专利名称：多级传输机器人的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多级传输机器人，更具体地涉及一种传输基片的多级传输机 器人。
技术背景 有机发光显示器件(OLED)最普遍的结构是类三文治(Organic Thin FilmsLaminated Between Two Electrodes)结构，在基板上利用各种镀膜制程制作有包括 阴极(Cathode)、阳极(Anode)、电子传输层(ETL)、电子注入层(EIL)、空穴传输层(HTL)、空 穴注入层(HIL)、RGB三色有机发光层(EML)等八种膜层结构。这八种膜层的生成通常需要 八个不同的成膜腔体，同时某些镀膜制程需要有掩膜(MASK)以便形成图案化膜层，这样就 需要至少一个掩膜与基片贴合、分离的腔体和至少一个掩膜存储腔体，因此一个完整的有 机发光显示器件(OLED)成膜过程需要至少十个腔体，也就是说基片会在至少十个腔体间 传输。为了满足不同工艺要求和设备集成化需要，降低生产周期，一般的采用集束式腔体镀 膜，如图1所示。基片通过滚轮等直线传输机构进入集束式腔体11'，然后通过置于集束式 腔体11'中心的传输机器人100'将基片在不同的制程腔体12'内传输。传输机器人100'最外一级为基片承载级，为了减轻机器人手臂的重量以及机器 人的负载一般都采用薄板状手臂。随着有机发光显示器已被视为继当前占统治地位的液晶显示器(LCD)或等离 子显示器(P DP)之后的新一代平板显示器(FPD)，其相应的尺寸也逐渐扩大，目前已有 470mmX 370mm尺寸器件。这就意味着需要更大的腔体和集束系统进行镀膜制程，即用于集 束式腔体内基片传输的机器人的运动半径将扩大，其承载级手臂将承受更大重量的基片同 时其尺寸将会更长。随着传输基片尺寸的扩大，承载基片的机器人手臂为了满足应力要求 和传输半径扩大的要求，必须做的更厚，才能保证在其长度变长、承载重量增大后不会出现 弯曲变形，甚至折断。然而这样一方面会浪费材料，另一方面严重加大了机器人的负载，降 低其使用周期。为了克服上述缺点，急需一种多级传输机器人结构，最大限度的降低机器人负载， 制造简单，维修方便，能够满足尺寸日益增大的基片的承载需要。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种多级传输机器人，所述多级传输机器人能将基片传 入集束式腔体上的各个支撑腔体内，或从各个制成腔体内取出基片，制造简单，维修方便， 能够满足尺寸日益增大的基片的承载需要。为了实现上述目的，本实用新型提供了一种多级传输机器人，适用于基片的传输， 包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，所述第一级传输机械手臂及 所述第二级传输机械手臂均呈片状结构，所述第一级传输机械手臂与所述第二级传输机械 手臂均具有第一连接部与第二连接部，所述驱动装置与所述第一级传输机械手臂的第一连接部铰接，所述第一级传输机械手臂的第二连接部与所述第二级传输机械手臂的第一连接 部铰接，其中，还包括第三级传输机械手臂，所述第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基 片支撑段和基片承载段，所述基片支撑段与所述基片承载段固定连接，所述基片承载段上 安装有支撑减振机构，所述支撑减振机构包括至少两个支撑块，所述支撑块上表面呈弯折 结构，所述弯折结构形成台阶，所述支撑块分别固定于所述基片承载段上，且所述支撑块的 台阶之间形成承载基片的承载区，所述台阶上开设有凹槽，所述凹槽内容置有弹性橡胶带， 所述弹性橡胶带凸出所述凹槽。较佳地，所述支撑减振机构还包括中支撑件，所述中支撑件固定连接于所述基片 承载段上并位于所述承载区中心处，所述中支撑件的顶面呈球面状且所述中支撑件的顶面 的最高点与所述台阶位于同一平面。