硅片脱胶隔板及硅片脱胶工装的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅片脱胶隔板，包括主体，主体具有相对的第一端部和第二端部，第一端部上开设有第一侧面开口槽，第一侧面开口槽的顶壁凹陷形成有第一开口槽，第二端部上开设有第二侧面开口槽。相对于传统的硅片脱胶隔板，本实用新型的硅片脱胶隔板的第一侧面开口槽和第二侧面开口槽设置在硅片脱胶隔板的相对的侧面上，硅片脱胶隔板安装至第二脱胶工装连接杆时，硅片脱胶隔板将第一侧面开口槽和第一开口槽插到脱胶工装连接杆上的操作是在两个硅片之间完成的，本实用新型还涉及一种包括上述硅片脱胶隔板的硅片脱胶工装，避免及减少员工在传统的插片过程中从硅片外侧挂入第二脱胶工装连接杆上时导致的缺角、碎片问题，提高切割良品率。
【专利说明】硅片脱胶隔板及硅片脱胶工装
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片脱胶领域，特别是涉及一种硅片脱胶隔板及使用上述硅片脱胶隔板的硅片脱胶工装。
【背景技术】
[0002]硅片脱胶隔板在硅片脱胶过程中主要起到防止硅片倾倒产生破裂的作用。而目前使用的硅片脱胶隔板100，如图1所示，顶部带有斜口槽110，在斜口槽110处形成第一开口槽120，侧部带有第二开口槽130。在插入脱胶工装连接杆时先将第二开口槽130 —端挂住脱胶工装连接杆，然后将带有斜口槽110的顶部挂入脱胶工装连接杆。由于硅片脱胶隔板的斜口槽110的顶部是从硅片外侧向内挂入，极易因操作不慎使开口槽刮住硅片，造成硅片在脱胶过程中产生缺角、碎片。
实用新型内容
[0003]基于此，有必要针对硅片在脱胶过程中易产生缺角、碎片问题，提供一种硅片脱胶隔板以及使用该硅片脱胶隔板的硅片脱胶工装。
[0004]一种硅片脱胶隔板，包括主体，所述主体具有相对的第一端部和第二端部，所述第一端部上开设有第一侧面开口槽，所述第一侧面开口槽的顶壁凹陷形成有第一开口槽，所述第二端部上开设有第二侧面开口槽。
[0005]在其中一个实施例中，所述第一侧面开口槽的底壁延伸超出所述第一侧面开口槽的顶壁，并形成可供握持的手柄部。
[0006]在其中一个实施例中，所述第二侧面开口槽的深度为26mm?59mm。
[0007]在其中一个实施例中，所述娃片脱胶隔板的厚度为1.5mm?3mm。
[0008]在其中一个实施例中，所述第一侧面开口槽槽底和所述第二侧面开口槽槽底之间的距离为IlOmm?125mm。
[0009]一种硅片脱胶工装，包括硅片底托、第一脱胶工装连接杆、第二脱胶工装连接杆和上述的硅片脱胶隔板，所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆平行排列在所述硅片底托两侧，所述硅片脱胶隔板的第二侧面开口槽卡入所述第一脱胶工装连接杆上，所述硅片脱胶隔板的第一开口槽卡入所述第二脱胶工装连接杆上。
[0010]在其中一个实施例中，所述第一脱胶工装连接杆和第二脱胶工装连接杆的外侧均包裹着硅胶皮套。
[0011]在其中一个实施例中，所述第一侧面开口槽的内径大于所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆的外径。
[0012]在其中一个实施例中，所述第一开口槽的内径比所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆的外径均大0.5mm?1mm，所述第二侧面开口槽的内径比所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆的外径均大0.5mm?1mm。
[0013]相对于传统的硅片脱胶隔板，上述硅片脱胶隔板的第一侧面开口槽和第二侧面开口槽设置在硅片脱胶隔板的相对的侧面上，硅片脱胶隔板安装至脱胶工装连接杆时，将第一侧面开口槽和第一开口槽插到第二脱胶工装连接杆上的操作是在两个硅片之间完成的，避免及减少员工在传统的插片过程中从硅片外侧挂入第二脱胶工装连接杆上时导致的缺角、碎片问题，提高切割的良品率。
[0014]上述硅片脱胶隔板增加了手柄部，操作方便，第一侧面开口槽槽底和第二侧面开口槽槽底之间的距离为IlOmm?125mm，因此还可用于不同尺寸(比如6寸或8寸)的单、多晶硅片脱胶，降低生产成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为目前使用的硅片脱胶隔板的示意图；
[0016]图2为本实用新型实施例中硅片脱胶隔板的示意图；
[0017]图3为硅片脱胶工装结构俯视图；
[0018]图4为本实用新型的硅片脱胶工装使用状态的示意图；
[0019]图5为附图4所示硅片脱胶工装的左视图。
[0020]图中:硅片脱胶隔板100，斜口槽110，第一开口槽120，第二开口槽130，硅片脱胶隔板200，第一侧面开口槽210，第一开口槽220，第二侧面开口槽230，手柄部240，硅片脱胶工装300，硅片底托310，第一脱胶工装连接杆320，第二脱胶工装连接杆330，硅片400。
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】作进一步详细的说明。
[0022]如图2所示，本实施例中的硅片脱胶隔板200包括主体，主体具有相对的第一端部和第二端部，第一端部上开设有第一侧面开口槽210，第一侧面开口槽210的顶壁凹陷形成有第一开口槽220，第二端部上开设有第二侧面开口槽230。
[0023]第一侧面开口槽210的底壁延伸超出第一侧面开口槽210的顶壁，并形成可供握持的手柄部240。
