一种单晶硅棒夹持装置用防水底座的制作方法

文档序号:19052609发布日期:2019-11-06 00:34阅读:457来源:国知局
一种单晶硅棒夹持装置用防水底座的制作方法

本实用新型涉及硬脆材料切割技术领域,尤其涉及一种单晶硅棒夹持装置用防水底座。



背景技术:

单晶硅棒加工装置是用于将柱状的单晶硅棒切割成段或切割成片的设备,在切割的过程中为了给用于切割的线锯切割机构降温,需要在线锯切割机构切割单晶硅棒的过程中喷淋喷淋液。

由于单晶硅棒加工装置由各种机械部件组成,喷淋液难免会淋到各种机械部件处,这样则会导致机械部件生锈无法,特别是用于驱动单晶硅棒夹持装置移动的运动组件,运动组件设置在底座处,在喷淋液进入底座后会导致运动组件锈死而无法使用,进而直接影响整个单晶硅棒加工装置的正常运行。

为了避免运动组件锈死而无法使用,现有的单晶硅棒夹持装置的底座采用三防布遮挡喷淋液,由于在切割过程中会产生破碎硅片,破碎硅片容易导致三防布破碎,致使喷淋液依旧会进入底座内导致运动组件锈死。



技术实现要素:

为此,需要提供一种单晶硅棒夹持装置用防水底座,以解决现有技术中的单晶硅棒夹持装置的底座未能有效地防止喷淋液淋到运动组件,从而导致运动组件生锈无法使用的问题。

为实现上述目的,发明人提供了一种单晶硅棒夹持装置用防水底座,包括基座、顶板、及两个侧板;

所述顶板位于基座上,且通过相对设置的两个侧板与基座连接;所述顶板、两个侧板及基座围成通道,所述通道用于容纳驱动单晶硅棒夹持装置移动的运动组件;

所述侧板开设有条形开口,所述条形开口的长度方向与单晶硅棒夹持装置的移动方向一致;单晶硅棒夹持装置通过条形开口与运动组件传动连接。

进一步地,所述顶板由中部向两侧边倾斜设置。

进一步地,所述顶板及两个侧板的材质为不锈钢、铁或铜。

进一步地,所述通道的两端口分别设置有端板,所述端板用于密封通道的两个端口。

进一步地,所述基座设置有直线滑轨,所述直线滑轨位于通道内,且直线滑轨的长度方向与单晶硅棒夹持装置的移动方向一致。

进一步地,所述直线滑轨设置有两个,两个直线滑轨平行设置。

进一步地,两个侧板均开设有条形开口,且两个条形开口相对设置;

还包括移动支架,所述移动支架的底部设置有两个滑块,所述滑块的底部均开设有与直线滑轨相适配的滑槽;所述移动支架位于通道内,且移动支架的两侧边均由条形开口穿至通道外;两个滑块分别通过滑槽可滑动地设置于两个滑轨处;

单晶硅棒夹持装置与移动支架穿于条形开口外的侧边连接,运动组件与移动支架传动连接。

进一步地,两个直线滑轨的底部均设置于有垫块,所述移动支架的中部向上凸起。

区别于现有技术,上述技术方案所述的单晶硅棒夹持装置用防水底座,包括基座、顶板、及两个侧板;所述顶板位于基座上,且通过相对设置的两个侧板与基座连接;所述顶板、两个侧板及基座围成通道,所述通道用于容纳驱动单晶硅棒夹持装置移动的运动组件;所述侧板开设有条形开口,所述条形开口的长度方向与单晶硅棒夹持装置的移动方向一致;单晶硅棒夹持装置通过条形开口与运动组件传动连接。这样的设置使得喷淋液无法进入由顶板、两个侧板及基座围成通道内,进而可以有效地防止设置在通道内的运动组件因喷淋液而导致生锈的问题,且这样的设置还不影响运动组件驱动单晶硅棒夹持装置的正常运行。

附图说明

图1为本实用新型一实施例涉及的单晶硅棒夹持装置用防水底座的使用状态图;

图2为本实用新型一实施例涉及的单晶硅棒夹持装置用防水底座的截面图;

图3为本实用新型一实施例涉及的基座的结构示意图;

图4为本实用新型一实施例涉及的移动支架与单晶硅棒夹持装置的连接结构图。

附图标记说明:

1、基座;

2、顶板;

3、侧板;

4、通道;

5、端板;

6、直线滑轨;

7、垫块;

8、齿条;

9、移动支架;

10、滑块;

11、单晶硅棒夹持装置;

12、旋转电机;

13、齿轮;

14、单晶硅棒支撑架;

15、单晶硅棒。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果,以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1至图4,本新型提供了一种单晶硅棒夹持装置用防水底座,具有防水功能,能够有效地防止设置在底座处的运动组件喷淋到喷淋液,避免运动组件因接触喷淋液而生锈无法使用的情况。

在具体的实施例中,所述单晶硅棒夹持装置用防水底座包括基座1、顶板2、及两个侧板3。所述基座1、顶板2及两个侧板3均可以由金属材质制成,如不锈钢、铁或铜,优选使用不锈钢制成,这样的设置不仅使得单晶硅棒夹持装置用防水底座可以避免运动组件与喷淋液接触而生锈,同时还可以避免自身与喷淋液接触而生锈,可以增加单晶硅棒夹持装置用防水底座的使用寿命。

