工业用机器人的修正值计算方法与流程

本发明涉及计算用于修正工业用机器人的动作的修正值的工业用机器人的修正值计算方法。

背景技术：

目前，已知有搬运玻璃基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人是装入有机el(有机场致发光)显示器的制造系统中使用的水平多关节机器人，具备装载玻璃基板的手、前端侧可转动地连结手的臂以及可转动地连结臂的基端侧的本体部。

臂具备基端侧可转动地连结于本体部的第一臂部和基端侧可转动地连结于第一臂部的前端侧的第二臂部。手具备可转动地连结于第二臂部的前端侧的手基部和固定于手基部并且装载玻璃基板的手叉。另外，专利文献1所记载的工业用机器人具备用于使第一臂部相对于本体部转动的电动机、用于使第二臂部相对于第一臂部转动的电动机、用于使手基部相对于第二臂部转动的电动机。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－139854号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

当将专利文献1所记载的工业用机器人设置于有机el显示器等的制造系统时，为了生成工业用机器人的动作程序，通常进行工业用机器人的示教作业。另外，例如，当更换设置于制造系统中的工业用机器人、或更换工业用机器人的电动机时，更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于在更换前的工业用机器人的示教作业中示教的示教位置的坐标产生偏移。

因此，即使在更换了工业用机器人、或更换了工业用机器人的电动机的情况下，通常也要再次进行工业用机器人的示教作业。但是，当在更换了工业用机器人、或更换了工业用机器人的电动机的情况下，再次进行工业用机器人的示教作业时，为了更换工业用机器人等而停止的制造系统再工作需要耗费时间。

因此，本发明的技术问题在于，提供一种在更换了工业用机器人、或更换了工业用机器人的电动机时，可以不进行工业用机器人的再示教作业的工业用机器人的修正值计算方法。

解决问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人的修正值计算方法，计算用于修正工业用机器人的动作的修正值，其特征在于，工业用机器人具备：本体部；臂，臂具有基端侧能转动地连结于本体部的第一臂部和基端侧能转动地连结于第一臂部的前端侧的第二臂部；手，手具有能转动地连结于第二臂部的前端侧的手基部和从手基部向水平方向的一方向伸开并且装载搬运对象物的手叉；第一电动机，第一电动机用于使第一臂部相对于本体部转动；第二电动机，第二电动机用于使第二臂部相对于第一臂部转动；第三电动机，第三电动机用于使手基部相对于第二臂部转动；第一编码器，第一编码器用于探测第一电动机的旋转量；第二编码器，第二编码器用于探测第二电动机的旋转量；第三编码器，第三编码器用于探测第三电动机的旋转量，工业用机器人的修正值计算方法具备：夹具装载工序，将探测用夹具装载在手叉上；机器人动作工序，使工业用机器人动作，以将其设为规定的基准姿势；手移动工序，在夹具装载工序及机器人动作工序后，使工业用机器人动作，使手叉移动到搬运对象物的交接位置；坐标确定工序，在手移动工序后，通过第一摄像头及第二摄像头，确定形成于探测用夹具并且配置于第一摄像头的视野内的第一角部的坐标和形成于探测用夹具并且配置于第二摄像头的视野内的第二角部的坐标，其中，第一摄像头和第二摄像头以在配置于交接位置的手叉的长边方向及与手叉的长边方向正交的方向中的至少一方上错开的状态配置；修正值计算工序，基于在坐标确定工序中确定的第一角部的坐标和第二角部的坐标，计算用于控制第一电动机的第一编码器的修正值、用于控制第二电动机的第二编码器的修正值及用于控制第三电动机的第三编码器的修正值。

在本发明的工业用机器人的修正值计算方法中，在手移动工序中，使形成规定的基准姿势的工业用机器人动作，使手叉移动到搬运对象物的交接位置，在手移动工序后的坐标确定工序中，利用以在配置于交接位置的手叉的长边方向及与手叉的长边方向正交的方向中的至少任一方上错开的状态配置的第一摄像头及第二摄像头，确定配置于第一摄像头的视野内的探测用夹具的第一角部的坐标和配置于第二摄像头的视野内的探测用夹具的第二角部的坐标。另外，在本发明中，在修正值计算工序中，基于通过坐标确定工序确定的第一角部的坐标和第二角部的坐标，计算用于控制使第一臂部相对于本体部转动的第一电动机的第一编码器的修正值、用于控制使第二臂部相对于第一臂部转动的第二电动机的第二编码器的修正值、用于控制使手基部相对于第二臂部转动的第三电动机的第三编码器的修正值。

