切断装置的制作方法

专利名称：切断装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及覆盖基板的覆盖片的切断技术。
背景技术：
玻璃基板或半导体晶片这样的基板，为保护其表面有时由覆盖片覆盖。例如，在太阳能电池模块基板中，保护接受太阳光的受光面同时构成太阳能电池模块基板的多个部件以多层构成，要把这些部件统合在一起构成也要使用覆盖片。为了去掉覆盖片中从基板周边伸出的端缘部，必须将其切断。因此，提出了切断覆盖片的端缘部的装置(日本特开 2001-320069号公报，日本特公平07-049189号公报)。在这样的装置中，为很好地切断覆盖片的端缘部，在切断端缘部的过程中必须保持基板不发生错位。在日本特开2001-320069号公报中，公开了具备吸附保持基板下面的多个真空吸附头的装置。另外，在日本特公平07-049189号公报中，公开了具备夹着保持基板两侧部的基板用夹持器的装置。但是，在如日本特公平07-049189号公报所示夹着保持基板的方式中，难以在与夹持器抵接的基板的两侧部对覆盖片进行修边，为在基板整周对覆盖片进行修边，必须重新握持基板。因此，如日本特开2001-320069号公报所示，吸附基板下面的方式在不必重新握持基板这一点是理想的。另一方面，在对覆盖片进行修边时若基板周缘振动，则妨碍顺畅地切断。如日本特开2001-320069号公报所示，在构成为纵横地配置多个吸附头的情况下， 有时在各尺寸的基板的周缘不能适当地配置吸附头的情况，会产生不能充分保持基板周缘的情况。而且，为对应多个尺寸的基板必须要有多个吸附头，在保持小尺寸基板的情况下， 存在不被用于吸附的浪费的吸附头。

发明内容
本发明的目的是根据基板的尺寸更切实地保持其周缘，很好地切断覆盖片的端缘部。根据本发明，提供一种切断装置，该切断装置保持覆盖有覆盖片的矩形基板，将从矩形基板的周缘伸出的所述覆盖片的端缘部切断，其特征在于，所述切断装置具备周缘保持机构和移动引导机构，该周缘保持机构具备载置所述矩形基板的周缘部的周缘载置部、 和吸附所述矩形基板的周缘的周缘吸附部，所述周缘保持机构设置在所述矩形基板的每一个边上，该移动引导机构对相向的所述周缘保持机构的相互接近/离开方向的移动进行引导。本发明的其它特征将根据以下实施方式的(参照附图的)描述而变得明了。


图1是本发明的一个实施方式的切断装置A的俯视图。图2是切断装置A的主视图。
图3是头单元H的立体图。图4是头单元H的一部分构成的分解立体图。图5是驱动単元13的剖视图。图6A是定位按压单元30的剖视图。图6B是控制装置300的方框图。图7A是沿图1的线I-I的周缘保持単元60的剖视图。图7B是沿图1的线II-II的回收单元80的剖视图。图7C是从回收单元80的端部侧观看该回收単元的图。图8是回收単元80’的说明图。图9是移动引导单元90的说明图。图IOA是外侧传送器100的俯视图。图IOB是外侧传送器100的侧视图。图IOC是外侧传送器100的主视图。图IOD是外侧传送器100的动作说明图。图11是处在中央保持単元70与外侧传送器100之间的基板1的交接动作的说明图。图12是处在中央保持単元70与外侧传送器100之间的基板1的交接动作的说明图。图13A是沿图1的线III-III的中央保持単元70及内侧传送器200的剖视图。图13B及图13C是中央保持単元70及内侧传送器200的动作说明图。图14A及图14B是示教的说明图。图15是示教的说明图。图16及图17是定位动作的说明图。图18 图21是修边动作的说明图。
具体实施例方式〈装置的概略〉图1是本发明的一个实施方式的切断装置A的俯视图，图2是切断装置A的主视图。另外，在图2中省略外侧传送器100的图示。图中，箭头X及Y表示在水平方向相互正交的两个方向，箭头Z表示垂直方向。切断装置A具备移动单元MUl及MU2、使移动单元MUl及MU2在Y方向移动的移动单元My、周缘保持単元60、中央保持単元70、回收单元80、移动引导単元90、外侧传送器 100和内侧传送器200，这些构成由在图中以简易方式图示的框架F支承。基板1例如是玻璃板，在本实施方式中，设定为矩形的基板。基板1含有相互相向的第一组边la、la和第二组边lb，lb。基板1在图1及图2中由未图示的覆盖片2覆盖。 如后面所叙述地，切断装置A以使边la、Ia与X方向平行、边lb、Ib与Y方向平行的方式定位基板1，保持水平姿态，切断从基板1的各边伸出的覆盖片2的端缘部。<移动单元My>移动单元My分別独立地将移动単元MUl及MU2向与基板1的边Ib平行的方向(在本实施方式中为Y方向)移动。在本实施方式中，移动单元My具有在X方向相互离开、 在Y方向延伸的一对导轨部51。导轨部51具有在其上面向Y方向延伸设置的引导槽51a。在一个导轨部51，设置由引导槽51a引导、可在导轨部51上移动的两个驱动滑块 52，在另ー个导轨部51，设置由引导槽51a引导、可在导轨部51上移动的两个从动滑块53。 驱动滑块52与从动滑块53成組，在本实施方式的情况下，设置两组的驱动滑块52和从动滑块53。各驱动滑块52具有各自独立的驱动源，独立地在导轨部51上自动行迸。作为使驱动滑块52自动行进的机构，采用例如设于导轨部51的滚珠丝杠及与该滚珠丝杠螺纹接合的滚珠螺母的滚珠丝杠机构。各驱动滑块52可以设置成具备滚珠螺母、和保持该滚珠螺母自由旋转同时使滚珠螺母旋转的旋转驱动机构(例如，中空马达)。各从动滑块53其自身虽没有自动行进机构，但也可以构成其自身可自动行进的驱动机构，使之与驱动滑块52 同步驱动地进行驱动控制。在各组的驱动滑块52与从动滑块53，架设移动単元MUl或MU2的导轨部41。导轨部41向X方向延伸，由驱动滑块52的Y方向的移动向Y方向移动。由此，可以使移动单元MUl及MU2各自独立地向Y方向移动。 <移动单元MUl及MU2>移动单元MUl及MU2各自具备头单元H、和支承头单元H且使头単元H在与基板1 的边Ia平行的方向(在本实施方式为X方向)移动的移动机构Mx。