一种半导体晶粒切割装置的制作方法

文档序号:12754151阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及半导体晶粒加工技术领域,名称是一种半导体晶粒切割装置,一种半导体晶粒的切割装置,包括机架,在机架上安装有切割丝的辊轮,还有切割丝安装在辊轮上,切割丝连接动力装置,动力装置运行带动切割丝运行,切割丝运形经过晶棒的加工工位,所述的切割丝是钢丝外面附着有金刚砂的丝线结构。这样的半导体晶粒的线切割方法和切割装置具有减少对环境污染、切割效率高、产品品质有保证的优点。

技术研发人员:陈磊;陈建民;赵丽萍;钱俊友;张文涛;蔡水占;张会超;王东胜
受保护的技术使用者:河南鸿昌电子有限公司
文档号码:201620681914
技术研发日:2016.07.01
技术公布日:2017.01.25

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