所述顶板2位于基座1上,且通过相对设置的两个侧板3与基座1连接;所述顶板2、两个侧板3及基座1围成通道4,所述通道4用于容纳驱动单晶硅棒夹持装置11移动的运动组件。顶板2、侧板3及基座1三者的连接可以通过焊接的方式连接,也可以通过螺栓固定,优选使用焊接的方式,这样可以保证三者连接处的密封性。在进一步的实施例中,在生产顶板2和侧板3时,可以采用一体成型的方式,即只需要将不锈钢板弯折成所需的形状即可。

由于运动组件设置在通道4内,因此,为了保证运动组件可以与单晶硅棒夹持装置11传动连接,在具体的实施例中,所述侧板3开设有条形开口,所述条形开口的长度方向与单晶硅棒夹持装置11的移动方向一致;单晶硅棒夹持装置11通过条形开口与运动组件传动连接。在运动组件的驱动下,单晶硅棒夹持装置11可以沿着条形开口的长度方向移动。

为了避免喷淋液长期遗留在顶板2上,顶板2可以设置成具有坡度的形状,在进一步的实施例中,所述顶板2由中部向两侧边倾斜设置。这样的设置使得喷淋至顶板2上的喷淋液会顺着倾斜的方向滑落。具体地,所述顶板2可以为圆滑的曲面,也可以为由两个倾斜面组成折线形。

为了避免喷淋液从通道4的两个端口处洒进通道4内,在进一步的实施例中,所述通道的两端口分别设置有端板,所述端板用于密封通道的两个端口。这样的设置不仅可以进一步地保证通道4的密封性,还可以避免切割的单晶硅棒的碎片或其他杂质掉落至通道4内。同样地,两个端板5与顶板2、侧板3、基座1的连接方式可以采用焊接的方式,这样可以保证通道4的密封性,两个端板5与顶板2、侧板3、基座1的连接方式也可以采用螺栓固定的方式,这样的方式可以便于拆卸,便于更换和更换运动组件,也便于清理通道4。

同样地,所述端板也可以由金属材质制成,如不锈钢、铁或铜,优选使用不锈钢制成,这样的设置不仅使得单晶硅棒夹持装置用防水底座可以避免运动组件与喷淋液接触而生锈,同时还可以避免自身与喷淋液接触而生锈。

在进一步的实施例中,所述基座1设置有直线滑轨6,所述直线滑轨6位于通道4内,且直线滑轨6的长度方向与单晶硅棒夹持装置11的移动方向一致。单晶硅棒夹持装置11的底座可以呈L形,单晶硅棒夹持装置11的底座可以设置于直线滑轨6相适配的滑槽,单晶硅棒夹持装置11的底座可以通过条形开口穿至通道4内,且通过滑槽可滑动地设置于直线滑轨6处,运动组件与单晶硅棒夹持装置11的底座传动连接。这样则可以使得单晶硅棒夹持装置11的底座可以在运动组件的驱动下,沿着直线滑轨6移动。

为了便于单晶硅棒夹持装置11的设置,在进一步的实施例中,所述直线滑轨6设置有两个,两个直线滑轨6平行设置;两个侧板3均开设有条形开口,且两个条形开口相对设置;单晶硅棒夹持装置用防水底座还包括移动支架9,所述移动支架9的底部设置有两个滑块10,所述滑块10的底部均开设有与直线滑轨6相适配的滑槽;所述移动支架位于通道内,且移动支架的两侧边均由条形开口穿至通道外;两个滑块分别通过滑槽可滑动地设置于两个滑轨处;单晶硅棒夹持装置11与移动支架9穿于条形开口外的侧边连接,运动组件与移动支架9传动连接。在运动组件的驱动下,移动支架9可以带着单晶硅棒夹持装置11沿着直线滑轨6移动。

运动组件可以为旋转电机12,旋转电机12的输出轴设置齿轮13,因此,在进一步的实施例中,所述基座1还可以设置有齿条8,所述齿条8位于通道4内,且与直线滑轨6平行设置。旋转电机12的机体穿过移动支架9,且与移动支架9固定连接,旋转电机12的输出轴朝下设置,且旋转电机12的输出轴的齿轮13与齿条8啮合。在旋转电机12启动后,旋转电机12的输出轴旋转,旋转的输出轴带着齿轮13同步旋转,旋转的齿轮13沿着齿轮13移动,从而可以带着旋转电机12的机体、移动支架9、单晶硅棒夹持装置11沿着直线滑轨6移动。

为了避免直线滑轨6与喷淋液的接触,在进一步的实施例中,两个直线滑轨6的底部均设置于有垫块7,所述移动支架9的中部向上凸起至两个滑块10均可通过滑槽可滑动地一一设置于两个滑轨处。所述垫块可以起到垫高直线滑轨的作用。

在进一步的实施例中,所述基座1设置有放置单晶硅棒15的单晶硅棒支撑架14,所述单晶硅棒支撑架14包括两个架子和支撑杆,两个架子设置于通道4的两个端口处,所述支撑杆位于顶板2的上方,支撑杆的底面与两个架子连接,且支撑杆的长度方向与单晶硅棒夹持装置11的移动方向一致。

需要说明的是,尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述,但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此,基于本实用新型的创新理念,对本文所述实施例进行的变更和修改,或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域,均包括在本实用新型的专利保护范围之内。

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