技术总结
本发明属于微纳操作装置技术领域，特别涉及一种体积小、精度高、运动范围大的微纳操作装置。该装置通过X向压电陶瓷线性马达、Z向压电陶瓷线性马达和Y向压电陶瓷旋转马达的结合，可实现纳米级精度、纳米级到厘米级大范围的微纳操作，实现三自由度单独或同时操控，精度高，解决了微纳操作装置操作范围小、适用性单一的问题，可以用于电子显微镜、光学显微镜等的精细操作，进行对准、注入、施加电信号、切割等微纳操作，且装置结构简单、体积小。
技术研发人员：闫允杰
受保护的技术使用者：清华大学
文档号码：201510632342
技术研发日：2015.09.29
技术公布日：2017.04.05