专利名称：真空镀膜机清洗设备的制作方法
真空镀膜机清洗设备技术领域：
本发明涉及一种真空镀膜机清洗设备，尤其涉及一种对真空镀膜机清洗机部件中冷却管路进行清洗的设备。背景技术：
物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,简称PVD),是一种利用物理方式在基材上沉积薄膜的技术。物理气相沉积设备的冷却系统主要作用在于冷却设备零部件，如真空泵组，油扩散泵，反应室腔壁，靶源等。为了实现对设备整体的冷却效果，目前的PVD设备一般采用流道式冷却，通常情况下，对需要冷却的部件，出于部件需要有防腐蚀功能的考虑，此类部件通常采用不锈钢或其它具有较强耐腐蚀功能的材料。冰水机将冷却后的水泵入上述需要冷却的零组件，冷却后经由相应管道最终回流至冰水机中，实现一个冷却水循环。但在实际生产过程中，由于所用冷却水水质等以及其它未可知的原因，在上述如反应室外壁，扩散泵外壁冷却水管道，尤其严重的是靶源等部件中产生污垢沉淀现象，更为常见的情况是，腐蚀后产生的黄色悬浮物弥散于冷却水中，并随冷却水进入上述所有需要冷却的部件并逐渐沉积于其中，导致有效冷却水流量下降，影响冷却效果。对沉积于扩散泵外壁冷却管道和反应室储液腔体之中的上述腐蚀物，通常采取的办法是将靶源拆卸下来进行大清洗和保养，这将耗费较多的人力成本，并容易造成停工损失。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种结构简单、使用方便的真空镀膜机清洗设备。一种真空镀膜机清洗设备，用于对真空镀膜机部件中冷却管路清洗，真空镀膜机清洗设备包括储液装置，该储液装置包括储液腔体、出液管和回液管，该出液管和回液管上分别设置若干出液支管，该回液管上设置有若干回液支管，该出液支管与真空镀膜设机中冷却管路一端连通，该回液管与冷却管路的另一端连通，该储液装置的一端连接有高压气栗。与现有技术相比，本发明提供的清洗真空镀膜机冷却管路清洗设备可以有效清除真空镀膜机部件的冷却管路中沉积的腐蚀物，可以明显缩短设备保养周期和降低保养成本，节约了时间成本和人力成本。
图1是本发明真空镀膜机清洗设备的整体示意图。主要元件符号说明
权利要求
1.一种真空镀膜机清洗设备，用于对真空镀膜机部件的冷却管路清洗，其特征在于:真空镀膜机清洗设备包括储液装置，该储液装置包括储液腔体、出液管和回液管，该出液管和回液管上分别设置若干出液支管，该回液管上设置有若干回液支管，该出液支管与真空镀膜设机的冷却管路一端连通，该回液管与冷却管路的另一端连通，该储液装置的一端连接有高压气泵，以向储液腔体内充入高压气体，使出液管和回液管内充满清洗液。
2.如权利要求1所述的真空镀膜机清洗设备，其特征在于:所述储液装置上分别设有补液阀门和充气阀门，该补液阀门控制向储液装置的储液腔体内补充清洗液体，该充气阀门与高压气泵连接，用于向其储液腔体内充入气体。
3.如权利要求1所述的真空镀膜机清洗设备，其特征在于:所述在该储液装置的出液管和回液管的根部分别设置有出液管阀门和回液管阀门，该阀门用于控制储液装置的储液腔体内的清洗液进出。
4.如权利要求1所述的真空镀膜机清洗设备，其特征在于:所在真空镀膜设备中待清洗的部件为靶材、反应室墙壁 及泵组。
全文摘要
一种真空镀膜机清洗设备，用于对真空镀膜机部件中冷却管路清洗，其包括储液装置，该储液装置包括储液腔体、出液管和回液管，该出液管和回液管上分别设置若干出液支管，该回液管上设置有若干回液支管，该出液支管与真空镀膜设机中冷却管路一端连通，该回液管与冷却管路的另一端连通，该储液装置的一端连接有高压气泵。本发明克服传统真空镀膜机清洗设备镀膜室冷却效果不好的问题，且加工成本低。
文档编号B08B9/032GK103184412SQ20111044419
公开日2013年7月3日 申请日期2011年12月27日 优先权日2011年12月27日
发明者黄登聪, 彭立全 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司