专利名称：硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法
技术领域：
本发明涉及一种硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，属于陶瓷制备技术领 域。
背景技术：
硅锭线切割废料陶瓷导液管目前采用钛酸铝注浆、等静压成型技术生产，其缺 点是使用寿命短、生产效率低，人工操作，产品性能不稳定。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能克服上述缺陷、性能优良的硅锭线切割废料陶瓷 导液管的制备方法。其技术方案为包括陶瓷粉料制备、成型、烧成，将硅锭线切割废料、粒度为0.01-3 μ m的氮 化铝粉体、粒度为0.01-3 μ m的氮化硅粉体、粒度为0.01-3 μ m 二氧化硅粉体、锂玻璃粉 按重量比为40 70 8 15 8 15 8 15 6 15均勻混合，经等静压成型， 然后在1600 1800°C X 1 2小时氮气气氛烧制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。所述的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，硅锭线切割废料粒度小于 5 μ m。所述的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，锂玻璃粉粒度小于3 μ m。本发明与现有技术相比，其优点为1、本发明生产的硅锭线切割废料陶瓷导液管是采用氮化硅、氮化铝和二氧化硅 粉体，在烧结过程中形成了塞隆陶瓷结合硅锭线切割废料，由于添加了锂玻璃粉进一步 降低烧成温度并扩大烧成范围、使得硅锭线切割废料陶瓷导液管的显微结构均勻，热膨 胀系数低，强度高，气密性好，整体可靠性高，使用寿命长。2、本发明中主要由于使用了硅锭线切割废料和锂玻璃粉，使生产成本大幅度降 低。
具体实施例方式实施例1将硅锭线切割废料、粒度为3μιη的氮化铝粉体、粒度为3μιη的氮化硅粉体、 粒度为3 μ m 二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为40 15 15 15 15均勻混合，经 等静压成型，在160(TC X2小时氮气气氛烧制，制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。实验所用原料的纯度均为工业纯。所获得硅锭线切割废料陶瓷导液管的耐压强度为360MPa.，气密性大于 0.03Mpa/mm，热膨胀系数小于2.3X 10_6/°C，使用寿命大于180天。实施例2将硅锭线切割废料、粒度为1 μ m的氮化铝粉体、粒度为1 μ m的氮化硅粉体、粒度为1 μ m 二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为55 11 11 12 11均勻混合，经 等静压成型，在17001乂1.5小时氮气气氛烧制，制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。实验所用原料的纯度均为工业纯。所获得硅锭线切割废料陶瓷导液管耐压强度为380MPa.，气密性大于0.03Mpa/ mm,热膨胀系数小于1.8X10_6/°C，使用寿命大于180天。实施例3将硅锭线切割废料、粒度为0.01 μ m的氮化铝粉体、粒度为0.01 μ m的氮化硅粉 体、粒度为0.01 μ m 二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为70 8 8 8 6均勻混合， 经等静压成型，在180(TC Xl小时氮气气氛烧制，制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。实验所用原料的纯度均为工业纯。所获得硅锭线切割废料陶瓷导液管耐压强度为340MPa.，气密性大于0.03Mpa/ mm,热膨胀系数小于2.0X10_6/°C，使用寿命大于180天。
权利要求
1.一种硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，包括陶瓷粉料制备、成型、烧成， 其特征在于将硅锭线切割废料、粒度为0.01-3 μ m的氮化铝粉体、粒度为0.01-3 μ m 的氮化硅粉体、粒度为0.01-3 μ m 二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为40 70 8 15 8 15 8 15 6 15均勻混合，经等静压成型，然后在1600 1800°C X 1 2小时氮气气氛烧制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。
2.根据权利要求1所述的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，其特征在于硅 锭线切割废料粒度小于5 μ m。
3.根据权利要求1所述的硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，其特征在于锂 玻璃粉为锂玻璃制成粒度小于3 μ m的粉体。
全文摘要
本发明提供一种硅锭线切割废料陶瓷导液管的制备方法，包括陶瓷粉料制备、成型、烧成，其特征在于将硅锭线切割废料、粒度为0.01-3μm的氮化铝粉体、粒度为0.01-3μm的氮化硅粉体、粒度为0.01-3μm二氧化硅粉体、锂玻璃粉按重量比为40～70∶8～15∶8～15∶8～15∶6～15均匀混合，经等静压成型，然后在1600～1800℃×1～2小时氮气气氛烧制成硅锭线切割废料陶瓷导液管。本发明制备的硅锭线切割废料陶瓷导液管具有强度高，生产效率高，使用寿命长等特点。
文档编号C04B35/622GK102010208SQ201010281668
公开日2011年4月13日 申请日期2010年9月15日 优先权日2010年9月15日
发明者唐竹兴 申请人:山东理工大学