工业用机器人的修正值计算方法与流程

本发明涉及计算用于修正工业用机器人的动作的修正值的工业用机器人的修正值计算方法。

背景技术：

目前，已知有搬运玻璃基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人是装入有机el(有机场致发光)显示器的制造系统中使用的水平多关节机器人，具备装载玻璃基板的手、前端侧可转动地连接手的臂以及可转动地连接臂的基端侧的本体部。

臂具备基端侧可转动地连接于本体部的第一臂部和基端侧可转动地连接于第一臂部的前端侧的第二臂部。手具备可转动地连接于第二臂部的前端侧的手基部和固定于手基部并且装载玻璃基板的手叉。另外，专利文献1所记载的工业用机器人具备用于使第一臂部相对于本体部转动的电动机、用于使第二臂部相对于第一臂部转动的电动机、用于使手基部相对于第二臂部转动的电动机。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015－139854号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

当将专利文献1所记载的工业用机器人设置于有机el显示器等的制造系统时，为了生成工业用机器人的动作程序，通常进行工业用机器人的示教作业。另外，例如，当更换设置在制造系统中的工业用机器人、或更换工业用机器人的电动机时，更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的示教作业中示教的示教位置的坐标产生偏移。因此，在更换了工业用机器人、或更换了工业用机器人的电动机的情况下，通常也要再次进行工业用机器人的示教作业。

另一方面，如果修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移，则不需要再次进行繁琐的示教作业。因此，本申请发明人探讨了计算修正值来修正偏移的方法，其中，修正值用于修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移。在计算用于修正偏移的修正值时，理想的是，能够容易地计算修正值。

因此，本发明的技术问题在于，提供一种能够比较容易地计算修正值的工业用机器人的修正值计算方法，其中，修正值用于修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人的修正值计算方法，计算用于修正工业用机器人的动作的修正值，其特征在于，工业用机器人具备：本体部；臂，其具有基端侧可转动地连接于本体部的第一臂部和基端侧可转动地连接于第一臂部的前端侧的第二臂部；手，其具有可转动地连接于第二臂部的前端侧的手基部和从手基部向水平方向的一方向延伸并且装载搬运对象的手叉；第一电动机，其用于使第一臂部相对于本体部转动；第二电动机，其用于使第二臂部相对于第一臂部转动；第三电动机，其用于使手基部相对于第二臂部转动；第一编码器，其用于探测第一电动机的旋转量；第二编码器，其用于探测第二电动机的旋转量；第三编码器，其用于探测第三电动机的旋转量；第一原点传感器，其用于探测第一臂部在第一臂部相对于本体部的转动方向上的原点位置；第二原点传感器，其用于探测第二臂部在第二臂部相对于第一臂部的转动方向上的原点位置；以及第三原点传感器，其用于探测手基部在手基部相对于第二臂部的转动方向上的原点位置，在将第二臂部在第二臂部相对于第一臂部的转动方向上的规定的基准位置设为第一基准位置，将手基部在手基部相对于第二臂部的转动方向上的规定的基准位置设为第二基准位置，将手叉在与手叉的长边方向正交的方向上相对于手基部的规定的基准位置设为第三基准位置，将第一臂部在第一臂部相对于本体部的转动方向上的规定的基准位置设为第四基准位置时，工业用机器人的修正值计算方法具备：第一基准位置确定工序，基于使第二臂部从第一停止位置转动到第二臂部被第一定位夹具定位的位置时的第二编码器的探测结果和第二臂部停止在第一停止位置时的第二编码器的值，确定第一基准位置，其中，第一停止位置是基于第二原点传感器的探测结果或基于第二原点传感器的探测结果和第二编码器的探测结果使第二臂部停止以使第二臂部在第一基准位置停止时的第二臂部的停止位置，第一定位夹具用于将第二臂部定位于第一基准位置；第二基准位置确定工序，在第一基准位置确定工序后，在第二臂部配置于在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置的状态下，基于使手基部从第二停止位置转动到手基部被第二定位夹具定位的位置时的第三编码器的探测结果和手基部停止在第二停止位置时的第三编码器的值，确定第二基准位置，其中，第二停止位置是基于第三原点传感器的探测结果或基于第三原点传感器的探测结果和第三编码器的探测结果使手基部停止以使手基部在第二基准位置停止时的手基部的停止位置，第二定位夹具用于将手基部定位于第二基准位置；以及手叉定位工序，在第二基准位置确定工序后，在第二臂部配置于在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置且手基部配置于在第二基准位置确定工序中确定的第二基准位置的状态下，通过用于将手叉定位在第三基准位置的第三定位夹具将手叉定位；面板装载工序，在手叉定位工序后，将探测用面板装载在手叉上；机器人动作工序，在手叉定位工序后或面板装载工序后，以第三停止位置为基准，驱动控制第一电动机，以在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置为基准，驱动控制第二电动机，并且，以在第二基准位置确定工序中确定的第二基准位置为基准，驱动控制第三电动机，将工业用机器人设为临时的基准姿势，其中，第三停止位置是基于第一原点传感器的探测结果或基于第一原点传感器的探测结果和第一编码器的探测结果使第一臂部停止以使第一臂部停止在第四基准位置时的第一臂部的停止位置；手移动工序，在机器人动作工序后，使工业用机器人动作，使手叉移动到搬运对象的交接位置；以及修正值计算工序，在手移动工序后，基于规定的基准位置即第五基准位置和探测用面板的边缘的在第一臂部相对于本体部的转动方向上的偏移量，计算用于控制第一电动机的修正值。