设置所述中支撑件是为了更好地承载基片，由于基片 的边缘是置于所述支撑块进行承载，但是随着工艺的发展，基片的尺寸日益增大，如果大尺 寸的基片只有边缘的承载，而中间部位如果悬空就会容易使得基片变形，甚至可能损坏基 片，又由于所述中支撑件的顶面的最高点与所述台阶同位于一平面，因此保证了承载于所 述支撑块上的基片的边缘和中间部位受力均勻，因此可有效地防止基片的变形。较佳地，所述基片支撑段与所述基片承载段分别具有连接部，所述基片支撑段与 所述基片承载段通过所述基片支撑段的连接部与所述基片承载段的连接部固定连接。所述 基片支撑段的连接部与所述基片承载段的连接部通过螺钉固定 连接。较佳地，所述凹槽为燕尾槽，所述弹性密封圈的截面呈圆形。由于燕尾槽的特点在 于上部狭窄下部宽大，狭窄的上部易于对上述弹性密封圈进行定位，而宽大的下部便于减 小弹性密封圈的压强，有利于延长弹性密封圈的使用寿命。较佳地，所述支撑段由若干个呈片状结构的支撑板首尾叠加相连构成。可根据本 实用新型多级传输机器人的运动半径的大小来决定由几块支撑板叠加相连构成所述支撑 段。较佳地，所述第三级传输机械手臂的长度大于所述第一级传输机械手臂与所述第 二级传输机械手臂的长度之和。设置所述第三级传输机械手臂的长度大于所述第一级传输 机械手臂与所述第二级传输机械手臂的长度之和的目的是方便实现所述第三级传输机械 手臂在不同方向上的换向，容易使得所述第三级传输机械手臂实现整个圆周换向。与现有技术相比，本实用新型多级传输机器人还包括第三级传输机械手臂，所述 第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，所述基片支撑段与所述 基片承载段固定连接，所述基片承载段上安装有支撑减振机构，所述支撑减振机构包括至 少两个支撑块，所述支撑块上表面呈弯折结构，所述弯折结构形成台阶，所述支撑块分别固 定于所述基片承载段上，且所述支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，所述台阶上开 设有凹槽，所述凹槽内容置有弹性橡胶带，所述弹性橡胶带凸出所述凹槽。在承载有同样重 量的基片时，本实用新型多级传输机器人由于具有所述基片支撑段与所述基片承载段固定 连接，比现有技术的整体机械手臂承受弯曲变形的能力明显加强，绕度明显改善。因此本实 用新型多级传输机器人可以承载尺寸加大的基片、可以满足更大的应力要求以及达到更加 大的传输半径。而且所述支撑块的台阶之间形成基片的所述支撑减振机构能对基片进行一 个很好的定位，台阶上开设有凹槽，所述凹槽内容置有弹性橡胶带，所述弹性橡胶带凸出所 述凹槽。因此当基片置入于所述基片承载段时，基片是承载于所述弹性橡胶带上，所述弹性橡胶带对基片起到支撑和减振的作用，能有效地保护基片不受损坏。通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本实用新型的实施例。
图1是现有的传输机器人在集束型腔体中的结构示意图。图2a是本实用新型多级传输机器人在集束型腔体中的结构示意图。图2b是本实用新型多级传输机器人的结构示意图。图3是本实用新型多级传输机器人中基片支撑段与基片承载段连接的结构示意 图。图4是本实用新型多级传输机器人中的第三级传输机械手臂承载基片的结构示 意图。
具体实施方式
现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如上所述，如图2a、图2b、图3及图4所示，本实用新型提供的多级传输机器人100，用 于基片的传输，包括驱动装置201、第一级传输机械手臂202及第二级传输机械手臂203，所 述第一级传输机械手臂202及所述第二级传输机械手臂203均呈片状结构，所述第一级传 输机械手臂202具有第一连接部202a与第二连接部202b，所述第二级传输机械手臂203具 有第一连接部203a与第二连接部203b，所述驱动装置201与所述第一级传输机械手臂202 的第一连接部202a铰接，所述第一级传输机械手臂202的第二连接部202b与所述第二级 传输机械手臂203的第一连接部203a铰接，其中，还包括第三级传输机械手臂204，所述第 