因此，在本发明中，预先存储更换前的工业用机器人的手叉上所装载的探测用夹具的第一角部的坐标和第二角部的坐标，该第一角部的坐标和第二角部的坐标是更换工业用机器人、或更换工业用机器人的电动机之前的更换前的工业用机器人的手叉移动到搬运对象物的交接位置时的坐标，在修正值计算工序中，基于更换前的工业用机器人的手叉上所装载的探测用夹具的第一角部的坐标及第二角部的坐标和在坐标确定工序中确定的第一角部的坐标及第二角部的坐标，计算修正值，由此，即使更换工业用机器人、或更换工业用机器人的电动机，也能够基于在修正值计算工序中计算出的修正值，修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移。

另外，在本发明中，通过修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移，能够不进行工业用机器人的再示教作业。即，在本发明中，在更换了工业用机器人、或更换了工业用机器人的电动机时，可以不进行工业用机器人的再示教作业。

在本发明中，理想的是，第一摄像头和第二摄像头以在配置于交接位置的手叉的长边方向及与手叉的长边方向正交的方向上错开的状态配置。当这样构成时，与第一摄像头和第二摄像头仅在手叉的长边方向上错开的情况、仅在与手叉的长边方向正交的方向上错开的情况相比，能够基于在坐标确定工序中确定的第一角部的坐标和第二角部的坐标，在修正值计算工序中高精度地计算修正值。

在本发明中，理想的是，设有配置于第一摄像头的视野内且被第一摄像头拍摄的第一基准标记和配置于第二摄像头的视野内且被第二摄像头拍摄的第二基准标记。当这样构成时，例如，在更换了第一摄像头或第二摄像头时、或第一摄像头或第二摄像头的位置因某些原因而偏移时，即使不进行第一摄像头或第二摄像头的位置调节，也能够以第一基准标记为基准高精度地确定第一角部的坐标，并且能够以第二基准标记为基准高精度地确定第二角部的坐标。

在本发明中，理想的是，第一摄像头、第二摄像头、第一基准标记以及第二基准标记还用于配置于交接位置的手叉上所载置的搬运对象物的位置确认。当这样构成时，无需另外设置用于进行配置于交接位置的手叉上所装载的搬运对象物的位置确认的摄像头或基准标记。

在本发明中，理想的是，工业用机器人被装入具有用于对搬运对象物进行规定处理的多个处理部的处理系统来使用，并且，在构成处理系统的一部分的搬运对象物的供应部、构成处理系统的一部分的搬运对象物的排出部以及多个处理部之间搬运搬运对象物，第一摄像头及第二摄像头设置于供应部或排出部的内部。通常，在用于对搬运对象物进行规定处理的处理部的内部设置有较多的设备，与之相对，设置于供应部及排出部的内部的设备不多。因此，当这样构成时，与第一摄像头及第二摄像头设置在处理部的内部的情况相比，容易设置第一摄像头及第二摄像头。

在本发明中，理想的是，第一摄像头及第二摄像头设置于供应部的内部。当这样构成时，基于在供应部确定的第一角部的坐标和第二角部的坐标计算修正值，并且，基于计算出的修正值，修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移。因此，即使更换工业用机器人、或更换工业用机器人的电动机，也能够将向处理系统供应的搬运对象物在供应部高精度地装载于手叉上。其结果是，即使在更换了工业用机器人、或更换了工业用机器人的电动机后，也能够相对于处理部高精度地搬运搬运对象物。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人的修正值计算方法，计算用于修正工业用机器人的动作的修正值，其特征在于，工业用机器人具备：本体部；臂，臂具有基端侧能转动地连结于本体部的第一臂部和基端侧能转动地连结于第一臂部的前端侧的第二臂部；手，手具有能转动地连结于第二臂部的前端侧的手基部和从手基部向水平方向的一方向伸开并且装载搬运对象物的手叉；第一电动机，第一电动机用于使第一臂部相对于本体部转动；第二电动机，第二电动机用于使第二臂部相对于第一臂部转动；第三电动机，第三电动机用于使手基部相对于第二臂部转动；第一编码器，第一编码器用于探测第一电动机的旋转量；第二编码器，第二编码器用于探测第二电动机的旋转量；第三编码器，第三编码器用于探测第三电动机的旋转量，工业用机器人的修正值计算方法具备：夹具装载工序，将探测用夹具装载在手叉上；机器人动作工序，使工业用机器人动作，以将其设为规定的基准姿势；手移动工序，在夹具装载工序及机器人动作工序后，使工业用机器人动作，以使手叉移动到搬运对象物的交接位置；坐标确定工序，在手移动工序后，使工业用机器人动作，直到通过三个传感器分别探测到探测用夹具的边缘为止，并且，确定通过三个传感器分别探测到探测用夹具的边缘时的工业用机器人的坐标，其中，三个传感器以在配置于交接位置的手叉的长边方向及与手叉的长边方向正交的方向中的至少一方上彼此错开的状态配置；修正值计算工序，基于在坐标确定工序中确定的工业用机器人的坐标，计算用于控制第一电动机的第一编码器的修正值、用于控制第二电动机的第二编码器的修正值及用于控制第三电动机的第三编码器的修正值。