在本发明的工业用机器人的修正值计算方法中，在第一基准位置确定工序中，使用第一定位夹具确定第二臂部在第二臂部相对于第一臂部的转动方向上的基准位置即第一基准位置，在第二基准位置确定工序中，使用第二定位夹具确定手基部在手基部相对于第二臂部的转动方向上的基准位置即第二基准位置，在手叉定位工序中，通过第三定位夹具将手叉定位于手叉在与手叉的长边方向正交的方向上相对于手基部的基准位置即第三基准位置。另外，在本发明中，在之后的机器人动作工序中，以在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置为基准，驱动控制第二电动机，并且，以在第二基准位置确定工序中确定的第二基准位置为基准，驱动控制第三电动机，将工业用机器人设为临时的基准姿势，之后，在手移动工序中，使手叉移动到搬运对象的交接位置。

另外，在本发明中，在之后的修正值计算工序中，基于规定的第五基准位置和探测用面板的边缘的在第一臂部相对于本体部的转动方向上的偏移量，计算用于控制第一电动机的修正值。即，在本发明中，在使第二臂部、手基部及手叉对准规定的基准位置的状态下，使手叉移动到搬运对象的交接位置，之后，基于第五基准位置和探测用面板的边缘的在第一臂部相对于本体部的转动方向上的偏移量，计算用于控制第一电动机的修正值。

因此，在本发明中，在更换前的工业用机器人的手叉移动到搬运对象的交接位置时，如果将配置装载于更换前的工业用机器人的手叉上的探测用面板的边缘的规定位置设为第五基准位置，则通过计算用于控制第一电动机的修正值，能够计算用于修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移的修正值。

即，在本发明中，通过基于第五基准位置和探测用面板的边缘的在第一臂部相对于本体部的转动方向上的偏移量计算修正值，能够计算用于修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移的修正值。因此，在本发明中，能够比较容易地计算用于修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移的修正值。

在本发明中，在修正值计算工序中，例如，基于使第一臂部转动到通过配置于第五基准位置的一个传感器探测到探测用面板的边缘时的第一编码器的探测结果，计算修正值。该情况下，能够使用比较廉价的传感器计算修正值。此外，在本发明中，在修正值计算工序中，由于只要基于第五基准位置和探测用面板的边缘的在第一臂部相对于本体部的转动方向上的偏移量计算修正值即可，因此，能够使用一个传感器计算修正值。

另外，在本发明中，也可以是，在修正值计算工序中，例如使用一个摄像头，求得第五基准位置和探测用面板的边缘的在第一臂部相对于本体部的转动方向上的偏移量。在本发明中，在修正值计算工序中，只要基于第五基准位置和探测用面板的边缘的在第一臂部相对于本体部的转动方向上的偏移量计算修正值即可，因此，能够使用一个摄像头计算修正值。

而且，在本发明中，也可以是，在修正值计算工序中，例如，基于使第一臂部转动到探测用面板通过第四定位夹具被定位的位置时的第一编码器的探测结果，计算修正值，其中，第四定位夹具用于将探测用面板定位于第五基准位置和探测用面板的边缘在第一臂部相对于本体部的转动方向上一致的位置。

在本发明中，例如，在第二臂部处于第一基准位置时，第一臂部和第二臂部在上下方向上重叠，在手基部处于第二基准位置时，第二臂部和手叉在上下方向上重叠。

在本发明中，第一定位夹具例如具备：第一固定部件，其固定于第一臂部及第二臂部的任一方；以及第一销，其插入形成于第一臂部及第二臂部的任一另一方的第一插入孔和形成于第一固定部件的第一贯通孔。该情况下，能够利用比较简单的结构将第二臂部定位于第一基准位置。

在本发明中，第二定位夹具例如具备：第二固定部件，其固定于第一臂部及手基部的任一方；以及第二销，其插入形成于第一臂部及手基部的任一另一方的第二插入孔和形成于第二固定部件的第二贯通孔。该情况下，能够利用比较简单的结构将手基部定位于第二基准位置。

在本发明中，手具备两个手叉，第三定位夹具例如具备：第三固定部件，其固定于两个手叉及第二臂部的任一方；以及第三销，其插入形成于两个手叉及第二臂部的任一另一方的第三插入孔和形成于第三固定部件的第三贯通孔。该情况下，能够利用比较简单的结构将两根手叉定位于第三基准位置。

(发明效果)

如上所述，在本发明的工业用机器人的修正值计算方法中，能够比较容易地计算用于修正更换后的工业用机器人的机器人坐标系相对于更换前的工业用机器人的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移的修正值。

