一种涂布装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种涂布装置，该涂布装置包括喷嘴和基台，所述涂布装置还包括检测单元，所述检测单元用于检测所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离。本发明能够检测喷嘴与基台之间的间隙距离是否异常，并且能够调节喷嘴高度至正常范围，从而能够保证涂布工艺正常进行。
【专利说明】一种涂布装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示【技术领域】，尤其涉及一种涂布装置。
【背景技术】
[0002]在液晶显示面板的制作工艺中，需要在玻璃基板上涂布感光材料，之后进行曝光显影，以使感光材料形成相应的图案，并且，可以根据该图案进行后续刻蚀工艺以得到相应的电路图案。
[0003]现有的感光材料涂布装置如图1和图2所示，喷嘴I能够在外部压力的作用下，均匀地将装在其内部的感光材料涂布在基板5上。现有结构中，喷嘴I的两端固定在固定板3上，固定板3穿过固定支架2的中部的孔隙，并通过可调紧固件4与固定支架2的下部连接。可调紧固件4可以用于调节固定板3与固定支架2下部之间的距离，从而能够调节喷嘴I与基板5之间的间隙距离。喷嘴I能够随固定支架2移动，从而能够从基板5的一端向另一端涂布感光材料。
[0004]现有的结构中，由于喷嘴I是通过两端支撑，喷嘴I的中部位置可能会受其自身的重力影响而下垂，使得喷嘴I中部位置与基板5之间的间隙变小，从而导致基板5中间位置的感光材料涂布异常，进而影响后续的曝光显影工艺。可见，现有的涂布装置中缺乏检测喷嘴的下端面与基台之间间隙距离的检测方式，无法保证感光材料的涂布正常进行。
【发明内容】
[0005]有鉴于此，本发明的目的在于提供一种涂布装置，以能够检测喷嘴与基板之间的间隙距离，从而保证感光材料的涂布正常进行。
[0006]为实现上述目的，本发明提供一种涂布装置，所述涂布装置包括喷嘴和基台，所述涂布装置还包括检测单元，所述检测单元用于检测所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离。
[0007]优选地，所述检测单元包括光发射器和光接收器，所述光发射器和所述光接收器分别设置在所述基台的两端，所述光接收器能够接收所述光发射器发射的光线，所述涂布装置还包括控制单元，所述控制单元用于根据所述光接收器是否接受到所述光发射器发射的光线判断所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离是否异常。
[0008]优选地，所述光发射器包括下部光发射器，所述光接收器包括与所述下部光发射器对应的下部光接收器，所述下部光发射器和所述下部光接收器设置在所述喷嘴的下端面的下方的预设位置；
[0009]或者，所述光发射器包括上部光发射器，所述光接收器包括与所述上部光发射器对应的上部光接收器，所述上部光发射器和所述上部光接收器设置在所述喷嘴的下端面的上方的预设位置。
[0010]优选地，所述检测单元包括多个所述光发射器和与多个所述光发射器对应的多个所述光接收器，以能够检测所述喷嘴的下端面的不同位置与所述基台之间的间隙距离。[0011]优选地，所述检测单元包括距离传感器，用于检测所述距离传感器与所述基台之间的距离，所述涂布装置还包括控制单元，所述控制单元用于根据所述距离传感器的检测结果判断所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离是否异常。
[0012]优选地，所述涂布装置还包括固定件，所述固定件包括第一固定板和固定支架，所述第一固定板的一端与所述喷嘴连接，所述第一固定板的另一端与所述固定支架相连，所述固定件能够从所述基台的一端移动到所述基台的另一端。
[0013]优选地，所述固定支架包括竖直部和水平部，所述竖直部上设置有孔，所述第一固定板的另一端穿过所述竖直部上的孔，通过第一连接件与所述水平部连接，且所述第一连接件能够调节所述第一固定板与所述水平部之间的距离。
[0014]优选地，所述固定件还包括第二固定板，所述第二固定板与所述固定支架固定连接并位于所述喷嘴上方，且所述第二固定板通过第二连接件与所述喷嘴连接。
[0015]优选地，所述第二连接件能够调节所述喷嘴与所述第二固定板之间的距离，所述涂布装置还包括调节单元，所述控制单元还用于在所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离异常时向所述调节单元发送调节指令，所述调节单元用于根据所述调节指令调整所述第二连接件以调节所述第二固定板与所述喷嘴之间的距离。
[0016]优选地，所述调节单元包括线性马达，所述线性马达固定设置在所述第二固定板上，且所述线性马达的输出轴与所述第二连接件相连。