在本发明的工业用机器人的修正值计算方法中，在手移动工序中，使形成规定的基准姿势的工业用机器人动作，使手叉移动到搬运对象物的交接位置，在手移动工序后的坐标确定工序中，使工业用机器人动作，直到通过以在配置于交接位置的手叉的长边方向及与手叉的长边方向正交的方向中的至少一方上彼此错开的状态配置的三个传感器分别探测到探测用夹具的边缘为止，并且，确定通过三个传感器分别探测到探测用夹具的边缘时的工业用机器人的坐标。另外，在本发明中，在修正值计算工序中，基于在坐标确定工序中确定的工业用机器人的坐标，计算用于控制使第一臂部相对于本体部转动的第一电动机的第一编码器的修正值、用于控制使第二臂部相对于第一臂部转动的第二电动机的第二编码器的修正值、用于控制使手基部相对于第二臂部转动的第三电动机的第三编码器的修正值。

因此，在本发明中，预先存储利用三个传感器分别探测更换工业用机器人、或更换工业用机器人的电动机之前的更换前的工业用机器人的手叉上所装载的探测用夹具的边缘时的工业用机器人的坐标，在修正值计算工序中，基于通过三个传感器分别探测到更换前的工业用机器人的手叉上所装载的探测用夹具的边缘时的工业用机器人的坐标和在坐标确定工序中确定的工业用机器人的坐标来计算修正值，由此，即使更换工业用机器人、或更换工业用机器人的电动机，也能够基于在修正值计算工序中计算出的修正值，修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移。

另外，在本发明中，通过修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移，可以不进行工业用机器人的再示教作业。即，在本发明中，在更换了工业用机器人、或更换了工业用机器人的电动机时，能够不进行工业用机器人的再示教作业。

在本发明中，例如，工业用机器人具备：第一原点传感器，第一原点传感器用于探测第一臂部在第一臂部相对于本体部的转动方向上的原点位置；第二原点传感器，第二原点传感器用于探测第二臂部在第二臂部相对于第一臂部的转动方向上的原点位置；第三原点传感器，第三原点传感器用于探测手基部在手基部相对于第二臂部的转动方向上的原点位置，在机器人动作工序中，基于第一原点传感器的探测结果或基于第一原点传感器的探测结果和第一编码器的探测结果，驱动控制第一电动机，基于第二原点传感器的探测结果或基于第二原点传感器的探测结果和第二编码器的探测结果，驱动控制第二电动机，并且，基于第三原点传感器的探测结果或基于第三原点传感器的探测结果和第三编码器的探测结果，驱动控制第三电动机，将工业用机器人设为基准姿势。

发明效果

如上所述，如果通过本发明的工业用机器人的修正值计算方法计算修正值，则无需在更换了工业用机器人时、或更换了工业用机器人的电动机时进行工业用机器人的再示教作业。

附图说明

图1是通过本发明实施方式的工业用机器人的修正值计算方法计算修正值的工业用机器人的图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。

图2是表示图1所示的工业用机器人装入有机el显示器的制造系统的状态的俯视图。

图3是用于说明图1所示的工业用机器人的结构的框图。

图4是用于说明图2所示的供应部的内部的结构的放大图。

图5是用于说明本发明其它实施方式的工业用机器人的修正值计算方法的图。

附图标记说明

1机器人(工业用机器人)

2基板(搬运对象物)

3制造系统(处理系统)

5室(处理部)

6室(供应部)

7室(排出部)

8手

9臂

10本体部

15第一臂部

16第二臂部

17手基部

18手叉

21电动机(第一电动机)

22电动机(第二电动机)

23电动机(第三电动机)

24编码器(第一编码器)

25编码器(第二编码器)

26编码器(第三编码器)

31原点传感器(第一原点传感器)

32原点传感器(第二原点传感器)

33原点传感器(第三原点传感器)

35探测用夹具

35a角部(第一角部)

35b角部(第二角部)

36摄像头(第一摄像头)

37摄像头(第二摄像头)

38基准标记(第一基准标记)

39基准标记(第二基准标记)

41～43传感器

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的结构)

图1是通过本发明实施方式的工业用机器人的修正值计算方法计算修正值的工业用机器人1的图，(a)是俯视图，(b)是侧视图。图2是表示图1所示的工业用机器人1装入有机el显示器的制造系统3中的状态的俯视图。图3是用于说明图1所示的工业用机器人1的结构的框图。