附图说明

图1a和图1b是通过本发明实施方式的工业用机器人的修正值计算方法计算修正值的工业用机器人的图，图1a是俯视图，图1b是侧视图。

图2是表示将图1所示的工业用机器人装入有机el显示器的制造系统的状态的俯视图。

图3是用于说明图1所示的工业用机器人的结构的框图。

图4a和图4b是第一定位夹具、第二定位夹具及第三定位夹具被安装在图1所示的工业用机器人上的状态的图，图4a是俯视图，图4b是侧视图。

图5a是图4b的e部的放大图，图5b是从图5a的f－f方向表示第一定位夹具等的图，图5c是图5a的g部的放大图。

图6a是图4b的h部的放大图，图6b是从图6a的j－j方向表示第二定位夹具等的图，图6c是图6a的k部的放大图。

图7a是图4a的l部的放大图，图7b是图4b的m部的放大图，图7c是从图7b的n－n方向表示第三定位夹具等的图，图7d是图7b的p部的放大图。

图8a和图8b是用于说明计算图1所示的工业用机器人的修正值的修正值计算工序中的工业用机器人的动作的图。

图9a和图9b是用于说明本发明另一实施方式的修正值计算工序中的工业用机器人的动作的图。

附图标记说明

1机器人(工业用机器人)

2基板(搬运对象)

8手

9臂

10本体部

15第一臂部

16第二臂部

16a插入孔(第一插入孔)

16b插入孔(第三插入孔)

17手基部

17a插入孔(第二插入孔)

18手叉

21电动机(第一电动机)

22电动机(第二电动机)

23电动机(第三电动机)

24编码器(第一编码器)

25编码器(第二编码器)

26编码器(第三编码器)

31原点传感器(第一原点传感器)

32原点传感器(第二原点传感器)

33原点传感器(第三原点传感器)

36定位夹具(第一定位夹具)

37定位夹具(第二定位夹具)

38定位夹具(第三定位夹具)

41固定部件(第一固定部件)

41a贯通孔(第一贯通孔)

42销(第一销)

43、44固定部件(第二固定部件)

44a贯通孔(第二贯通孔)

45销(第二销)

48、49固定部件(第三固定部件)

49a贯通孔(第三贯通孔)

50销(第三销)

52探测用面板

53传感器

55销(第四定位夹具的一部分)

56销保持部件(第四定位夹具的一部分)

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的结构)

图1a和图1b是通过本发明实施方式的工业用机器人的修正值计算方法来计算修正值的工业用机器人1的图，图1a是俯视图，图1b是侧视图。图2是表示将图1a和图1b所示的工业用机器人1装入有机el显示器的制造系统3的状态的俯视图。图3是用于说明图1a和图1b所示的工业用机器人1的结构的框图。

本方式的工业用机器人1(以下称为“机器人1”)是用于搬运作为搬运对象的有机el显示器用的玻璃基板2(以下称为“基板2”)的机器人。如图2所示，该机器人1是装入有机el显示器的制造系统3来使用的水平多关节机器人。制造系统3具备配置于中心的传送室4(以下称为“室4”)和以包围室4的方式配置的多个室5～7。

室5是用于对基板2进行规定的处理的处理室。另外，室6例如是收容向制造系统3供应的基板2的供应用的室(装载部)，室7例如是收容从制造系统3排出的基板2的排出用的室(卸载部)。室4～7的内部为真空。机器人1的一部分配置在室4的内部。通过构成机器人1的稍后描述的手叉18、19进入室5～7中，机器人1在多个室5～7之间搬运基板2。

如图1a和图1b所示，机器人1具备装载基板2的手8、前端侧可转动地连接手8的臂9、可转动地连接臂9的基端侧的本体部10。手8及臂9配置于本体部10的上侧。本体部10具备使臂9升降的升降机构和收容升降机构的壳体13。壳体13形成为大致有底圆筒状。在壳体13的上端固定有形成为圆盘状的突缘14。

如上所述，机器人1的一部分配置于室4的内部。具体而言，机器人1的比突缘14的下端面靠上侧的部分配置于室4的内部。即，机器人1的比突缘14的下端面靠上侧的部分配置于真空区域vr中，手8及臂9配置于真空室内(真空中)。另一方面，机器人1的比突缘14的下端面靠下侧的部分配置于大气区域ar中(大气中)。

臂9具备相互可转动地连接的第一臂部15和第二臂部16。本方式的臂9由第一臂部15和第二臂部16这两个臂部构成。第一臂部15的基端侧可转动地连接于本体部10。在第一臂部15的前端侧可转动地连接第二臂部16的基端侧。在第二臂部16的前端侧可转动地连接有手8。

第二臂部16配置于比第一臂部15靠上侧的位置。另外，手8配置于比第二臂部16靠上侧的位置。第一臂部15相对于本体部10的转动中心和第二臂部16相对于第一臂部15的转动中心的距离等于第二臂部16相对于第一臂部15的转动中心和手8相对于第二臂部16的转动中心的距离。

