基板加工系统及该基板加工系统中使用的刀片保持具的安装方法

基板加工系统及该基板加工系统中使用的刀片保持具的安装方法【专利摘要】本申请的发明是可将误装不应该使用的轮片的失误排除的基板加工系统及该基板加工系统中使用的刀片保持具的安装方法。该安装方法包含如下步骤：按照刻划加工的各个种类，将使决定刻划加工的动作内容的操作信息与特定该刻划加工中可使用的轮片(12e)的容许型式信息(26)建立关联而存储的刻划配方(SD)设定在连接于基板加工装置(A)的电脑(19)中；选择刻划配方(SD)；决定适合于所选择的刻划配方(SD)中所包含的容许型式信息(26)的轮片(12e)；及读取载置在规定的载置场所的刀片保持具(12)的代码(12i)，取出所述刀片保持具(12)并安装在基板加工装置(A)上。【专利说明】基板加工系统及该基板加工系统中使用的刀片保持具的安装方法【
技术领域：
】[0001]本发明涉及一种在刀片保持具安装着轮片(也称为刀轮或刻划轮)且使用轮片时与刀片保持具一并安装而使用的基板加工装置中的刀片保持具的安装方法。[0002]而且，本发明涉及一种包含所述基板加工装置及对该基板加工装置进行刀片保持具的安装的刀片保持具安装机械手的基板加工系统。[0003]此处，所谓轮片，是指圆周脊线上形成着剖面V字型刀尖且通过在使刀尖压接于载置在平台(table)上的基板的表面的状态下转动而加工基板的加工工具。而且，所谓刻划加工，是指在基板形成条纹状的切槽的加工，通过使用在刀尖以固定间距形成着切口的带有槽的轮片而加工较深的切槽来一下子切断的情况也包含在刻划加工中。【
背景技术：
】[0004]以往，已知有利用轮片在由玻璃、硅、陶瓷、半导体等脆性材料构成的基板或贴合基板(以下简称为“基板”)的表面形成沿着预刻划线的划线(切断用的槽)或从预切断线完全切断的基板加工装置(参照例如专利文献1、专利文献2)。[0005]图18是表示所述专利文献等中揭示的以往的基板加工装置的一例的概略立体图。该基板加工装置B包含载置并保持成为加工对象的基板W的水平的平台31。平台31构成为可通过内置马达的旋转驱动部32而在水平面内转动且可沿着水平的轨道33在Y方向上移动。该Y方向上的移动是通过利用马达34进行旋转的螺杆轴35而进行。[0006]基板加工装置B中，以横跨平台31的方式设置着包含一对支柱36、36及以将这些支柱36、36连接的方式沿X方向水平延伸的导杆37的桥部38。在导杆37设置着沿X方向水平延伸的导件39，刻划头40配置成可沿着导件39在X方向上移动。刻划头40在X方向上的移动是通过马达41的驱动而进行。包含轮片42e的刀片保持具42经由保持具接头43可装卸地安装在刻划头40上。在刻划头40的内部组装着可实现保持具接头43的升降的升降机构。[0007]在如上文所述的构成下，一面将轮片42e按压于载置在平台31上的基板W—面使轮片42e与平台31中的一者或两者移动，由此，可在X-Y方向上对基板W进行刻划而形成刻划槽或进行切断。[0008]图19及图20是表示以往的刀片保持具42及保持具接头43的构成的图。刀片保持具42包含大致圆柱状的主体部42a、及相对于主体部42a的轴心平行且相互对称地形成在主体部42a的一端(下端)的一对平坦面42b、42b，此外，与该平坦面42b平行地形成的切槽42c沿着主体部42a的轴心形成在这一对平坦面42b、42b之间。在该切槽42c内，经由相对于主体部42a的轴心正交的轮轴42d而旋转自如地安装着轮片42e。在一对平坦面42b中的一个面上标印着对用来按种类识别安装在该刀片保持具42的轮片42e的型式信息或对每一刀片保持具赋予的管理编号(固体的识别信息)等管理上有用的数据进行编码而记录的代码42i。[0009]例如，在专利文献3中揭示有如下技术:对装置的控制部准备用来对使用的每一刀片保持具(赋予了管理编号)记录、更新轮片的累积移行距离的管理平台，当使用特定的管理编号的刀片保持具时，更新其轮片的累积移行距离而管理刀片保持具的更换时期。[0010]而且，在主体部42a的另一端(上端)设置着安装在保持具接头43时用于定位的安装部42f。安装部42f包含切削主体部42a而形成的平面部42g与倾斜面42h。平面部42g与主体部42a的轴心平行,且与位于下方的一对平坦面42b正交。而且，主体部42a是由铁等磁性金属构成。[0011]保持具接头43在上部包含轴承43a，下部成为保持刀片保持具42的保持部43b。在保持部43b设置着朝向下方开口的剖面大致圆形的开口部43c，在其内部深处部安装着磁铁43j。此外，在开口部43c的内部设置着在开口部的与轴心相离的部位沿与该轴心垂直的方向延伸的用于定位的平行销43d。