在本实施方式，在移动単元MUl及MU2中，各头单元H和各移动机构Mx为相同的构成，但也可以是不同的构成。<移动机构Mx>移动机构Mx具备其两端部由驱动滑块52、从动滑块53支承并沿X方向延伸的导轨部41。导轨部41具有在其上面沿X方向延伸设置的引导槽41a。在导轨部41上，设有由引导槽41a引导、可在导轨部41上移动的驱动滑块42。驱动滑块42是与上述的驱动滑块52同样的机构，在导轨部41上自动行迸。头单元H中的旋转升降単元20固定在驱动滑块42上。这样，在本实施方式，通过由驱动滑块42的移动使头単元H沿X方向移动，由移动单元My使移动单元MUl及MU2沿Y方向移动，使各头单元H可以在X-Y平面上移动。另外，切断装置A具备用于检测头単元H的X-Y方向位置的未图示的传感器装置。 作为这样的传感器，可以列举例如检测驱动滑块42、52的位置的传感器装置，更具体地可以列举在驱动滑块42、52的驱动源为马达时检测马达旋转量的传感器(例如编码器)。<头单元H>參照图1至图3对头单元H的构成进行说明。图3是头单元H的立体图。头单元 H具备切断単元10、定位按压单元30、和使切断単元10旋转并升降的旋转升降単元20。另外，在本实施方式，由于定位按压单元30搭载在切断単元10的主支承部11上，所以由旋转升降単元20使定位按压单元30也与切断単元10 —起旋转、升降。<旋转升降単元20>旋转升降単元20具备轴体21、及使轴体21围绕其轴心(图2中的虚线Li)旋转同时使轴体21升降的机构(未图示)。轴体21在与基板1的基板面的法线方向平行的方向(Z方向)延长。在本实施方式，切断単元10连结在轴体21上，通过使轴体21旋转，可以使切断单元10围绕Z方向的旋转中心轴(图2中的虚线Li)旋转，保持其旋转角度，同吋，通过使轴体21升降，可以使切断単元10沿Z方向升降。通过使切断単元10旋转，保持其旋转角度，可以调整与包含修边对象的边Ia或Ib 的基板1的基板面垂直的面(在本实施方式为Z方向的垂直面)和形成圆板切刀14的平面(在本实施方式为Z方向的垂直面)之间的角度(交叉角度)。通过调整保持该角度，可以使圆板切刀14相对基板1的端缘以适当的角度抵接来进行切断，可以防止切断覆盖片时基板1的端缘损伤。另外，通过使切断単元10升降，可以调整圆板切刀14相对与平行于基板1的基板面上的法线方向的方向垂直的面(在本实施方式为Z方向的垂直面)和形成圆板切刀14 的平面(在本实施方式为Z方向的垂直面)的切断刀位置(高度位置)。由于可以这样地调整圆板切刀14的朝向和切断刀位置，所以可以根据覆盖片的型号以最适当的傾斜度及切断刀位置沿边la、lb切断覆盖片。另外，通过使定位按压单元 30升降，在定位基板1时，进行定位按压单元30的抵接部件32与基板1在Z方向的对位， 接着进行圆板切刀14的切断位置的对位。作为使轴体21旋转升降的机构采用公知的机构。例如，作为使轴体21旋转的机构，可以列举马达等驱动源与齿轮机构或传送带机构等机构的组合。作为保持轴体21的旋转角度的机构，例如在把伺服马达作为驱动源的情况下，可以利用伺服马达的电磁锁定功能，或者也可以另外设置以可解除的方式限制轴体21旋转的锁定机构。另外，作为使轴体 21升降的机构，可以列举马达等驱动源和齿轮齿条机构等机构的组合。另外，旋转升降単元20具备用于检测切断単元10的旋转角度(旋转位置)和Z 方向位置的未图示的传感器装置。作为这样的传感器，可以举出例如在使轴体21旋转并升降的驱动源各自是马达的情况下、检测马达的旋转量的传感器(例如，编码器)。<切断单元10>參照图3至图5对切断単元10进行说明。图4是头单元H的一部分构成的分解立体图，特別表示切断単元10的主要构成。图5是驱动単元13的剖视图。在本实施方式， 作为切断単元10，采用使圆板切刀14旋转并切断覆盖片的机构，但不限于此。例如可以采用由固定的切刀切断覆盖片的机构等其他种类的切断机构。切断単元10具有板状的主支承部11、连结旋转升降単元20的轴体21与主支承部 11的连结部12、和相对基板1的面方向(在本实施方式为水平方向)垂直地支承圆板切刀 14并使其旋转的驱动单元13。驱动单元13具有具备垂直部和水平部、截面形状为大体L字形的支承部(滑块)131。驱动部132安装在支承部131的垂直部的背面侧(与圆板切刀14侧相反的一侧)。驱动部132具备作为驱动源的马达132a、和使马达13 的输出减速的减速机132b。 在减速机132b上连接圆板切刀14的旋转轴体133的后端部133b，由马达13 的旋转使旋转轴体133围绕其轴心旋转。旋转轴体133在其前端部具有安装圆板切刀14的安装部133a，在安装部133a的旁边形成凸缘状的圆板切刀抵接部133c。在安装部133a，依次安装带止转键槽的圆板切刀 14、按压部件135、固定部件134，固定部件134卡合在安装部133a的前端。在固定部件134 和按压部件135之间放入弾性部件136。在本实施方式，弾性部件136是螺旋弹簧。由弾性部件136的弾力，按压部件135向圆板切刀14侧被施力，在圆板切刀抵接部133c和按压部件135之间夹持着圆板切刀14，因而，可以抑制圆板切刀14的旋转振动。旋转轴体133沿水平方向延伸设置，当在该旋转轴体133上安装圆板切刀14吋， 形成圆板切刀14的平面成为相对水平面垂直的面。然后，调整切断単元10相对旋转升降単元20的连结位置，使得旋转升降単元20的旋转中心轴(图2的线Ll 垂直方向)包含在与包含圆板切刀14的平面(在本实施方式为垂直面)平行的平面上。该调整可以通过连结部12的形状、连结部12与主支承部11的连结位置中的至少任意一个调整来完成。通过这样调整，可以使圆板切刀14位于旋转升降単元20的旋转中心轴的正下方，因而，具有在使用旋转升降単元20使切断単元10旋转吋，容易调整圆板切刀14所形成的平面相对基板1的边la、lb的傾斜度的优点。旋转轴体133由球轴承138a轴支承。球轴承138a嵌插在筒状的支承部件138的后端部侧的内周壁内，由螺纹固定的固定部件138d实现脱出防止。