手8具备可转动地连接于第二臂部16的前端侧的手基部17和装载基板2的手叉18、19。本方式的手8具备两根手叉18和两根手叉19。手叉18、19形成为直线状。手叉18和手叉19形成为同形状。两根手叉18以相互隔开规定间隔的状态平行地配置。手叉18从手基部17向水平方向的一方向延伸。两根手叉19以相互隔开规定间隔的状态平行配置。手叉19从手基部17向与手叉18相反的方向延伸。

手叉18、19固定于手基部17。具体而言，手叉18、19通过固定用的螺丝固定于手基部17。在手叉18、19上形成有插通固定用的螺丝的插通孔。该插通孔是以与手叉18、19的长边方向正交的方向为长边方向的长孔，在与手叉18、19的长边方向正交的方向上，可以调节手叉18、19相对于手基部17的固定位置。

在本方式中，一张基板2装载于两根手叉18上。另外，一张基板2装载于两根手叉19上。在手叉18的上表面安装有用于对所装载的基板2进行定位的定位部件。在手叉19的上表面也安装有用于对所装载的基板2进行定位的定位部件。

另外，机器人1具备用于使第一臂部15相对于本体部10转动的电动机21、用于使第二臂部16相对于第一臂部15转动的电动机22、用于使手基部17相对于第二臂部16转动的电动机23、用于探测电动机21的旋转量的编码器24、用于探测电动机22的旋转量的编码器25、用于探测电动机23的旋转量的编码器26(参照图3)。

编码器24安装于电动机21。编码器25安装于电动机22,编码器26安装于电动机23。电动机21及编码器24例如配置于本体部10的内部。另外，电动机22、23及编码器25、26例如配置于第一臂部15的内部。电动机21～23与机器人1的控制部27电连接。编码器24～26也与控制部27电连接。本方式的电动机21是第一电动机，电动机22是第二电动机，电动机23是第三电动机。另外，编码器24是第一编码器，编码器25是第二编码器，编码器26是第三编码器。

而且，机器人1具备用于探测第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的第一臂部15的原点位置的原点传感器31、用于探测第二臂部16相对于第一臂部15的转动方向上的第二臂部16的原点位置的原点传感器32、用于探测手基部17相对于第二臂部16的转动方向上的手基部17的原点位置的原点传感器33。本方式的原点传感器31是第一原点传感器，原点传感器32是第二原点传感器，原点传感器33是第三原点传感器。

原点传感器31～33例如是接近传感器。或者，原点传感器31～33例如是具有发光元件和受光元件的光学式传感器。原点传感器31～33与控制部27电连接。在本体部10和第一臂部15的连接部即关节部，原点传感器31固定于本体部10及第一臂部15的任一方，在本体部10及第一臂部15的任一另一方，固定有在第一臂部15处于原点位置时被原点传感器31探测的探测部件。

同样，在第一臂部15和第二臂部16的连接部即关节部，原点传感器32固定于第一臂部15及第二臂部16的任一方，在第一臂部15及第二臂部16的任一另一方，固定有在第二臂部16处于原点位置时被原点传感器32探测的探测部件。另外，在第二臂部16和手基部17的连接部即关节部，原点传感器33固定于第二臂部16及手基部17的任一方，在第二臂部16及手基部17的任一另一方，固定有在手基部17处于原点位置时被原点传感器33探测的探测部件。

(工业用机器人的修正值的计算方法)

图4a和图4b是定位夹具36～38安装在图1a和图1b所示的机器人1上的状态的图，图4a是俯视图，图4b是侧视图。图5a是图4b的e部的放大图，图5b是从图5a的f－f方向表示定位夹具36等的图，图5c是图5a的g部的放大图。图6a是图4b的h部的放大图，图6b是从图6a的j－j方向表示定位夹具37等的图，图6c是图6a的k部的放大图。图7a是图4a的l部的放大图，图7b是图4b的m部的放大图，图7c是从图7b的n－n方向表示定位夹具38等的图，图7d是图7b的p部的放大图。图8a和图8b是用于说明计算图1a和图1b所示的机器人1的修正值的修正值计算工序中的机器人1的动作的图。

当将机器人1设置于制造系统3时，为了生成机器人1的动作程序，进行机器人1的示教作业。另外，例如，当更换设置于制造系统3的机器人1时，更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的示教作业中示教的示教位置的坐标产生偏移，因此，需要再次进行机器人1的示教作业。

另一方面，如果修正了更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移，则无需再次进行繁琐的示教作业。在本方式中，为了在更换机器人1后也无需再次进行繁琐的示教作业，当更换设置于制造系统3的机器人1时，计算用于修正更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移的修正值。即，计算用于修正更换后的机器人1的动作的修正值。以下，说明该修正值的计算方法。

在以下的说明中，将第二臂部16相对于第一臂部15的转动方向上的第二臂部16的规定的基准位置设为第一基准位置，将手基部17相对于第二臂部16的转动方向上的手基部17的规定的基准位置设为第二基准位置，将与手叉18在与手叉18的长边方向正交的方向上相对于手基部17的规定的基准位置设为第三基准位置，将第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的第一臂部15的规定的基准位置设为第四基准位置。