该平行销43d是当刀片保持具42插入于开口部43c时，与刀片保持具42的倾斜面42h接触而以使得刀片保持具42的方向或姿势固定的方式进行定位。[0012]将刀片保持具42安装在保持具接头43时，如图18所示，使刀片保持具42从其安装部42f插入保持具接头43的开口部43c而进行。当将安装部42f插入于保持具接头43的开口部43c时，平行销43d与刀片保持具42的倾斜面42h接触而定位，并且刀片保持具42的上端部被磁铁43j磁性吸附而保持。由此，可在刀片保持具42的姿势朝向固定方向的状态下简单地安装在保持具接头43上。更换轮片42e时，抵抗磁铁的磁力从保持具接头43的开口部43c拉拔刀片保持具42，与刀片保持具一并更换。新安装的刀片保持具42是通过利用另外设置的读取器(reader)读取标印在平坦面42b上的记录着刀片固有数据的代码42i而选择。[0013][【
背景技术：
】文献][0014][专利文献][0015][专利文献I]国际公开编号W02007/063979公报[0016][专利文献2]日本专利特开2011-218815号公报[0017][专利文献3]国际公开编号W02008/149515公报【
发明内容】[0018][发明所要解决的问题][0019]当轮片移行规定的移行距离而达到更换时期时、或需要其他规格的轮片时，是在使基板加工装置B停止之后，进行刀片保持具的更换。具体而言，从刻划头的保持具接头卸除刀片保持具之后，通过利用读取器读取代码而从保管的刀片保持具中选择所期望的刀片保持具，将该选择的刀片保持具安装在保持具接头上。若如上文所述的安装操作由操作人员通过手工操作而进行，则比较费事，因此，利用机械手自动地进行较为方便。[0020]在利用机械手进行安装操作的情况下，为了从多个刀片保持具中选择所希望的刀片保持具，必需以容易利用读取器读取具备代码的刀片保持具的平坦面且容易利用机械手拉出的方式配置。在此情况下，由于刀片保持具包含直径约2_~3_的较小的轮片，故要求稳定地载置在例如载置台等上，以使在代码面露出的状态下轮片不会受损。而且，为了利用机械手选择并抓住刀片保持具且直接搬运至刻划头的保持具接头而进行安装，必需考虑载置台与机械手的相关的组装。[0021]然而，以往，未揭示适于利用如上文所述的机械手进行刀片保持具的自动安装的系统构成，而一直未解决。[0022]而且，对于利用机械手进行刀片保持具的自动安装时的问题之一，可列举对机械手进行操作人员在安装时误选其他刀片保持具的输入的问题。[0023]S卩，从预先储存在平台附近的多个刀片保持具中决定安装的刀片保持具时，只要正确地输入特定欲安装的刀片保持具的代码的信息，则机械手可通过利用读取器读取代码而取出正确的刀片保持具，但若操作人员进行的输入本身产生错误，则即便利用机械手进行自动安装，也选择并安装错误的刀片保持具。[0024]因此，本发明的目的在于提供一种不进行基于操作人员的误输入的安装操作而可将利用本来不应该使用的轮片的刻划排除的刀片保持具的安装方法、及使用该安装方法的基板加工系统。[0025]而且，本发明的目的在于提供一种可比以往更加确实地避免使用有可能引起产品不良的轮片而可有效率地进行轮片的安装的安装方法及基板加工系统。[0026][解决问题的技术手段][0027]为了解决所述课题，在本发明中采取如下的技术手段。即，本发明的基板加工系统包含:基板加工部，在保持轮片并且标有记录着识别该轮片的种类的型式的代码的刀片保持具安装在可装卸该刀片保持具的刻划头的保持具接头的状态下进行刻划加工；刀片保持具安装机械手，从载置在规定的载置场所的多个刀片保持具中取出用于所述刻划加工的刀片保持具并安装在所述保持具接头上；及控制部，进行利用所述基板加工部进行刻划加工的控制及利用所述刀片保持具安装机械手进行刀片保持具在保持具接头中的安装的控制；且该系统包含:数据保持部，按照刻划加工的各个种类来存储刻划配方，该刻划配方中使决定刻划加工的动作内容的操作信息与特定可用于该刻划加工的型式的轮片的容许型式信息建立关联；输入部，进行制成所述刻划配方时的输入；配方选择部，选择所存储的刻划配方中的任一配方；及读取器，读取标在所述刀片保持具的代码；所述控制部进行如下控制:根据所选择的刻划配方的容许型式信息，决定保持着适合的轮片的刀片保持具，并且利用所述读取器读取标在载置场所的刀片保持具的代码而利用所述刀片保持具安装机械手将适合的刀片保持具安装在所述保持具接头。[0028]此处，所述容许型式信息中也可以包含多个轮片的型式。[0029]而且，所述读取器也可以安装在刀片保持具安装机械手的保持刀片保持具的机构的附近。