一种微纳操作装置的制作方法

技术特征：
1.一种微纳操作装置，其特征在于，该装置的X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)，X向压电陶瓷线性马达(6)，第三连接件(7)，Z向压电陶瓷线性马达运动杆(8)，Z向压电陶瓷线性马达(9)，第四连接件(10)，Y向压电陶瓷旋转马达旋转盘(11)、Y向压电陶瓷旋转马达(12)和固定件(13)从上到下依次布置，且相邻部件之间为刚性连接，延长杆(3)的一端通过第二连接件(4)与X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)刚性连接，操作器(1)通过第一连接件(2)与延长杆(3)的另一端刚性连接；操作器(1)上连接操作器电源(20)；X向压电陶瓷线性马达(6)和X向驱动电源(17)之间连接X向压电陶瓷线性马达控制器(16)；Z向压电陶瓷线性马达(9)和Z向驱动电源(18)之间连接Z向压电陶瓷线性马达控制器(15)；Y向压电陶瓷旋转马达(12)和Y向驱动电源(19)之间连接Y向压电陶瓷旋转马达控制器(14)；X向压电陶瓷线性马达控制器(16)、Z向压电陶瓷线性马达控制器(15)和Y向压电陶瓷旋转马达控制器(14)分别连接至计算机控制系统(21)。2.根据权利要求1所述的一种微纳操作装置，其特征在于，X向压电陶瓷线性马达(6)由X向压电陶瓷线性马达控制器(16)控制，驱动X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)的运动，通过X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)与操作器(1)之间的部件，带动操作器(1)发生X向步进移动；Z向压电陶瓷线性马达(9)由Z向压电陶瓷线性马达控制器(15)控制，驱动Z向压电陶瓷线性马达运动杆(8)的运动，通过Z向压电陶瓷线性马达运动杆(8)与操作器(1)之间的部件，带动操作器(1)发生Z向步进移动；Y向压电陶瓷旋转马达(12)由Y向压电陶瓷旋转马达控制器(14)控制，驱动Y向压电陶瓷旋转马达旋转盘(11)的转动，通过Y向压电陶瓷旋转马达转盘(11)与操作器(1)之间的部件，带动操作器(1)发生Y向步进移动；实现操作器(1)的X向、Y向和Z向三自由度的单独或同时步进移动。3.根据权利要求1所述的一种微纳操作装置，其特征在于，手动控制X向压电陶瓷线性马达控制器(16)、Z向压电陶瓷线性马达控制器(15)和Y向压电陶瓷旋转马达控制器(14)中的一个或多个，实现X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)、Z向压电陶瓷线性马达运动杆(8)和Y向压电陶瓷旋转马达旋转盘(11)中的一个或多个发生运动，实现操作器(1)的X向、Y向和Z向三自由度的单独或同时步进移动。4.根据权利要求1所述的一种微纳操作装置，其特征在于，通过计算机控制系统(21)精准控制X向压电陶瓷线性马达控制器(16)、Z向压电陶瓷线性马达控制器(15)和Y向压电陶瓷旋转马达控制器(14)中的一个或多个，实现X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)、Z向压电陶瓷线性马达运动杆(8)和Y向压电陶瓷旋转马达旋转盘(11)中的一个或多个发生运动，实现操作器(1)的X向、Y向和Z向三自由度的单独或同时精准步进移动。5.根据权利要求2-4任一权利要求所述的一种微纳操作装置，其特征在于，所述X向和Z向步进移动的范围是0.1nm～10mm，Y向步进移动的范围是1nm～10mm。6.根据权利要求1所述的一种微纳操作装置，其特征在于，通过改变X向压电陶瓷线性马达运动杆(5)、Z向压电陶瓷线性马达运动杆(8)或延长杆(3)的长度改变操作器(1)的空间运动范围。7.根据权利要求1所述的一种微纳操作装置，其特征在于，所述操作器(1)为微纳探针，对材料进行探测；或所述操作器(1)为微纳注入针，对材料进行注入；或所述操作器(1)为电信号施加针，对材料施加电压、电流信号；或所述操作器(1)为微纳刀具，对材料进行微纳尺度切割。