在本方式中，在第二臂部16处于第一基准位置时，如图4a和图4b所示，第一臂部15和第二臂部16在上下方向上重叠。具体而言，在第二臂部16处于第一基准位置时，第一臂部15和第二臂部16以在从上下方向进行观察时第一臂部15的长边方向和第二臂部16的长边方向一致的方式在上下方向上重叠。另外，在本方式中，第二臂部16相对于第一臂部15的转动方向上的第二臂部16的原点位置和第一基准位置一致。

另外，在手基部17处于第二基准位置时，如图4a和图4b所示，第二臂部16和手叉18在上下方向上重叠。具体而言，在手基部17处于第二基准位置时，第二臂部16和手叉18以在从上下方向观察时第二臂部16的长边方向和手叉18的长边方向一致的方式在上下方向上重叠。另外，在本方式中，手基部17从手基部17相对于第二臂部16的转动方向上的手基部17的原点位置转动了90°的位置为第二基准位置。

此外，第四基准位置可以与第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的第一臂部15的原点位置一致，也可以是第一臂部15从第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的第一臂部15的原点位置转动了规定角度的位置作为第四基准位置。

另外，在本方式中，使用用于将第二臂部16定位在第一基准位置的定位夹具36、用于将手基部17定位在第二基准位置的定位夹具37、用于将手叉18定位在第三基准位置的定位夹具38。本方式的定位夹具36是第一定位夹具，定位夹具37是第二定位夹具，定位夹具38是第三定位夹具。此外，定位夹具38还在将手叉19定位在与手叉19的长边方向正交的方向上的手叉19相对于手基部17的规定的基准位置时使用。

如图5a、图5b和图5c所示，定位夹具36具备固定于第一臂部15的固定部件41和销42。固定部件41固定于第一臂部15的基端的侧面。在固定部件41上形成有插入销42的贯通孔41a。另外，在第二臂部16的前端的侧面形成有插入销42的插入孔16a。当将插入固定部件41的贯通孔41a的销42插入至插入孔16a时，第二臂部16被严格地定位于第一基准位置。本方式的固定部件41是第一固定部件，销42是第一销，插入孔16a是第一插入孔，贯通孔41a是第一贯通孔。

如图6a、图6b和图6c所示，定位夹具37具备固定于第一臂部15的固定部件43、44和销45。固定部件43固定于第一臂部15的基端的侧面。固定部件44固定于固定部件43的侧面。在固定部件43上形成有用于防止与固定部件41的干扰的槽部。用于调节固定部件44相对于固定部件43的上下方向的位置的螺丝46的前端面与固定部件44的底面接触。螺丝46与固定于固定部件43的下端面的螺丝保持部件47螺合。

在固定部件44上形成有插入销45的贯通孔44a。另外，在手基部17的侧面形成有插入销45的插入孔17a。当插入固定部件44的贯通孔44a的销45被插入到插入孔17a时，手基部17被严格地定位于第二基准位置。本方式的固定部件43、44是第二固定部件，销45是第二销，插入孔17a是第二插入孔，贯通孔44a是第二贯通孔。

如图7a、图7b、图7c和图7d所示，定位夹具38具备固定于两根手叉18上的固定部件48、49和销50。固定部件48固定于两根手叉18的上表面。固定部件49固定于固定部件48的下表面。在固定部件49上形成有插入销50的贯通孔49a。另外，在第二臂部16的基端的侧面形成有插入销50的插入孔16b。当插入固定部件49的贯通孔49a的销50被插入至插入孔16b时，两根手叉18被严格地定位于第三基准位置。本方式的固定部件48、49是第三固定部件，销50是第三销，插入孔16b是第三插入孔，贯通孔49a是第三贯通孔。

例如，当更换设置于制造系统3的机器人1时，首先，基于原点传感器32的探测结果使第二臂部16转动到第一基准位置(原点位置)。即，基于原点传感器32的探测结果使第二臂部16转动并停止，以使第二臂部16停止在第一基准位置。

另外，基于原点传感器33的探测结果和编码器26的探测结果使手基部17转动到第二基准位置(从原点位置转动了90°的位置)。例如，在基于原点传感器33的探测结果使手基部17转动到原点位置后，基于编码器26的探测结果使手基部17从原点位置转动到第二基准位置。即，基于原点传感器33的探测结果和编码器26的探测结果使手基部17转动并停止，以使手基部17停止在第二基准位置。

然后，将固定部件41、43、44固定于第一臂部15，将固定部件48、49固定于两根手叉18。此外，严格来说，基于原点传感器32的探测结果转动到第一基准位置的第二臂部16稍微偏离第一基准位置。同样，严格来说，基于原点传感器33的探测结果和编码器26的探测结果转动到第二基准位置的手基部17稍微偏离第二基准位置。

