专利名称：头单元、液滴喷射装置、制造面板方法、显示及电子装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于液滴喷射装置中的头单元、液滴喷射装置、由基部制造面板的方法、图像显示装置和电子装置。
背景技术：
作为制作用于图像显示装置用的面板的方法，诸如液晶显示器的滤色器、使用液滴喷射装置(喷墨图画装置)的方法是公知的(诸如，参看JP-A-59-75205)。在此方法中，多个像素被形成在用于制造面板的衬底上，多个像素(喷射区域)通过将诸如墨的液体材料使用液滴喷射装置以液滴的形式供给到多个像素上而被形成在所述面板上。这样的用于制造面板的液滴喷射装置通过将液体材料以液滴的形式供给到衬底上同时相对头单元移动用于支撑衬底的工作台而供给用于形成像素的液体材料到衬底上的多个像素上，多个液滴喷射头被设置到头单元上。
多个喷嘴(喷嘴开口)被形成为一个液滴喷射头以被对齐，并且多个喷嘴构成喷嘴阵列。由于喷嘴阵列的长度比衬底的尺寸更短，多个液滴喷射头被安置在头单元上，这样喷嘴阵列在从扫描方向上观察时彼此连接，以让液滴在头单元的一次扫描操作上所喷射在其上的区域的宽度(将被划出的宽度)更长。
但是，由于不可避免地多个液滴喷射头之中的喷射量发生一些变化，例如，一个液滴喷射头喷射液体材料的液滴到其上的像素的颜色变深，另外的一个液滴喷射头喷射液体材料的液滴到其上的像素的颜色变浅。在这样的情况下，有个问题就是在面板上产生颜色不均匀。
此外，在一个液滴喷射头的喷嘴阵列和液体材料被供给的相邻液滴喷射头之间的接缝的附近的像素中，有个这样的问题其中颜色不均匀性沿着液滴喷射头的扫描方向延伸的条纹由于液滴喷射头之间的喷射量之间的差异或者喷嘴节距的误差而被产生在面板上。在条纹被产生在面板上的情况下，当图像显示装置使用这样的面板制造时，图像显示装置的显示器似乎包括条纹。这使得图像质量降低。
发明内容
因此，本发明的一个目的是提供一种用于液滴喷射装置中的头单元，液体喷射装置，由基部制造面板的方法，图像显示装置和设有没有颜色不均匀性和条纹的面板的电子装置，所述液滴喷射装置可以制造没有颜色不均匀和条纹的高质量面板。
为了实现上述目的，在本发明的一方面中，本发明涉及用于使用在液滴喷射装置中的头单元。本发明的头单元设有多个液滴喷射头，用于将一种或者多种类型的预定颜色的液体材料以液滴的形式喷射到基部上。各液滴喷射头包括至少一个喷嘴阵列，所述喷嘴阵列从多个线性对齐的喷嘴所形成。液体材料适于以液滴的方式通过多个液滴喷射头的多个喷嘴被喷射。多个液滴喷射头包括至少两组两个相邻液滴喷射头，所述液滴喷射头被以连续的方式安置在平行于各喷嘴阵列的第一方向上用于喷射相同颜色的液体材料，至少两组两个相邻液滴喷射头的每个的两个相邻喷嘴阵列被安置，这样其喷嘴在从垂直于第一方向的第二方向观察时通过两个相邻的液滴喷射头的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝而连续。所述至少两组的用于喷射相同颜色的液体材料的液滴的两个相邻液滴喷射头被安置，这样其接缝的一个接缝在从第二方向观察时相对接缝的任何其它的接缝沿第一方向偏移。
根据本发明的液滴喷射装置中所使用的头单元，就可以通过多个液滴喷射头的喷嘴将液体材料的液滴使用喷嘴阵列的重叠喷射到一个喷射区域(即，一个像素)上。因此，即使在多个液滴喷射头的喷射量之中存在变化(误差)的情况下，也可以防止有害的颜色不均匀性被产生在面板的表面中，所述面板使用本发明的头单元由基部制造。换言之，与本发明相比，在液体材料通过仅仅一个液滴喷射头的喷嘴而被供给到一个喷射区域上的情况下，液滴喷射头的喷射量的变化直接导致将被供给到各喷射区域上的液体材料量的变化(误差)，由此在面板上显著出现颜色不均匀性。另一方面，在本发明中，由于将被供给到一个喷射区域上的液体材料量变成在扫描方向上重叠的多个液滴喷射头的喷射量的平均，就可以使得将被供给到各喷射区域上的液体材料量变得均匀，由此就可以防止产生颜色不均匀性。
此外，通过以连续的方式在平行于各喷嘴阵列的第一方向上布置用于喷射相同颜色的液体材料的至少两组两个相邻液滴喷射头(在此情况下，两个相邻的液体喷射头用作较长的喷嘴阵列)，就可以放大整个头单元的宽度至液体材料可以被喷射(供给)到基部的宽度。
