一种石英陶瓷坩埚单侧吸浆工艺及其中使用的石英浆料的制作方法

文档序号:1936751阅读:324来源:国知局
专利名称:一种石英陶瓷坩埚单侧吸浆工艺及其中使用的石英浆料的制作方法
技术领域
本发明属于陶瓷坩埚技术领域,具体涉及一种石英陶瓷坩埚单侧吸浆工艺及其中使用的石英浆料。
背景技术
石英陶瓷坩埚是多晶铸锭中不可或缺的重要容器,其主要作用是承载多晶硅料在连续高温的环境中定向长晶排杂,需要该容器具有较好的热稳定性及高强度要求。目前主要的技术方案是采用双侧吸浆的方法。双侧吸浆方法使用双侧吸浆模具,该模具包括外模箱和内模箱,外模箱和内模箱之间的空隙为浆料浇注区,外模箱和内模箱之间空隙的形状决定了石英坩埚的形状。双侧吸浆方法是运用石膏毛细孔吸水特性,制成需要的模具形状, 同时混合几种不同颗粒大小的石英砂,制成浆料,浇注在模具中,利用石膏模具的吸水特性,最终制得产品,该方法主要缺点1、两侧吸浆会在毛坯中形成分层形象,影响坩埚的强度;2、毛坯为非均质体,缺陷较多。

发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种石英陶瓷坩埚单侧吸浆工艺,通过该工艺可以得到均质坯体,同时最终产品的密度更高,强度更大,热稳定性更好。本发明还要解决的技术问题是提供上述工艺中使用的石英浆料。为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案如下一种石英浆料,它由高纯石英砂经加水球磨制备得到;该石英浆料的粒径分布为 DlO 2. 5-3. 5um, D50 :13_16um,D90 :48_53um ;水分含量为 14-16wt% ;pH 值为 7-8 ;电导率为 40-60us/cm,粘度为 250_400cps。上述石英浆料的制备方法,其特征在于将高纯石英原料A和高纯石英原料B按重量比10 15 1加入球磨机,加入石英原料A与B总重量的14-16%的去离子水,球磨机中氧化铝球石质量比为Φ60 Φ50 Φ40 Φ30 = 1.4 1.6 1 1. 4 1. 6 1, 氧化铝球石总重量为石英原料A与B总重量的1. 5 2倍;球磨机转速为16-18转/分,球磨9-12小时;其中,高纯石英原料A由如下重量百分比的不同粒径的石英砂组成粒径<0.9mm0-10% ;0.9mm〈粒径< 2mm40-50% ;2mm 彡粒径< 5mm45-55% ;5mm 彡粒径0-5% ;其中,高纯石英原料B由如下重量百分比的不同粒径的石英砂组成粒径< 3mm3-8% ;3mm 彡粒径< 15mm45-48% ;15mm 彡粒径< 50mm 40-45% ;
50mm 彡粒径3-6% ;一种石英陶瓷坩埚单侧吸浆工艺,该方法包括如下步骤(1)将高纯石英原料A和高纯石英原料B按重量比10 15 1加入球磨机,加入石英原料A与B总重量的14-16%的去离子水,球磨机中氧化铝球石质量比为 Φ60 Φ50 Φ40 Φ30=1.4 1.6 1 1. 4 1. 6 1,氧化铝球石总重量为石英原料A与B总重量的1. 5 2倍;球磨机转速为16-18转/分,球磨9_12小时;其中,高纯石英原料A由如下重量百分比的不同粒径的石英砂组成粒径<0.9mm0-10% ;0.9mm 彡粒径< 2mm 40-50% ;2mm 彡粒径< 5mm45-55% ;5mm 彡粒径0-5% ;其中,高纯石英原料B由如下重量百分比的不同粒径的石英砂组成粒径< 3mm3-8% ;3mm 彡粒径 < 15mm45-48% ;15mm 彡粒径 < 50mm 40-45% ;50mm 彡粒径3-6% ;(2)将步骤(1)得到的石英浆料浇注单侧模具后,经10-11小时的吸浆成型,用吸尘器除去模具中心多余的浆料,脱模,毛坯在35-41°C、相对湿度40-50%条件下干燥4_5小时,再在90-110°C下烘干,经1150-1210°C烧结12-13个小时后得到最终的成品。本发明中,单侧吸浆工艺使用的单侧模具与双侧模具不同,单侧模具只包含一个外模箱,直接将浆料注入该外膜箱内,经过一段时间内壁吸浆成型后,与外模箱内壁接触或者接近的的浆料凝固成型,此时,再去除中心多余的未凝固的浆料,即可实现毛坯成型。由于单侧吸浆工艺的特殊性,对浆料的要求比较高,一股双侧吸浆工艺使用的浆料无法在单侧吸浆工艺中实现均勻成型。本发明中,所述的高纯石英原料A、高纯石英原料B或者高纯石英砂,其纯度都在 99. 96%以上。具体杂质含量和要求见表1。表1石英原料纯度要求