然后，使第二臂部16相对于第一臂15转动到插入固定部件41的贯通孔41a的销42被嵌入至插入孔16a的位置，将销42插入至插入孔16a，将第二臂部16严格地定位在第一基准位置。另外，用编码器25探测此时的电动机22的转动量，控制部27使用编码器25的探测结果，确定第二臂部16的第一基准位置。

即，基于使第二臂部16从第一停止位置转动到第二臂部16通过定位夹具36定位在第一基准位置的位置时的编码器25的探测结果和第二臂部16停止在第一停止位置时的编码器25的值，确定第一基准位置(第一基准位置确定工序)，其中，第一停止位置是基于原点传感器32的探测结果使第二臂部16停止以使第二臂部16在第一基准位置停止时的第二臂部16的停止位置。

然后，在第二臂部16配置于在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置的状态下，使手基部17相对于第二臂部16转动到插入固定部件44的贯通孔44a的销45嵌入至插入孔17a的位置，将销45插入到插入孔17a，以将手基部17严格地定位在第二基准位置。另外，通过编码器26探测此时的电动机23的转动量，控制部27使用编码器26的探测结果确定手基部17的第二基准位置。

即，在第二臂部16被配置于在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置的状态下，基于使手基部17从第二停止位置转动到手基部17被定位夹具37定位的位置时的编码器26的探测结果和手基部17停止在第二停止位置时的编码器26的值，确定第二基准位置(第二基准位置确定工序)，其中，第二停止位置是为了使手基部17停止在第二基准位置而基于原点传感器33的探测结果和编码器26的探测结果使手基部17停止时的手基部17的停止位置。

然后，在第二臂部16被配置于在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置且手基部17被配置于在第二基准位置确定工序中确定的第二基准位置的状态下，使两根手叉18相对于手基部17向与手叉18的长边方向正交的方向移动到被插入固定部件49的贯通孔49a的销50嵌入至插入孔16b的位置，将销50插入至插入孔16b，将两根手叉18定位在第三基准位置。

即，在第二臂部16配置于在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置且手基部17配置于在第二基准位置确定工序中确定的第二基准位置的状态下，通过定位夹具38将两根手叉18定位(手叉定位工序)。被定位的手叉18通过螺丝固定于手基部17。

然后，至少拆下定位夹具37、38，并使手基部17相对于第二臂部16转动180°。在该状态下，将固定部件48、49固定在两根手叉19上。另外，使两根手叉19相对于手基部17向与手叉19的长边方向正交的方向移动到被插入固定部件49的贯通孔49a的销50嵌入至插入孔16b的位置，以将销50插入至插入孔16b，将两根手叉19定位在规定的基准位置。被定位的手叉19通过螺丝固定于手基部17。

然后，将探测用面板52(参照图8a和图8b)装载在两根手叉18上(面板装载工序)。探测用面板52是在后述的修正值计算工序中计算修正值时使用的面板，例如形成为长方形的平板状。探测用面板52以通过安装于手叉18的上表面的定位部件定位的状态装载于两根手叉18上。

然后，以第三停止位置为基准，驱动控制电动机21，以在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置为基准，驱动控制电动机22，并且，以在第二基准位置确定工序中确定的第二基准位置为基准，驱动控制电动机23，将机器人1设为临时的基准姿势，其中，第三停止位置是基于原点传感器31的探测结果或基于原点传感器31的探测结果和编码器24的探测结果使第一臂部15停止以使第一臂部15停止在第四基准位置时的第一臂部15的停止位置(机器人动作工序)。

即，以第三停止位置为基准，驱动电动机21，以在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置为基准，驱动控制电动机22，并且，以在第二基准位置确定工序中确定定的第二基准位置为基准，驱动控制电动机23，使机器人1移动到临时的动作开始位置。在本方式中，例如，第一臂部15停止于第三停止位置、第二臂部16停止于第一基准位置、手基部17停止于从第二基准位置转动了90°的位置的状态成为机器人1的临时的动作开始位置。另外，在本方式中，机器人1的动作开始位置和机器人1的原位一致。但是，机器人1的动作开始位置和机器人1的原位也可以偏移。

此外，在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的第一臂部15的原点位置和第四基准位置一致的情况下，在机器人动作工序中，基于原点传感器31的探测结果使第一臂部15转动并停止，以使第一臂部15停止在第四基准位置。另外，在第一臂部15从第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的第一臂部15的原点位置转动了规定角度的位置达到第四基准位置的情况下，在机器人动作工序中，基于原点传感器31的探测结果和编码器24的探测结果使第一臂部15转动并停止，以使第一臂部15停止在第四基准位置。另外，第三停止位置严格来说稍微偏离第四基准位置。另外，直至机器人动作工序之前，定位夹具36、38被拆下。

然后，使机器人1动作，使手叉18移动到基板2的交接位置(手移动工序)。例如，如图8a所示，使手叉18移动到室6中的基板2的交接位置。具体而言，伸开臂9，使手叉18移动到室6中的基板2的交接位置。然后，基于规定的基准位置即第五基准位置和探测用面板52的边缘的在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的偏移量，计算用于控制电动机21的修正值(修正值计算工序)。