[0030]而且，根据其他观点而完成的本发明的刀片保持具的安装方法是保持用来对基板进行刻划加工的轮片并且具有记录着保持的轮片的型式的代码的刀片保持具，对于基板加工装置的安装方法，其包含如下步骤:(a)按照刻划加工的各个种类，将使决定刻划加工的动作内容的操作信息与特定可用于该刻划加工的型式的轮片的容许型式信息建立关联而存储的刻划配方设定在连接于所述基板加工装置的电脑中；(b)当执行刻划加工时选择所述刻划配方；(c)决定适合于所选择的刻划配方中所包含的容许型式信息的轮片；及(d)利用读取器读取载置在规定的载置场所的刀片保持具的所述代码，取出保持所述步骤(c)中所决定的轮片的刀片保持具并安装在所述基板加工装置上。[0031]此处，容许型式信息中也可以包含多个轮片的型式。[0032][发明的效果][0033]根据本发明，预先对动作内容不同的每一刻划配方登录所述刻划配方中可使用的轮片的型式，当选择刻划配方时决定可使用的轮片，利用机械手等自动化器件挑选保持所述轮片的刀片保持具并安装在装置上，因此，可防止基于操作人员的误输入的安装操作，而可将利用本来不应该使用的轮片的刻划排除。【专利附图】【附图说明】[0034]图1是表示实施本发明时使用的基板加工装置的一例的立体图。[0035]图2(a)_(c)是表示本发明的刀片保持具的一例的图。[0036]图3是表示本发明的刀片保持具及安装刀片保持具的保持具接头的立体图。[0037]图4是表示本发明的刀片保持具与保持具接头的局部剖面前视图。[0038]图5是表示刀片保持具收纳体的一例的分解立体图。[0039]图6是在刀片保持具收纳体中收纳着刀片保持具的状态的剖视图。[0040]图7(a)_(d)是表示图5所示的刀片保持具收纳体中的弹性止动部的动作的说明图。[0041]图8(a)、(b)是表示刀片保持具收纳体的其他实施例的剖视图。[0042]图9是表示刀片保持具收纳`体的又一其他实施例的剖视图。[0043]图10是表示图1所示的基板加工装置中的机械手与载置架的立体图。[0044]图11是表示载置架的其他实施例的立体图。[0045]图12是表示载置架的又一其他实施例的立体图。[0046]图13是表示在图1所示的基板加工装置中利用CCD相机拍摄到的对准标记的状态的说明图。[0047]图14是表示图1所示的基板加工装置的控制系统的构成的方块图。[0048]图15(a)、(b)是外切、内切的刻划方法的说明图。[0049]图16是表示选择刻划配方后直至开始刻划为止的步骤的流程图。[0050]图17是表示存储在电脑的刻划配方的一例的图。[0051]图18是表示以往的基板加工装置的一例的立体图。[0052]图19是表示以往的刀片保持具的立体图。[0053]图20是表示以往的刀片保持具与保持具接头的局部剖面前视图。[0054][符号的说明][0055]A基板加工装置[0056]W基板[0057]I平台[0058]10刻划头[0059]12刀片保持具[0060]12b平坦部[0061]12i代码[0062]12e轮片[0063]13保持具接头[0064]15刀片保持具收纳体[0065]16载置架[0066]17机械手[0067]19电脑[0068]25配方选择按钮【具体实施方式】[0069]以下，基于表示本发明的实施形态的图式对本发明的详细情况进行说明。[0070]图1是表示实施本发明方法时使用的基板加工装置(基板加工系统)的一例的概略性立体图。该基板加工装置A包含载置并保持成为加工对象的基板W的水平的平台I。平台I构成为可通过内置有马达的旋转驱动部2而在水平面内转动，且可沿着水平轨道3在Y方向上移动。该Y方向的移动是通过利用马达4进行旋转的螺杆轴5实现。[0071]在基板加工装置A中，以横跨平台I的方式设置有包含一对支柱6、6、及以将这些支柱6、6连结的方式在X方向上水平延伸的导杆7的桥部8。在导杆7上设置有在X方向上水平延伸的导件9，刻划头10以可沿着导件9在X方向上移动的方式配置。刻划头10在X方向上的移动是通过马达11的驱动而实现。在刻划头10上，以可经由保持具接头13装卸的方式安装有包含轮片12e的刀片保持具12。在刻划头10的内部组装有可实现刀片保持具12的升降的升降机构。而且，在桥部8的上部设置有对基板W的对准标记进行拍摄的2台CCD(ChargeCoupledDevice,电荷I禹合器件)相机18、18。[0072]在如上文所述的构成下，一面将轮片12e按压于载置在平台I上的基板W—面使轮片12e与平台I中的一者或两者移动，由此，可在X-Y方向上对基板W进行刻划而形成刻划槽或进行切断。