角度93自 -135°±10。调整回到-180。±10°。在下一片基板200进入前，第一吹气枪501、 第二吹气枪502及第三吹气枪503均保持无吹气状态。通过以上第一吹气枪 501、第二吹气枪502及第三吹气枪503的吹气角度随基板200移动位置的 调整，可使吹出的气体较直接地吹向基板200的表面，以此提高将尘屑201 自基板200表面带离的效果。
在此特别声明，上述所述的方向以附图所示为方便说明，实际方向应参 考基板与吹气枪的相对位置。
如图4所示，在不同实施例中，滚轮101还包含第一滚轮组101a及第 二滚轮组101b。其中，第一滚轮组101a及第二滚轮组101b以垂直于输送方向400具有第一高度差d,的方式设置。通过此第一高度差d,,可使基板200 在输送过程中产生震动，令尘屑20.1更易自基板200的表面脱离。具体而言， 如图4所示，基板200沿输送方向400往右方移动，当基板通过第一滚轮组 101a与第二滚轮组101b的交界处时；会因为第一高度差d,的落差而使得基 板200自然产生震动，进而利用惯性作用使表面的尘屑201脱离。
如图4所示，在不同实施例中，下盖板700还具有第一下盖板部720及 第二下盖板部740。第一下盖板部720及第二下盖板部740以垂直于输送方 向400具有第二高度差d2的方式设置，用以改变上吹气装置500吹出的气体 在上盖板300与该下盖板700间形成的气体流场。具体而言，如图4所示， 第—'下盖板部720包含设置于第二下盖板部740两侧，且以第二高度差d2 高于第二下盖板。由于气体流场会因空间变动而改变，通过调整第一下盖板 部720的宽度及第二高度差d2，即可改变上吹气装置500吹出的气体在上盖 板300与该下盖板700间形成的气体流场。
如图5a及图5b所示，在不同实施例中，除尘输送装置800还包含上气 体抽气装置610。其中，上气体抽气装置610较佳但不限设置于上气体吹气 装置500的两侧。上气体抽气装置610包含抽气孔。通过上气体抽气装置610 于两侧的设置，可使由上气体吹气装置500吹出的气体如图5b所示往两侧 前进，进一步形成特定的气体流场。.
如图5a及图5b所示，在不同实施例中，除尘输送装置800还包含下气 体吹气装置520，其设置于下盖板700相对于输送带100的一侧。下气体吹 气装置520包含吹气孔。除尘输送装置800还包含下气体抽气装置620，其 设置于下盖板700相对于输送带100的一侧。其中，下气体抽气装置620较 佳但不限设置于下气体吹气装置520的两侧。下气体抽气装置620包含抽气 孔。通过下气体吹气装置520的设置，可提高对附着在基板200的下表面的 尘屑201的移除效果。
虽然本发明已以较佳卖施例披露如上，然而其并非用以限定本发明；任 何熟悉此项技术的人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可作各种更动与 润饰，因此本发明的保护范围应视所附的权利要求书所界定的范围为准。
权利要求
1. 一种除尘输送装置包含一输送带，可沿一输送方向输送一基板；一上盖板，设置于该输送带上方，且具有一上盖板内表面，该上盖板内表面没置于该上盖板相对于该输送带的一侧，该上盖板内表面设置有一上黏着层；一上气体吹气装置，该上气体吹气装置设置于该上盖板相对于该输送带的一侧；以及一下盖板，设置于该输送带下方，且具有一下盖板内表面，该下盖板内表面设置于该下盖板相对于该输送带的一侧，该下盖板内表面设置有一下黏着层。
2. 如权利要求1所述的除尘输送装置，其中该输送带包含多个滚轮，所 述滚轮以可主动转动的方式沿该输送方向输送该基板。
3. 如权利要求2所述的除尘输送装置，其中该滚轮还具有除尘滚轮，该 除尘滚轮的表面具有滚轮黏着层。
4. 如权利要求2所述的除尘输送装置，其中所述多个滚轮还包含一第一 滚轮组及一第二滚轮组，其中该第一滚轮组及该第二滚轮组以垂直于该输送 方向具有一第一高度差的方式设置。
5. 如权利要求1所述的除尘输送装置，其中该上气体吹气装置包含吹气 枪，其中该吹气枪的吹气角度可进一步随该基板于该输送带上的移动而改 变。
6. 如权利要求1所述的除尘输送装置，该除尘输送装置还包含一上气体 抽气装置，该上气体抽气装置设置于该上气体吹气装置的两侧。
7. 如权利要求1所述的除尘输送装置，该除尘输送装置还包含一下气体 吹气装置，.该下气体吹气装置设置于该下盖板相对于该输送带的一侧，其中 该下气体吹气装置包含吹气孔。
8. 如权利要求1所述的除尘输送装置，该除尘输送装置还包含一下气体 抽气装置，该下气体抽气装置设置于该下盖板相对于该输送带的一侧，其中 该下气体抽气装置包含抽气孔。
9. 如权利要求3所述的除尘输送装置，该除尘输送装置还包含一除尘装 置，该除尘装置相对于该除尘滚轮设置，用以去除黏着于该滚轮黏着层的尘 屑。
10. 如权利要求9所述的除尘输送装置，其中该除尘装置包含毛刷，且设 置于该除尘滚轮下方，且与该滚轮黏着层接触。
11. 如权利要求1所述的除尘输送装置，其中该下盖板还具有一第一下盖 板部及一第二下盖板部，其中该第一下盖板部及该第二下盖板部以垂直于该 输送方向具有一第二高度差的方式设置，用以改变该上吹气装置吹出的气体 于该上盖板与该下盖板间形成的气体流场。
12. 如权利要求11所述的除尘输送装置，其中该第一下盖板部包含设置 于该第二下盖板部两侧，且以该第二高度差髙于该第二下盖板。
全文摘要
本发明涉及一种除尘输送装置，其包含输送带、上盖板、上气体吹气装置以及下盖板。输送带可沿输送方向输送基板。上盖板设置于输送带上方，且具有上盖板内表面，上盖板内表面设置于上盖板相对于输送带的一侧，上盖板内表面设置有上黏着层。上气体吹气装置设置于上盖板相对于输送带的一侧。下盖板设置于输送带下方，且具有下盖板内表面，下盖板内表面设置于下盖板相对于输送带的一侧，下盖板内表面设置有下黏着层。本发明的除尘输送装置可在液晶显示器玻璃基板于工艺间的输送过程中，减少附着于基板表面的尘屑，以提高整体的生产效率。
文档编号B08B7/00GK101284604SQ20081010790
公开日2008年10月15日 申请日期2008年5月21日 优先权日2008年5月21日
发明者施宏伟, 萧鸿裕 申请人:友达光电股份有限公司