另外，在旋转轴体133的后端部侧螺纹安装着固定用环133d，在固定用环133d和球轴承138a之间设有固定用筒体 13；3ム通过在旋转轴体133螺纹接合固定用环133d，向前端侧拧进固定用环133d，固定旋转轴体133的轴方向上的固定用环133d的位置。由此，固定用环133d与固定用筒体13 抵接，固定用筒体13 与球轴承138a抵接。由此，定位了支承部件138的轴方向的旋转轴体133的相对位置。在形成干支承部件138上的小径部138s的前端侧，在小径部138s的内侧构成密封部138c，密封部138c的内周面与从旋转轴体133的圆板切刀抵接部133c连续到后端部侧地形成的第一径部133f的外周面紧密接触。利用该密封部138c，防止覆盖片的切屑等进入球轴承138a。另外，在支承部件138上，形成与在圆板切刀抵接部133c和支承部件138 之间设置的间隙连通的空气通路138b。从未图示的空气供给部向空气通路138b供给压缩空气，该压缩空气被供给到由旋转轴体133、支承部件138及密封部件138c围成的空间(间隙)。由此，该间隙内部的气压升高，产生从间隙向外部(大气侧)的气流，可以进一歩防止覆盖片的切屑等进入球轴承138a。筒体137以圆板切刀14为界与圆板切刀14的后端部侧的面(背面)接近地配置， 设置成围绕旋转轴体133的圆板切刀抵接部133c的外周面。筒体137自由空转地安装在支承部件138的前端部外周面的小径部。然后，由圆板切刀14的后端部侧的面和在支承部件138的前端部外周面上形成的小径部的阶梯部，限定筒体137的旋转轴体133的轴心方向的移动。由圆板切刀14切断的覆盖片的切除部分有时成为帯状，缠绕在旋转轴体133的周围。在本实施方式，通过在圆板切刀14的背面部位自由空转地设置筒体137，在切除部分与筒体137接触时(到达上面时)，由于筒体137空转，所以可以防止切断部分缠绕在筒体 137 上。接着，參照图4对驱动単元13的进退机构进行说明。在支承部131的水平部的上面固定一对滑动部件131a。在主支承部11的下面固定引导滑动部件131a的一对导轨部件 111。导轨部件111及滑动部件131a沿圆板切刀14的旋转中心线方向(旋转轴体133的轴方向)延伸设置，驱动单元13借助干支承部131支承在主支承部11上，同时由导轨部件 111引导，在圆板切刀14的旋转中心线方向自由进退。在主支承部11上设有止动部11加、112b，通过止动部11 与设于支承部131上的止动部131b抵接，止动部112b与支承部131的背面抵接，由此限制驱动单元13即圆板切刀14的移动范围。在主支承部11的下面，设有始终对驱动单元13向接近基板1的方向施力的施力部113。施力部113具备传递部件113a、支承轴113b、支承部113c、弾性部件113d和承受部件li:3e。支承轴11 延伸设置成与导轨部件111平行，其两端部由支承部113c支承。 传递部件113a是具有供支承轴11 贯通的孔的L字形的部件，由支承轴11 引导而能够移动。另外，在传递部件113a的下部连结驱动单元13的支承部131。支承轴11 在承受部件11 中贯通，在传递部件113a和承受部件113e之间，以由支承轴IHb插通的方式安装弾性部件113d。弾性部件113d在本实施方式是螺旋弹簧， 是向使传递部件113a和承受部件11 相互离开的方向施力的压缩螺旋弹簧。该弹性部件 113d的施力通过传递部件113a传递给支承部131。由于弹性部件113d的施力，连结在传递部件113a上的驱动单元13(圆板切刀14) 始终向接近基板1的方向被施力。为此，在切断覆盖片吋，可以使圆板切刀14与基板1的边la、Ib稳定地抵接，实现覆盖片的顺畅切断。另外，即使预先确定的切断位置和实际定位的基板的切断位置错位，只要在弾性部件113d的施カ行程的范围内，就可以吸收该错位的量而切断覆盖片。而且，在从基板1的边la、lb的中途开始切断覆盖片的情况下，即使圆板切刀14与边la、Ib抵接，通过圆板切刀14被按压向与接近方向相反的方向，弾性部件113d 挠曲，也可以吸收圆板切刀14抵接时的冲击。<定位按压单元30>參照图1至图4及图6A，特別是图6A，说明定位按压单元30。图6A是定位按压单元30的剖视图。定位按压单元30具备固定于切断単元10的主支承部11上的本体部31。 在本体部31上固定有抵接部件32。定位按压单元30以抵接部32位于比圆板切刀14更靠近基板1的位置的方式配置安装在主支承部11上。抵接部件32是用于与基板1的ー个边(在本实施方式，边la)抵接、由此对基板1 进行定位的部件。抵接部件32的形状虽没特别说明，但在本实施方式，在水平剖面(图6A 中为垂直剖面)形成大体三角形，其前端与基板1的边Ia抵接。在本实施方式，一个头单元H具备两个定位按压单元30，有两个在水平方向分开的抵接部件32。另外，在定位吋，使在水平方向分开的两个抵接部件32与基板1的ー个边抵接，进行基板1的定位。但是，对于ー个头单元H，也可以把抵接部件32设为ー个。在这种情况下，与基板1的边抵接的部分优选的是在边的纵向具有一定宽度的面状。接着，在本体部31上设有在Z方向贯通的孔31a，轴34插入在该孔31a中。在孔 3Ia的中部形成大径部32b，弾性部件35放置在大径部32b中。在本实施方式，弾性部件35 是螺旋弹簧。轴34在其中部形成凸缘部34a，该凸缘部3 放置在大径部32b中，同时由弹性部件35始终压向下方。在轴34的下端部固定着按压部件33。按压部件33是用于从基板1的表面侧(上面侧)向保持単元60的上面按压基板1的端部的部件，例如，是下面平滑的塑料等。在本实施方式，通过用该按压部件33缓缓地按压基板1的端部，可以将基板1压向后面叙述的构成于保持単元60的吸附部62，切实地进行吸附保持。这可以防止在有基板1所产生的微小变形的情况下因在吸附部和基板之间产生空间而造成的吸附不良。