本方式的工业用机器人1(以下称为“机器人1”。)是用于搬运作为搬运对象物的有机el显示器用的玻璃基板2(以下称为“基板2”。)的机器人。基板2形成为长方形的平板状。如图2所示，该机器人1是装入有机el显示器的制造系统3来使用的水平多关节机器人。制造系统3具备配置于中心的传送室4(以下称为“室4”。)和以包围室4的方式配置的多个室5～7。

室5是用于对基板2进行规定的处理的处理室。另外，室6是收容向制造系统3供应的基板2的供应用的室(装载)，室7例如是收容从制造系统3排出的基板2的排出用的室(卸载)。室4～7的内部为真空。机器人1的一部分配置在室4的内部。通过构成机器人1的稍后描述的手叉18、19进入室5～7中，机器人1在多个室5～7之间搬运基板2。

本方式的室5是用于对基板2进行规定的处理的处理部。另外，本方式的制造系统3是具备多个处理部的处理系统。另外，本方式的室6是构成作为处理系统的制造系统3的一部分的基板2的供应部，室7是构成作为处理系统的制造系统3的一部分的基板2的排出部。

如图1所示，机器人1具备装载基板2的手8、前端侧可转动地连结手8的臂9、可转动地连结臂9的基端侧的本体部10。手8及臂9配置于本体部10的上侧。本体部10具备使臂9升降的升降机构和收容升降机构的壳体13。壳体13形成为大致有底圆筒状。在壳体13的上端固定有形成为圆盘状的突缘14。

如上所述，机器人1的一部分配置于室4的内部。具体而言，机器人1的比突缘14的下端面靠上侧的部分配置于室4的内部。即，机器人1的、比突缘14的下端面靠上侧的部分配置于真空区域vr中，手8及臂9配置于真空室内(真空中)。另一方面，机器人1的、比突缘14的下端面靠下侧的部分配置于大气区域ar中(大气中)。

臂9具备相互可转动的连结的第一臂部15和第二臂部16。本方式的臂9由第一臂部15和第二臂部16两个臂部构成。第一臂部15的基端侧可转动地连结于本体部10。在第一臂部15的前端侧可转动地连结第二臂部16的基端侧。在第二臂部16的前端侧可转动地连结有手8。

第二臂部16配置于比第一臂部15靠上侧的位置。另外，手8配置于比第二臂部16靠上侧的位置。第一臂部15相对于本体部10的转动中心和第二臂部16相对于第一臂部15的转动中心的距离与第二臂部16相对于第一臂部15的转动中心和手8相对于第二臂部16的转动中心的距离相等。

手8具备可转动地连结于第二臂部16的前端侧的手基部17和装载基板2的手叉18、19。本方式的手8具备两根手叉18和两根手叉19。手叉18、19形成为直线状。手叉18和手叉19形成为相同形状。两根手叉18以相互隔开规定间隔的状态平行配置。手叉18从手基部17向水平方向的一方向延伸。两根手叉19以相互隔开规定的间隔的状态平行地配置。手叉19从手基部17向与手叉18相反方向延伸。

手叉18、19固定于手基部17。具体而言，手叉18、19通过固定用的螺丝固定于手基部17。在手叉18、19上形成有插通固定用的螺丝的插通孔。该插通孔是以与手叉18、19的长边方向正交的方向为长边方向的长孔，在与手叉18、19的长边方向正交的方向上，可以调节手叉18、19相对于手基部17的固定位置。

在本方式中，一张基板2装载于两根手叉18上。另外，一张基板2装载于两根手叉19上。在手叉18的上表面安装有用于对所装载的基板2进行定位的定位部件。在手叉19的上表面也安装有用于对所装载的基板2进行定位的定位部件。

另外，机器人1具备用于使第一臂部15相对于本体部10转动的电动机21、用于使第二臂部16相对于第一臂部15转动的电动机22、使手基部17相对于第二臂部16转动的电动机23、用于探测电动机21的旋转量的编码器24、用于探测电动机22的旋转量的编码器25、用于探测电动机23的旋转量的编码器26(参照图3)。

编码器24安装于电动机21。编码器25安装于电动机22，编码器26安装于电动机23。电动机21及编码器24例如配置于本体部10的内部。另外，电动机22、23及编码器25、26例如配置于第一臂部15的内部。电动机21～23与机器人1的控制部27电连接。编码器24～26也与控制部27电连接。本方式的电动机21是第一电动机，电动机22是第二电动机，电动机23是第三电动机。另外，编码器24是第一编码器，编码器25是第二编码器，编码器26是第三编码器。