此外，通过安置用于喷射相同颜色的液体材料的液滴的至少两组两个相邻液滴喷射头，这样所有的其接缝在从第二方向观察时在第一方向上相对彼此偏移，即使在条纹由于两个相邻的喷嘴阵列的接缝的缘故被产生的情况下，各接缝的条纹彼此不重叠，但是在不同的位置分散。由此，就可让条纹变得不是很显眼。
在本发明的头单元中，优选地，多个液滴喷射头的每个的喷嘴阵列的多个喷嘴包括被构造以不能喷射液体材料的液滴的喷嘴阵列的两端的附近中的无能力或不起作用喷嘴，两个相邻的喷嘴阵列被安置，这样两个相邻的喷嘴阵列之一的一端部分地重叠两个相邻的喷嘴阵列的另外一个的一端以提供接缝。
这样，不在各液滴喷射头中的喷嘴阵列的两端的附近中使用无能力喷嘴，对于其难于用很高的精度来控制液滴喷射头的每个的喷射量，液体材料将通过可以用很高精度来控制喷射量的其它喷嘴而被喷射。因此，就可以使得将被供给到各喷射区域上的液体材料量变得均匀化，并且这使得使用本发明的头单元可以更为可靠地防止有害的颜色不均匀在由基部所制造的面板的表面中产生。
在本发明的头单元中，优选地，各液滴喷射头包括多个喷嘴阵列，多个喷嘴阵列以侧靠侧的关系在第二方向上被安置，这样多个液滴喷射头的每个中的多个喷嘴阵列的两端在从第二方向观察时对齐。
这使得可以通过多个液滴喷射头中的多个喷嘴阵列的喷嘴将液体材料的液滴使用多个喷嘴阵列的重叠而喷射到一个喷射区域(即，一个像素)上。因此，就可以使得将被供给到各喷射区域上的液体材料量极其均匀，并且可以使用本发明的头单元更为可靠地防止有害的颜色不均匀被产生在由基部所制造的面板的表面中。
此外，就可以放大整个头单元的宽度至液体材料可以被进一步喷射(供给)的基部的宽度。此外，通过安置多个喷嘴阵列，这样多个液滴喷射头的所有接缝在从第二方向观察时在第一方向上相对彼此偏移，即使在条纹由于多个相邻的喷嘴阵列的接缝的缘故被产生的情况下，各接缝的条纹彼此不重叠，但是在不同的位置上分散。由此，就让条纹变得不是很显眼。
在本发明的头单元中，优选地一种或者多种类型的液体材料包括三种类型的液体材料，分别具有红、绿和蓝色。
在本发明的另外一方面中，本发明涉及用于将一种或者多种类型的液体材料以液滴的方式供给到基部上的液滴喷射装置。一种或者多种类型的液体材料具有预定的颜色。所述装置包括如上所述的头单元；具有两个主表面的工作台，两个工作台的主表面之一朝向头单元的多个液滴喷射头，基部被支撑在工作台的一个主表面上；移动机构，用于相对头单元相互移动工作台；以及控制单元，所述控制单元用于控制头单元以及移动机构的操作，这样头单元的多个液滴喷射头的每个将液体材料的液滴喷射到基部，同时在垂直于第一方向的第二方向上相对头单元相互移动工作台。
根据本发明的液滴喷射装置，就可以使用喷嘴阵列的重叠通过多个液滴喷射头的喷嘴将液体材料喷射到一个喷射区域(即、一个像素)上。因此，即使在多个液滴喷射头的喷射量之中存在变化(误差)的情况下，就可以防止有害的颜色不均匀性被产生在面板的表面中，所述面板使用本发明的头单元从基部制造。换言之，与本发明相比，在液体材料通过仅仅一个液滴喷射头的喷嘴而被供给到一个喷射区域上的情况下，液滴喷射头的喷射量的变化直接导致将被供给到各喷射区域上的液体材料量的变化(误差)，由此在面板上显著出现颜色不均匀性。另一方面，在本发明中，由于将被供给到一个喷射区域上的液体材料量变成在扫描方向上重叠的多个液滴喷射头的喷射量的平均，就可以使得将被供给到各喷射区域上的液体材料量变得均匀，由此就可以防止产生颜色不均匀性。
在本发明的液滴喷射装置中，优选地基部是用于制造滤色器衬底的基部材料，所述滤色器衬底用于液晶显示器，并且一种或者多种类型的液体材料是用于形成滤色器衬底的滤色器层的墨。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造没有颜色不均匀和条纹的液晶显示器用的滤色器衬底。
在本发明的液滴喷射装置中，优选地，基部是用于制造电致发光显示器的基部材料，以及一种或者多种类型的液体材料包括用于制造电致发光显示器的发光材料。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造没有颜色不均匀和条纹的电致发光显示器用的滤色器衬底。
在本发明的另外的方面中，本发明涉及使用如上所述的液滴喷射装置由基部制造面板的方法。所述方法包括步骤制备基部；以及将预定颜色的一种或者多种类型的液体材料以液滴的形式通过液滴喷射装置喷射液滴而供给到基部上同时相对头单元在垂直于第一方向的第二方向上移动基部。