[0073]此外，在基板加工装置A的平台I的附近设置有:载置架16，载置收纳刀片保持具12的多个刀片保持具收纳体15;及机械手17(安装有刀片保持具的机械手)，从刀片保持具收纳体15中拔出刀片保持具12并安装在刻划头10的保持具接头13上，或从保持具接头13卸除刀片保持具12。[0074]图2是表示刀片保持具12的一例的图，图2(a)是前视图，图2(b)是侧视纵剖视图，图2(c)是立体图。刀片保持具12包含:大致圆柱状的主体部12a;及一对平坦面12b、12b，相对于主体部12a的轴心平行且相互对称地形成在主体部12a的一端(下端);此外，在这一对平坦面12b、12b之间，沿着主体部12a的轴心形成有与该平坦面12b平行地形成的切槽12c。在该切槽12c内，经由相对于主体部12a的轴心正交的轮轴12d，以使轮片12e的一部分从主体部12a的下端面露出的状态旋转自如地安装有轮片12e。在平坦面12b中的一个面上，如下所述标印有代码12i，该代码12i记录着用来识别保持在该刀片保持具12上的轮片12e的种类的型式的信息、或用来识别各刀片保持具的管理编号(个体识别编号)等管理上有用的数据。[0075]而且，在主体部12a的另一端(上端)，设置有安装在保持具接头13时用于定位的安装部12f。安装部12f包含切削主体部12a而形成的平面部12g与倾斜面12h。平面部12g是与主体部12a的轴心平行，且与位于下方的一对平坦面12b正交。而且，安装部12f是由铁等磁性金属所构成。[0076]此外，在一对平坦面12b、12b的下端部分，分别设置有从平坦面12b突出的一根销12J0该销12j优选的是配置在平坦面12b、12b的旋转对称位置或左右对称位置。如下所述，销12j作为利用机械手17从刀片保持具收纳体15中拔出刀片保持具12时的卡扣件发挥作用。另外，销12j在各平坦面上各设置有一根，但也可以设置多根。而且，也可以省略任一个平坦面12b的销12j。另外，将在刀片保持具收纳体15中收纳着刀片保持具12的组称为“刀片保持具收纳组”。[0077]在主体部12a的外周面且为安装部12f的相反侧，设置有在主体部12a的轴心方向上延伸的滑槽12k。该滑槽12k是与形成于下述的刀片保持具收纳体15的收纳孔内面上的凸条15s相嵌合。该滑槽12k的一端与切槽12c相连。[0078]如图3及图4所示，安装在刻划头10的保持具接头13在上部设有轴承13a，且下部成为保持刀片保持具12的保持部13b。在保持部13b上设置有朝向下方开口的剖面大致圆形的开口部13c，在其内部深处部安装有磁铁13e。此外，在开口部13c的内部，设置有在开口部13c的与轴心相离的部位沿着与该轴心垂直的方向延伸的定位用平行销13d。该平行销13d是在刀片保持具12已插入于开口部13c时，与刀片保持具12的倾斜面12h(参照图2)接触而将刀片保持具12的姿势定位在固定方向上。在本发明的情况下，以轮片12e的旋转移行方向与刻划方向一致的方式进行定位。[0079]在将刀片保持具12安装在保持具接头13上时，如图3所示，将刀片保持具12从其安装部12f插入于保持具接头13的开口部13c而进行安装。如果安装部12f插入于保持具接头13的开口部13c，那么与刀片保持具12的倾斜面12h接触而定位，并且刀片保持具12的上端部被磁铁13e磁性吸附而得到保持。由此，可以刀片保持具12的姿势朝向固定方向的状态简单地安装在保持具接头13上。在更换轮片12e时，抵抗磁铁13e的磁力而拉拔刀片保持具12，与刀片保持具一并进行更换。[0080]图5是表示收纳刀片保持具12的刀片保持具收纳体15的一例的分解立体图，图6是收纳着刀片保持具12的状态的剖视图。刀片保持具收纳体15包含贯通于前后的剖面大致圆形的收纳孔15a，且包含具有平坦底面15y的弓形主体15b、将收纳孔15a的前开口部闭合的前部罩盖15c、及将后开口部闭合的后部罩盖15d。收纳孔15a形成为其轴心与底面15y平行。在弓形主体15b上，设置有与收纳孔15a的前开口部的下缘相连且向前方延伸的平坦的下方前突部15e。[0081]在将刀片保持具12收纳在刀片保持具收纳体15的收纳孔15a中时，从收纳孔15a的后开口部最先插入轮片12e。在进行该插入时，为了使刀片保持具12的设有代码12i的平坦面12b成为与弓形主体15b的底面15y平行且始终朝上的姿势，而在收纳孔15a的内面形成有供刀片保持具12的滑槽12k嵌合的凸条15s。因为刀片保持具12的滑槽12k的一端是与切槽12c相连地形成，所以在将刀片保持具12插入于收纳孔15a时，切槽12c可成为导件而嵌入于凸条15s，从而使插入操作变得容易。