一种石墨卡点的装夹机构的制作方法

本实用新型涉及装夹机构，具体涉及一种石墨卡点的装夹机构。

背景技术：

一般的，石墨舟是为硅片镀膜提供载体的一种装置。石墨舟由多个舟片组成，舟片上设置有卡点用于固定住硅片。卡点对硅片的固定作用十分重要。由于卡点的体积较小，很难进行加工。根据不同的镀膜环境，卡点会需要进行铣边加工。由于卡点体积较小很难进行固定，加工出的卡点尺寸偏差较大。这样加工出来的石墨卡点很难对硅片进行固定，严重影响石墨舟的镀膜效率。如何解决这一问题变得至关重要。

现有的方案，将石墨卡点并列放置在夹具的槽内，对石墨卡点进行铣边加工。这样的方案存在以下问题：(1)在铣边加工时，石墨卡点会发生旋转，造成加工尺寸的偏差；(2)夹具固定安装在加工设备上，夹具的拆装十分不便。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种石墨卡点的装夹机构，以解决现有技术中在铣边加工时石墨卡点会发生旋转造成加工尺寸的偏差和夹具固定安装在加工设备上夹具的拆装十分不便等问题。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种石墨卡点的装夹机构；

包括夹紧所述石墨卡点的夹块、夹紧所述夹块的压紧装置、固定所述夹块的固定机构和限制所述夹块移动的限位块；所述石墨卡点置于所述夹块内；所述限位块围绕所述固定机构设置；所述夹块安装在所述固定机构上。

进一步的技术方案为：所述夹块上开设有放置所述石墨卡点的卡点槽和连通所述卡点槽的间隙槽。

进一步的技术方案为：所述压紧装置包括扣住所述夹块的固定块和顶住所述夹块的顶杆；所述顶杆螺纹连接在所述固定块上。

进一步的技术方案为：所述夹块上设置有限位槽；所述限位块嵌入所述限位槽内。

进一步的技术方案为：所述固定机构包括连通气源的固定座和拉紧所述夹块的拉杆。

进一步的技术方案为：所述夹块上靠近所述固定座的一端开设有拉紧槽；所述拉杆嵌入所述拉紧槽内；所述拉杆拉紧所述夹块上靠近所述固定座的一端。

本实用新型的有益效果如下：本实用新型设计了一种石墨卡点的装夹机构采用压紧装置夹紧夹块。采用固定机构固定住夹块。石墨卡点的装夹机构带来了如下效果：(1)夹块通过压紧装置夹紧石墨卡点，避免加工时的尺寸偏差；(2)通过固定机构固定住夹块，夹块可以很方便的进行拆装；(3)通过限位块限制住夹块的移动，避免在加工时夹块产生晃动；(4)通过将石墨卡点放置在卡点槽内，对石墨卡点进行限制，方便进行加工。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的俯视结构图。

图中：1、夹块；11、卡点槽；12、间隙槽；13、限位槽；2、压紧装置；21、固定块；22、顶杆；3、固定机构；31、固定座；32、拉杆；33、拉紧槽；34、固定孔；4、限位块；5、固定柱。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实施例的具体实施方式。

图1为本实用新型的结构示意图。图2为本实用新型的俯视结构图。结合图1和图2所示，本实用新型公开了一种石墨卡点的装夹机构。图中x的方向为本实用新型结构示意图的上端，图中y的方向为本实用新型结构示意图的右端。石墨卡点的装夹机构包括压紧装置2、夹紧石墨卡点的夹块1、固定夹块1的固定机构3和限制夹块1移动的限位块4。

石墨卡点放置于夹块1内。压紧装置2夹紧夹块1。限位块4围绕固定机构3设置。夹块1安装在固定机构3上。

夹块1上开设有放置石墨卡点的卡点槽11和连通卡点槽11的间隙槽12。

优选的，夹块1为长方形。优选的，卡点槽11为多个。卡点槽11并列开设于夹块1的上表面。优选的，卡点槽11为仿形槽。石墨卡点从卡点槽11的上端放入卡点槽11内。石墨卡点的外表面接触卡点槽11的内表面。