根据本发明的使用本发明的液滴喷射装置由基部制造面板的方法，就可以使用喷嘴阵列的重叠通过多个液滴喷射头的喷嘴将液体材料喷射到一个喷射区域(即、一个像素)上。因此，即使在多个液滴喷射头的喷射量之中存在变化(误差)的情况下，就可以防止有害的颜色不均匀性被产生在面板的表面中，所述面板使用本发明的头单元从基部制造。换言之，与本发明相比，在液体材料通过仅仅一个液滴喷射头的喷嘴而被供给到一个喷射区域上的情况下，液滴喷射头的喷射量的变化直接导致将被供给到各喷射区域上的液体材料量的变化(误差)，由此在面板上显著出现颜色不均匀性。另一方面，在本发明中，由于将被供给到一个喷射区域上的液体材料量变成在扫描方向上重叠的多个液滴喷射头的喷射量的平均，就可以使得将被供给到各喷射区域上的液体材料量变得均匀，由此就可以防止产生颜色不均匀性。
此外，通过以连续的方式在平行于各喷嘴阵列的第一方向上用于喷射相同颜色的至少两组两个相邻液滴喷射头(在此情况下，两个相邻的液体喷射头用作较长的喷嘴阵列)，就可以放大整个头单元的宽度至液体材料可以被喷射(供给)到基部的宽度。
此外，通过安置用于喷射相同颜色的液体材料的液滴的至少两组两个相邻液滴喷射头，这样所有的接缝在从第二方向观察时在第一方向上相对彼此偏移，即使在条纹由于两个相邻的喷嘴阵列的接缝的缘故被产生的情况下，各接缝的条纹彼此不重叠，但是在不同的位置上分散。由此，就让条纹变得不是很显眼。
在根据本发明由基部制造面板的方法中，优选地，基部是用于制造滤色器衬底的基部材料，所述滤色器衬底用于液晶显示器，并且一种或者多种类型的液体材料是用于形成滤色器衬底的滤色器层的墨。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造没有颜色不均匀和条纹的液晶显示器用的滤色器衬底。
在根据本发明由基部制造面板的方法中，优选地，基部是用于制造电致发光显示器的基部材料，以及一种或者多种类型的液体材料包括用于制造电致发光显示器的荧光材料。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造没有颜色不均匀和条纹的电致发光显示器用的滤色器衬底。
在本发明的另外一方面中，本发明涉及包括使用如上所述的方法制造的面板的图像显示装置。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造没有颜色不均匀和条纹的图像显示装置。
在本发明的另外一方面中，本发明涉及包括如上所述的图像显示装置的电子装置。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造包括没有颜色不均匀和条纹的图像显示装置的电子装置。
本发明的这些和/或者其它方面将从下述实施例并结合附图的说明变得显而易见并更容易理解，其中图1是本发明的实施例的液滴喷射装置的透视图；图2是图1中所示的液体喷射装置的头单元和基部的平面图；图3是显示液滴喷射头的喷嘴表面(喷嘴板)的一部分以及基部的像素的放大平面图；图4(a)和4(b)分别是图1所示的液滴喷射装置的液滴喷射头的透视横截面视图以及横截面视图；图5是图1中所示的液滴喷射装置的方框图；图6(a)是头驱动单元的示意图；图6(b)是显示用于头驱动单元的驱动信号、选择信号和喷射信号的时序图；图7是显示制造滤色器衬底的方法的示意横截面视图；图8是用于解释根据本发明的液滴喷射装置的头单元中的液滴喷射头的每个的位置关系的示意平面图；图9是本发明的液滴喷射装置中的头单元的结构的另外的示例的示意平面图；图10是显示制造有机电致发光显示器的方法的示意横截面视图；图11是显示移动(或者膝上型)个人计算机的结构的透视图，本发明的电子装置应用到所述个人计算机上；图12显示了便携电话(包括个人手持电话系统)的结构的透视图，本发明的电子装置应用到所述便携电话上；图13是本发明的电子装置所应用的数码相机的结构的透视图。
具体实施例方式
根据本发明的头单元、液滴喷射装置、由基部制造面板的方法、图像显示装置和电子装置的优选实施例将参照附图进行详细说明。
在本实施例中，制造将变成作为面板的一个示例的液晶显示器的部件的滤色器衬底10的情况将被典型地说明。