而且，机器人1具备用于探测第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的第一臂部15的原点位置的原点传感器31、用于探测第二臂部16相对于第一臂部15的转动方向上的第二臂部16的原点位置的原点传感器32、用于探测手基部17相对于第二臂部16的转动方向上的手基部17的原点位置的原点传感器33。本方式的原点传感器31是第一原点传感器，原点传感器32是第二原点传感器，原点传感器33是第三原点传感器。

原点传感器31～33例如是接近传感器。或者，原点传感器31～33例如是具有发光元件和受光元件的光学式传感器。原点传感器31～33与控制部27电连接。在本体部10和第一臂部15的连结部即关节部，原点传感器31固定于本体部10及第一臂部15中的任一方，在本体部10及第一臂部15中的任一另一方，固定有在第一臂部15处于原点位置时被原点传感器31探测的探测部件。

同样，在第一臂部15和第二臂部16的连结部即关节部，原点传感器32固定于第一臂部15及第二臂部16中的任一方，在第一臂部15及第二臂部16中的任一另一方，固定有在第二臂部16处于原点位置时被原点传感器32探测的探测部件。另外，在第二臂部16和手基部17的连结部即关节部，原点传感器33固定于第二臂部16及手基部17中的任一方，在第二臂部16及手基部17中的任一另一方，固定有在手基部17处于原点位置时被原点传感器33探测的探测部件。

在本方式中，在第二臂部16处于原点位置时，第一臂部15和第二臂部16在上下方向上重叠，使得在从上下方向观察时，第一臂部15的长边方向和第二臂部16的长边方向一致。另外，在手基部17处于原点位置时，在从上下方向观察时，第二臂部16的长边方向和手叉18、19的长边方向正交。

(工业用机器人的修正值的计算方法)

图4是用于说明图2所示的室6的内部的结构的放大图。

当将机器人1设置于制造系统3时，为了生成机器人1的动作程序，进行机器人1的示教作业。另外，例如，当更换设置于制造系统3的机器人1、或更换机器人1的电动机21～23时，更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的在示教作业中示教的示教位置的坐标偏移，因此，需要再次进行机器人1的示教作业。

另一方面，如果修正了更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移，则无需再次进行繁琐的示教作业。在本方式中，为了在更换了机器人1、或更换了电动机21～23后也无需再次进行繁琐的示教作业，当更换设置于制造系统3的机器人1、或更换电动机21～23时，计算用于修正更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移的修正值。即，计算用于修正更换后的机器人1的动作的修正值。以下，说明该修正值的计算方法。

在计算用于修正机器人1的动作的修正值时，在手叉18上装载探测用夹具35。探测用夹具35形成为长方形的平板状。本方式的探测用夹具35形成为与基板2相同的形状。探测用夹具35在通过安装于手叉18的上表面的定位部件被定位的状态下，装载于两根手叉18上。即，探测用夹具35以与基板2相同的朝向装载在手叉18的、与装载基板2的部位相同的部位。此外，探测用夹具35也可以装载于手叉19上。

另外，在计算用于修正机器人1的动作的修正值时，使用两个摄像头36、37。摄像头36、37设于室6的内部。另外，摄像头36、37以在配置于室6中的基板2的交接位置(图2中配置有手叉18的位置)的手叉18、19的长边方向及与手叉18、19的长边方向正交的方向上错开的状态配置。摄像头36、37设置在配置于交接位置的手叉18、19的上方。

当将配置在形成为长方形的平板状的探测用夹具35的一方的对角线上的两个角部分别设为角部35a、35b(参照图4)时，摄像头36以将配置于交接位置的手叉18上所装载的探测用夹具35的角部35a配置于摄像头36的视野内的方式设置，摄像头37以将配置于交接位置的手叉18上所装载的探测用夹具35的角部35b配置于摄像头37的视野内的方式设置。

即，在探测用夹具35上，形成有包含手叉18被配置在交接位置时配置于摄像头36的视野内的角部35a和配置于摄像头37的视野内的角部35b在内的四个角部。本方式的摄像头36是第一摄像头，摄像头37是第二摄像头。另外，本方式的角部35a是第一角部，角部35b是第二角部。

另外，在室6的内部设有两个基准标记38、39(参照图4)。基准标记38、39例如是形成于省略图示的基准标记形成部件上的贯通孔。基准标记形成部件设置在配置于交接位置的手叉18、19的下方，基准标记38、39配置于手叉18、19的下方。基准标记38配置于摄像头36的视野内，被摄像头36拍摄。基准标记39配置于摄像头37的视野内，被摄像头37拍摄。

在从上下方向观察时，基准标记38配置于与配置于交接位置的手叉18上所装载的探测用夹具35的角部35a错开的位置。另外，在从上下方向观察时，基准标记39配置于与配置于交接位置的手叉18上所装载的探测用夹具35的角部35b错开的位置。本方式的基准标记38是第一基准标记，基准标记39是第二基准标记。