如后面所述，在切断覆盖片前，按压部件33配置在基板1的上方，由旋转升降単元 20形成的切断単元10的下降，被压向基板1的表面。此时，作为反作用力，从基板1对按压部件33及轴34作用向上方移动的力，但由弹性部件35形成的施力，按压部件33以适当的按压カ把基板1压向保持単元60。另外，在本实施方式，由ー个定位按压单元30构成基板1的定位用単元和基板1 的表面按压用単元，但也可以构成为分开的単元。<周缘保持单元60>參照图1、图2及图7A说明周缘保持単元60。图7A是沿图1的线1_1的周缘保持単元60的剖视图。周缘保持単元60设在基板1的每ー个边la、Ib上，合计设置四个。各周缘保持単元60具备载置基板1的周缘部(边缘区域)的周缘载置部61、吸附基板1的周缘的周缘吸附部62、和支承部件63。支承部件63是沿水平方向延伸设置的方形筒状的管状部件。在四个周缘保持单元60中，与基板1的边la、Ia对应的两个周缘保持単元60的各支承部件63沿X方向延伸设置，与基板1的边lb、lb对应的两个周缘保持単元60的各支承部件63沿Y方向延伸设置。各支承部件63借助于周缘载置部61及周缘吸附部62从其下方水平支承基板1。特別是通过水平支承基板1的周缘(各边缘部)，可以很好地进行覆盖片2的修边。周缘吸附部62是真空吸附垫，与支承部件63的内部空间连通。支承部件63借助于配管65与未图示的真空泵连接，真空泵动作，使支承部件63内形成真空状态，由此基板 1的周缘部由周缘吸附部62吸附保持。当由周缘吸附部62吸附基板1的周缘部吋，由其吸附カ使基板1的周缘部被吸引靠向周缘载置部61，紧贴在周缘载置部61上。由此，沿基板1的各边la、la、lb、lb的周缘部水平且切实地被保持，在修边覆盖片2时可以防止基板周缘振动或晃动。其結果，可以很好地切断覆盖片2的端缘部。在本实施方式，不仅把支承部件63作为支承基板1的部件，还作为从周缘吸附部 62吸引空气的空气通路使用，这有利于削减构成部件。周缘吸附部62沿支承部件63的纵向(延伸设置方向)以等间隔设置多个，使基板1的周缘部的吸附カ更牢靠且均勻。周缘载置部61是在其上面载置基板1的周缘部的部分，与支承部件63成为一体或是分体均可。在本实施方式，周缘载置部61形成为与支承部件63分体地固定在支承部件63上的结构。在本实施方式，把周缘载置部61和周缘吸附部62交替地配置。由此，可以使基板1的周缘部遍及其整个区域地以均勻的吸附カ紧贴在周缘载置部61上。〈回收单元80>參照图1、图2、图7B及图7C说明回收单元80。图7B是沿图1的线II-II的回收単元80的剖视图，图7C是从其端部侧观看回收单元80的图。回收单元80分別配置在各个周缘保持単元60的外側，合计设置四个。回收单元 80是用于回收被切断后的覆盖片2的端缘部的装置。由此，可以防止被切断的覆盖片2的端缘部散乱。在本实施方式，回收单元80沿邻接的周缘保持単元60，在沿基板1的边la、lb的方向(即X方向或Y方向)延伸设置，具备传送器81和回收导向部件82。横剖面为U字形的回收导向部件82在两侧部具备向上方开ロ逐渐变大那样地倾斜的引导部82a、82a，设在传送器81周围，把从覆盖片2切断落下的端缘部引导至传送器81。在两个引导部82a、82a中，位于内侧(周缘保持単元60侧)的引导部82a的上端如本实施方式所示，位于比周缘载置部61的上面更靠下侧的位置是理想的，进而，位于比周缘载置部61的外边缘更靠内侧(中央保持単元70侧)的位置是理想的。由此，可以提高从覆盖片2被切断落下的端缘部的获取能力。传送器81设在回收导向部件82的底部，是具备一对带轮81a、和缠绕在一对带轮 81a上的环形传送带81b的带式传送帯。一对带轮81a中的一个由马达等的驱动部(未图示)驱动旋转，由此传送带81b行迸。当由切断単元10切断的覆盖片2的端缘部落在传送带81b上吋，由传送带81b的行迸，如图7B的箭头所示，向沿基板1的边Ia或Ib的方向(即X方向或Y方向)输送端缘部，从回收単元80的端部落向下方。如图1及图2所示，在回收单元80的端部下方配设回收箱db，从回收単元80的端部落向下方的端缘部被收纳在回收箱db中。这样可以回收被切断的端缘部。另外，传送带 81b既可以在修边操作中始终行迸，也可以设成定期行迸。另外，端缘部的回收也可以是吸引输送。图8是表示另一例的回收单元80’的说明图，相当于图7B的剖视图。在该图的例子中，回收导向部件82’呈向着其纵向的中央部整体地倾斜的漏斗状，接受并回收从覆盖片2被切断落下的端缘部。吸引装置84通过配管 83与回收导向部件82’的纵向的中央部连接。吸引装置84例如包含真空泵等，吸引回收导向部件82’内的被切断的端缘部，排向回收箱db。く移动引导单元90>參照图1、图2及图9说明移动引导単元90。图9是移动引导单元90的说明图， 表示移动基座部件91X、91X、91Y、91Y(以下，总称时称为移动基座部件91)的间隔不同的两种方式。移动引导単元90引导相向的周缘保持単元60、60在相互接近/分开方向上的移动。因为可以调整相向的周缘保持単元60、60之间的间隔，所以可根据基板1的尺寸保持其周缘(各边缘)。在本实施方式，移动引导単元90具备移动引导单元MGX、移动引导単元MGY、和载置它们的共同的基座部件93。基座部件93在平面观看时是十字形的板体。通过共同使用基座部件93，在安装移动引导単元MGX及MGY吋，可以把基座部件93的上面作为共同的基准面。其結果，可以在周缘保持単元60的移动前后提高周缘载置部61的上面的水平精度。 另外，由于在安装各周缘保持単元60吋，可以以周缘载置部61的上面为基准，所以容易进行组装，同时容易进行各周缘保持単元60的周缘载置部61的载置面的高度对位。移动引导単元MGX使移动基座部件91Χ、91Χ沿X方向接近、分开，移动引导単元 MGY使移动基座部件91Υ、91Υ沿Y方向接近、分开。各移动基座部件91借助支柱部件64搭载周缘保持単元60。移动引导単元MGX具备引导移动基座部件91Χ、91Χ的X方向的滑动移动的引导部件92。引导部件92分别设在移动基座部件91Χ的Y方向两端部，沿X方向延伸固定在基座部件93上。另外，与设于移动基座部件91Χ的下面的滑动部卡合，引导移动基座部件91的移动。