三级传输机械手臂204包括呈片状结构的基片支撑段2040和基片承载段2041，所述基片支 撑段2040与所述基片承载段2041固定连接，所述基片承载段2041上安装有支撑减振机构 21，所述支撑减振机构21包括至少两个支撑块22，所述支撑块22上表面呈弯折结构，所述 弯折结构形成台阶22d，所述支撑块22分别固定于所述基片承载段2041上，且所述支撑块 22的台阶22d之间形成承载基片的承载区401a，所述台阶22d上开设有凹槽22b，所述凹槽 22b内容置有弹性橡胶带22c，所述弹性橡胶带22c凸出所述凹槽22b。当基片通过滚轮等 直线传输机构进入集束式腔体11内时，由于本实用新型多级传输机器人100位于集束式腔 体11中心处，使得基片在本实用新型多级传输机器人100的作用下实现在不同的制程腔体 12内的传输。较佳者，所述支撑减振机构21还包括中支撑件23，所述中支撑件23固定连接于 所述基片承载段2041上并位于所述基片承载段2041的承载区401a的中心处，所述中支撑 件23的顶面23a呈球面状且所述中支撑件23的顶面23a的最高点与所述台阶22d位于同 一平面。设置所述中支撑件23是为了更好地承载基片，由于基片的边缘置于所述支撑块 22进行承载，但是随着工艺的发展，基片的尺寸日益增大，如果大尺寸的基片只有边缘的承 载，而中间部位如果悬空就会容易使得基片变形，甚至可能损坏基片，又由于所述中支撑件 23的顶面23a的最高点与所述台阶22d同位于一平面，因此保证了承载于所述支撑块22上 的基片的边缘和中间部位受力均勻，因此可有效地防止基片的变形。较佳者，所述基片支撑段2040具有基片支撑段连接部2040a，所述基片承载段2041具有基片承载段连接部2041a，所述基片支撑段2040与所述基片承载2041段通过所 述基片支撑段连接部2040a与所述基片承载段连接部2041a固定连接。具体地，所述基片 支撑段连接部2040a与所述基片承载段连接部2041a通过螺钉101固定连接。较佳者，如图4所示，所述凹槽22b为燕尾槽，所述弹性密封圈22c的截面呈圆形。 由于燕尾槽22b的特点在于上部狭窄下部宽大，狭窄的上部易于对所述弹性密封圈22c进 行定位，能使得所述弹性密封圈22c固定于所述凹槽22b，保证了置于所述弹性密封圈22c 上的基片不易出现水平方向的移动，而宽大的下部便于减小弹性密封圈22c的压强，有利 于延长弹性密封圈22c的使用寿命。较佳者，所述支撑段2040由若干个呈片状结构的支撑板首尾叠加相连构成。可根 据本实用新型多级传输机器人100的运动半径的大小来决定由几块支撑板叠加相连构成 所述支撑段。较佳者，如图2b所示，所述第三级传输机械手臂204的长度大于所述第一级传输 机械手臂202与所述第二级传输机械手臂203的长度之和。设置所述第三级传输机械手臂 204的长度大于所述第一级传输机械手臂202与所述第二级传输机械手臂203的长度之和 的目的是方便实现所述第三级传输机械手臂203在不同方向上的换向，容易使得所述第三 级传输机械手臂204实现整个圆周换向。 结合图2a_图4，本实用新型多级传输机器人100由于还包括第三级传输机械手臂 204，所述第三级传输机械手臂204包括呈片状结构的基片支撑段2040和基片承载段2041， 所述基片支撑段2040与所述基片承载段2041固定连接，所述基片承载段2041上安装有支 撑减振机构21，所述支撑减振机构21包括至少两个支撑块22，所述支撑块22上表面呈弯 折结构，所述弯折结构形成台阶22d，所述支撑块22分别固定于所述基片承载段2041上，且 所述支撑块22的台阶22d之间形成承载基片的承载区401a，所述台阶22d上开设有凹槽 22b，所述凹槽22b内容置有弹性橡胶带22c，所述弹性橡胶带22c凸出所述凹槽22b。在承 载有同样重量的基片时，本实用新型多级传输机器人100由于具有所述基片支撑段2040与 所述基片承载段2041固定连接，使得本实用新型第三级传输机械手臂204比现有技术的整 体机械手臂承受弯曲变形的能力明显加强，绕度明显改善。