例如，当更换设置于制造系统3中的机器人1时，在两根手叉18上装载探测用夹具35(夹具装载工序)。探测用夹具35在通过安装于手叉18的上表面的定位部件定位的状态下装载于两根手叉18上。另外，使机器人1动作，将机器人1设为规定的基准姿势(机器人动作工序)。

在机器人动作工序中，基于原点传感器31的探测结果或原点传感器31的探测结果和编码器24的探测结果驱动控制电动机21，基于原点传感器32的探测结果或基于原点传感器32的探测结果和编码器25的探测结果驱动控制电动机22，同时，基于原点传感器33的探测结果或基于原点传感器33的探测结果和编码器26的探测结果驱动控制电动机23，将机器人1设为基准姿势。具体而言，在机器人动作工序中，驱动控制电动机21～23，使机器人1动作到临时的动作开始位置。

之后(即夹具装载工序及机器人动作工序后)，使机器人1动作，以使手叉18移动到基板2的交接位置(手移动工序)。具体而言，伸开臂9，使手叉18移动到室6中的基板2的交接位置(图4的实线所示的位置)。

然后，利用摄像头36、37确定探测用夹具35的角部35a、35b的坐标(坐标确定工序)。即，由摄像头36确定探测用夹具35的角部35a的坐标，由摄像头37确定探测用夹具35的角部35b的坐标。在本方式中，以基准标记38的坐标为基准确定角部35a的坐标。另外，以基准标记39的坐标为基准确定角部35b的坐标。

此外，在本方式中，预先确定并存储使手叉18上装载有探测用夹具35的更换前的机器人1动作以使手叉18移动到室6中的基板2的交接位置时(参照图4中双点划线)的、探测用夹具35的角部35a的坐标和角部35b的坐标。在更换前的机器人1中，在确定角部35a、35b的坐标时，也以基准标记38的坐标为基准确定角部35a的坐标，且也以基准标记39的坐标为基准确定角部35b的坐标。

然后，基于在坐标确定工序中确定的角部35a的坐标和角部35b的坐标，计算用于控制电动机21的编码器24的修正值、用于控制电动机22的编码器25的修正值及用于控制电动机23的编码器26的修正值(修正值计算工序)。

具体而言，在修正值计算工序中，首先，根据基于在坐标确定工序中确定的角部35a的坐标和角部35b的坐标而确定的连结角部35a和角部35b的线段的中点的坐标、与基于在更换前的机器人1中预先确定并存储的角部35a的坐标和角部35b的坐标确定的连结角部35a和角部35b的线段的中点的坐标的偏移，求出更换前的机器人1的坐标系和更换后的机器人1的坐标系的水平方向(xy方向)的偏移。

另外，根据基于在坐标确定工序中确定的角部35a的坐标和角部35b的坐标确定的连结角部35a和角部35b的直线与基于在更换前的机器人1中预先确定并存储的角部35a的坐标和角部35b的坐标确定的连结角部35a和角部35b的直线所形成的角度，求出更换前的机器人1的坐标系和更换后的机器人1的坐标系的、以铅垂方向为转动的轴向的转动方向(θ方向)的偏移。

另外，在修正值计算工序中，基于更换前的机器人1的坐标系和更换后的机器人1的坐标系的xy方向及θ方向的偏移(xyθ方向的偏移)进行规定的运算，计算编码器24～26的修正值。然后，反映在修正值计算工序中计算出的修正值，驱动控制电动机21～23，使机器人1返回正常的动作开始位置。

此外，在本方式中，机器人1的动作开始位置和机器人1的原位一致，但机器人1的动作开始位置和机器人1的原位也可以错开。另外，在本方式中，在机器人1动作到动作开始位置而形成规定的基准姿势时，第一臂部15、第二臂部16及手基部17处于原点位置。另外，在本方式中，摄像头36、37及基准标记38、39还用于配置于室6的交接位置的手叉18、19上所装载的基板2的位置确认。

(本方式的主要效果)

如以上所说明，在本方式中，在手移动工序后的坐标确定工序中，由摄像头36、37确定探测用夹具35的角部35a、35b的坐标。另外，在本方式中，在修正值计算工序中，基于在坐标确定工序中确定的角部35a、35b的坐标和在更换前的机器人1中预先确定并存储的角部35a、35b的坐标，求出更换前的机器人1的坐标系和更换后的机器人1的坐标系的xyθ方向的偏移，同时，基于求出的xyθ方向的偏移进行规定的运算，计算出编码器24～26的修正值。

因此，在本方式中，即使更换机器人1、或更换机器人1的电动机21～23，也能够基于在修正值计算工序中计算出的修正值来修正更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移。另外，在本方式中，通过修正更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移，即使更换机器人1、或更换电动机21～23，也可以不进行机器人1的再示教作业。