而且，在用手将刀片保持具12插入于收纳孔15a的情况下，如果在使安装部12f的平面部12g朝上的状态下将大拇指放在平面部12g，并将食指放在180°相反侧的滑槽12k的附近，以用两手指夹持的方式捏住刀片保持具12并将其插入于收纳孔15a，那么操作效率提高。[0082]前部罩盖15c是由具有弹性的合成树脂材料一体成形，且包含与弓形主体15b的底面15y进行面接触的平板状部15f、及与弓形主体15b的顶部周面进行面接触的圆弧状上盖15g，板状部15f与圆弧状上盖15g由前壁15h连结。在板状部15f的上表面，朝向上方突出地设置有具有伞状头部15k的弹性止动部15i，在弓形主体15b的前开口部的附近形成有用来供弹性止动部15i从底面15y插通的贯通孔15j。[0083]在将弹性止动部15i插通于贯通孔15j时,首先,如图7(a)所示,伞状头部15k受压缩而进入，如果穿过贯通孔15j，那么如图7(b)所示般伞状头部15k恢复成原形并扩大，从而无法从贯通孔15j拔出。弹性止动部15i的伞状头部15k的尺寸被预先设定为:在该姿势下，从弓形主体15b的收纳孔15a的内周面向内侧略微突出。此外，为了在将弹性止动部15i插通于贯通孔15j之后，能够将该弹性止动部15i保留而将前部罩盖15c去除，而在弹性止动部15i附近的板状部15f上设置有脆弱的切取线15η。而且，在圆弧状上盖15g的下表面形成有弹性卡合于设置在弓形主体15b的上周面上的卡合槽15p的突起部15q(参照图6)，在突起部15q的相反侧、也就是在圆弧状上盖15g的上表面设置有用来解除突起部15q的卡合的捏取片15r。[0084]从切取线15η切取而保留在弓形主体15b上的弹性止动部15i是作为止动部发挥功能，该止动部是如图6所示，在收纳孔15a所收纳的刀片保持具12的平坦面12b从收纳孔15a的前开口部露出的位置，暂时制止刀片保持具12的前进。也就是说，刀片保持具12的与平坦面12b邻接的肩部12m抵接于弹性止动部15i的伞状头部15k而在弹性止动部15i的弹性变形的范围内被制止前进。而且，如图7(d)所示，形成为如果抵抗弹性止动部15i的弹性力而将刀片保持具12从前开口部向拉出方向强有力地拉拽，那么弹性止动部15i会倾倒而允许刀片保持具12的行进。在此情况下，为了能够使弹性止动部15i倾倒，而使贯通孔15j形成为具有充足的空间。另外，肩部12m优选的是如图所示的倾斜面或圆弧，但只要可抵抗弹力而越过伞状头部15k，也可以为大致直角的边缘。[0085]后部罩盖15d是由具有弹性的合成树脂材料一体成形，形成于罩盖内面的上下的突起部15t弹性卡合于设置在弓形主体15b的外周面的上下的卡合槽15u而装卸自如地安装。[0086]前部罩盖15c是用来在刀片保持具12已收纳在刀片保持具收纳体15内时防止刀片保持具12从前开口部脱落、并且保护轮片12e的刀尖的罩盖，在前壁15h的内面形成有供轮片12e的刀尖嵌入的凹部(参照图6)。而且，后部罩盖15d是用来防止刀片保持具12从收纳孔15a的后开口部脱落的罩盖。[0087]图8(a)是表示止动部的其他实施例。在该实施例中，代替所述弹性止动部15i,而形成有利用弹性卡止爪15v来限制刀片保持具12的前进的止动部。弹性卡止爪15v以受到弹簧15w的上推方向的弹力的状态而安装在刀片保持具收纳体15的弓形主体15b上。弹性卡止爪15v的前端是以斜面朝向刀片保持具12的肩部12m的倾斜面形成，但也可以为圆弧。该实施例中的前部罩盖15c'是从所述实施例中所例示的前部罩盖15c去除弹性止动部15i所得的构造，且通过相互弹性嵌合的卡合槽15p'及突起部15q'而装卸自如地安装在收纳孔15a的前开口部。而且，在前壁15h的内面，与前部罩盖15c同样地形成有供轮片12e的刀尖嵌入的凹部。而且，在收纳孔15a的后开口部，与所述实施例同样地装卸自如地安装有后部罩盖15d。[0088]而且，也可以代替所述后部罩盖15d，而如图8(b)所示般在收纳孔15a的后开口部附近设置具有与弹性卡止爪15v相同的构成的弹性卡止爪15x，以避免刀片保持具12从收纳孔15a的后开口部脱落。弹性卡止爪15x的前端也以斜面朝向后开口部的倾斜面形成，以容易供刀片保持具12插入且难以脱落，但也可以为圆弧。[0089]在所述实施例中，例示了在各刀片保持具收纳体15中收纳I个刀片保持具12的示例，但也可以如图9所示般收纳多个、例如5?10个刀片保持具12。在此情况下，为了防止后续的刀片保持具12的轮片12e抵触前方的刀片保持具12的尾部而使刀尖受损，优选的是在刀片保持具12的尾部(图2中的上端面)设置供刀尖嵌入的凹部12p。