因此本实用新型多级传输机器 人100可以承载尺寸加大的基片、可以满足更大的应力要求以及达到更加大的传输半径。 而且所述支撑块22的台阶22d之间形成的所述支撑减振机构21能对基片进行一个很好的 定位，台阶22d上开设有凹槽22b，所述凹槽22b内容置有弹性橡胶带22c，所述弹性橡胶带 22c凸出所述凹槽22b。因此当基片置入于所述基片承载段2041时，基片是承载于所述弹 性橡胶带22c上，所述弹性橡胶带22c对基片起到支撑和减振的作用，能有效地保护基片不 受损坏。以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭 示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
权利要求一种多级传输机器人，适用于基片的传输，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，所述第一级传输机械手臂及所述第二级传输机械手臂均呈片状结构，所述第一级传输机械手臂与所述第二级传输机械手臂均具有第一连接部与第二连接部，所述驱动装置与所述第一级传输机械手臂的第一连接部铰接，所述第一级传输机械手臂的第二连接部与所述第二级传输机械手臂的第一连接部铰接，其特征在于还包括第三级传输机械手臂，所述第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，所述基片支撑段与所述基片承载段固定连接，所述基片承载段上安装有支撑减振机构，所述支撑减振机构包括至少两个支撑块，所述支撑块上表面呈弯折结构，所述弯折结构形成台阶，所述支撑块分别固定于所述基片承载段上，且所述支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，所述台阶上开设有凹槽，所述凹槽内容置有弹性橡胶带，所述弹性橡胶带凸出所述凹槽。
2.如权利要求1所述的多级传输机器人，其特征在于所述支撑减振机构还包括中支 撑件，所述中支撑件固定连接于所述基片承载段上并位于所述承载区中心处，所述中支撑 件的顶面呈球面状且所述中支撑件的顶面的最高点与所述台阶位于同一平面。
3.如权利要求1所述的多级传输机器人，其特征在于所述基片支撑段与所述基片承 载段分别具有连接部，所述基片支撑段与所述基片承载段通过所述基片支撑段的连接部与 所述基片承载段的连接部固定连接。
4.如权利要求3所述的多级传输机器人，其特征在于所述基片支撑段的连接部与所 述基片承载段的连接部通过螺钉固定连接。
5.如权利要求1所述的多级传输机器人，其特征在于所述凹槽为燕尾槽，所述弹性密 封圈的截面呈圆形。
6.如权利要求1所述的多级传输机器人，其特征在于所述支撑段由若干个呈片状结 构的支撑板首尾叠加相连构成。
7.如权利要求1所述的多级传输机器人，其特征在于所述第三级传输机械手臂的长 度大于所述第一级传输机械手臂与所述第二级传输机械手臂的长度之和。
专利摘要本实用新型公开了一种多级传输机器人，包括驱动装置、第一级传输机械手臂及第二级传输机械手臂，其中，还包括第三级传输机械手臂，第三级传输机械手臂包括呈片状结构的基片支撑段和基片承载段，基片支撑段与基片承载段固定连接，基片承载段上安装有支撑减振机构，支撑减振机构包括支撑块，支撑块上表面呈弯折结构，弯折结构形成台阶，支撑块分别固定于基片承载段上，且支撑块的台阶之间形成承载基片的承载区，台阶上开设有凹槽，凹槽内容置有弹性橡胶带，弹性橡胶带凸出凹槽。本实用新型能将基片传入集束式腔体上的各个支撑腔体内，或从各个制成腔体内取出基片，制造简单，维修方便，能够满足尺寸日益增大的基片的承载需要。
文档编号B25J9/08GK201586970SQ20092023678
公开日2010年9月22日 申请日期2009年9月30日 优先权日2009年9月30日
发明者刘惠森, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司