在本方式中，摄像头36和摄像头37以在配置于交接位置的手叉18的长边方向及与手叉18的长边方向正交的方向上错开的状态配置。因此，在本方式中，与使摄像头36和摄像头37仅在手叉18的长边方向上错开的情况、或仅在与手叉18的长边方向正交的方向上错开的情况相比，能够基于在坐标确定工序中确定的角部35a、35b的坐标，高精度地求出更换前的机器人1的坐标系和更换后的机器人1的坐标系的x方向、y方向及θ方向的所有的偏移。因此，在本方式中，能够在修正值计算工序中高精度地计算修正值。

在本方式中，在室6的内部设有基准标记38、39，以基准标记38的坐标为基准确定角部35a的坐标，并以基准标记39的坐标为基准确定角部35b的坐标。因此，在本方式中，例如，即使在更换摄像头36、37时、或摄像头36、37的位置因某些原因而偏移时，不进行摄像头36、37的位置调节，也能够以基准标记38为基准高精度地确定角部35a的坐标，并且能够以基准标记39为基准高精度地确定角部35b的坐标。

在本方式中，摄像头36、37及基准标记38、39还用于配置于室6的交接位置的手叉18、19上所装载的基板2的位置确认。因此，在本方式中，无需在室6内另外设置用于进行配置于室6的交接位置的手叉18、19上所装载的基板2的位置确认的摄像头及基准标记。因此，在本方式中，能够简化室6的结构。

在本方式中，摄像头36、37设置于作为供应用的室的室6的内部。在作为处理室的室5的内部设置有较多的设备，与之相对，在作为供应用的室的室6的内部设置的设备不多。因此，在本方式中，与摄像头36、37设置在室5的内部的情况相比，容易设置摄像头36、37。

另外，在本方式中，将摄像头36、37设置于室6的内部，基于在室6内确定的角部35a、35b的坐标计算修正值，同时，基于计算出的修正值修正更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移。因此，在本方式中，即使更换机器人1、或更换电动机21～23，也能够将向制造系统3供应的基板2在室6内高精度地装载于手叉18、19上。因此，在本方式中，即使在更换了机器人1、或更换了电动机21～23后，也能够相对于室5高精度地搬运基板2。

(修正值计算方法的变形例)

图5是用于说明本发明其它实施方式的机器人1的修正值计算方法的图。

在上述的方式中，也可以在室6的内部配置三个传感器41～43以代替摄像头36、37。传感器41～43例如是接近传感器或光学式传感器。传感器41～43以彼此在配置于室6中的基板2的交接位置的手叉18、19的长边方向及与手叉18、19的长边方向正交的方向中的至少任一方上错开的状态配置。例如，传感器41～43以彼此在配置于室6中的基板2的交接位置的手叉18、19的长边方向及与手叉18、19的长边方向正交的方向上错开的状态配置。此外，该情况下，无需基准标记38、39。

传感器41被配置于可探测形成为长方形的平板状的探测用夹具35的短边方向的一边缘(端面)的位置，传感器42被配置于可探测探测用夹具35的短边方向的另一边缘(端面)的位置。另外，传感器41被配置于探测用夹具35的长边方向的一端侧(手叉18、19的基端侧)，传感器42被配置于探测用夹具35的长边方向的另一端侧(手叉18、19的前端侧)。传感器43被配置于可探测配置于手叉18、19的前端侧的探测用夹具35的边缘的位置，该边缘是探测用夹具35的长边方向的边缘(端面)。

在该变形例中，在手移动工序后的坐标确定工序中，使机器人1动作直到由三个传感器41～43分别探测到探测用夹具35的边缘为止，同时，确定由三个传感器41～43分别探测到探测用夹具35的边缘时的机器人1的坐标。

例如，在手移动工序中，当手叉18移动到图5(a)所示的位置时，在坐标确定工序中，如图5(b)所示，使机器人1动作，直到由传感器41探测到探测用夹具35的边缘为止，同时，确定由传感器41探测到探测用夹具35的边缘时的机器人1的坐标。另外，在坐标确定工序中，如图5(c)所示，使机器人1动作，直到由传感器42探测到探测用夹具35的边缘为止，同时，确定由传感器42探测到探测用夹具35的边缘时的机器人1的坐标，如图5(d)所示，使机器人1动作，直到由传感器43探测到探测用夹具35的边缘为止，同时，确定由传感器43探测到探测用夹具35的边缘时的机器人1的坐标。