[0090]所述刀片保持具收纳体15准备有多个，按照种类将包含种类不同的轮片12e的刀片保持具12加以区分，并收纳在各刀片保持具收纳体15中，在工厂内等处加以保管。而且，在使用时，以已卸除前部罩盖15c的状态整齐排列地配置在基板加工装置A的载置架16上。[0091]图10是表示使多个、例如3个刀片保持具收纳体15整齐排列地载置的载置架16、及设置在该载置架的附近的机械手17的立体图。[0092]在该实施例中，载置架16包含将刀片保持具收纳体15的平坦底面15y作为载置面而载置的3块架板16a。在各架板16a上，以将刀片保持具收纳体15所收纳的刀片保持具12的平坦面12b以从架板16a的前端缘16b突出的状态保持的方式，在架板周缘部设置有周围框16c。而且，自前端缘16b侧观察时各架板16a是呈阶梯状地组装。[0093]机械手17包含:机械臂17a，前端具有夹持爪17b;及读取器17c，安装在该机械臂17a上且读取设置在刀片保持具12的平坦面12b上的代码12i。机械臂17a是以如下方式构成:其前端的夹持爪17b从侧面夹着从刀片保持具收纳体15露出的刀片保持具12的一对平坦面12b、12b而拉出。这时，因为各架板16a呈阶梯状地组装，所以不会受其他刀片保持具12的妨碍而可抓住目标的刀片保持具12而将其拉出，并且，因为各刀片保持具12的代码12i在平面上不重叠，所以可从上方由读取器17c容易且正确地读取各刀片保持具12的代码12i。[0094]而且，在利用夹持爪17b从侧面夹着一对平坦面12b、12b而拉出时，各平坦面12b的销12j、12j成为相对于拉拔方向的对夹持爪17b的卡扣件，从而可确实且顺利地拉出。这时，因为销12j配置在各平坦面12b、12b上，所以可相对于拉出方向而平衡性良好地卡住夹持爪17b，从而可顺利地拉出刀片保持具12。而且，从刻划头的保持具接头13(参照图3)拔出的情况也相同。[0095]载置架16的多个架板16a也可以如图11所示般形成为:在同一平面上越是位于靠近机械手17的侧的架板16a，越以前端缘16b后退的方式各自向后方错开。由此，与所述呈阶梯状地组装的实施例同样地，在利用机械臂17a的夹持爪17b拉出刀片保持具12时，不会受其他刀片保持具12的妨碍而可抓住目标的刀片保持具12而将其拉出，并且容易从上方由机械臂17a的读取器17c读取各刀片保持具12的代码12i。[0096]所述载置架16的架板16a优选的是，如图12所示般以前端缘16b成为下方的方式倾斜地形成。由此，在利用机械臂17a从刀片保持具收纳体15拉拔刀片保持具12时，可利用因自身重量所产生的滑动效果而轻松地拉出。特别是在将图9中所示的收纳多个刀片保持具12的刀片保持具收纳体15载置在架板16a上的情况下，优选的是以刀片保持具12因自身重量而前进的程度而预先对架板16a设定倾斜角。由此，如果拉出前方的刀片保持具12，那么后续的刀片保持具12可因自身重量而前进并在止动部位置等待下次的拉出。[0097]当利用图1的基板加工装置开始刻划时，首先，将基板W载置并保持在平台I上。继而，利用设置在桥部8上的2台CXD相机18、18，如图13所示般对基板上的左右2个部位的定位用对准标记M1、M2进行检测。在使将这时的对准标记连结的直线S相对于将2台CCD相机18、18连结的基准直线L倾斜的情况下，利用旋转驱动部2使平台I旋转且以倾斜角成为O的方式进行修正。而且，对应于预先设定的刻划开始位置的轮片12e均由CXD相机18进行检测。如果向Y方向偏移，那么使平台I移动与其偏移量相当的量。而且，如果向X方向偏移，那么使刻划头10向X方向移动与其偏移量相当的量。该X-Y方向的偏移的校正或基板的倾斜角的修正是如图14的方块图所示般，通过附带的电脑19的控制部20而进行。[0098]在图14的方块图中，来自2台CXD相机18的输出被提供给电脑19的控制部20。控制部20基于校正值来使平台旋转驱动部2运行从而使平台I旋转，并以所述倾斜角成为O的方式进行修正。而且，X-Y方向的偏移的校正也是通过驱动各驱动部21、22而进行。在校正结束后，驱动刀片保持具升降驱动部23而使刀片保持具12下降，一面将轮片12e按压于基板W—面使轮片12e与平台I中的一者或两者移动，由此，于X-Y方向上对基板W进行刻划而形成刻划槽。这时使用的轮片12e的移行距离记录在数据保持部24中，如果达到轮片12e的更换时期，那么以告警(alarm)等显示。[0099]刀片保持具12的代码12i可以使用一维码、例如条形码，但优选的是可在狭小的面积内输入较多的信息的二维码(例如QR代码(注册商标))。二维码是直接标印而形成的，但也可以黏附标签。