移动引导単元MGX具备用于使移动基座部件9IX、9IX的移动连动的传送带传动机构94。传送带传动机构94具备自由旋转地由基座部件93支承并沿X方向分开的ー对带轮 94a、和缠绕在一对带轮94a间的环形的传送带94b。移动基座部件91X、91X借助连结部件 94c,94c固定在传送带94b上。移动基座部件9IX、9IX相对于传送带94b的固定部位，设为各传送带94b的行进方向不同的部位。为此，移动基座部件91X、91X相互朝相反方向移动。移动引导単元MGX具备用于使移动基座部件91X、91X沿引导部件92移动的驱动机构95。移动引导単元MGX的驱动机构95使一个移动基座部件91X移动，但利用上述的传送带传动机构94则会使两个移动基座部件9IX、9IX移动。驱动机构95具备固定于基座部件93上的马达95a、由马达9 驱动旋转的滚珠丝杠95b、固定在基座部件93上并轴支承滚珠丝杠9 的端部的轴支承部95c、和连结部件 95d。滚珠丝杠9 沿X方向延伸。连结部件95d具有与滚珠丝杠9 啮合的滚珠螺母，同时与移动基座部件91X连接。为此，若驱动马达9 使滚珠丝杠9 旋转吋，则移动基座部件91X就会移动。移动基座部件91X、91X的位置由检测滚珠丝杠95b的旋转量的编码器等未图示的传感器进行检測。这样，在本实施方式，可以通过马达95a的驱动，自动地进行移动基座部件91X、 91X之间的间隔调整、即载置于这些自动调整移动基座部件91X、91X上的周缘保持単元60、 60的间隔调整。另外，在本实施方式，这样采用了滚珠丝杠机构，但也可以是其他种类的机构。移动引导単元MGY的构成也与移动引导単元MGX—祥。即，移动引导単元MGY具备引导移动基座部件91Y、91Y的Y方向的滑动移动的引导部件92。引导部件92分别设在移动基座部件91Υ的X方向两端部，沿Y方向延伸并固定在基座部件93上。另外，与设在移动基座部件91Υ的下面的滑动部卡合，引导移动基座部件91Υ的移动。移动引导単元MGY具备用于使移动基座部件91Υ、91Υ的移动连动的传送带传动机构94。传送带传动机构94具备由基座部件93自由旋转地支承并沿Y方向分开的ー对带轮 94a、和缠绕在一对带轮94a间的环形的传送带94b。为了避免移动引导単元MGX的传送带 94b和移动引导単元MGY的传送带94b的干渉，它们在沿Z方向错开的位置行迸。移动基座部件91Y、91Y借助于连结部件Mc、Mc固定在传送带94b上。移动基座部件91Y、91Y相对于传送带94b的固定部位，设为各传送带94b的行进方向不同的部位。为此，移动基座部件91Y、91Y相互朝相反方向移动。移动引导単元MGY具备用于使移动基座部件91Υ、91Υ沿引导部件92移动的驱动机构95。移动引导単元MGY的驱动机构95是与移动引导単元MGX的驱动机构95相同的构成，在此，滚珠丝杠95b的延伸方向是Y方向。通过使移动引导単元MGY也具备驱动机构 95，可以自动进行移动基座部件91Y、91Y间的间隔调整、即载置于这些自动调整移动基座部件91Υ、91Υ上的周缘保持単元60、60的间隔调整。另外，在本实施方式，在各移动基座部件91上还载置回收单元80。由此，在周缘保持単元60移动时，由于回收単元80也同时移动，所以可以把回收单元80始终定位在相对于周缘保持単元60最合适的位置，可以对应基板的多个尺寸。〈外侧传送器100>參照图1、图IOA至图12说明外侧传送器100。图IOA是外侧传送器100的俯视图，图IOB是外侧传送器100的侧视图，图IOC是外侧传送器100的主视图，图IOD是外侧传送器100的动作说明图。图11及图12是处在中央保持単元70和外侧传送器100之间的基板1的交接动作的说明图。如图1所示，在本实施方式，外侧传送器100在Y方向分开地设置两个。在该图中，下侧的外侧传送器100用于搬入修边前的基板1，上侧的外侧传送器100用于搬出修边完成后的基板1。另外，在图1中，任意一个外侧传送器100都被省略一部分。參照图IOA 10D，外侧传送器100具备两列第一传送器101、和设在它们之间的第二传送器102。第一传送器101是具备一对带轮101a、和缠绕在一对带轮IOla间的环形的传送带IOlb的带式传送器。一对带轮IOla中的ー个由马达等驱动部(未图示)驱动旋转，由此传送带IOlb行迸。传送带IOlb的行进方向是Y方向。第二传送器102具备轴体10 和自由辊10沘。在各个第一传送器101的内侧侧面设有引导部件103，第二传送器102借助于引导部件103由传送器101支承，同时与传送带IOlb的行进方向同方向地自由进退。图IOA表示第二传送器102处于退避位置的情況， 图IOD表示第二传送器102处于前出位置的情況。第二传送器102设置用以能够改变第一传送器101的输送距离。在前出位置，第二传送器102形成与第一传送器101连续的输送路径。即是，延长了可用第一传送器101的驱动カ进行输送的基板1的输送距离。在退避位置，第二传送器102置于第一传送器101的整个长度内，可用第一传送器101的驱动カ进行输送的基板1的输送距离没有延长。外侧传送器100还具备成为使第二传送器102进退的驱动源的促动器104。促动器104在此是汽缸，通过联杆部10 的移动使第二传送器102进退。如图1所示，第一传送器101配置在由四个周缘保持単元60围起的区域外，需要跨越周缘保持単元60把基板1送往中央保持単元70。在此，在由切断単元10进行修边操作吋，周缘保持単元60上的空间必须预先空出。因此，在本实施方式，设置第二传送器102，构成为只在搬入基板1时才使其位于前出位置。如图11及图12所示，在前出位置，第二传送器102跨越周缘保持単元60，同时形成与第一传送器101连续的输送路径。当基板1的搬入结束吋，回到由周缘保持单元围起的区域外的退避位置。在搬出基板1时也是同样的动作。<中央保持単元70及内侧传送器200>參照图1、图2及图13A 13C说明中央保持単元70及内侧传送器200。图13A 是沿图1的线III-III的中央保持単元70及内侧传送器200的剖视图，图1 及图13C是中央保持単元70及内侧传送器200的动作说明图。