[0017]可以看出，本发明所提供的涂布装置通过设置检测检测喷嘴下端面与基台之间的间隙距离，能够判断喷嘴下端面与基台之间的间隙距离是否异常。与现有技术相比，本发明能够检测到喷嘴下垂或上移等异常情况，能够有效保证涂布过程顺利进行。此外，本发明还能在发现异常情况后自动调节喷嘴的高度，使得喷嘴下端面与基台之间的间隙距离在正常范围内。`【专利附图】
【附图说明】
[0018]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0019]图1为现有的涂布装置结构示例图；
[0020]图2为现有的涂布装置结构的另一示例图；
[0021]图3为本发明所提供的涂布装置结构示例图；
[0022]图4为本发明所提供的涂布装置另一结构示例图；
[0023]图5为本发明所提供的涂布装置的再一结构示例图。
[0024]附图标记说明
[0025]1、10_喷嘴；2、51_固定支架；3_固定板；4_可调紧固件；5、21_基板；20_基台；31-光发射器；32_光接收器；311_下部光发射器；321_下部光接收器；312_上部光发射器；322-上部光接收器；33_检测固定架；40_距离传感器；511_竖直部；512_水平部；52_第一固定板；53_第一连接件；54_第二固定板；55_第二连接件；60_调节单元。
【具体实施方式】
[0026]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0027]本发明提供一种涂布装置，如图3所示，该涂布装置可以包括喷嘴10和基台20，其中，基台20用于承载基板21，喷嘴10位于基台20的上方，并且能够从基台20的一端移动到基台20的另一端，以能够从基板21的一端向基板21的另一端涂布感光材料，该涂布装置还包括检测单元，检测单元用于检测喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离，控制单元用于根据检测单元的检测结果判断喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离是否异常。
[0028]具体地，可以在涂布装置中设置检测单元，以检测喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离，并且，还可以设置控制单元来根据检测结果判断喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离是否异常，当控制单元判定喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离异常时，可以执行预设动作发出警告(如响铃、闪灯等)，或者，可以执行预设动作通过进一步的结构调节喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离至正常范围。通常，在涂布感光材料时，喷嘴10的下端面与基板21的之间的距离需要在一定范围内(如0.1mm~0.3mm之间)，通过上述本发明所设置的检测单元，能够根据喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离判断喷嘴10的下端面与基板21之间的间隙距离是否在该范围内，从而能够执行相应操作保证涂布工艺顺利进行。
[0029]检测单元可以采用多种方式检测喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离，例如，可以如图3所示， 检测单元可以包括光发射器31和光接收器32，且光发射器31和光接收器32可以分别设置在基台20的两端，且光接收器32能够接收光发射器31发射的光线，并且，还可以设置控制单元，该控制单元能够根据光接收器32是否接受到光发射器31发射的光线判断喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离是否异常。具体地，可以在基台20相对的两端设置检测固定架33以分别固定光发射器31和光接收器32，且光发射器31发射的光线可以与喷嘴10在涂布感光材料时的移动方向平行，以使得控制单元能够根据光接收器32是否接受到光发射器31发射的光线判断喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离是否异常。
[0030]更进一步地，如图4所示，光发射器可以包括下部光发射器311，光接收器可以包括与下部光发射器311对应的下部光接收器321，下部光发射器311和下部光接收器321可以设置在喷嘴10的下端面的下方的预设位置，当下部光接收器321未接收到下部光发射器311发射的光线时，控制单元判定喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离异常。
