用于多线切割机晶托的安装装置的制作方法

本实用新型涉及多线切割机配件领域，尤其是一种用于多线切割机晶托的安装装置。

背景技术：

多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行研磨，将半导体一次性切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。数控多线切割机已逐渐取代了传统的内圆切割，成为硅片切割加工的主要方式。

硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料。硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割磨料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有：效率高，产能高，精度高等优点，是目前采用最广泛的硅片切割技术。

多线切割机是实现硅片切割的主要设备，其中多线切割机的晶托是用于固定固定硅棒，目前采用的晶托包括固定座、晶托板和铁板，固定座上设置有楔形槽，晶托板的上表面设置有与楔形槽相匹配的楔形块，铁板通过螺栓固定在晶托板上，硅棒先通过粘胶层粘结在磨砂玻璃的底面上，磨砂玻璃再通过粘胶层粘结在铁板上。当切割完一对硅棒后，将晶托板从固定座中取下，然后将铁板与晶托板分离，将粘有磨砂玻璃的铁板在加热室内加热使粘胶融化，取下磨砂玻璃并将残留的粘胶清除，接着再涂抹粘胶层粘接新的磨砂玻璃与硅棒，并将铁板与晶托板通过螺栓固定在一起放入多线切割机进行下一轮晶棒的切割。由于磨砂玻璃是通过粘胶粘接在铁板上，同时硅棒也是通过粘胶粘接在磨砂玻璃上，由于涂抹的胶层厚度无法控制，很容易导致粘接上的磨砂玻璃以及硅棒与铁板以及晶托板不平行，其安装质量无法保证，影响硅棒的切片效果。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够提高晶托安装质量的用于多线切割机晶托的安装装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该用于多线切割机晶托的安装装置，包括底座，所述底座的上表面为光滑的水平面，所述底座的上表面设置有与晶托板的上表面设置的楔形块相匹配的楔形槽，所述底座的左侧设置有左支撑立柱，底座的右侧设置有右支撑立柱，所述左支撑立柱的上端与右支撑立柱的上端设置有横梁，所述横梁下方设置有压板，所述压板的上表面连接有推拉杆，所述横梁上设置有用于时推拉杆上下移动的升降装置，所述压板的下表面为光滑的水平面，所述压板的下表面与底座的上表面互相平行，所述左支撑立柱朝向右支撑立柱的一侧表面设置有左导轨，所述右支撑立柱朝向左支撑立柱的一侧表面设置有右导轨，所述左导轨与右导轨互相平行且竖直设置，所述压板的左右两侧分别设置有与左导轨和右导轨相匹配的滑槽。

进一步的是，所述升降装置为液压式千斤顶。

进一步的是，所述推拉杆与压板之间设置有加强筋板。

进一步的是，所述压板的长度与底座的长度相同。

进一步的是，所述左支撑立柱上设置有贯穿左支撑立柱的左限位孔，所述左限位孔朝向右支撑立柱，所述左限位孔内设置有左限位滑块，所述左限位滑块沿左限位孔来回移动，所述右支撑立柱上设置有贯穿右支撑立柱的右限位孔，所述右限位孔朝向左支撑立柱，所述右限位孔内设置有右限位滑块，所述右限位滑块沿右限位孔来回移动。

进一步的是，所述左限位滑块的长度大于左限位孔的长度且在左限位滑块的外侧端面设置有左把手；所述右限位滑块的长度大于右限位孔的长度且在右限位滑块的外侧端面设置有右把手。

本实用新型的有益效果是：该用于多线切割机晶托的安装装置在使用时，先将晶托板倒置使其楔形块插入底座的上表面设置的楔形槽内，然后将铁板通过螺栓固定在晶托板上，由于底座的上表面为水平面，晶托板的底面就自动处于水平状态，铁板在安装时只需调整螺栓的松紧程度便可以很容易将铁板调整水平，接着在铁板表面涂抹粘胶，涂抹号以后将磨砂玻璃放置在粘胶上，此时，通过升降装置将压板压向磨砂玻璃板，由于压板的下表面与底座的上表面互相平行，也就是说压板的下表面与铁板的表面平行，当压板压在磨砂玻璃板上后，无论粘胶是否涂抹均匀，压板都可以将磨砂玻璃板压至与铁板平行，保持一段时间后待粘胶凝固，升起压板，由于设置了导轨，压板在上下移动的过程中会始终与底座的上表面保持平行，接着在磨砂玻璃板的上表面涂抹粘胶，并将硅棒放上，然后再将压板压向硅棒，同理，压板可以将硅棒也压至水平，因此，利用该安装装置可以实现晶托的快速安装，同时可以保证磨砂玻璃板与硅棒都与铁板平行，其安装质量较高，不会对硅棒的切片效果造成影响。