(液滴喷射装置的整个结构)图1是根据本发明的实施例的液滴喷射装置1的透视图。如图1所示，液滴喷射装置1设有头单元103，其中多个液滴喷射头2被安装在滑架105上；用于在一个水平方向上(此后称为“X轴方向”)移动头单元103的滑架移动机构(移动机构)104；工作台106，用于支撑此后将被说明的基部10A；工作台移动机构(移动机构)108，用于在垂直于X轴方向的水平方向(此后，称为“Y轴方向”)上移动工作台106；以及控制单元112，用于控制头单元103，滑架移动机构104以及工作台移动机构108。
此外，在液滴喷射装置1的附近，三个箱101被设置用于分别存储三种类型的液体材料111，包括红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)。各箱101通过用作发送液体材料111的流动路径的管110连接到头单元103。存储在各箱101中的液体材料111被发送到头单元103中的各液滴喷射头2。
对于此方面，本发明中的“液体材料”包括用于形成面板的像素的材料，并意味着具有充分粘度、通过液滴喷射头2的喷嘴25所喷射的材料。在这种情况下，所述材料可以是水基或者油基。此外，所述材料只需要具有通过液滴喷射头2的喷嘴25可喷射的流动性(粘度)。即使固体材料可以弥散在所述材料中，所述材料整体可以是一种流体。本实施例中的液体材料111是其中用于形成滤色器衬底10的像素的滤色器层的色素被溶解或者弥散在有机溶剂中的有机溶剂墨。
对于此，在下述说明中，在区别红色、绿色和蓝色的液体材料111的情况下，它们分别称为“液体材料111R、111G和111B”。另一方面，在没有区别颜色时通常命名它们的情况下，它们的每个被简单称为“液体材料111”。
滑架移动机构104的操作通过控制单元112所控制。本实施例中的滑架移动机构104具有通过沿着垂直方向(此后称为“Z轴方向”)移动头单元103调整头单元103的高度的功能。此外，滑架移动机构104也具有围绕平行于Z轴方向的轴线旋转头单元103的功能，以及这使得其可以围绕Z轴微调头单元103的角度。
工作台106具有平行于X轴方向和Y轴方向的平面。此外，工作台106被构造，使得用于制造滤色器衬底10的基部10A可以被固定或者保持(或者支撑)在其上。工作台移动机构108沿着垂直于X轴方向和Z轴方向的Y轴方向移动工作台106。工作台移动机构108的操作通过控制单元112所控制。此外，本实施例中的工作台移动机构108也具有围绕平行于Z轴方向的轴线旋转工作台106的功能，并且这使得其可以围绕Z轴方向微调安装到工作台106上的基部10A的斜度，这样基部10A变得相对头单元103正直。
如上所述，头单元103通过滑架移动机构104被移向X轴方向上。另一方面，工作台106通过工作台移动机构108被移向Y轴方向上。因此，头单元103相对工作台106的相互位置可以通过滑架移动机构104和工作台移动机构108所改变。
对于此，将在后面详细描述控制单元112的结构和功能。
(头单元)图2是图1所示的液滴喷射装置1的头单元103和基部10A的平面图。如图2所示的头单元103具有其中多个液滴喷射头2被安装到滑架105上的结构。滑架105显示在图2中，用双点划线表示。此外，分别显示多个液滴喷射头2的实线指示多个液滴喷射头2的喷嘴表面(即，此后所描述的喷嘴板128)的位置。
用于喷射红色的液体材料111R的四个液滴喷射头2、用于喷射绿色的液体材料111G的四个液滴喷射头2和用于喷射蓝色的液体材料111B的四个液滴喷射头2被设置在头单元103上。用于喷射红色的液体材料111R的四个液滴喷射头2包括第一液滴喷射头21R、第二液滴喷射头22R、第三液滴喷射头23R和液滴喷射头24R。用于喷射绿色的液体材料111G的四个液滴喷射头2包括第一液滴喷射头21G、第二液滴喷射头22G、第三液滴喷射头23G和液滴喷射头24G。用于喷射蓝色的液体材料111B的四个液滴喷射头2包括第一液滴喷射头21B、第二液滴喷射头22B、第三液滴喷射头23B和液滴喷射头24B。
在下述说明，在没有用将被喷射的液体材料的颜色来区别时通常命名这些液滴喷射头2的情况下，它们的每个被简单地称为“液滴喷射头2”。另一方面，在区别用于喷射红色、绿色和蓝色的液体材料111的液滴喷射头2的情况下，它们被称为诸如“第一液滴喷射头21R、第二液滴喷射头22R、...”。
