专利名称：分光镜及其镀膜工艺方法
技术领域：
本发明涉及光学玻璃加工技术领域，尤其是一种分光镜的加工工艺方法。
背景技术：
分光镜是一个可以将一束光分成两束的光学装置，通常是通过一平面光学玻璃上镀一层金属薄膜来实现，这种分光镜由于其上的金属薄膜对光线的吸收率过大，因此分光效率不高，不能满足大功率分光的要求，应用范围及其有限。
发明内容
本发明的目的是提供一种能够有效降低吸收率的分光镜及其镀膜工艺方法。为了解决上述问题，本发明采用的技术方案是这种分光镜包括有一块镜片，在所述镜片的至少一个表面上镀有薄膜，薄膜由所述镜片表面朝外依次分为5层，第一层为氟·化镁膜，第二层为二氧化钛膜，第三层为氟化镁膜，第四层为氧化钛膜，第五层为氟化镁膜。这种分光镜镀膜工艺方法，包括有准备工作步骤，抽真空步骤，预热膜料步骤和镀膜步骤，所述镀膜步骤包括如下5个分步骤初镀先将光栅左狭缝调至O. 35毫米，光栅右狭缝调至O. 8毫米，在320摄氏度的烘烤温度下恒定15—20分钟后，进行初镀，初镀的工艺条件膜料为氟化镁，烘烤温度为320摄氏度，真空度为2. 8xl0_3帕，控制波长为572纳米，束流为30毫安，测厚仪控制为两个极值；二镀二镀的工艺条件膜料为二氧化钛，烘烤温度为320摄氏度，真空度为I. OxlO-2帕并且充氧，控制波长为520纳米，束流为140毫安，测厚仪控制为一个极大值；三镀三镀的工艺条件膜料为氟化镁，烘烤温度为300摄氏度，真空度为2. 5xl0_3帕，控制波长为530纳米，束流为30毫安，测厚仪控制为一个极小值；四镀，四镀的工艺条件膜料为二氧化钛，烘烤温度为320摄氏度，真空度为I. 0χ10_2帕并且充氧，控制波长为520纳米，束流为140毫安，测厚仪控制为一个极大值；末镀，末镀的工艺条件膜料为氟化镁，烘烤温度为300摄氏度，真空度为2. 5xl0_3帕，控制波长为530纳米，束流为30毫安，测厚仪控制为一个极小值。由于采用了上述方案，本发明与现有技术相比具有如下有益效果
I、本发明的分光镜结构简单，吸收率较低，分光效率较高，应用范围较广。2、本发明的镀膜工艺方法新颖，所采用的膜料易购，容易实施。
图I是本发明的主视示意图。图2是图I中A —A处的剖视图。图3是图2中B处的放大图。
具体实施例方式下面结合附图实施例对本发明作进一步详述图I、图2和图3所示的本分光镜，包括有一块镜片1，在镜片I的表面上镀有薄膜2，薄膜2由镜片I表面朝外依次分为5层，第一层为氟化镁膜21，第二层为二氧化钛膜22，第三层为氟化镁膜23，第四层为氧化钛膜24，第五层为氟化镁膜25。本分光镜镀膜工艺方法，包括有如下步骤
准备工作步骤用吸尘器清洁真空室、钟罩、挡板、器皿及夹具等，用脱脂布蘸无水乙醇和乙醚混合剂擦拭光学玻璃，在I号坩埚内加入二氧化钛膜料和在4号坩埚内加入氟化镁膜料，最后放入擦拭干净的光学玻璃，更换比较片并关紧真空室门；
抽真空步骤启动真空泵,开始先抽低真空再抽高真空，当真空度低于3帕时，关低阀，开预阀和开闻阀；
预热膜料步骤先开扫描，将电子枪灯丝电流调到O. 5安，预热5分钟后，再将扫描X电流调到O. 5安，Y电流调到O安，将电子束斑置于坩埚的中心，然后开高压，开电子枪束流，调节束流的大小来预热膜料；
镀膜步骤镀膜步骤又分为如下分步骤