通过卡点槽11，使得夹块1可以一次装夹加工多个石墨卡点。提高了生产效率，避免了多次装夹造成加工位置偏移。卡点槽11对石墨卡点起到限制作用，方便进行加工。

间隙槽12开设于夹块1的上表面。间隙槽12左右方向水平开设于夹块1的上表面。通过间隙槽12，夹块1内形成有间隙。通过间隙槽12，方便压紧装置2夹紧夹块1。

压紧装置2包括扣住夹块1的固定块21和顶住夹块1的顶杆22。顶杆22螺纹连接在固定块21上。

压紧装置2对称安装于夹块1的左右两端。固定块21分别扣住夹块1的左端和夹块1的右端。优选的，固定块21为c字形。

顶杆22设置于固定块21的后端。顶杆22的前端穿过固定块21的后端。顶杆22与固定块21采用螺纹连接，顶杆22沿固定块21的后端旋进或旋出。夹块1通过压紧装置2夹紧石墨卡点，避免加工时石墨卡点出现尺寸偏差。

当顶杆22旋进时，顶杆22靠近夹块1，顶杆22的前端顶住夹块1的后表面。夹块1夹紧固定石墨卡点。

当顶杆22旋出时，顶杆22远离夹块1，顶杆22的前端不再顶住夹块1的后表面。夹块1松开石墨卡点。

夹块1上设置有限位槽13。限位块4嵌入限位槽13内。

夹块1的下表面设置有固定柱5。优选的，固定柱5为圆柱形。固定柱5设置于夹块1下表面的中间位置。固定柱5的上端固定连接夹块1的下端。固定柱5的上表面贴合夹块1的下表面。

限位槽13围绕固定柱5设置。限位槽13开设于夹块1的下表面。限位槽13分别开设于夹块1下表面的前端、夹块1下表面的后端、夹块1下表面的左端和夹块1下表面的右端。

固定机构3包括连通气源的固定座31和拉紧限位块4的拉杆32。

固定座31的上端设置有限位块4。固定座31的上端固定连接限位块4的下端。固定座31的上表面贴合限位块4的下表面。限位块4分别设置于固定座31上表面的前端、固定座31上表面的后端、固定座31上表面的左端和固定座31上表面的右端。

当夹块1安装在固定机构3上时，限位块4嵌入限位槽13内。限位块4的外表面贴合限位槽13的内表面。通过限位块4限制夹块1的移动，避免在加工时夹块1产生晃动。限位块4限制夹块1的前后方向移动、左右方向移动和上下方向的旋转。

夹块1上靠近固定座31的一端开设有拉紧槽33。拉杆32嵌入拉紧槽33内。拉杆32拉紧夹块1上靠近固定座31的一端。

固定座31上设置有固定孔34。固定孔34开设于固定座31的上表面。当夹块1安装在固定机构3上时，固定柱5嵌入固定孔34内。

固定柱5上靠近固定座31的一端开设有拉紧槽33。拉紧槽33开设于固定柱5外表面的下端。拉紧槽33围绕固定柱5的外表面开设。

拉杆32设置于固定孔34内。拉杆32围绕固定孔34内设置。当固定柱5嵌入固定孔34内时，拉杆32向内移动，拉杆32嵌入拉紧槽33内。固定座31连通气源后，拉杆32向外移动，拉杆32向外拉紧固定柱5。拉杆32通过拉紧固定柱5实现对夹块1下端的固定。

拉杆32嵌入拉紧槽33内的一端设置有拉杆凸台。拉杆凸台通过弹簧连接在拉杆32上。拉杆凸台安装在拉杆32的外表面。拉杆32嵌入拉紧槽33内后，拉杆凸台向上弹出，拉杆凸台勾住固定柱5。

通过固定机构3可以很方便的拆装夹块1。将夹块1放置在固定机构3上，连通气源就可以完成装夹。关闭气源后，将夹块1从固定机构3上取出就可以完成拆卸。

夹块1采用可拆卸式的，采用两个夹块1交替循环使用。当一个夹块1安装在固定机构3上进行加工时，另一个夹块1进行装卸石墨卡点。加工和拆卸可以同时进行，提高了生产的效率。

本实施例中，所描述的卡点槽11为仿形槽，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他形状的卡点槽。

此外，本说明书中，使用了“长方形”、“c字形”和“圆柱形”等词语，它们并不是精确的“长方形”、“c字形”和“圆柱形”，可以是能够发挥其功能的范围内的“大致长方形”、“大致c字形”和“大致圆柱形”的状态。

此外，本说明书中，使用了“两个”和“多个”等数量，但不限定于此，可以是能够发挥其功能的范围内的其他数量。

在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在不违背本实用新型的基本结构的情况下，本实用新型可以作任何形式的修改。