如图2所示的基部10A是用于制造用于液晶显示器的滤色器衬底10的基部材料，滤色器以条状被安置在液晶显示器上。多个红色像素(喷射区域)18R、多个绿色像素(喷射区域)18G和多个蓝色像素(喷射区域)18B被设置在基部10A上。液滴喷射装置1操作，这样红色的液体材料111R被供给到各像素18R上，绿色的液体材料111G被供给到各像素18G上，蓝色的液体材料111B被供给到各像素18B上。
各像素18R、18G和18B具有基本矩形形状。基部10A用其中各像素18R、18G和18B的长轴方向平行于X轴方向以及各像素18R、18G和18B的短轴方向平行于Y轴方向的姿势而被支撑在工作台106上。多个像素18R、18G、18B被安置在基部10A上以用此顺序沿着Y轴的方向重复安置，这样相同颜色的像素沿着X轴的方向被安置。安置在Y轴方向上的一组像素18R、18G和18B对应将被制造的滤色器衬底10的一个图元。
(液滴喷射头)图3是显示了液滴喷射头2的喷嘴表面(喷嘴板128)和基部10A的像素的放大平面图。对于此，尽管各液滴喷射头2的喷嘴表面被设置以朝向基部10A，即在垂直方向上，但是，为了方便视觉，图3用实线显示了液滴喷射头2的每个的喷嘴表面。多个喷嘴25(喷嘴孔)被形成在各液滴喷射头2的喷嘴表面上以在均匀的间距上沿着X轴方向直线对齐。各液滴喷射头2中的多个喷嘴25构成至少一个喷嘴阵列。在本实施例中，两个喷嘴阵列以平行的方式被形成在各液滴喷射头2上以相对彼此以半个节距偏移。但是，本发明不限于此。一个液滴喷射头2的喷嘴阵列的数目可以是1或者3或者更多。此外，被形成在一个液滴喷射头2上的喷嘴25的数目不特别限制，并且其通常可以在大约几十到几百的范围中。
图4(a)和4(b)分别是如图1所示的液滴喷射装置1的液滴喷射头2的透视横截面视图和横截面视图。如图4(a)、4(b)中所示，各液滴喷射装置2构成喷墨头。具体而言，液滴喷射头2设有隔膜板126和喷嘴板128。贮液器(reservoir)129被安置在隔膜板126和喷嘴板128之间。贮液器129填充通过墨吸入端口131从箱101供给的液体材料111。
多个分开壁122被安置在隔膜板126和喷嘴板128之间。腔120通过隔膜板126、喷嘴板128和一对分开壁122所限定。由于腔120根据一个喷嘴25所设置，腔120的数目与喷嘴25的数目相同。液体材料111通过设置在一对分开壁122之间的墨供给端口130而被供给到腔120。
作为驱动元件的振动器124根据各腔120被安置在隔膜板126上。振动器124改变填充在腔120之内的液体材料111的液体压力，并包括压电元件124C以及一对电极124A和124B，压电元件124C被夹持在所述一对电极124A和124B之间。通过在所述一对电极124A和124B之间施加驱动电压信号，压电元件124C变形以改变填充在腔120之内的液体材料111的液体压力，由此以液滴的形式通过对应的喷嘴25喷射液体材料111。各喷嘴25的形状被调整，这样液体材料111通过各喷嘴25在Z轴方向上被喷射。
如图1所示的控制单元112可以被构造以将驱动电压信号施加到彼此独立的多个振动器124的每个上。换言之，将通过各喷嘴25喷射的液体材料111的体积可以参照各喷嘴25根据来自控制单元112的驱动电压信号来进行控制。
对于此，液滴喷射头2不限于使用如图4所示的压电执行器作为驱动元件。例如，液滴喷射头2可以使用静电执行器，或者可以具有其中液体材料111以液滴的形式使用通过电热转换元件而使液体材料111的热膨胀(薄膜煮沸)而被喷射的结构。
(控制单元)接着，现在将说明控制单元112的结构。图5是如图1所示的液滴喷射装置1的方框图，其包括控制单元112。如图5所示，控制单元112设有输入缓冲存储器200、存储单元202、处理单元204、扫描驱动单元206、头驱动单元208、滑架位置检测装置302、以及工作台位置检测装置303。
处理单元204被电连接到输入缓冲存储器200、存储单元202、扫描驱动单元206、头驱动单元208、滑架位置检测装置302、以及工作台位置检测装置303的每一个。此外，扫描驱动单元206被电连接到滑架移动机构104和工作台移动机构108。相似地，头驱动单元208被电连接到头单元103中的多个液滴喷射头2的每个。
输入缓冲存储器200接收将被喷射的、用于液体材料111的液滴的位置的数据，即，来自外部信息处理装置的画案数据。输入缓冲存储器200将画案数据输出到处理单元204，处理单元204然后将画案数据存储在存储单元202中。对于此，如图5所示的存储单元202由RAM(随机获取存储器)、磁性记录介质、磁光记录介质等所构成。
