一种硅棒金刚线截断侧向定位工装的制作方法

文档序号:12168317阅读:682来源:国知局
一种硅棒金刚线截断侧向定位工装的制作方法与工艺

本实用新型涉及一种硅棒金刚线截断侧向定位工装。



背景技术:

线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦,从而达到切割目的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高,产能高,精度高等优点。

在进行硅棒金刚线截断时,现下使用的大多数金刚线截断机定位块多是采用304不锈钢为材质制得,在实际使用过程中,常常会碰伤硅棒,且伤害程度较大,导致产品可修复性较低,废品产生率提高,同时,加工器具多会触碰到定位块,导致定位块定位效果降低,直接影响硅棒金刚线截断效果。



技术实现要素:

针对上述问题,本实用新型提出了一种硅棒金刚线截断侧向定位工装。

为解决以上技术问题,本实用新型提供的技术方案是:

一种硅棒金刚线截断侧向定位工装,其特征在于,包括以尼龙101为材质制成的定位块、硅棒加工平台和工作台,所述工作台水平设置,所述硅棒加工平台固定设置于工作台上,其上端面水平,所述定位块设置于硅棒加工平台一侧,并通过滑槽实现滑动;

所述定位块包括定位面,所述定位面竖直设置,定位面上设有退刀槽,所述退刀槽呈长条形,并沿定位面水平延伸,退刀槽的截面呈方形,其所呈的方形的长、宽均为5mm,所述硅棒加工平台内设有两个水平平行设置的丝杆,所述丝杆凸出于硅棒加工平台左端面,并与定位块的右端面固定连接,两个丝杆上均设有丝杆轴套,所述丝杆轴套外设有齿口,2个丝杆轴套之间设有第一齿轮,所述第一齿轮与2个丝杆轴套外的齿口契合,实现2个丝杆联动;

所述硅棒加工平台上设有步进电机和红外测距仪,所述步进电机的传动端设有第二齿轮,所述第二齿轮与丝杆轴套外的齿口契合,所述红外测距仪的感应反向指向定位块;

进一步的,所述退刀槽的轴线、硅棒加工平台的上端面在同一水平面内;

进一步,所述定位块上设有与红外测距仪对应配合的感应面板,所述感应面板的感应面与定位面水平。

本实用新型的有益效果为:

本实用新型提出的一种硅棒金刚线截断侧向定位工装,包括定位块、硅棒加工平台和工作台,定位块上设置退刀槽,硅棒加工平台和定位块之间通过丝杆相连,并由步进电机控制间距,红外测距仪实时检测硅棒加工平台和定位块之间间距,定位块采用尼龙101为材质,替代了原有的304不锈钢材质,同时设置退刀槽,可有效防止硅棒在上下料时,侧面被定位块碰伤,也保护了硅棒在加工平台上相对移动不被磕边,同时,杜绝了加工器具触碰定位块,保证了加工器具的使用寿命和定位块的定位精度,而且,定位块和硅棒加工平台之间的间距可控,精度高,提高了硅棒金刚线截断质量。

综上所述,本实用新型结构简单,设计合理,具有提高生产效率,提高产品质量,减少废品产生率,增加产品可修复性的特点。

附图说明

图1 本实用新型侧视图。

图2 本实用新型横截面图。

具体实施方式

如图所示的一种硅棒金刚线截断侧向定位工装,其特征在于,包括以尼龙101为材质制成的定位块1、硅棒加工平台2和工作台3,所述工作台3水平设置,所述硅棒加工平台2固定设置于工作台3上,其上端面水平,所述定位块1设置于硅棒加工平台2一侧,并通过滑槽实现滑动;

所述定位块1包括定位面5,所述定位面5竖直设置,定位面5上设有退刀槽6,所述退刀槽6呈长条形,并沿定位面5水平延伸,退刀槽6的截面呈方形,其所呈的方形的长、宽均为5mm,所述硅棒加工平台2内设有两个水平平行设置的丝杆7,所述丝杆7凸出于硅棒加工平台2左端面,并与定位块1的右端面固定连接,两个丝杆7上均设有丝杆轴套8,所述丝杆轴套8外设有齿口,2个丝杆轴套8之间设有第一齿轮9,所述第一齿轮9与2个丝杆轴套8外的齿口契合,实现2个丝杆7联动;

所述硅棒加工平台2上设有步进电机10和红外测距仪11,所述步进电机10的传动端设有第二齿轮12,所述第二齿轮12与丝杆轴套8外的齿口契合,所述红外测距仪11的感应反向指向定位块1;

进一步的,所述退刀槽6的轴线、硅棒加工平台2的上端面在同一水平面内;

进一步,所述定位块1上设有与红外测距仪11对应配合的感应面板12,所述感应面板12的感应面13与定位面5水平。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

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