一种气相沉积薄涂层固化工装的制造方法与工艺

本发明创造属于涂层结合力检测设备技术领域，尤其涉及一种PVD(物理气相沉积)和CVD(化学气相沉积)的薄涂层固化工装。

背景技术：
PVD(物理气相沉积)和CVD(化学气相沉积)的涂层制备的涂层具有结合强度高，韧性好、耐磨性好，化学稳定性高以及良好的热稳定性好等特点，是高端机械零部件表面防护涂层材料中最具应用前途的涂层。如CrN、TiN、TiCN、WCN等涂层广泛应用于刀具、工量具、模具等高端机械零部件领域。但PVD(物理气相沉积)和CVD(化学气相沉积)制备的涂层很薄，多数为2～20μm，给涂层的结合力检测时的装夹带来了很大的难度。现有的涂层试验的制备难以获得可靠的装夹预紧力。

技术实现要素：
本发明创造为解决现有技术中的问题，提供了一种气相沉积薄涂层固化工装，可以对轴向预紧力进行可靠控制，具有简便易操作、通用性强、定位准确、效率高及安全性好等特点。本发明创造提供的一种气相沉积薄涂层固化工装，包括座板、侧板和加载块；所述侧板固定于所述座板的两侧；所述座板中央设置有与侧板平行的支撑肋，所述支撑肋上均布有若干凹槽；所述加载块呈阶梯轴状，相对所述支撑肋成对对称并沿所述支撑肋的延伸方向均布；所述加载块的小端位于所述支撑肋的凹槽内并由该所述凹槽限位，所述加载块的大端位于支撑肋两侧的座板的任一上表面上并由该上表面接触定位；所述侧板上还均布有若干与紧固螺钉匹配的螺钉孔，所述紧固螺钉的端部自所述螺钉孔穿入侧板之间并与所述加载块的大端外表面中心孔接触，所述紧固螺钉能够通过该中心孔向加载块施加轴向载荷。其中，所述侧板外表面呈交替的凹凸结构，所述侧板的内凹部分均布有能够与固定螺钉匹配的固定孔，所述座板底部的对应位置也设有能够与固定螺钉匹配的座板孔，所述侧板由均布于内凹部分的固定螺钉与所述座板的底部固定连接。优选的，所述固定螺钉选用内六角圆柱头螺钉。其中，所述紧固螺钉均布于侧板的外凸部分。其中，所述紧固螺钉依次设有头部、螺纹部、导杆部以及端部；头部优选为六角头部；端部呈角状，优选为60°的角。其中，所述座板的支撑肋的凹槽优选地呈倒梯形槽。其中，所述侧板上还相对于座板斜角对称设置有至少一对限位孔，所述限位孔供限位销通过并深入座板内部实现座板与侧板之间进一步的稳固限位。所述限位孔优选地位于所述侧板的内凹部分，更优选地可直接替换侧板上所需的固定螺钉相应位置而设置。其中，所述座板内还设有与凹槽相通并能够容纳限位螺钉的限位通道，所述限位通道与所述限位螺钉螺纹配合。进一步，所述限位螺钉依次设有限位头部、螺纹段、以及限位端部；所述螺纹段优选地采用细牙螺纹；所述限位端部的端面为平面。其中，所述加载块的中心孔优选为按照GB/T4459.5-B2/5制作的孔。进一步，所述加载块的小端的端部应清角处理。本发明创造结构简单、操作简便、通用性好，夹持定位稳定且位置精准，并能够通过微调消除工件加工误差，减小位移偏差，能够适用于2～20μm薄涂层的加持固定。附图说明图1是本发明创造一种实施方式的整体结构示意图；图2是图1在俯视方向的结构示意图；图3是图2中A-A方向的剖视图；图4是图1中侧板的结构示意图；图5是图4中B-B方向的剖视图；图6是图1中座板的结构示意图；图7是图6在左视方向的结构示意图；图8是图6在俯视方向的结构示意图；图9是图1中紧固螺钉的结构示意图；图10是图9在左视方向的结构示意图；图11是图1中加载块的结构示意图；图12是图11在俯视方向的结构示意图；图13是图1中限位螺钉的结构示意图；图14是图13在左视方向的结构示意图。其中，1-座板；11-支撑肋；111-凹槽；12-座板孔；13-限位通道；2-侧板；21-螺钉孔；22-固定孔；3-加载块；4-紧固...