[0031]具体地，光发射器和光接收器可以设置在同一高度，且光发射器和光接收器所在平面可以位于喷嘴下端面的预设位置，为便于表述，可以将上述设置在喷嘴下端面下方的光发射器和光接收器分别称为下部光发射器和下部光接收器。采用上述结构时，如图4所示，当喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离正常时，下部光接收器321能够正常接收到下部光发射器311发射的光线，而如果喷嘴10发生了下垂，则会遮挡住下部光发射器311向下部光接收器321发射的光线，因此，当下部光接收器321未接收到下部光发射器311发射的光线时，控制单元可以判定喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离异常。
[0032]需要说明的是，为了避免在涂布感光材料时，下部光发射器311发射的光线被从喷嘴10中向下涂布的感光材料遮挡住，可以在喷嘴10未涂布感光材料时，利用下部光发射器311和下部光接收器321检测喷嘴10的下端面和基台20的之间的距离。通常，喷嘴10是从基台的一端向另一端涂布感光材料，例如可以在图4所示示例中从左向右进行涂布，之后，在移动回基台20的左端，进彳丁下次涂布，因此，可以在嗔嘴10涂布完毕后，从基台20的右端移动至左端的过程中利用下部光发射器311和下部光接收器321检测喷嘴10的下端面和基台20的之间的距离。
[0033]或者，如图4所示，光发射器可以包括上部光发射器312，光接收器可以包括与上部光发射器312对应的上部光接收器322，上部光发射器312和上部光接收器322可以设置在喷嘴10的下端面的上方的预设位置，当上部光接收器322接收到上部光发射器312发射的光线时，控制单元判定喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离异常。
[0034]即，除了将光发射器和光接收器设置在喷嘴下端面的下方外，还可以将光发射器和光接收器设置在喷嘴下端面的上方，为便于表述，可以将上述设置在喷嘴下端面上方的光发射器和光接收器分别称为上部光发射器和上部光接收器。如图4所示，可以设置上部光发射器312和上部光接收器322，当上部光接收器322接收到上部光发射器312发射的光线时，则说明喷嘴10发生了上移，因此，当上部光接收器322接收到上部光发射器312发射的光线时，控制单元判定喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离异常。此外，在涂布感光材料的过程中，若基板21上有异物，则可能使得喷嘴与异物之间发生刮擦，导致喷嘴上出现缺口，造成感光材料涂布异常，因此，设置上述上部光发射器312和上部光接收器322还能够检测喷嘴10上是否出现缺口，若上部光接收器322接收到上部光发射器312发射的光线，则说明喷嘴10上对应的区域可能出现了缺口。
[0035]可以理解的是，涂布装置中可以同时设置有上述下部光发射器和下部光接收器以及上部光发射器和上部光接收器，本发明对此不作限制。
[0036]更进一步地，上述光发射器和光接收器可以设置有多个，以能够检测喷嘴的下端面的不同位置与基台之间的间隙距离。具体地，可以设置多组光发射器和光接收器以对应喷嘴的下端面的不同位置。`
[0037]除上述采用光发射器和光接收器的方式外，还可以采用其它方式检测喷嘴的下端面与基台之间的距离。如图5所示，检测单元可以包括距离传感器40，该距离传感器40能够检测其与基台20之间的距离，并且，还可以设置控制单元，当距离传感器40与基台20之间的距离超出预设范围时，控制单元判定喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离异常。具体地，可以如图5所示，距离传感器40可以固定设置在喷嘴10的侧面的预设位置，以检测距离传感器40与基台20之间的距离。可以理解的是，在涂布工艺中，距离传感器40实际检测的为其与基板21之间的距离，由于基板21的厚度固定，因此，可以通过距离传感器40与基板21之间的距离获知距离传感器40与基台20之间的距离，当距离传感器40与基台20之间的距离超过预设范围时，则控制单元判定喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离异常。相应地，距离传感器40也可以设置有多个，以能够检测喷嘴10的下端面的不同位置与基台20之间的距离。