[0024]第二侧面开口槽230的长度为26mm?59mm，第一侧面开口槽210槽底与第二侧面开口槽230槽底之间的距离为IlOmm?125mm，这样隔板与脱胶工装连接杆之间的可前后移动的范围较宽，可以适用于不同规格(比如6寸或8寸)的单、多晶硅片脱胶用。
[0025]硅片脱胶隔板200的厚度为3mm。硅片脱胶隔板的材质一般为具有抗酸碱腐蚀及耐100°C左右高温的性能的材料。
[0026]本实用新型实施例中硅片脱胶工装300的结构如图3所示，包括硅片底托310、第一脱胶工装连接杆320和第二脱胶工装连接杆330，第一脱胶工装连接杆320和第二脱胶工装连接杆330的外侧均包裹着硅胶皮套。第一脱胶工装连接杆320和第二脱胶工装连接杆330平行排列在硅片底托310两侧。另外，硅片脱胶工装300还包括硅片脱胶隔板200，使用时硅片脱胶隔板200的第二侧面开口槽230卡入第一脱胶工装连接杆320上，硅片脱胶隔板200的第一开口槽220卡入第二脱胶工装连接杆330上。
[0027]本实用新型实施例中硅片脱胶隔板使用时的情况如图4和图5所示，第一侧面开口槽210的内径均大于包裹着硅胶皮套的第一脱胶工装连接杆320和第二脱胶工装连接杆330的外径，第一开口槽220的内径比包裹着硅胶皮套的第一脱胶工装连接杆320和第二脱胶工装连接杆330的外径均大1mm。第二侧面开口槽230的内径比包裹着硅胶皮套的第一脱胶工装连接杆320和第二脱胶工装连接杆330的外径均大1mm。这样方便第二侧面开口槽230插入第一脱胶工装连接杆320上，同时也方便第一开口槽220插入第二脱胶工装连接杆330上。
[0028]将硅片脱胶隔板200插入第一脱胶工装连接杆320和第二脱胶工装连接杆330的过程如下:先握住手柄部240将第二侧面开口槽230插到第一脱胶工装连接杆320上，随后将硅片脱胶隔板200沿插入方向往第一脱胶工装连接杆320推入，直至第一侧面开口槽210全部包裹在相邻的硅片400中。然后通过沿相反方向拉手柄部240使第一侧面开口槽210插到第二脱胶工装连接杆330上，随后拉动手柄部240使第一开口槽220卡入第二脱胶工装连接杆330中。
[0029]硅片脱胶隔板200将硅片400隔开，硅片脱胶隔板200可以根据实际需要设置若干个，硅片脱胶隔板200的放置要尽量密集，当硅片脱胶过程中某些位置发生倒片时，硅片脱胶隔板200可以稳定的支撑倾倒的硅片400，提高了成品率。
[0030]上述将硅片脱胶隔板200插入第一脱胶工装连接杆320和第二脱胶工装连接杆330的过程中，拉手柄部240使第一侧面开口槽210插到第二脱胶工装连接杆330上，随后使第一开口槽220卡入第二脱胶工装连接杆330中的操作都是在两个硅片400之间完成的，改善了传统的从硅片400外侧挂入第二脱胶工装连接杆330时导致刮伤硅片400的现象，减少了碎片、缺角。同时，由于延伸了第二侧面开口槽230的长度，可适用于不同规格(比如6寸或8寸)的单、多晶硅片脱胶用。
[0031]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1.一种硅片脱胶隔板，包括主体，所述主体具有相对的第一端部和第二端部，其特征在于，所述第一端部上开设有第一侧面开口槽，所述第一侧面开口槽的顶壁凹陷形成有第一开口槽，所述第二端部上开设有第二侧面开口槽。
2.根据权利要求1所述的硅片脱胶隔板，其特征在于，所述第一侧面开口槽的底壁延伸超出所述第一侧面开口槽的顶壁，并形成可供握持的手柄部。
3.根据权利要求1或2所述的硅片脱胶隔板，其特征在于，所述第二侧面开口槽的深度为 26mm ?59mm。
4.根据权利要求1所述的硅片脱胶隔板，其特征在于，所述硅片脱胶隔板的厚度为.1.5mm ?3mmη
5.根据权利要求1所述的硅片脱胶隔板，其特征在于，所述第一侧面开口槽槽底和所述第二侧面开口槽槽底之间的距离为IlOmm?125mm。
6.一种硅片脱胶工装，其特征在于，包括硅片底托、第一脱胶工装连接杆、第二脱胶工装连接杆和如权利要求1?5中任一项所述的硅片脱胶隔板，所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆平行排列在所述硅片底托两侧，所述硅片脱胶隔板的第二侧面开口槽卡入所述第一脱胶工装连接杆上，所述硅片脱胶隔板的第一开口槽卡入所述第二脱胶工装连接杆上。
7.根据权利要求6所述的硅片脱胶工装，其特征在于，所述第一脱胶工装连接杆和第二脱胶工装连接杆的外侧均包裹着硅胶皮套。
8.根据权利要求7所述的硅片脱胶工装，其特征在于，所述第一侧面开口槽的内径大于所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆的外径。
9.根据权利要求7所述的硅片脱胶工装，其特征在于，所述第一开口槽的内径比所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆的外径均大0.5mm?Imm,所述第二侧面开口槽的内径比所述第一脱胶工装连接杆和所述第二脱胶工装连接杆的外径均大.0.5mm ?Imnin
【文档编号】B28D7/00GK203818358SQ201420196291
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2014年4月21日 优先权日:2014年4月21日
【发明者】马莹, 韩侠 申请人:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司