一种半导体晶粒切割装置的制作方法

文档序号:12754151阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体晶粒的切割装置,包括机架,在机架上安装有切割丝的辊轮,还有切割丝安装在辊轮上,切割丝连接动力装置,动力装置运行带动切割丝运行,切割丝运形经过晶棒的加工工位,其特征是:所述的切割丝是钢丝外面附着有金刚砂的丝线结构。

2.根据权利要求1所述的半导体晶粒的切割装置,其特征是:切割装置还有浇淋切割液的浇注装置,用管道浇注在加工工位,在管道中间设置有冷却部件。

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