滑架位置检测装置302检测滑架105的位置，即，沿X轴方向的头单元103(在X轴方向上的滑架105的移动距离)，并将所检测的信号输出到处理单元204。滑架位置检测装置302和工作台位置检测装置303由诸如线性编码器、激光长度测量装置等所构成。
处理单元204根据滑架位置检测装置302和工作台位置检测装置303所检测的信号通过扫描驱动单元206控制滑架移动机构104和工作台移动机构108的操作，由此控制头单元103的位置和基部10A的位置。此外，处理单元204通过控制工作台移动机构108的操作控制工作台106的速度，即，基部10A的速度。
此外，基于存储在所述存储单元202中的画案数据，处理单元204输出用于规定各喷嘴25在各喷射时序中的ON/OFF的选择信号SC至头驱动单元208。然后基于选择信号SC，头驱动单元208将喷射液体材料111所需要的喷射信号输出到各液滴喷射头2上。结果，液体材料111通过各液滴喷射头2中的对应的喷嘴25以液滴的形式喷射。
控制单元112可以是设有CPU(中央处理器)、ROM(只读存储器)、RAM等的计算机。在这种情况下，如上所述的控制单元112的操作可以使用计算机能够执行的软件程序所实现。可选地，控制单元112可以用专门的电路(即，使用硬件)来实现。
接着，控制单元112中的头驱动单元208的结构和功能将被说明。图6(a)是头驱动单元208的示意图。图6(b)是显示用于头驱动单元208的驱动信号、选择信号和喷射信号的时序图。如图6(a)中所示，头驱动单元208包括一个驱动信号产生器203，多个模拟开关AS。如图6(b)所示，驱动信号产生器203产生驱动信号DS。驱动信号DS的电位相对参考电位L临时被改变。具体而言，驱动信号DS包括多个喷射波形P，所述喷射波形重复喷射循环EP。对于此，喷射波形P对应将被在对应的振动器124中的一对电极124A、124B之间所施加的驱动电压波形以通过一个喷嘴25喷射一个液滴。
驱动信号DS被供给到各模拟开关AS的输入端子。各模拟开关AS根据各喷嘴25被提供。即，模拟开关AS的数目与喷嘴25的数目相同。
处理单元204将用于指示各喷嘴25ON/OFF的选择信号SC输出到各模拟开关AS。对于此，选择信号SC可以相对各模拟开关AS变成高电平状态或者低电平状态。响应驱动信号DS和选择信号SC，各模拟开关AS将喷射信号ES施加到对应振动器124的电极124A。具体而言，在选择信号SC变成高电平状态的情况下，对应的模拟开关AS转变为ON，并将驱动信号DS作为喷射信号ES施加到对应的电极124A。另一方面，在选择信号SC变成低电平状态的情况下，对应的模拟开关AS被变为OFF，对应的模拟开关AS输出到对应的电极124A的喷射信号ES的电位变成参考电位L。当驱动信号DS被施加到振动器124的电极124A时，液体材料111通过对应振动器124的喷嘴25所喷射。对于此，参考电位L被施加到各振动器124的电极124B。
在如图6(b)所示的示例中，两个选择信号SC之一的高电平时间段和低电平时间段被设置，这样喷射波形P以两个喷射信号ES中的每个的喷射循环EP的两倍的循环2EP出现。这样，液体材料111以液滴的形式以循环2EP通过两个对应的喷嘴25的每个被喷射。公用的驱动信号DS从共享的驱动信号产生器203被施加到对应两个喷嘴25的各振动器124。出于此原因，液体材料111通过两个喷嘴25在基本相同的时序上被喷射。
这样的液滴喷射装置1操作，这样液体材料111的液滴通过在头单元103中液滴喷射头2的每个的喷嘴25所喷射，并供给(着陆)到基部10A上的各像素18R、18G和18B上，同时通过工作台移动机构108的操作在Y轴方向上移动支撑的工作台106上的基部10A，并将基部10A传送到头单元103之下。此后，此液滴喷射装置1的操作可以被称为“头单元103和基部10A之间的主扫描运动”。
在X轴方向上的基部10A的宽度小于液体材料111可以相对基部10A喷射的X轴方向上的整个头单元103的长度(即，此后所述的整个喷射宽度W)的情况下，就可以将液体材料111通过在头单元103和基部10A之间执行主扫描运动一次而供给到整个基部10A上。另一方面，在X轴方向上的基部10A的宽度大于头单元103的整个喷射宽度W的情况下，就可以将液体材料111通过重复改变在头单元103和基部10A之间的主扫描运动和通过利用滑架移动机构104的操作而沿X轴方向上头单元103的运动(称为“辅助扫描运动”)供给到整个基部10A上。