[0038]更进一步地，如图3所示，本发明所提供的涂布装置还包括固定件，该固定件包括第一固定板52和固定支架51,第一固定板52的一端与喷嘴10连接,第一固定板52的另一端可以与固定支架51连接，该固定件能够从基台20的一端移动到基台20的另一端。具体地，固定件中的固定支架51可以和外部的安装基础固定连接，并且，能够随该安装基础从基台20的一端移动到基台20的另一端。第一固定板52的一端可以通过紧固件与喷嘴10固定连接，并且，可以通过多个紧固件沿喷嘴10的长度方向将第一固定板52的一端与喷嘴10固定连接。采用上述结构，可以较为稳定地固定喷嘴10，可以在一定程度上避免喷嘴10因自身重力下垂的问题。
[0039]更进一步地，如图3所示，固定支架51可以包括竖直部511和水平部512，其中，竖直部511上可以设置有孔，上述第一固定板52的另一端可以穿过上述竖直部511上的孔，并通过第一连接件53与水平部512连接，其中，第一连接件53还可以用于调节第一固定板52与水平部512之间的距离。具体地，水平部512上可以设置有螺纹孔，第一连接件53上可以设置有螺纹，上述第一固定板52的另一端可以通过第一连接件53与水平部512连接，并且，可以通过第一连接件53上的螺纹与螺纹孔的配合调节第一固定板52与水平部512之间的距离。由于第一固定板52的一端与喷嘴10固定连接，因此，调节第一固定板52与水平部512之间的距离时，能够相应地调节喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离。可见，采用上述结构能够在安装时根据需要通过第一连接件53调节喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离。
[0040]更进一步地，如图3所示，固定件还可以包括第二固定板54，该第二固定板54可以与固定支架51固定连接，并且，第二固定板54可以设置在喷嘴10的上方，且第二固定板54可以通过第二连接件55与喷嘴10连接。具体地，可以如图3所示，第二固定板54可以通过第二连接件55与喷嘴10的上端面连接。
[0041]更进一步地，上述第二连接件55可以用于调节喷嘴10与第二固定板54之间的距离，且本发明所提供的涂布装置还可以包括调节单元60，控制单元还可以用于在喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离异常时向上述调节单元60发送调节指令，调节单元60可以根据上述调节指令调整第二连接件55以调节第二固定板54与喷嘴10之间的距离。由于第二固定板54设置在喷嘴10的上方，并且与固定支架51固定连接，因此，通过第二连接件55调节第二固定板54与喷嘴10之间的距离能够相应地调节喷嘴10的下端面与基台20之间的间隙距离。因而，可以采用上述结构，设置与第二连接件55相连的调节单元60，该调节单元60可以根据控制单 元发送的调节指令对第二连接件做相应调整以调节第二固定板54与喷嘴10之间的距离，例如，当控制单元判定喷嘴10的位置发生下垂时，可以通过调节单元60向上调节喷嘴10的位置；当控制单元判定喷嘴10的位置发生上移时，可以通过调节单元60向下调节喷嘴10的位置。
[0042]调节单元60和第二连接件55可以采用多种方式配合以能够调节第二固定板54与喷嘴10之间的距离。例如，调节单元60可以包括线性马达，该线性马达可以固定设置在第二固定板54上，且该线性马达的输出轴可以与第二连接件55相连从而能够带动第二连接件55沿竖直方向移动。当控制单元判定喷嘴10的位置发生下垂时，可以通过线性马达带动第二连接件55上移，从而向上调节喷嘴10的位置；当控制单元判定喷嘴10的位置发生上移时，可以通过线性马达带动第二连接件55下移，从而向下调节喷嘴10的位置。并且，上述线性马达可以步进尺寸可以较小，以能够较为精确的调节喷嘴10的位置，例如，可以将线性马达的步进尺寸设置在0.01mm~0.03mm之间。可以理解的是，除上述方式外，调节单元60与第二连接件55还可以采用别的方式配合以调节第二固定板54与喷嘴10之间的距离，本发明对此不作限制。
[0043]可以理解的是，涂布装置可以同时设置有上述第一连接件53和第二连接件55，在实际应用中，可以通过第一连接件53实现对喷嘴10高度的粗调，可以通过第二连接件55和调节单元60实现对喷嘴10高度的微调。
[0044]在实际应用中，上述第二连接件55和调节单元60可以设置有多组，以对应喷嘴10的不同位置，从而能够调节喷嘴10的下端面的不同位置与基台20之间的间隙距离。并且，多组第二连接件55和调节单元60可以对应于上述检测单元中的多组光接收器32和光发射器31进行设置，以能够根据每组光接收器32和光发射器31的检测结果通过对应的第二连接件55和调节单元60来调节对应位置处的喷嘴10的下端面和基台20之间的间隙距离。
[0045]可以理解的是，上述对本发明所提供的涂布装置的描述虽然以涂布感光材料为例，但该涂布装置也可以用于涂布其它材料，本发明对此不作限制。