基板1的保持由周缘保持単元60就足够了，但在大型基板的情况下存在中央松弛的情況。因此，在本实施方式，设置保持基板1的中央部分的中央保持単元70。參照图1及图13A，中央保持単元70具备载置基板1的中央部的板状的中央载置部71。中央载置部71其上面形成载置基板1的水平面，在其中央部分形成开ロ部71a。与开ロ部71a面对，配置吸附基板1的中央部的中央吸附部72。中央吸附部72是从其背面侧保持基板1的真空吸附垫，与未图示的真空泵连接。中央吸附部72借助干支承体73由框架F固定支承。另ー方面，中央载置部71用由支承体73支承的升降装置74、74在Z方向升降。 升降装置74可以列举組合有汽缸或马达等驱动源和齿轮齿条机构等机构的驱动机构。图13A表示中央载置部71处于下降的位置的情況，在该情况下，中央载置部71的上面和各周缘载置部61的上面在同一水平面上。内侧传送器200设有两列，都是与外侧传送器100的第一传送器100相同的输送方向。内侧传送器200是具备一对带轮201、和缠绕在一对带轮201间的环形的传送带202 的带式传送器。一对带轮201中的一个由马达等的驱动部(未图示)驱动旋转，由此传送带202行迸。传送带202的行进方向是Y方向。两个内侧传送器200用梁状的连结部件210、210连结。在连结部件210、210和框架F之间配设升降装置220、220，内侧传送器200、200沿Z方向升降。升降装置220可以举出組合了如汽缸或马达等驱动源和齿轮齿条机构等机构的驱动机构。图13A表示内侧传送器200、200处于下降的位置的情況，在该情况下，如该图所示，内侧传送器200、200的输送面位于比处于下降位置的中央载置部71的上面更低的位置。如图1所示，内侧传送器200、200配置在由四个周缘保持単元60围起的区域内， 在外侧传送器100和中央保持単元70之间进行基板1的交接。下面对搬入基板1时的动作进行说明。首先，如图1 所示，内侧传送器200、200用升降装置220上升到上升位置。在这种情况下，如该图所示，内侧传送器200、200的输送面位于比处于下降位置的中央载置部 71的上面高的位置。在该状态下，如參照图11、图12所说明的那样，使外侧传送器100的第二传送器102移动到前出位置，驱动内侧传送器200和第一传送器101。修边对象的基板 1用机械手装置等输送到第一传送器101上，按第一传送器101ヰ第二传送器102ヰ内侧传送器200的顺序输送基板1，用未图示的传感器检测基板1的位置来控制输送量。由此，可以使基板1位于中央保持単元70的上方。接着，外侧传送器100的第二传送器102返回至退避位置，如图13C所示，内侧传送器200、200由升降装置220下降，用升降装置74使中央载置部71上升(或在上升的位置待机)。在这种情况下，中央载置部71的上面位于比各周缘载置部61的上面高的位置。 这样，完成基板1向中央载置部71的搬入作业。此后，进行基板1的定位、保持动作，这将在后面叙述。另外，搬出基板1时的动作使用搬出用的外侧传送器100，形成与搬入时大体相反的順序。〈控制装置〉接着，对控制切断装置A的控制装置300进行说明。图6B是控制装置300的方框图。控制装置300具备CPU等处理部301、RAM、ROM、硬盘等存储部302、和界面连接外部设备与处理部301的接ロ部303。处理部301执行存储在存储部302中的程序，根据各种传感器306的检测结果控制各种促动器307。在各种传感器306中包含检测切断単元10的位置的传感器、检测移动基座部件91的位置的传感器等，在各种促动器307中包含马达132a、马达％a等。输入部 304是接受操作者指示的键盘、鼠标等，显示部305是显示各种信息的图像显示装置。く动作例〉接着，对用切断装置A进行的覆盖片2的修边动作进行说明。作为到达修边动作的前面阶段的操作，首先，根据作为对象的基板1的尺寸，调整相向的周缘保持単元60、60 之间的间隔。间隔的调整根据显示基板1的尺寸的尺寸信息，控制驱动机构95的马达95a，以使周缘保持単元60位于基板1的各周缘内侧部分。尺寸信息既可以通过来自输入部304的输入由控制装置300确认，也可以根据来自与控制装置300可通讯连接的上位的计算机的指令由控制装置300确认。另外，也可以在存储部302中预先存储与尺寸信息对应的周缘保持単元60的位置信息，根据该位置信息控制马达95a。根据这样的构成，进ー步实现相向的周缘保持単元60、60之间的间隔调整的自动化。接着，对修边动作进行说明。在本实施方式，移动单元MUl的切断単元10和移动単元MU2的切断単元10分別分担基板1的相互相向的边，对基板1的四个边进行覆盖片2 的修边。切断时的圆板切刀14的朝向(圆板切刀14相对于包含边la、lb的垂直面的交叉角度)，根据由旋转升降単元20形成的切断単元10的旋转角度(旋转量)进行调整，但预先设定最佳值是理想的。另外，由抵接部件32定位时的抵接部件32的位置也预先设定最佳值是理想的。在本实施方式，通过所谓示教预先在存储部302中设定并存储切断时的切断単元10的旋转角度(旋转量)或对应于基板1的尺寸的开始切断位置的数据、或是抵接部件32的位置的数据。图14A、图14B及图15是示教的说明图。图14A表示由抵接部件32进行的定位位置的设定，图14B表示有关切断沿基板1的边Ia的覆盖片的信息的设定，图15表示有关切断沿基板1的边Ib的覆盖片的信息的设定。在所有的情况下，作为基准的样本的基板1都以定位的状态保持在周缘保持単元 60及中央保持単元70上。然后，在使两个头単元H移动到基板1旁边的状态下，操作者通过手动进行切断単元10的旋转或移动，设定各位置。在图14A的例子中，分別在基板1的ー个边Ia上抵接移动单元MUl的两个抵接部件32，在另ー个边Ia上抵接移动单元MU2的两个抵接部件32，在存储部302中存储其抵接时的位置信息。另外，在图14B或图15的例子中，操作者通过手动旋转或移动切断単元10，使圆板切刀14相对于边Ia或边Ib位于最佳的切断位置。