在代码12i中，安装在刀片保持具12上的轮片12e的型式的信息、或用来个体识别各刀片保持具12的管理编号等作为文本信息而加以记录。[0100]具体来说，以如下格式加以记录。[0101](表示型式的字符串)/(表示管理编号的字符串)/(表示初始修正信息的字符串)[0102]其中，型式是遵照指定的规则而将轮片12e的各种类的尺寸(外径、内径、厚度、刀尖角度、刀尖形状等)或材质字符串化。[0103]而且，“管理编号”是指针对各轮片12e而唯一性地赋予的编号。[0104]“初始校正信息”是指为了消除因轮片12e相对于刀片保持具12的安装误差而导致的刻划位置的偏移，而针对每个轮片12e计测安装误差，并预先记录的校正用信息。[0105]这些信息在由读码器17c读取代码12i时被解码(decode)。[0106]而且，记述有利用基板加工装置A进行刻划加工时的动作内容的刻划配方SD是根据刻划加工的种类而制成的，且记录在电脑19的数据保持部24(硬碟等记录媒体)中。[0107]如果选择刻划配方SD中适合之后所要执行的刻划加工的I个配方，那么控制部20通过理解该配方而根据刻划配方SD中所记述的内容对装置各部发送处理命令，而执行基于记述内容的刻划处理。[0108]图17是表示存储在电脑19中的刻划配方SD的一例的图。在各刻划配方SD中，如配方N0.1?N0.4般赋予有用来根据配方进行识别的编号。在各刻划配方SD中记述有决定刻划加工中执行的动作内容的操作信息作为刻划数据27，此外，使指定该刻划加工中可使用的轮片的型式的容许型式信息26与刻划数据27相关而进行存储。[0109]具体来说，作为容许型式信息26，记述有I个(或多个)可使用的轮片12e的型式的数据。在图17中例示的容许型式信息“D3.ΟΤΙ.1H1.4”中，表示直径3.0mm、厚度1.1mm、内径1.4mm的轮片12e适合该刻划配方。[0110]容许型式信息26中记述的型式、与刀片保持具12所标有的代码12i中作为“型式的信息”而包含的数据为相同形式的信息。所以，通过读取代码12i，而可找出符合容许型式信息26的型式的轮片12e。除这些以外，容许型式信息26中也可以包含刀尖的角度或刀尖的形状(附有槽的刀尖、无槽的刀尖、槽间距等)、材料等。[0111]而且，在刻划数据27中记述有指定在刻划加工时使刀尖从何处开始切割的位置信息(“外切”“内切”的区别与开始位置的信息)、或基板尺寸的信息、将基板载置在平台上并进行位置对准时所需的对准位置信息等。除这些以外，当在I个基板上多条平行地形成划线时，也视需要记述这些线的间距、条数等。[0112]这里，对作为刻划数据27的I个数据而记述的(“外切”与“内切”的)开始位置的信息进行说明。“外切”是如图15(a)所示，在使轮片12e的最下端下降到比基板W的表面(上表面)略靠下方的状态下，设定在基板W的端缘的外侧位置(刻划开始位置)。继而，使轮片12e从所设定的位置起水平移动，碰撞到基板端部之后越过端部，并且，一面以指定的刻划压力按压一面进行水平移动而进行刻划。另一方面，“内切”是如图15(b)所示，使轮片12e从基板的端缘起从上方下降到内侧(刻划开始位置)，并以指定的刻划压力抵接在基板上，一面按压一面进行水平移动而进行刻划。该“外切”与“内切”各具有优缺点，可根据基板的种类或厚度、用途而区分使用。[0113]在制成新的刻划数据27时，首先决定“外切”或“内切”的刻划方式，在“外切”的情况下，将从基板的端缘到刻划开始位置为止的距离设为“+”值并输入该数值，在“内切”的情况下，将从基板的端缘到刻划开始位置为止的距离设为值并输入该数值，并记述在刻划数据27中。如果对刻划数据27进行记述，那么决定适于该“外切”或“内切”的轮片，所以该轮片的型式作为容许型式信息26而记述。这样一来，制成使容许型式信息26与刻划数据27对应的I个刻划配方SD。[0114]而且，在加工时，可以利用配方选择按钮25(参照图14)，从已存储在数据保持部24中的多个刻划配方中选择所希望的配方编号。另外，这里，作为配方的选择方法，例示了选择按钮25，当然也会利用其他方法，例如利用在电脑19的监控器上显示各种配方并选择该配方等方法来选择。[0115]继而，对刀片保持具12的安装动作进行说明。[0116]在使用中的轮片12e的累积移行距离达到更换时期时或需要更换成其他规格的轮片12e时，在基板加工装置A停止之后，通过机械手17进行轮片12e的更换。这时，控制部20参照刻划配方SD中所记述的容许型式信息26，向机械手送出关于可使用的轮片的型式的信号。这样一来，机械手17通过附带的读取器17c来读取储存在载置台16的刀片保持具收纳体15中的刀片保持具12的代码12i，而选择具有符合型式的轮片的刀片保持具12并拔出，且将其安装在保持具接头13上。