专利名称：一种玻璃镀膜工艺室的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及玻璃镀膜技术领域，特别涉及一种玻璃镀膜工艺室。
背景技术：
玻璃镀膜机是玻璃镀膜生产线上的中心设备，其性能的好坏直接影响玻璃表面镀膜的均勻性和平整性。在玻璃镀膜生产线上，玻璃镀膜机一般包括有多个镀膜室，玻璃镀膜过程中，玻璃通过传送机构依次送入各个镀膜室进行镀膜。由于玻璃镀膜过程必须进行抽真空处理，因此，目前常用的玻璃镀膜机中，任意两个相邻的镀膜室之间还设有一个抽气室。但该结构的玻璃镀膜机较为庞大，使得生产线较长，不利于节约生产成本；同时，在实际生产中也发现该结构的玻璃镀膜机其抽真空效率较低，容易影响玻璃表面镀膜的质量。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种抽真空效率较高、镀膜质量也较好的玻璃镀膜工艺室。本实用新型的技术方案为一种玻璃镀膜工艺室，包括镀膜室和玻璃传动机构，玻璃传动机构设于镀膜室下方，镀膜室内设有磁控靶组件，镀膜室上方设有抽真空用的分子泵。所述镀膜室内，磁控靶组件的上方设有气流罩，其作用是抽真空时对镀膜室内的空气起导流作用，进一步提高抽真空效率。所述磁控靶组件包括两个磁控靶，两个磁控靶在玻璃输送方向上并排设置。根据实际的工艺要求，磁控靶的数量也可适当调整。所述镀膜室的侧壁下部设有挡板，镀膜室内，挡板设置的高度低于磁控靶组件。所述玻璃传动机构包括传动带和多个传动轮，多个传动轮设于传动带下方；玻璃镀膜工艺进行时，玻璃工件设于传动带上方并穿过镀膜室底部。所述分子泵外周设有盖罩。在玻璃镀膜生产线中，采用多个本玻璃镀膜工艺室串联，玻璃传动机构设于各个玻璃镀膜工艺室下方，玻璃工件在玻璃传动机构上依次送至各个玻璃镀膜工艺室进行镀膜。单个玻璃镀膜工艺室内，通过分子泵对镀膜室进行抽真空，同时通过磁控靶组件对玻璃工件表面进行镀膜。本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果本玻璃镀膜工艺室简单，将抽气机构和镀膜机构设于同一个镀膜室内，可以省去独立设于相邻两个镀膜室之间的抽气室，简化玻璃镀膜生产线，使设备结构紧凑。同时，采用分子泵对镀膜室直接进行抽真空，可有效提高镀膜过程中的抽真空效率，改善玻璃表面的镀膜质量。
[0013]图1为本玻璃镀膜工艺室示意图。图2为去掉盖罩后图1的A向视图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。实施例本实施例一种玻璃镀膜工艺室，其结构如图1或图2所示，包括镀膜室1和玻璃传动机构2，玻璃传动机构2设于镀膜室1下方，镀膜室1内设有磁控靶组件，镀膜室1上方设有抽真空用的分子泵3。镀膜室1内，磁控靶组件的上方设有气流罩4，其作用是抽真空时对镀膜室1内的空气起导流作用，进一步提高抽真空效率。磁控靶组件包括两个磁控靶5，两个磁控靶在玻璃输送方向上并排设置。根据实际的工艺要求，磁控靶5的数量也可适当调整。镀膜室1的侧壁下部设有挡板6，镀膜室内，挡板6设置的高度低于磁控靶组件。玻璃传动机构2包括传动带和多个传动轮，多个传动轮设于传动带下方；玻璃镀膜工艺进行时，玻璃工件7设于传动带上方并穿过镀膜室1底部。分子泵3外周设有盖罩8。在玻璃镀膜生产线中，采用多个本玻璃镀膜工艺室串联，玻璃传动机构2设于各个玻璃镀膜工艺室下方，玻璃工件7在玻璃传动机构2上依次送至各个玻璃镀膜工艺室进行镀膜(如图中玻璃传动机构左右的箭头所示)。单个玻璃镀膜工艺室内，通过分子泵3对镀膜室1进行抽真空，同时通过磁控靶组件对玻璃工件表面进行镀膜。如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰， 都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
权利要求1.一种玻璃镀膜工艺室，包括镀膜室和玻璃传动机构，玻璃传动机构设于镀膜室下方， 其特征在于，镀膜室内设有磁控靶组件，镀膜室上方设有抽真空用的分子泵。
2.根据权利要求1所述一种玻璃镀膜工艺室，其特征在于，所述镀膜室内，磁控靶组件的上方设有气流罩。
3.根据权利要求1所述一种玻璃镀膜工艺室，其特征在于，所述磁控靶组件包括两个磁控靶，两个磁控靶在玻璃输送方向上并排设置。
4.根据权利要求1所述一种玻璃镀膜工艺室，其特征在于，所述镀膜室的侧壁下部设有挡板，镀膜室内，挡板设置的高度低于磁控靶组件。
5.根据权利要求1所述一种玻璃镀膜工艺室，其特征在于，所述玻璃传动机构包括传动带和多个传动轮，多个传动轮设于传动带下方；玻璃镀膜工艺进行时，玻璃工件设于传动带上方并穿过镀膜室底部。
6.根据权利要求1所述一种玻璃镀膜工艺室，其特征在于，所述分子泵外周设有盖罩。
专利摘要本实用新型公开一种玻璃镀膜工艺室，包括镀膜室和玻璃传动机构，玻璃传动机构设于镀膜室下方，镀膜室内设有磁控靶组件，镀膜室上方设有抽真空用的分子泵。本玻璃镀膜工艺室简单，将抽气机构和镀膜机构设于同一个镀膜室内，可以省去独立设于相邻两个镀膜室之间的抽气室，简化玻璃镀膜生产线，使设备结构紧凑。同时，采用分子泵对镀膜室直接进行抽真空，可有效提高镀膜过程中的抽真空效率，改善玻璃表面的镀膜质量。
文档编号C23C14/56GK202131364SQ20112021992
公开日2012年2月1日 申请日期2011年6月27日 优先权日2011年6月27日
发明者朱建明 申请人:肇庆市科润真空设备有限公司