具体而言，在使手叉18上装载有探测用面板52的更换前的机器人1动作以使手叉18移动到基板2的交接位置时，在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上，配置探测用面板52的边缘的位置成为第五基准位置。另外，在第五基准位置配置有一个传感器53。传感器53例如是具有发光元件和受光元件的光学式的传感器、或接近传感器。传感器53设置于室6的内部。

在修正值计算工序中，控制部27基于使第一臂部15转动直至由传感器53探测到探测用面板52的边缘为止(即，直到在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上，第五基准位置和探测用面板52的边缘一致为止)时的编码器24的探测结果，计算修正值。

例如，如图8a所示，在使手叉18移动到室6中的基板2的交接位置时，在配置于第五基准位置的传感器53和探测用面板52的边缘在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上偏移的情况下，在修正值计算工序中，如图8b所示，使第一臂部15转动，直至由传感器53探测到探测用面板52的边缘为止。另外，基于此时的编码器24的探测结果，计算修正值。此外，探测用面板52的边缘在传感器53的接通和断开发生切换时由传感器53探测到。

然后，反映在修正值计算工序中计算出的修正值并驱动控制电动机21，以在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置为基准，驱动控制电动机22，并且，以在第二基准位置确定工序中确定的第二基准位置为基准，驱动控制电动机23，使机器人1返回正规的动作开始位置。

此外，在本方式中，然后，使手基部17转动180°，并且，将探测用面板52换载到两根手叉19上，之后，使手叉19移动到室6中的基板2的交接位置。此时，在传感器52未探测到装载于手叉19上的探测用面板52的边缘的情况下，使用定位夹具38调节手叉19在与手叉19的长边方向正交的方向上向手基部17的固定位置，以使装载于手叉19上的探测用面板52的边缘被传感器53探测到。

(本方式的主要效果)

如以上所说明，在本方式中，在第一基准位置确定工序中使用定位夹具36确定第一基准位置，该第一基准位置是第二臂部16在第二臂部16相对于第一臂部15的转动方向上的基准位置，在第二基准位置确定工序中使用定位夹具37确定第二基准位置，该第二基准位置是手基部17在手基部17相对于第二臂部16的转动方向上的基准位置，在手叉定位工序中，通过定位夹具38将手叉18定位在第三基准位置，该第三基准位置是手叉18在与手叉18的长边方向正交的方向上相对于手基部17的基准位置。另外，在本方式中，在之后的机器人动作工序中，以在第一基准位置确定工序中确定的第一基准位置为基准，驱动控制电动机22，并且，以在第二基准位置确定工序中确定的第二基准位置为基准，驱动控制电动机23，将机器人1设为临时的基准姿势，之后，在手移动工序中，使手叉18移动到基板2的交接位置。

另外，在本方式中，在之后的修正值计算工序中，基于第五基准位置和探测用面板52的边缘的在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的偏移量，计算用于控制电动机21的修正值。即，在本方式中，在以使第二臂部16、手基部17及手叉18与规定的基准位置对准的状态下，使手叉18移动到基板2的交接位置，之后，基于第五基准位置和探测用面板52的边缘的在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的偏移量，计算用于控制电动机21的修正值。

另外，在本方式中，在使手叉18上装载有探测用面板52的更换前的机器人1动作以使手叉18移动到基板2的交接位置时，在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上，配置探测用面板52的边缘的位置成为第五基准位置。因此，在本方式中，在修正值计算工序中，通过计算用于控制电动机21的修正值，可以计算用于修正更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移的修正值。

即，在本方式中，通过基于第五基准位置和探测用面板52的边缘的在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的偏移量计算修正值，能够计算用于修正更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移的修正值。因此，在本方式中，能够比较容易地计算用于修正更换后的机器人1的机器人坐标系相对于更换前的机器人1的示教作业中示教的示教位置的坐标的偏移的修正值。

另外，在本方式中，在修正值计算工序中，只要基于第五基准位置和探测用面板52的边缘的在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的偏移量计算修正值即可，因此，能够使用一个传感器53计算修正值。另外，在本方式中，因为能够使用光学式的传感器或接近传感器即传感器53计算修正值，所以能够使用比较廉价的传感器53计算修正值。

(修正值计算工序的变形例1)

在上述的方式中，也可以代替传感器53而使用一个摄像头，来求出第五基准位置和探测用面板52的边缘的在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的偏移量。该情况下，例如，在室6的内部的与第五基准位置对应的部位形成有规定的标记，通过求得由摄像头拍摄到的标记的位置和探测用面板52的边缘的偏移量，求出第五基准位置和探测用面板52的边缘的偏移量。另外，例如，将第五基准位置的坐标预先存储于控制部27，基于由摄像头拍摄到的探测用面板52的边缘的坐标和第五基准位置的坐标，求出第五基准位置和探测用面板52的边缘的偏移量。

该情况下，即使不使第一臂部15相对于本体部10转动，也能够求出第五基准位置和探测用面板52的边缘的偏移量。另外，该情况下，例如，在使用摄像头求出第五基准位置和探测用面板52的边缘的偏移量后，基于使第一臂部15相对于本体部10转动了求出的偏移量时的编码器24的探测结果，计算修正值。