[0117]图16是表示选择使用的刻划配方后直至开始刻划为止的步骤的流程图。首先，如果利用电脑19的选择按钮25选择(SI)所希望的刻划配方SD，那么参照所选择的刻划配方SD中记述的容许型式信息26，决定可使用于该配方的轮片12e的型式(S2)。当决定轮片12e时，如果保持具接头13安装有前次使用的刀片保持具，那么机械臂17a将该刀片保持具卸除并移到另外准备的收纳箱中之后，去载置台16取刀片保持具12(S3)。而且，由读取器17c读取刀片保持具12的代码12i。因为已读取的代码12i中包含指定轮片12e的种类的型式信息，所以如果已读取的代码12i中包含的型式信息与刻划配方SD中所记述的容许型式信息26不同，那么移动至下个刀片保持具12重复再次读取代码12i的动作。这样一来，找出具有与刻划配方SD中所记述的容许型式信息26—致的型式信息的刀片保持具12并进行选择(S4)。继而，由机械臂17a将所选择的刀片保持具12从刀片保持具收纳体15中拔取(S5)。将所拔取的刀片保持具12搬运到刻划头10处并安装在保持具接头13上(S6)。其后，根据刻划配方SD的刻划数据27中所记述的操作信息而自动开始刻划加工(S7)。[0118]通过进行这种处理，而利用机械手仅选择具有适合刻划配方SD的容许型式信息的轮片的刀片保持具并进行安装，所以可防止安装错误的刀片保持具12这一不良情况。[0119]以上，已对本发明的代表性实施例进行了说明，但本发明并非限定于所述实施形态，而可在达成其目的且不脱离权利要求的范围内适当进行修正、变更。[0120]例如，也可以使刻划配方SD的容许型式信息26中包含多种型式。在此情况下，在由读取器17c读取刀片保持具12的代码12i时，使放置在载置台16上的各刀片保持具收纳体15循环一轮地移动而读取所有刀片保持具12的代码12i，之后再决定使用于下次加工的I个刀片保持具即可。在此情况下，也可以对容许型式信息所包含的多种型式预先设定优先顺序。[0121][工业上的可利用性][0122]本发明可利用于通过一面将轮片按压于基板的表面一面进行刻划而对基板加工出切断用划线或进行切断的基板加工装置。【权利要求】1.一种基板加工系统，其特征在于包含:基板加工部，在保持轮片并且标有记录着识别该轮片的种类的型式的代码的刀片保持具安装在可装卸该刀片保持具的刻划头的保持具接头的状态下进行刻划加工；刀片保持具安装机械手，从载置在规定的载置场所的多个刀片保持具中取出用于所述刻划加工的刀片保持具并安装在所述保持具接头上；及控制部，进行利用所述基板加工部进行刻划加工的控制及利用所述刀片保持具安装机械手进行刀片保持具在保持具接头中的安装的控制；且该系统包含:数据保持部，按照刻划加工的各个种类来存储刻划配方，该刻划配方中使决定刻划加工的动作内容的操作信息与特定该刻划加工中可使用的型式的轮片的容许型式信息建立关联；输入部，进行制成所述刻划配方时的输入；配方选择部，选择所存储的刻划配方的任一配方；及读取器，读取标在所述刀片保持具的代码；所述控制部进行如下控制:根据所选择的刻划配方的容许型式信息，决定保持着适合的轮片的刀片保持具，并且利用所述读取器读取标在载置场所的刀片保持具的代码而利用所述刀片保持具安装机械手将适合的刀片保持具安装在所述保持具接头上。2.根据权利要求1所述的基板加工系统，其中所述容许型式信息中包含多个轮片的型式。3.根据权利要求1或2所述的基板加工系统，其中所述读取器安装在刀片保持具安装机械手的保持刀片保持具的机构的附近。4.一种刀片保持具的安装方法，其是保持用来对基板进行刻划加工的轮片并且具有记录着保持的轮片的型式的代码的刀片保持具，对于基板加工装置的安装方法，包含如下步骤:(a)按照刻划加工的各个种类，将使决定刻划加工的动作内容的操作信息与特定该刻划加工中可使用的型式的轮片的容许型式信息建立关联而存储的刻划配方设定在连接于所述基板加工装置的电脑中；(b)执行刻划加工时选择所述刻划配方；(C)决定适合于所选择的刻划配方中所包含的容许型式信息的轮片'及(d)利用读取器读取载置在规定的载置场所的刀片保持具的所述代码，取出保持所述步骤(C)中所决定的轮片的刀片保持具并安装在所述基板加工装置上。5.根据权利要求4所述的刀片保持具的安装方法，其中所述容许型式信息中包含多个轮片的型式。【文档编号】B28D5/00GK103507168SQ201310201107【公开日】2014年1月15日申请日期:2013年5月27日优先权日:2012年6月29日【发明者】高松生芳,三浦善孝,富永圭介申请人:三星钻石工业股份有限公司