接着，使用如上所述的液滴喷射装置1制造滤色器衬底10的方法将被详细说明。图7是显示了制造滤色器衬底10的方法的示意横截面视图。如图7所示，基部10A包括具有较高透光性的支撑衬底12，以及多个像素18R、18G、18B，每个变成形成在支撑衬底12上的色素(像素区域)以与黑矩阵14和岸16分离。黑矩阵14由具有光屏蔽效果的材料所形成。黑矩阵14和设置在黑矩阵14上的岸16被安置在支撑衬底12上，这样多个透光部分，即多个像素18R、18G和18B通过它们以矩阵的方式来限定。即，多个像素18R、18G和18B作为分区通过支撑衬底12，黑矩阵14和岸16形成。像素18R是其中只有具有在红色波长区域之内的任何波长的光透过的滤色器层111FR将被形成的区域。像素18G是其中只有具有在绿色波长区域之内的任何波长的光透过的滤色器层111FG将被形成的区域。像素18B是其中只有具有在蓝色波长区域之内的任何波长的光透过的滤色器层111FB将被形成的区域。
在制造滤色器衬底10时基部10A根据下述步骤所制造。首先，金属薄薄膜通过溅射方法或者蒸发方法被形成在支撑衬底12上。黑矩阵14然后由金属薄薄膜通过光刻法形成为网状图案。金属铬和氧化铬可以被提及作为用于黑矩阵14的材料。对于此，支撑衬底12是相对可见光(光波长)具有透光性的衬底，诸如玻璃衬底。接着，由负类型光敏聚合物组分所构成的抗蚀层被施加以覆盖支撑衬底12和黑矩阵14。抗蚀层被曝光同时让形成为矩阵图案的掩模薄膜粘附到抗蚀层上。然后，岸16通过蚀刻工艺移除抗蚀层的非曝光部分而获得。这样，获得基部10A。
对于此，由树脂黑(resin black)所形成的岸可以被利用而替换岸16。在这种情况下，不需要金属薄膜(即，黑矩阵14)，岸层由一层所构造。
接着，基部10A通过在大气压力之下的氧等离子处理而变成亲液的。凹陷部分中的支撑衬底12的表面、黑矩阵14的表面以及岸16的表面(像素的一部分)通过此过程趋于亲液，凹陷部分每个通过支撑衬底12、黑矩阵14和岸16所限定。此外，然后对基部10A进行使用作为处理气体的CF4的等离子处理。通过使用CF4的等离子处理，各凹陷部分中的岸16的表面被氟化，并且岸16的表面通过此处理趋于非亲液。对于此，通过使用CF4的等离子处理，具有亲液性的支撑衬底12的表面和黑矩阵14的表面稍微丧失亲液性。但是，即使如此，这些表面可以保持亲液性。对于此，根据支撑衬底12的材料，黑矩阵14的材料，以及岸16的材料、各凹陷部分的表面可以具有所需的亲液和非亲液性而没有上述的表面处理。在这样的情况下，不需要表面进行如上所述的表面处理。
像素18R、18G和18B将被如上所述形成在其上的基部10A被传输到液滴喷射装置1的工作台106上，并被支撑在工作台106上。液滴喷射装置1在Y轴方向上通过操作工作台移动机构108而移动基部10A，并以液滴的形式将液体材料从各液滴喷射头2供给到各像素18R、18G、18B，同时使头单元103之下的基部10A通过。此时，如图7(a)-7(c)所示，红色液体材料111R(滤色器材料)被喷射到各像素18R上，绿色液体材料111G(滤色器材料)被喷射到各像素18G上，以及蓝色液体材料111B(滤色器材料)被喷射到各像素18B上。
在分别供给液体材料111R、111G和111B到各像素18R、18G、18B上之后，基部10A被传输到干燥装置(附图中未示出)中，以干燥分别供给到各像素18R、18G、18B中的液体材料111R、111G和111B。这样滤色器层111FR、111FG和111FB被分别形成在各像素18R、18G、18B上。对于此，通过使用液滴喷射装置1重复执行液体材料111R、111G和111B的供给以及通过干燥装置干燥所供给的液体材料111R、111G和111B以交替层叠液体材料111R、111G和111B以及滤色器层111FR、111FG和111FB，最终的滤色器层111FR、111FG和111FB可以被形成在各像素18R、18G、18B上。
基部10A然后传输到烤箱(图中未示出)中，滤色器层111FR、111FG和111FB被在此烤箱中后烤焙(即再次加热)。