[0046]上述为对本发明所提供的涂布装置进行的描述，可以看出，本发明所提供的涂布装置通过设置检测检测喷嘴下端面与基台之间的间隙距离，能够判断喷嘴下端面与基台之间的间隙距离是否异常。与现有技术相比，本发明能够检测到喷嘴下垂或上移等异常情况，能够有效保证涂布过程顺利进行。此外，本发明还能在发现异常情况后自动调节喷嘴的高度，使得喷嘴下端面与基台之间的间隙距离在正常范围内。
[0047]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以`做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种涂布装置，所述涂布装置包括喷嘴和基台，其特征在于，所述涂布装置还包括检测单元，所述检测单元用于检测所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离。
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述检测单元包括光发射器和光接收器，所述光发射器和所述光接收器分别设置在所述基台的两端，所述光接收器能够接收所述光发射器发射的光线，所述涂布装置还包括控制单元，所述控制单元用于根据所述光接收器是否接受到所述光发射器发射的光线判断所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离是否异常。
3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述光发射器包括下部光发射器，所述光接收器包括与所述下部光发射器对应的下部光接收器，所述下部光发射器和所述下部光接收器设置在所述喷嘴的下端面的下方的预设位置； 或者，所述光发射器包括上部光发射器，所述光接收器包括与所述上部光发射器对应的上部光接收器，所述上部光发射器和所述上部光接收器设置在所述喷嘴的下端面的上方的预设位置。
4.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述检测单元包括多个所述光发射器和与多个所述光发射器对应的多个所述光接收器，以能够检测所述喷嘴的下端面的不同位置与所述基台之间的间隙距离。
5.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述检测单元包括距离传感器，用于检测所述距离传感器与所述基台之间的距离，所述涂布装置还包括控制单元，所述控制单元用于根据所述距离传感 器的检测结果判断所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离是否异常。
6.根据权利要求2至5中任意一项所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括固定件，所述固定件包括第一固定板和固定支架，所述第一固定板的一端与所述喷嘴连接，所述第一固定板的另一端与所述固定支架相连，所述固定件能够从所述基台的一端移动到所述基台的另一端。
7.根据权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，所述固定支架包括竖直部和水平部，所述竖直部上设置有孔，所述第一固定板的另一端穿过所述竖直部上的孔，通过第一连接件与所述水平部连接，且所述第一连接件能够调节所述第一固定板与所述水平部之间的距离。
8.根据权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，所述固定件还包括第二固定板，所述第二固定板与所述固定支架固定连接并位于所述喷嘴上方，且所述第二固定板通过第二连接件与所述喷嘴连接。
9.根据权利要求8所述的涂布装置，其特征在于，所述第二连接件能够调节所述喷嘴与所述第二固定板之间的距离，所述涂布装置还包括调节单元，所述控制单元还用于在所述喷嘴的下端面与所述基台之间的间隙距离异常时向所述调节单元发送调节指令，所述调节单元用于根据所述调节指令调整所述第二连接件以调节所述第二固定板与所述喷嘴之间的距离。
10.根据权利要求9所述的涂布装置，其特征在于，所述调节单元包括线性马达，所述线性马达固定设置在所述第二固定板上，且所述线性马达的输出轴与所述第二连接件相连。
【文档编号】C03C17/00GK103771719SQ201410019884
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2014年1月16日 优先权日:2014年1月16日
【发明者】焦宇 申请人:北京京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司