专利名称：裁切气体管路的方法与装置的制作方法
裁切气体管路的方法与装置
技术领城
本发明涉及一种裁切气体管路的方法与装置，特别是涉及一种减少气 体外泄的裁切气体管路的方法与装置。
背景技术：
随着积体电路的技术越来越成熟，对于积体电路厂房设备规模的要求 也越来越高，而其中管路配设的复杂程度也随之提升。举例而言，半导体 制程工场中的扩散制程、离子布植制程，与薄膜沉积制程中，常会用到种 种气体以进行反应。
厂房中所使用的气体可能包含有一般气体，如氮气、氩气等，也可能 包含有危险气体，如具腐蚀性的氨气、溴化氢、六氟化钨与三氟化硼等，具 强氧化力的氧气.臭氧、三氟化氮等，易燃且有毒的的硅烷、二氯硅烷
(dichlorosilane; DCS)、三氯硅烷(Tribhlorosilane; TCS)、氢气与四乙氧基硅 烷等，或是具有毒性的氯气、三氢化磷与氢化硼等。上述的危险气体若是 不小心外漏，将会造成人员与设备的损失。
现有习知的裁切气体管路方法是为以切管器或锯片直接锯断气体管 路，虽然简单，却隐含些许风险。在进行气体管路裁切时，即使已将气体 源关闭，管路中所残存的气体，仍会由切断管路所产生的开口逸散漏出，若 是不小心误切到正在使用中的管路，更会导致大量的气体漏出，若是漏出 的是危险气体，则可能会导致人员中毒、腐蚀人员与设备，或者有爆炸的 危险。因此，需要一种裁切气体管路的方法，能在裁切气体管路时，减少 或防止管中残存的危险气体溢出所造成的伤害。
有鉴于上述现有的裁切气体管路的方法存在的缺陷，本发明人基于从 事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用， 积极加以研究创新，以期创设一种新的裁切气体管路的方法与装置，能够 改进一般现有的裁切气体管路的方法，使其更具有实用性，经过不断的研 究、设计，并经反复试作及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。
发明内容
本发明的主要目的在于，克服现有的裁切气体管路的方法存在的缺陷， 而提供一种新的裁切气体管路的方法，所要解决的技术问题是使其减少裁 切时管中残存气体溢出，从而更加适于实用。
本发明的另 一 目的在于，克服现有的裁切气体管路的装置存在的缺陷，
而提供一种新型结构的裁切气体管路的装置，所要解决的技术问题是使其 减少不慎误切管路时，管中的危险气体溢出所造成的影响。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据
本发明提出的一种裁切气体管路的方法，包括以下步骤选择一气体管路； 夹钳或滚压该气体管路，以形成一颈形区间于该气体管路；以及切割该颈 形区间，以裁切该气体管路。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的裁切气体管路的方法，其中所述的夹钳或滚压该气体管路包含 封闭该气体管路，以形成该颈形区间。
前述的裁切气体管路的方法，其中所述的夹钳或滚压该气体管路包含 半封闭该气体管路，以形成该颈形区间。
前述的裁切气体管路的方法，其中所述的气体管路包含一气体，其中
该气体是于该气体管路中流动。
前述的裁切气体管路的方法，其中所述的气体是为一般气体。 前述的裁切气体管路的方法，其中所述的气体是为一危险气体。 本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明 提出的一种裁切气体管路的装置，以裁切一气体管路，包含 一夹钳或滚 压装置，用以夹钳或滚压该气体管路，并形成一颈形区间于该气体管路； 以及一切割装置，用以切割该颈形区间，以裁切该气体管路。.