另外，在控制装置300中，通过使此时的各切断単元10的位置及旋转量符合切断的基板及覆盖片来进行样本切断动作(基准切断动作)，求出最佳的切断位置(基准切断位置)，存储在存储部302中。如后所述，在本实施方式，在沿边Ia的修边中，由于有使切断単元10沿X方向的ー个方向移动的情况和沿另 ー个方向移动的情況，所以切断単元10的旋转量针对各个情况进行设定。通过以上的示教处理，定位时的位置、切断时的切断単元10的旋转角度(旋转量)或位置的设定结束。接着，參照图16至图21对实际的定位动作及修边动作的例子进行说明。首先，参照图16及图17对由覆盖片2覆盖的基板1的定位动作的例子进行说明。图16的STl表示如图13C所示由覆盖片2覆盖表面的基板1被搬入到中央载置部71上的状态。图17的STll是从X方向观看图16的STl状态的切断装置A的主要部分的图。在该状态下，基板1没有被定位，从原来的位置错开地被载置。周缘吸附部62及中央吸附部72是非吸附状态，处于基板1在中央载置部71上可以水平移动的状态。移动单元MUl及MU2的各头单元H从基板1的边la、Ia沿Y方向分开，位于定位在夹着基板1相向的位置的初期位置上。在该初期位置，其后，抵接部件32的X方向及Z 方向的位置成为根据由示教处理设定的定位用的位置信息的位置，使得只要使头单元H向Y方向移动，就形成由抵接部件32进行的基板1的定位。接着，在抵接部件32的Y方向的位置成为根据由示教处理设定的定位用的位置信息的位置之前，由移动单元My的作用，使移动单元MUl及MU2在相互接近的方向移动(图 16的ST2、图17的STU)。通过各抵接部件32与基板1的边la、Ia抵接(实际上夹着覆盖片2)，完成基板1的定位。在本实施方式，抵接部件32与基板1的边Ia抵接的位置设为边 Ia的中途部(大体正中(中央部))。在本实施方式，由于这样由抵接部件32向基板1的抵接来进行基板1的定位(定中心)，所以可以用比较简单的构成进行基板的定位，可以高效率地切断覆盖片2的端缘部。而且，作为抵接部件32的移动机构，兼用作用于使圆板切刀14移动的机构(移动机构 Mx、My、旋转升降単元20)，不必独自具有抵接部件32的移动用的移动机构，所以成为更为简易的构成。当基板1的定位结束时，如图17的ST13所示，使移动单元MUl及MU2在相互离开的方向移动，使中央载置部71下降(图13A的状态)。由此，基板1与中央载置部71 一起成为被载置在各周缘保持単元60的周缘载置部61上的状态。接着，如图17的ST14所示，使移动单元MUl及MU2在相互接近的方向上移动，使各头单元H下降，用按压部件33缓缓地把基板1的端部按向保持単元60。在按压状态下， 使周缘吸附部62及中央吸附部72成为吸附状态，保持基板1。由此，基板1保持被定位于规定位置(切断位置)的状态。通过用按压部件33按压，在存在基板1所产生的微小变形的情况下，可以防止由于在周缘吸附部62及中央吸附部72和基板1之间、特別是在周缘吸附部62和基板1之间产生空间而导致的吸附不良。接着，使各头单元H上升，使各头单元H(的按压部件3 从基板1退避之后，转移到覆盖片2的修边(切断)动作。在本实施方式，以可以在短时间内从定位动作转移到修边动作的方式，从边Ia的中途部(大体正中)开始切断覆盖片2。由此，由于可以连续进行从定位动作到开始切断的动作，所以可高效率地使用于移动圆板切刀14的机构动作。首先，使各头单元H移动到切断准备位置。其后，通过使圆板切刀14开始旋转同时让头单元H沿Z方向移动，使圆板切刀14移动(按压)到覆盖片2的端缘部侧，从而开始切断。此时，以切断単元10位于开始由圆板切刀14切断覆盖片2的端缘部的切断开始位置的方式，切断単元10的X及Y方向的位置及旋转角度(旋转量)设成为基于由示教处理设定的切断用的信息的位置、旋转角度。然后，通过使头単元H沿基板1的边水平移动(向 X或Y方向的移动)，切断从基板1的边Ia伸出的覆盖片2的端缘部。被切断的端缘部落在回收单元80内，回收到回收箱db中。另外，通过在切断开始位置和由抵接部件32形成的基板1的定位时的位置上预先使X方向的切断単元10的位置共通，在由图17的ST13所示的切断単元10移动时，不需要 X方向的移动，可以用更短的时间从定位动作转移到修边动作。接着，參照图18至图21对实际的修边动作的例子进行说明。如图18的ST3所示， 在本实施方式，为在短时间从定位动作转移到修边动作，从边Ia的中途部(大体正中)开始切断覆盖片2。由各移动机构Mx的作用，使两个切断単元10在X方向且相互朝反方向移动，同时用圆板切刀14沿边Ia切断覆盖片2的端缘部。由于可以对基板1的两个边同时进行覆盖片2的修边，所以操作效率提高。另外，不仅可以直线状切断覆盖片2的端缘部，也可以通过使移动单元My动作来交错状切断覆盖片2的端缘部。如图18的ST4所示，当切断単元10到达边Ia的一个端部吋，就切断从边Ia伸出的覆盖片2的端缘部的大体一半(第一部分切断エ序)。接着，转移到切断剩下一半的操作。首先，通过移动机构Mx及移动单元My的作用，使切断単元10经由图19的ST5所示的准备位置，移动到ST6所示的开始切断位置，开始进行切断。这时，通过旋转升降単元20的动作，使切断単元10的旋转角度成为由示教处理设定的旋转角度。另外，在切断単元10从图18的ST4的位置向图19的ST6的位置移动时，也可以伴随有其Z方向的移动。接着，通过各移动机构Mx的动作，使两个切断単元10在X方向且相互朝反方向移动，同时由圆板切刀14沿边Ia切断覆盖片2的端缘部。在这种情况下，通过使切断単元10 向与第一部分切断エ序中的切断方向相反的方向、即向边Ia的另一端部移动，切断覆盖片 2剩下的端缘部(第二部分切断エ序)。当沿基板1的边Ia完成覆盖片2剩下的端缘部的切断时，转移到沿边Ib的覆盖片2的端缘部的切断操作。首先，使各切断単元10从基板1暂时离开，使各切断単元10旋转到由示教设定的边Ib用的旋转角度，如图20的ST7所示把ー个切断単元10移动到切断开始位置，开始切断覆盖片。