附图说明

图1是本实用新型用于多线切割机晶托的安装装置的主视图；

图2是本实用新型用于多线切割机晶托的安装装置的左侧视图；

图中标记为：底座1、楔形槽2、左支撑立柱3、右支撑立柱4、横梁5、压板6、推拉杆7、升降装置8、左导轨9、右导轨10、强筋板11、左限位孔12、左限位滑块13、右限位孔14、右限位滑块15、左把手16、右把手17。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

如图1、2所示，该用于多线切割机晶托的安装装置，包括底座1，所述底座1的上表面为光滑的水平面，所述底座1的上表面设置有与晶托板的上表面设置的楔形块相匹配的楔形槽2，所述底座1的左侧设置有左支撑立柱3，底座1的右侧设置有右支撑立柱4，所述左支撑立柱3的上端与右支撑立柱4的上端设置有横梁5，所述横梁5下方设置有压板6，所述压板6的上表面连接有推拉杆7，所述横梁5上设置有用于时推拉杆7上下移动的升降装置8，所述压板6的下表面为光滑的水平面，所述压板6的下表面与底座1的上表面互相平行，所述左支撑立柱3朝向右支撑立柱4的一侧表面设置有左导轨9，所述右支撑立柱4朝向左支撑立柱3的一侧表面设置有右导轨10，所述左导轨9与右导轨10互相平行且竖直设置，所述压板6的左右两侧分别设置有与左导轨9和右导轨10相匹配的滑槽。该用于多线切割机晶托的安装装置在使用时，先将晶托板倒置使其楔形块插入底座1的上表面设置的楔形槽2内，然后将铁板通过螺栓固定在晶托板上，由于底座1的上表面为水平面，晶托板的底面就自动处于水平状态，铁板在安装时只需调整螺栓的松紧程度便可以很容易将铁板调整水平，接着在铁板表面涂抹粘胶，涂抹号以后将磨砂玻璃放置在粘胶上，此时，通过升降装置8将压板6压向磨砂玻璃板，由于压板6的下表面与底座1的上表面互相平行，也就是说压板6的下表面与铁板的表面平行，当压板6压在磨砂玻璃板上后，无论粘胶是否涂抹均匀，压板6都可以将磨砂玻璃板压至与铁板平行，保持一段时间后待粘胶凝固，升起压板6，由于设置了导轨，压板6在上下移动的过程中会始终与底座1的上表面保持平行，接着在磨砂玻璃板的上表面涂抹粘胶，并将硅棒放上，然后再将压板6压向硅棒，同理，压板6可以将硅棒也压至水平，因此，利用该安装装置可以实现晶托的快速安装，同时可以保证磨砂玻璃板与硅棒都与铁板平行，其安装质量较高，不会对硅棒的切片效果造成影响。

在上述实施方式过程中，所述升降装置8可以采用气缸、电动推杆等方式实现，作为优选的，所述升降装置8为液压式千斤顶。

为了保证推拉杆7与压板6之间的连接强度，所述推拉杆7与压板6之间设置有加强筋板11。

为了保证压板6的压平效果，所述压板6的长度与底座1的长度相同。这样便可以将磨砂玻璃板或硅棒整个覆盖，从而保证其压平效果。

在安装晶托过程中，压板6始终处于上方，如果出现意外情况导致压板6掉落，这样很容易将压板6下的操作人员砸伤，为了避免上述情况的发生，所述左支撑立柱3上设置有贯穿左支撑立柱3的左限位孔12，所述左限位孔12朝向右支撑立柱4，所述左限位孔12内设置有左限位滑块13，所述左限位滑块沿左限位孔12来回移动，所述右支撑立柱4上设置有贯穿右支撑立柱4的右限位孔14，所述右限位孔14朝向左支撑立柱3，所述右限位孔14内设置有右限位滑块15，所述右限位滑块沿右限位孔14来回移动。当压板6升上去，操作人员需要到压板6下进行作业时，可以将左限位滑块13朝向右支撑立柱4推动，同时将右限位滑块15朝向左支撑立柱3推动，使其伸出挡在压板6下方，这样即便压板6发生掉落，也会被限位滑块挡住从而避免将压板6下的操作人员砸伤，提高了其安全性，操作人员作业结束后，只需将其反向推出即可。

为了方便推动和拉动限位块，所述左限位滑块13的长度大于左限位孔12的长度且在左限位滑块13的外侧端面设置有左把手16；所述右限位滑块15的长度大于右限位孔14的长度且在右限位滑块15的外侧端面设置有右把手17。