此外，即使是在该情况下，也是只要基于第五基准位置和探测用面板52的边缘的在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的偏移量计算修正值即可，因此，能够使用一个摄像头计算修正值。另外，也可以代替摄像头而使用光学式的线性传感器求出第五基准位置和探测用面板52的边缘的在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的偏移量。即使是在该情况下，即使不使第一臂部15相对于本体部10转动，也能够求出第五基准位置和探测用面板52的边缘的偏移量。

(修正值计算工序的变形例2)

图9a和图9b是用于说明本发明另一实施方式的修正值计算工序中的机器人1的动作的图。

在上述的方式中，在修正值计算工序中，使用传感器53使第一臂部15转动到第五基准位置和探测用面板52的边缘在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上一致的位置，但也可以使用第四定位夹具使第一臂部15转动到第五基准位置和探测用面板52的边缘在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上一致的位置，其中，第四定位夹具用于将探测用面板52(装载于手叉18的探测用面板52)定位于第五基准位置和探测用面板52的边缘在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上一致的位置。

该情况下，第四定位夹具例如具备销55和形成有插入销55的插入孔56a的销保持部件56。销保持部件56设置于室6的内部。在探测用面板52上形成有插入销55的贯通孔52a。当插入到探测用面板52的贯通孔52a的销55被插入销保持部件56的插入孔56a时，装载于手叉18上的探测用面板52被定位于第五基准位置和探测用面板52的边缘在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上一致的位置。

在该情况下的修正值计算工序中，基于使第一臂部15转动到探测用面板52通过第四定位夹具被定位的位置时的编码器24的探测结果，计算修正值。例如，如图9a所示，在使手叉18移动到室6中的基板2的交接位置时，销保持部件56的插入孔56a和探测用面板52的贯通孔52a在第一臂部15相对于本体部10的转动方向上偏移的情况下，在修正值计算工序中，如图9b所示，使第一臂部15转动到探测用面板52通过第四定位夹具被定位的位置。另外，基于此时的编码器24的探测结果计算修正值。

(其它实施方式)

上述的方式是本发明的优选方式的一个例子，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内可以进行各种变形实施。

在上述的方式中，在使手叉18上装载有探测用面板52的更换前的机器人1动作以使手叉18移动到基板2的交接位置时，配置第一臂部15相对于本体部10的转动方向上的探测用面板52的一边缘的位置和配置探测用面板52的另一边缘的位置这两个部位也可以作为第五基准位置。该情况下，在两个部位的第五基准位置分别配置有传感器53。

在上述的方式中，可以是第二臂部16从第二臂部16相对于第一臂部15的转动方向上的第二臂部16的原点位置转动了规定角度的位置作为第一基准位置。该情况下，当更换设置于制造系统3的机器人1时，基于原点传感器32的探测结果和编码器25的探测结果使第二臂部16转动并停止，以使第二臂部16停止在第一基准位置。

另外，在上述的方式中，手基部17在手基部17相对于第二臂部16的转动方向上的原点位置和第二基准位置也可以一致。该情况下，当更换设置于制造系统3的机器人1时，基于原点传感器33的探测结果使手基部17转动并停止，以使手基部17停止在第二基准位置。另外，在上述的方式中，也可以在机器人动作工序之后进行面板装载工序。

在上述的方式中，对设置于制造系统3的机器人1进行第一基准位置确定工序、第二基准位置确定工序以及手叉定位工序，但也可以对设置于制造系统3之前的机器人1进行第一基准位置确定工序、第二基准位置确定工序以及手叉定位工序。例如，在机器人1的组装工厂中，也可以对机器人1进行第一基准位置确定工序、第二基准位置确定工序以及手叉定位工序。

另外，在将机器人1从组装工厂搬运到制造系统3时，为了避免长度较长的手叉18、19成为搬运的障碍，在拆下了手叉18、19的状态下将机器人1从组装工厂搬运到制造系统3的情况下，也可以在组装工厂中对机器人1进行第一基准位置确定工序和第二基准位置确定工序，对设置于制造系统3之后的机器人1进行手叉定位工序。

在上述的方式中，固定部件41也可以固定于第二臂部16。该情况下，在第一臂部15的基端的侧面形成有插入销42的作为第一插入孔的插入孔。另外，在上述的方式中，固定部件44也可以固定于手基部17。该情况下，在第一臂部15的基端的侧面形成有插入销45的作为第二插入孔的插入孔。而且，在上述的方式中，固定部件48、49也可以固定于第二臂部16。该情况下，在两根手叉18上形成有插入销50的作为第三插入孔的插入孔。

在上述的方式中，手8也可以不具备手叉19。另外，在上述的方式中，由机器人1搬运的搬运对象是有机el显示器用的基板2，但由机器人1搬运的搬运对象也可以是液晶显示器用的玻璃基板，还可以是半导体晶圆等。另外，在上述的方式中，机器人1也可以配置于大气压的空间中。