A、初镀先将光栅左狭缝调至O.35毫米，光栅右狭缝调至O. 8毫米，在320摄氏度的烘烤温度下恒定15—20分钟后，进行初镀，初镀的工艺条件膜料为氟化镁，烘烤温度为320摄氏度，真空度为2. 8xl0_3帕，控制波长为572纳米，束流为30毫安，测厚仪控制为两个极值；
B、二镀二镀的工艺条件膜料为二氧化钛，烘烤温度为320摄氏度，真空度为I.OxlO-2帕并且充氧，控制波长为520纳米，束流为140毫安，测厚仪控制为一个极大值；
C、三镀三镀的工艺条件膜料为氟化镁，烘烤温度为300摄氏度，真空度为2.5xl0_3帕，控制波长为530纳米，束流为30毫安，测厚仪控制为一个极小值；
D、四镀，四镀的工艺条件膜料为二氧化钛，烘烤温度为320摄氏度，真空度为I.OxlO-2帕并且充氧，控制波长为520纳米，束流为140毫安，测厚仪控制为一个极大值；
E、末镀，末镀的工艺条件膜料为氟化镁，烘烤温度为300摄氏度，真空度为2.5xl0_3帕，控制波长为530纳米，束流为30毫安，测厚仪控制为一个极小值。镀制完闭后，静置一段时间，待真空室完全冷却后，打开真空室门取出镀好的分光镜。
权利要求
1.一种分光镜，包括有一块镜片，其特征在于在所述镜片的至少一个表面上镀有薄膜，薄膜由所述镜片表面朝外依次分为5层，第一层为氟化镁膜，第二层为二氧化钛膜，第三层为氟化镁膜，第四层为氧化钛膜，第五层为氟化镁膜。
2.一种分光镜镀膜工艺方法，包括有准备工作步骤，抽真空步骤，预热膜料步骤和镀膜步骤，其特征在于所述镀膜步骤包括如下5个分步骤 A、初镀先将光栅左狭缝调至O.35毫米，光栅右狭缝调至O. 8毫米，在320摄氏度的烘烤温度下恒定15—20分钟后，进行初镀，初镀的工艺条件膜料为氟化镁，烘烤温度为320摄氏度，真空度为2. 8xl0_3帕，控制波长为572纳米，束流为30毫安，测厚仪控制为一个极大值和一个极小值； B、二镀二镀的工艺条件膜料为二氧化钛，烘烤温度为320摄氏度，真空度为I.OxlO-2帕并且充氧，控制波长为520纳米，束流为140毫安，测厚仪控制为一个极大值； C、三镀三镀的工艺条件膜料为氟化镁，烘烤温度为300摄氏度，真空度为2.5xl0_3帕，控制波长为530纳米，束流为30毫安，测厚仪控制为一个极小值； D、四镀，四镀的工艺条件膜料为二氧化钛，烘烤温度为320摄氏度，真空度为I.OxlO-2帕并且充氧，控制波长为520纳米，束流为140毫安，测厚仪控制为一个极大值； E、末镀，末镀的工艺条件膜料为氟化镁，烘烤温度为300摄氏度，真空度为2.5xl0_3帕，控制波长为530纳米，束流为30毫安，测厚仪控制为一个极小值。
全文摘要
本发明公开了一种分光镜及其镀膜工艺方法，一种分光镜包括有一块镜片，在其表面上由此表面朝外依次设有氟化镁膜，二氧化钛膜，氟化镁膜，氧化钛膜和氟化镁膜共5层薄膜。一种分光镜镀膜工艺方法，包括有准备工作步骤，抽真空步骤，预热膜料步骤和镀膜步骤，所述镀膜步骤包括有在镜片表面先镀一层氟化镁膜，再在镀层上镀一层二氧化钛膜，再在镀层上镀一层氟化镁膜，再在镀层上镀一层二氧化钛膜，最后在镀层上镀一层氟化镁膜的5个分步骤。与现有技术相比，本发明解决目前很难仅通过一个平面光学镜片将一束单色光任意分成两束的问题。
文档编号B32B33/00GK102928985SQ201210416700
公开日2013年2月13日 申请日期2012年10月28日 优先权日2012年10月28日
发明者王永健, 高思颖, 严庆华 申请人:梧州奥卡光学仪器有限公司