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。 前述的裁切气体管路的装置，其中所述的颈形区间是为该气体管路的 一封闭区间。
前述的裁切气体管路的装置，其中所述的颈形区间是为该气体管路的 一半封闭区间。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上可知，为了 达到上述目的，本发明提供了一种裁切气体管路的方法，包含选择一气体 管路，接着夹钳或滚压此气体管路，以形成一颈形区间于气体管路，以及 切割颈形区间，以裁切气体管路。夹钳或滚压气体管路的步骤，包含封闭 或半封闭此气体管路，以形成颈形区间。气体管路可为一金属管路，如一 铜管路或为一不锈钢管路。气体管路亦可为一聚氯乙烯塑胶管路。气体管 路可包含一气体，其中气体是于气体管路中流动。气体可为一一般气体或 为一危险气体。危险气体可为一有毒气体、 一易爆气体、或具有腐蚀性。
本发明的另一实施例是为一种裁切气体管路的装置，以裁切一气体管 路。裁切气体管路的装置包含一夹钳或滚压装置与一切割装置。夹钳或滚 压装置是用以夹钳或滚压气体管路，并形成一颈形区间于气体管路，切割 装置是用以切割颈形区间，以裁切气体管路。
借由上述技术方案，本发明裁切气体管路的方法与装置至少具有下列
优点
借由夹钳或滚压气体管路所形成的颈形区间，可有效地降低裁切气体 管路时，管中残存气体漏出的情形，且可避免不慎误切管路时，管中的气 体，特别是危险气体外泄的状况。如此一来，可降低裁切气体管路时，管 中的气体外泄对于人员及设备造成损伤的情形。
综上所述，本发明具有上述诸多优点及实用价值，其不论在方法、产 品结构或功能上皆有较大的改进，在技术上有显著的进步，并产生了好用 及实用的效果，且较现有的裁切气体管路的方法与装置具有增进的突出功 效，从而更加适于实用，并具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、 实用的新设计。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的 技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和 其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附 图，详细说明如下。
附圉说明
图1是显示本发明的裁切气体管路的方法一较佳实施例的流程图。 图2是显示本发明的裁切气体管路的装置的一夹钳的结构示意图。 图3是显示本发明的裁切气体管路的装置的一切割装置的结构示意图。 100:方法 110:步骤
120:步骤 130:步骤
200:气体管路 210:气体
220:颈形区间 300:裁切气体管路的装置
310:夹钳或滚压装置 320:切割装置
具体实施例方式
以下将以图式及详细说明清楚说明本发明的精神，任何所属技术领域 中具有通常知识者在了解本发明的较佳实施例后，当可由本发明所教示的 技术，加以改变及修饰，其并不脱离本发明的精神与范围。
请参阅图1所示，其是本发明的裁切气体管路的方法一较佳实施例中 不同步骤的流程图。方法100中的步骤110是为选择待切的一气体管路200, 且气体管路200中包含一气体210，于气体管路200中流动。步骤120是为 夹钳或滚压气体管路200，以形成一颈形区间220于气体管路200。接下来 的步骤130是为切割颈形区间220，以裁切气体管路200。
气体管路200中的气体210是为厂房中所使用的气体，气体210可为
一般气体，如氮气或氩气。厂房中所使用的气体210亦可能为一危险气体， 如为具腐蚀性的氨气、溴化氢、六氟化鵠与三氟化硼等，或为具强氧化力 的氧气、臭氧、三氟化氮等，或为易爆且有毒的的硅烷、二氯硅烷
(dichlorosilane; DCS)、三氯硅烷(Trichlorosilane; TCS)、氬气与四乙氣基硅 烷等，或为具有毒性的氯气、三氩化磷与氬化硼等。此类的危险气体若是 在裁切时溢出的浓度过高，则可能会造成人员或设备的损伤。气体管路200 所使用的材料可配合气体210的特性，且较佳地为具有可产生形变的特性， 以形成颈形区间220。气体管路200可为一金属管路，如一铜管路，或为一 不锈钢管路，气体管路200亦可为一塑胶管路，如一聚氯乙烯塑胶管路。