权利要求
1.一种石英浆料,其特征在于,它由高纯石英砂经加纯水球磨制备得到;该石英浆料的粒径分布为 DlO 2. 5-3. 5um, D50 :13_16um,D90 :48_53um ;水分含量为 14-16wt% ;pH 值为 7-8 ;电导率为 40-60us/cm,粘度为 250_400cps。
2.根据权利要求1所述的石英浆料,其特征在于,所述的高纯石英砂,其纯度在 99. 96% 以上。
3.权利要求1所述的石英浆料的制备方法,其特征在于将高纯石英原料A和高纯石英原料B按重量比10 15 1加入球磨机,加入石英原料A与B总重量的14-16%的去离子水,球磨机中氧化铝球石质量比为Φ60 Φ50 Φ40 Φ30 = 1.4 1.6 1 1. 4 1.6 1,氧化铝球石总重量为石英原料A与B总重量的1.5 2倍;球磨机转速为16-18 转/分,球磨9-12小时;其中,高纯石英原料A由如下重量百分比的不同粒径的石英砂组成粒径< 0.9mm0-10% ;0. 9mm 彡粒径< 2mm40-50% ;2mm ;^粒径< 5mm45-55% ;5mm彡粒径0-5% ;其中,高纯石英原料B由如下重量百分比的不同粒径的石英砂组成粒径 < 3mm3-8% ;3mm 彡粒径 < 15mm45-48% ;15mm 彡粒径 < 50mm40-45% ;50mm彡粒径3-6% ;
4.根据权利要求3所述的石英浆料的制备方法,其特征在于,高纯石英原料A和高纯石英原料B的纯度都在99. 96%以上。
5.一种石英陶瓷坩埚单侧吸浆工艺,其特征在于该方法包括如下步骤(1)将高纯石英原料A和高纯石英原料B按重量比10 15 1加入球磨机, 加入石英原料A与B总重量的14-16%的去离子水,球磨机中氧化铝球石质量比为 Φ60 Φ50 Φ40 Φ30 = 1.4 1.6 1 1. 4 1. 6 1,氧化铝球石总重量为石英原料A与B总重量的1. 5 2倍;球磨机转速为16-18转/分,球磨9_12小时;其中,高纯石英原料A由如下重量百分比的不同粒径的石英砂组成粒径< 0.9mm0-10% ;·0. 9mm 彡粒径< 2mm40-50% ;2mm ;^粒径< 5mm45-55% ;5mm彡粒径0-5% ;其中,高纯石英原料B由如下重量百分比的不同粒径的石英砂组成粒径 < 3mm3-8% ;3mm 彡粒径 < 15mm45-48% ;15mm 彡粒径 < 50mm40-45% ;50mm彡粒径3-6% ;(2)将步骤(1)得到的石英浆料浇注单侧模具后,经10-11小时的吸浆成型,除去模具中心多余的浆料,脱模,毛坯在35-41V、相对湿度40-50 %条件下干燥4_5小时,再在90-110°C下烘干,经1150-1210°C烧结12-13个小时后得到最终的成品。
6.根据权利要求5所述的石英陶瓷坩埚单侧吸浆工艺,其特征在于,步骤(1)中,高纯石英原料A和高纯石英原料B的纯度都在99. 96%以上。
全文摘要
本发明公开一种石英陶瓷坩埚单侧吸浆工艺及其中使用的石英浆料。石英浆料,由高纯石英砂经加纯水球磨制备得到;该石英浆料的粒径分布为D102.5-3.5um,D5013-16um,D9048-53um;水分含量为14-16wt%;pH值为7-8;电导率为40-60us/cm,粘度为250-400cps。通过本发明的浆料,利用单侧吸浆工艺制备得到的石英陶瓷坩埚不仅均质好,而且抗热震性效果好。
文档编号B28B1/26GK102432277SQ20111027329
公开日2012年5月2日 申请日期2011年9月15日 优先权日2011年9月15日
发明者仇家良, 代冰, 孙春浩, 裴亮 申请人:中科协鑫(苏州)工业研究院有限公司, 徐州协鑫太阳能材料有限公司
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