专利名称：一种切割硅片的工艺方法
技术领域：
本发明涉及一种切割硅片的工艺方法,尤其是太阳能光伏领域的直拉硅单晶 和铸锭晶切片的工艺方法。
背景技术：
目前，CZ法单晶锭和铸锭多晶锭在做电池过程中，普遍采用0.1mm或其它 直径的钢线绕在主轮上均匀分布的等径槽内，通过主轮匀速运转，使钢线夹带 SIC切割液对晶锭进行研磨，切割成硅片。由于钢线在研磨时存在磨损，导致切 割出线时的线径比进线时的线径变细。从而导致一根晶锭上始部切割的硅片薄， 尾部切割的硅片厚，片与片之间厚度不均匀，这给下游的生产商带来了分拣、 加工的难度，且造成材料浪费。目前行业内厚度差标准为土2(Hkn。
发明内容
本发明的目的在于通过改变切割机主轮上分布线槽的径度，提供一种即 使生产出的硅片厚度均匀，又可提高出片率，减少材料损耗的切割硅片的工艺 方法。
本发明是通过下列方案来实现的把分布主轮上的线槽其宽度设计成变化 分布，即分布在主轮上的线槽其宽度由主轮的始部向尾部逐渐变窄，采用钢线 绕在主轮上分布的线槽内,通过主轮的匀速运转,钢线夹带SIC切割液对晶锭进行
研磨，切割成硅片。
该方案在主轮长度不变的情况下，分布主轮上的线槽其宽度的变化幅度为 5-15Mm。其工作原理在切割过程中，当主轮作匀速运转时，带动线槽内钢线对晶锭 进行切割。由于钢线在切割过程中存在磨损，致使切割出线时的线径比进线时 的线径变细，然而通过改变分布在主轮上的线槽宽度，即分布在主轮上的线槽 其宽度从主轮的始部向尾部逐渐变窄，亦即钢线的分布是由主轮的始部向尾部
逐渐变密，这样弥补了钢线的磨损量，使切割出来的硅片厚度变化幅度为士3Mm。 在主轮长度不变的情况下，，分布的线槽其宽度变化幅度在5-15tai之间，线槽 数量有所增加，每增加一个线槽可多出一片硅片，硅片的出片率提高了8%。
本发明具有工艺方法简单，减少材料损耗，节约成本，提高硅片质量和出片 率等特点。是光伏领域生产硅片工艺方法的一次技术创新。
权利要求
1.一种切割硅片的工艺方法，采用钢线绕在主轮上分布的线槽内，通过主轮的匀速运转，钢线夹带sic切割液对晶锭进行研磨，切割成硅片，其特征在于分布在主轮上的线槽其宽度呈变化分布，即分布在主轮上的线槽其宽度由主轮的始部向尾部逐渐变窄。
2. 根据权利要求1所述的切割硅片的工艺方法，其特征在于:在主轮长度不变的 情况下，分布的线槽其宽度变化幅度为5-15to。
全文摘要
本发明涉及一种切割硅片的工艺方法，尤其是太阳能光伏领域的直拉硅单晶和铸锭晶切片的工艺方法。该方法是把分布主轮上的线槽其宽度设计成变化分布，即分布在主轮上的线槽其宽度由主轮的始部向尾部逐渐变窄，采用钢线绕在主轮上分布的线槽内，通过主轮的匀速运转，钢线夹带SIC切割液对晶锭进行研磨，切割成硅片。本发明具有工艺方法简单，减少材料损耗，节约成本，提高硅片质量和出片率等特点，是光伏领域生产硅片工艺方法的一次技术创新。
文档编号B28D5/00GK101637947SQ200810144289
公开日2010年2月3日 申请日期2008年7月31日 优先权日2008年7月31日
发明者李仙华, 胡董成 申请人:江西晶科能源有限公司