另外，在之后的修正值计算工序中，基于在坐标确定工序中确定的机器人1的坐标，计算编码器24～25的修正值。在该变形例中，预先确定并存储装载于更换前的机器人1的手叉18上的探测用夹具35的边缘被三个传感器41～43分别探测到时的机器人1的坐标。在修正值计算工序中，基于在坐标确定工序中确定的机器人1的坐标和在更换前的机器人1中预先确定并存储的机器人1的坐标，求出更换前的机器人1的坐标系和更换后的机器人1的坐标系的xyθ方向的偏移。另外，在修正值计算工序中，基于更换前的机器人1的坐标系和更换后的机器人1的坐标系的xyθ方向的偏移，进行规定的运算，计算编码器24～26的修正值。

在该变形例中，在修正值计算工序中，基于在坐标确定工序中确定的机器人1的坐标和在更换前的机器人1中预先确定并存储的机器人1的坐标，求出更换前的机器人1的坐标系和更换后的机器人1的坐标系的xyθ方向的偏移，同时，基于求出的xyθ方向的偏移进行规定的运算，计算编码器24～26的修正值。

因此，在该变形例中，也与上述的方式相同，即使更换机器人1、或更换机器人1的电动机21～23，也能够基于在修正值计算工序中计算出的修正值来修正更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移。另外，通过修正更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的在示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移，即使更换机器人1、或更换电动机21～23，也无需进行机器人1的再示教作业。另外，在该变形例中，使用比摄像头36、37便宜的传感器41～43，因此，能够以低的成本计算修正值。

此外，传感器41～43配置在与室6中的基板2的交接位置在上下方向上错开的位置，使得在机器人1的修正值的计算结束并在室6中实际进行基板2的交接时，手叉18、19及基板2等和传感器41～43不发生干扰。

(其它实施方式)

上述的方式是本发明的最佳方式的一个例子，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内可以进行各种变形实施。

在上述的方式中，摄像头36、37也可以配置为仅在配置于室6中的基板2的交接位置的手叉18、19的长边方向上错开的状态。该情况下，如图4所示，当将探测用夹具35的、除角部35a、35b以外的两个角部分别设为角部35c、35d时，摄像头36被设置为将角部35a配置于摄像头36的视野内，摄像头37被设置为将角部35c配置于摄像头37的视野内。或者，摄像头36被设置为将角部35d配置于摄像头36的视野内，摄像头37被设置为将角部35b配置于摄像头37的视野内。

另外，摄像头36、37也可以配置为仅在与配置于室6中的基板2的交接位置的手叉18、19的长边方向正交的方向上错开的状态。该情况下，摄像头36被设置为将角部35a配置于摄像头36的视野内，摄像头37被设置为将角部35d配置于摄像头37的视野内。或者，摄像头36被设置为将角部35c配置于摄像头36的视野内，摄像头37被设置为将角部35b配置于摄像头37的视野内。

在上述的方式中，摄像头36、37也可以设置于室7的内部。即使在该情况下，因为设置于作为排出用的室的室7的内部的设备不多，所以与摄像头36、37设置在室5的内部的情况相比，容易设置摄像头36、37。

另外，在上述的方式中，摄像头36、37也可以配置于室5的内部。但是，该情况下，不易配置摄像头36、37。另外，考虑在室5中对基板2进行规定的处理时的温度环境等的稳定性，通常，室5中的基板2的交接位置位于比室6、7中的基板2的交接位置靠里的位置。因此，与手叉18、19移动到室6、7中的基板2的交接位置时相比，手叉18、19移动到室5中的基板2的交接位置时成为臂9伸开的状态。因此，在摄像头36、37配置于室5的内部的情况下，在修正值计算工序中，不易高精度地求出手叉18、19的长边方向的偏移。

在上述的方式中，机器人1也可以不具备原点传感器31～33。该情况下，只要使用规定的夹具使第一臂部15、第二臂部16及手基部17对准原点位置即可。另外，该情况下，在机器人动作工序中，基于编码器24～26的探测结果驱动控制电动机21～23，将机器人1设为基准姿势。

在上述的方式中，基准标记38、39也可以不是贯通孔。例如，基准标记38、39也可以是形成于基准标记形成部件上的突起。另外，在上述的方式中，也可以不在室6的内部设置基准标记38、39。该情况下，例如，以存储在摄像头36、37的内部的原点位置为基准，确定角部35a、35b的坐标。

在上述的方式中，探测用夹具35也可以形成为长方形以外的平板状。另外，在上述的方式中，手8也可以不具备手叉19。而且，在上述的方式中，由机器人1搬运的搬运对象物是有机el显示器用的基板2，但由机器人1搬运的搬运对象物也可以是液晶显示器用的玻璃基板，也可以是半导体晶圆等。即，机器人1也可以装入有机el显示器的制造系统3以外的制造系统内，也可以装入制造系统以外的规定的处理系统内。另外，在上述的方式中，机器人1也可以配置于处于大气压的空间中。