一种硅片切割工作台的连接装置的制作方法

文档序号:1979246阅读:219来源:国知局
专利名称:一种硅片切割工作台的连接装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种连接装置,特别涉及一种硅片切割工作台的连接装置,属于硅片 加工设备技术领域。
背景技术
硅片加工过程中,要将硅片放在工作台上进行操作。传统的工作台包括立柱、台 面,其中,所述立柱与台面通过连接装置固定成一体,所述连接装置包括连接构件、卡紧件、 紧固件,所述连接构件两侧分别通过卡紧件及紧固件与立柱及台面连接成一体,但该结构 的工作台,由于卡紧件与立柱及台面连接面均为平滑面,连接构件与立柱及台面的连接只 通过紧固件的压紧力来实现,卡紧件容易从立柱上滑落,因此,该结构的连接装置连接不牢 固,从而大大降低了工作台连接强度较低、使工作台安全性较差。
发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种连接强度好、结构简单的硅片切割工作台 的连接装置,且大大提高了工作台连接牢固度。为了解决上述技术问题,本发明一种硅片切割工作台的连接装置,包括连接构件、 紧固件、卡紧件、设置在工作台立柱开口边两侧的若干凸齿;其中,所述卡紧件为一片状构 件,所述卡紧件的外表面上设有若干卡齿;连接时,所述卡紧件的卡齿与所述立柱凸齿相啮 合,所述紧固件穿过所述卡紧件、所述连接构件及工作台的立柱,将所述卡紧件、所述连接 构件及工作台的立柱连接成一体。上述一种硅片切割工作台的连接装置,其中,所述紧固件与所述连接构件之间设 有一压簧,所述压簧两端分别抵在所述紧固件内端面及所述连接构件安装孔的台阶面上。采用上述结构的连接装置,通过卡齿与凸齿连接时的啮合,形成工作时的锁紧力, 可防止卡紧件滑动,使连接装置的连接更加牢固,从而提高了工作台的连接强度;另外,由 于所述紧固件与连接构件之间设有压簧,当需要调节台面位置时,只需要将紧固件按下,克 服压簧的弹力,将立柱上的凸齿与卡紧件上的卡齿松开,即可移动连接装置,到达适当位置 时,再将紧固件拧紧即可,从而方便了工作台的调节。

图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式

以下结合附图对本发明作进一步说明。如图所示,为了解决上述技术问题,本发明一种硅片切割的作台的连接装置,括包 括连接构件1、紧固件2、卡紧件3、设置在工作台立柱4开口边两侧的若干凸齿41 ;其中,所 述卡紧件3为一片状构件,所述卡紧件3的外表面上设有若干卡齿31 ;连接时,所述卡紧件3的卡齿31与所述立柱4的凸齿41相啮合,所述紧固件2穿过所述卡紧件3、所述连接构 件1及工作台的立柱4,将所述卡紧件3、所述连接构件1及工作台的立柱4连接成一体。连接构件1为一 L形整体构件,所述连接构件1两侧分别设有一用于安装紧固件 2的安装孔11,安装孔11为一 T形孔,所述安装孔11上部分为光孔,下部分为螺纹孔;由于 该卡紧件3表面上设有卡齿31,连接时,该卡齿31与立柱1上的凸齿41啮合,形成工作时 的锁紧力,使连接装置的连接更加牢固,从而大大提高了工作台连接强度。为了使用方便,还可在所述紧固件2与所述连接构件1之间设有一压簧5,所述压 簧5两端分别抵在所述紧固件2内端面及所述连接构件安装孔11的台阶面上。由于在紧 固件2与连接构件1之间设置了压簧5,使用时,靠该压簧5的弹力可使的卡紧件3和紧固 件2可放置任意需要放置的位置。当需要调节时,只需要轻轻按下紧固件2,克服压簧5的 弹力,即可将连接构件1移动到需要的位置。位置调节好后,装上各种配件用螺钉压紧,即 可。综上所述,本发明具有连接强度好、安全系数高,安装方便、灵活且结构简单的优
点ο
权利要求1.一种硅片切割工作台的连接装置,其特征在于,包括连接构件、紧固件、卡紧件、设置 在工作台立柱开口边两侧的若干凸齿;其中,所述卡紧件为一片状构件,所述卡紧件的外表 面上设有若干卡齿;连接时,所述卡紧件的卡齿与所述立柱凸齿相啮合,所述紧固件穿过所 述卡紧件、所述连接构件及工作台的立柱,将所述卡紧件、所述连接构件及工作台的立柱连 接成一体。
2.如权利要求1所述一种硅片切割工作台的连接装置,其特征在于,所述紧固件与所 述连接构件之间设有一压簧,所述压簧两端分别抵在所述紧固件内端面及所述连接构件安 装孔的台阶面上。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片切割工作台的连接装置,包括连接构件、紧固件、卡紧件、设置在工作台立柱开口边两侧的若干凸齿;所述卡紧件为一片状构件,所述卡紧件的外表面上设有若干卡齿;连接时,所述卡紧件的卡齿与所述立柱凸齿相啮合,所述紧固件穿过所述卡紧件、所述连接构件及工作台的立柱,将所述卡紧件、所述连接构件及工作台的立柱连接成一体,采用上述结构的连接装置,通过卡齿与凸齿连接时的啮合,形成工作时的锁紧力,可防止卡紧件滑动,使连接装置的连接更加牢固。
文档编号B28D5/00GK201863305SQ20102057559
公开日2011年6月15日 申请日期2010年10月25日 优先权日2010年10月25日
发明者聂金根 申请人:镇江市港南电子有限公司
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