一种离子减薄样品台墩粗夹具的制作方法

文档序号:11963594阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种离子减薄样品台墩粗夹具,其特征在于:由前卡板(1)及后卡板(2)组成;前卡板(1)的形状为缺少前面板及上面板的长方体,其下面板边界上开有两个变截面半圆形凹槽和一个半圆形凹槽,变截面半圆形凹槽直径较小部分为夹紧部分(1-1),其直径等于离子减薄样品台凸杆(3-1)直径,直径较大部分为造型部分(1-2);后卡板(2)与前卡板(1)尺寸形状完全相同,当前卡板(1)及后卡板(2)扣合在一起后可构成底部沿长轴方向开有三个孔洞的缺少上面板的长方体。

2.根据权利要求1所述的一种离子减薄样品台墩粗夹具,其特征在于:由两块模具模块前卡板(1)及后卡板(2)组成。

3.根据权利要求2所述的一种离子减薄样品台墩粗夹具,其特征在于:前卡板(1)及后卡板(2)扣合在一起后可构成底部沿长轴方向开有三个孔洞的缺少上面板的长方体,此长方体深度大于离子减薄样品台(3)工作区域高度。

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