一种粘固硅棒的载体的制作方法

文档序号:1865842阅读:170来源:国知局
专利名称:一种粘固硅棒的载体的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种粘固硅棒的载体。
背景技术
目前,对于生产半导体电子级硅片,其粘固硅棒的载体是利用树脂作材料制成树脂长条,这种长条与硅棒的接触面上具有凸出的条纹,目的是粘接更加牢固。但是,这种树脂长条很不便于粘接前的清洗,同时,因树脂价格昂贵,极大地增加了生产成本,而且由于树脂是高分子化工材料,生产过程中污染大,不利于环境保护。
发明内容本实用新型的目的是提供既便于清洗,又能降低生产成本的一种粘固硅棒的载体的制作方法。本实用新型采取的技术方案是一种粘固硅棒的载体,其特征在于该载体为长条玻璃,其横截面为凹槽状且凹面呈弧形。采用本实用新型,既方便清洗又能直接降低生产成本,且玻璃与树脂相比,更利于环境保护。

图1是本实用新型的截面示意图。图中序号表示弧形凹面1和长条玻璃具体实施方式
下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步说明。参照图1,该粘固硅棒的载体为长条玻璃2,其横截面为凹槽状且具有弧形凹面1。使用时,只要将该长条玻璃2的相对于弧形凹面1的另一面粘接在工装的铁板条上,同时将圆形的硅棒粘接在弧形凹面1上即可。
权利要求1. 一种粘固硅棒的载体,其特征在于该载体为长条玻璃,其横截面为凹槽状且凹面呈弧形。
专利摘要本实用新型涉及一种粘固硅棒的载体,该载体为长条玻璃,其横截面为凹槽状且凹面呈弧形。采用本实用新型,既方便清洗又能直接降低生产成本,且玻璃与树脂相比,更利于环境保护。
文档编号B28D5/00GK202192691SQ20112029371
公开日2012年4月18日 申请日期2011年8月10日 优先权日2011年8月10日
发明者余溪雄, 郜美君 申请人:开化美盛电子科技有限公司
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