步骤120的夹钳或滚压气体管路200，可包含封闭气体管路200,以形 成颈形区间220,并借由此封闭的颈形区间220，隔绝颈形区间220两端的 气体210的流动，以使进行步騍130的裁切气体管路200时，管内残存的 气体210不会从切割处的颈形区间220溢出，以减少管内残存气体210，特 别是危险气体，对于周遭环境的影响。或者，夹钳或滚压气体管路200的 步骤120亦可包含半封闭此气体管路200，以形成颈形区间220，并借由半 封闭的颈形区间220，减少于步骤130的裁切气体管路200时，管内残存气 体210流出的量，以降低危险气体对周遭的危害。若是在裁切气体管路200 时，不慎误切到正在使用中的气体管路200，则可借由封闭或半封闭气体管 路200所形成的颈形区间220,减少气体210漏出的情形，以降低危险气体: 对人员或设备造成损伤的可能性。
请参阅图2和图3所示，其是本发明的裁切气体管路的装置的示意图。 裁切气体管路的装置300包含一夹钳或滚压装置310与一切割装置320。夹 钳或滚压装置310是用以夹钳或滚压图1中的气体管路200，以形成颈形区 间220于气体管路200上，而切割装置320是用以切割颈形区间220，以裁 切气体管路200。
颈形区间220可为一封闭区间，以阻隔气体管路200中的气体210的 流动。或者，颈形区间220可为一半封闭区间，以减少气体管路200中气 体210的流动，以于裁切气体管路200时，减少管中残存的气体210漏出 的情形。夹钳或滚压装置310可为常见的装置，如手动的老虎钳、或电动 的加压机构等。切割装置320亦可为常见的装置，如手动或电动的锯片或 切管器等。
由上述本发明较佳实施例可知，应用本发明具有下列优点。借由夹钳 或滚压气体管路形成的颈形区间，可有效地降低裁切气体管路时，管中残 存气体漏出的情形，且可避免不慎误切管路时，管中的气体，特别是危险 气体外泄的状况。如此一来，可降低裁切气体管路时，管中的气体外泄对 于人员及设备造成损伤的情形。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式 上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发 明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利 用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但 凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所 作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1、一种裁切气体管路的方法，其特征在于其包括以下步骤选择一气体管路；夹钳或滚压该气体管路，以形成一颈形区间于该气体管路；以及切割该颈形区间，以裁切该气体管路。
2、 根据权利要求1所述的裁切气体管路的方法，其特征在于其中所述的夹钳或滚压该气体管路包含封闭该气体管路，以形成该颈形区间。
3、 根据权利要求1所述的裁切气体管路的方法，其特征在于其中所述的夹钳或滚压该气体管路包含半封闭该气体管路，以形成该颈形区间。
4、 根据权利要求1所述的裁切气体管路的方法，其特征在于其中所述的气体管路是为一金属管路或一塑胶管路。
5、 根据权利要求l所述的裁切气体管路的方法，其特征在于其中所述的气体管路包含一气体，其中该气体是于该气体管路中流动。
6、 根据权利要求5所述的裁切气体管路的方法，其特征在于其中所述的气体是为一般气体。
7、 根据权利要求5所述的裁切气体管路的方法，其特征在于其中所述的气体是为一危险气体。
8、 一种裁切气体管路的装置，以裁切一气体管路，其特征在于包含一夹钳或滚压装置，用以夹钳或滚压该气体管路，并形成一颈形区间于该气体管路；以及一切割装置，用以切割该颈形区间，以裁切该气体管路。
9、 根据权利要求8所述的裁切气体管路的装置，其特征在于其中所述的颈形区间是为该气体管路的一封闭区间。
10、 根据权利要求8所述的裁切气体管路的装置，其特征在于其中所述的颈形区间是为该气体管路的一半封闭区间。
全文摘要
本发明是关于一种裁切气体管路的方法与装置。一种裁切气体管路的方法，包含选择一气体管路，并夹钳或滚压此气体管路，以形成一颈形区间于气体管路上，接着切割颈形区间，以裁切气体管路。颈形区间可为一封闭区间或为一半封闭区间，并借由颈形区间阻隔气体管路中一气体的流动，以减少裁切时，气体管路中残存的气体外泄的情形。一种用以裁切气体管路的装置，以裁切一气体管路，包含一夹钳或滚压装置，用以夹钳或滚压该气体管路，并形成一颈形区间于该气体管路；以及一切割装置，用以切割该颈形区间，以裁切该气体管路。
文档编号B26D7/08GK101172347SQ20061015036
公开日2008年5月7日 申请日期2006年10月30日 优先权日2006年10月30日
发明者刘享星, 彭建国, 洪煜堃 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司