在切断从边Ib伸出的覆盖片2的端缘部的情况下，为了防止两个驱动滑块52干涉，按每ー侧来依次进行。图20的ST7表示从移动単元MUl侧进行切断操作的情況。移动単元MU2的切断単元10在离开基板1的位置待机。然后，如图20的ST8所示，由移动单元My的动作使移动单元MUl向ー个Y方向 (图20中为上方)移动，切断在该图中从左侧的边Ib伸出的覆盖片2的端缘部。若完成由移动单元MUl的切断単元10进行的切断，则如图21的ST9所示，就通过把移动单元MU2的切断単元10移动到另ー个Y方向(图20中为下方)，进行从该图右侧的边Ib伸出的覆盖片2的端缘部的切断。此时，移动单元MUl为离开基板1的状态，且向另ー个Y方向移到两个驱动滑块52不干渉的位置。由移动单元MU2进行的切断移动和移动单元MUl的退避移动既可以同时进行，也可以分别进行。当完成从在图21中右侧的边Ib伸出的覆盖片2的端缘部的切断吋，一系列的修边操作结束。其后，对另一基板1反复进行同样的修边操作。这样，在本实施方式，可以接续于基板1的定位连续地进行覆盖片2的端缘部的切断操作，可以提高操作效率。另外，示教处理只对相同尺寸的基板1进行一次即可，当然不必对每块基板1都进行。另外，对边Ib 的切断动作也可以与对边Ia的切断动作同样从边Ib的中途进行切断。以上已经參照实施方式对本发明进行了说明，但应理解到本发明并不限定于上述的实施方式。只要不脱离本发明的技术构思，则本发明应包括所有变型例、等同的结构及功能。
权利要求
1.一种切断装置，该切断装置保持覆盖有覆盖片的矩形基板，将从矩形基板的周缘伸出的所述覆盖片的端缘部切断，其特征在于，所述切断装置具备周缘保持机构，该周缘保持机构具备载置所述矩形基板的周缘部的周缘载置部、和吸附所述矩形基板的周缘的周缘吸附部，所述周缘保持机构设置在所述矩形基板的每一个边上，和移动引导机构，该移动引导机构对相向的所述周缘保持机构的相互接近/离开方向的移动进行引导。
2.如权利要求1所述的切断装置，其特征在于，所述移动引导机构具备第一移动引导机构，该第一移动引导机构对相向的第一组的所述周缘保持机构的相互接近/离开方向的移动进行引导，和第二移动引导机构，该第二移动引导机构对相向的第二组的所述周缘保持机构的相互接近/离开方向的移动进行引导；所述移动弓I导机构还具备搭载所述第一以及第二移动弓I导机构的基座部件。
3.如权利要求1所述的切断装置，其特征在于，所述周缘载置部具备管状部件，该管状部件沿着所述周缘部延伸设置并从下方水平支承所述矩形基板的周缘部，所述周缘吸附部沿着所述管状部件的长度方向设置有多个。
4.如权利要求1所述的切断装置，其特征在于，所述切断装置具备中央保持机构，该中央保持机构具备载置所述矩形基板的中央部的中央载置部、和吸附所述矩形基板的中央部的中央吸附部。
5.如权利要求1所述的切断装置，其特征在于，所述移动引导机构具备移动基座部件，该移动基座部件搭载所述周缘保持机构，导轨部件，该导轨部件对所述移动基座部件的滑动移动进行引导，和驱动机构，该驱动机构使所述移动基座部件沿着所述导轨部件移动。
6.如权利要求5所述的切断装置，其特征在于，所述切断装置具备控制机构，该控制机构基于表示所述矩形基板的尺寸的尺寸信息控制所述驱动机构，以使所述周缘保持机构位于所述矩形基板的各周缘内侧部分。
7.如权利要求1所述的切断装置，其特征在于，所述切断装置具备回收机构，该回收机构分别配置于各个所述周缘保持机构的外侧，回收被切断的所述覆盖片的端缘部。
8.如权利要求7所述的切断装置，其特征在于，所述回收机构具备传送器，该传送器在沿着所述矩形基板的边的方向上输送被切断的所述端缘部，和回收导向部件，该回收导向部件设于所述传送器的周围，将从所述覆盖片被切断而落下的所述端缘部向所述传送器弓I导。
9.如权利要求7所述的切断装置，其特征在于，所述回收机构具备回收导向部件，该回收导向部件配置于各个所述周缘保持机构的外侧，接受并回收从所述覆盖片被切断而落下的所述端缘部，和吸引机构，该吸引机构与所述回收导向部件连通，吸引被所述回收导向部件回收的所述端缘部。
10.如权利要求1所述的切断装置，其特征在于，所述切断装置具备回收机构，该回收机构配置于各个所述周缘保持机构的外侧，回收被切断的所述端缘部，所述移动引导机构具备移动基座部件，该移动基座部件搭载该周缘保持机构和所述回收机构， 导轨部件，该导轨部件引导所述移动基座部件的滑动移动，和驱动机构，该驱动机构使所述移动基座部件沿着所述导轨部件移动。
11.如权利要求4所述的切断装置，其特征在于，所述切断装置具备外侧传送器，该外侧传送器在由所述周缘保持机构围起的区域的外部与该区域的内部之间输送所述矩形基板，和内侧传送器，该内侧传送器配置在所述区域的内部，进行在所述外侧传送器与所述中央保持机构之间的所述矩形基板的交接。
12.如权利要求11所述的切断装置，其特征在于，所述外侧传送器具备第一传送器，该第一传送器配置在由所述周缘保持机构围起的区域的外部，和第二传送器，该第二传送器设置成在前出位置和退避位置自由进退，在该前出位置，所述第二传送器跨越所述周缘保持机构并且形成与所述第一传送器连续的输送路径，在该退避位置，所述第二传送器位于由所述周缘保持机构围起的区域的外部。
13.如权利要求11所述的切断装置，其特征在于，所述切断装置设置有升降机构，该升降机构使所述内侧传送器和所述中央保持机构中的至少任何一方升降。
全文摘要
本发明提供切断装置，其保持覆盖了覆盖片的矩形基板、切断从矩形基板的周缘伸出的所述覆盖片的端缘部。该切断装置具备周缘保持机构，该周缘保持机构具备载置所述矩形基板的周缘部的周缘载置部、和吸附所述矩形基板的周缘的周缘吸附部，并且设置在所述矩形基板的每一个边上。另外，该切断装置具备对相向的所述周缘保持机构的相互接近/离开方向的移动进行引导的移动引导机构。
文档编号B26D7/08GK102554960SQ20111042177
公开日2012年7月11日 申请日期2011年12月16日 优先权日2010年12月17日
发明者古关靖久 申请人:平田机工株式会社