接着，基部10A被传输到保护薄膜形成装置(图中未示出)，保护薄膜(外涂层薄膜)20在此保护薄膜形成装置中被形成在滤色器层111FR、111FG、111FB和岸16之上。保护薄膜20已经形成在滤色器层111FR、111FG、111FB和岸16之上之后，保护薄膜20在干燥装置中被完全干燥。此外，保护薄膜20在硬化装置(图中未示出)中被加热以完全硬化，通过硬化装置基部10A变成滤色器衬底10。
图8是用于解释根据本发明的液滴喷射装置1的头单元103中的各液滴喷射头2的位置关系的示意平面图。如上所述，用于喷射红色液体材料111R的四个液滴喷射头2(包括第一至第四液滴喷射头21R至24R)，用于喷射绿色液体材料111G的四个液滴喷射头2(包括第一至第四液滴喷射头21G至24G)以及用于喷射蓝色液体材料111B的四个液滴喷射头2(包括第一至第四液滴喷射头21B至24B)被设置在头单元103上。对于此，如图18所示的各线指示各液滴喷射头2中的喷嘴阵列的位置。
控制各液滴喷射头2中的喷嘴阵列的两端的附近中的各喷嘴25的喷射量通常比较困难，这样的喷嘴的喷射量的误差很容易被产生。由于这个原因，本实施例中的液滴喷射装置1被构造，这样液滴喷射头2的每个中的喷嘴阵列的两端的附近中的预定数目(例如大约10)的喷嘴25(此后这样的喷嘴25可以称为“无能力喷嘴25”)没有被使用(即，液体材料111没有通过各无能力喷嘴25所喷射)。这样，就可以在各喷嘴25中使得液体材料111的喷射量均匀化，并且这使得将被制造的滤色器衬底10中的各像素18R、18G和18B的颜色均匀化。因此，就可以更为可靠地防止颜色不均匀。对于此，设置在如图8所示的液滴喷射头2中的喷嘴阵列的两端上的未使用的部分26指示其中无能力喷嘴25被安置的区域。
此后，将对包括用于喷射红色液体材料111R的第一至第四液滴喷射头21R至24R的四个液滴喷射头2的位置关系进行说明。
第一液滴喷射头21R、第二液滴喷射头22R以连续的方式被安置在平行于各喷嘴阵列的第一方向(即，X轴方向)上，第一和第二液滴喷射头21R、22R的两个喷嘴阵列被安置，这样其喷嘴25在从垂直于各喷嘴阵列(第一方向)的第二方向(即，Y轴方向)观察时通过第一和第二液滴喷射头21R、22R之间的接缝r1而连续。在这种情况下，第一第二液滴喷射头21R、22R的两个喷嘴阵列用作长喷嘴阵列。换言之，当从Y轴方向观察时接缝r1上的喷嘴节距被设置以变成与喷嘴阵列中的喷嘴节距相似的规则长度。由用这样的位置关系安置的第一和第二液滴喷射头21R、22R所构成的头阵列被称为头阵列31R。
对于此，考虑到第一和第二液滴喷射头21R、22R的各一个端部的未使用的部分26，第一和第二液滴喷射头21R、22R被安置，这样第一液滴喷射头21R中的喷嘴阵列的图8中的右端部分和第二液滴喷射头22R中的喷嘴阵列的图8中的左端部分在从Y轴方向观察时在喷嘴阵列的接缝r1的附近彼此重叠。
以相似的方式，第三液滴喷射头23R和第四液滴喷射头24R以连续的方式被安置在平行于各喷嘴阵列的第一方向(即X轴方向)，并且第三和第四液滴喷射头23R、24R的两个喷嘴阵列被布置为其喷嘴25通过在从垂直于各喷嘴阵列(第一方向)的第二方向(即，Y轴方向)观察时第三和第四液滴喷射头23R、24R的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝r2而连续。在这种情况下，第三和第四液滴喷射头23R、24R的两个喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列。换言之，当从Y轴方向观察时接缝r2上的喷嘴节距被设置变成与喷嘴阵列中的喷嘴节距相似的规则长度。由以这样的位置关系布置的第三和第四液滴喷射头23R、24R所构成的头阵列被称为头阵列32R。
对于此，考虑到第三和第四液滴喷射头23R、24R的每个一端部的未使用部分26，第三和第四液滴喷射头23R、24R被安置这样第三液滴喷射头23R中的喷嘴阵列的图8中的右端部分和第四液滴喷射头24R中的喷嘴阵列的图8中的左端部分在从Y轴方向上观察时在喷嘴阵列的接缝r2的附近中彼此重叠。
从如上所述的头阵列31R所形成的较长喷嘴阵列和从如上所述的头阵列32R所形成的较长喷嘴阵列通过重叠它们而被安置，这样接缝r1和r2相对彼此从Y轴方向观察时在X轴方向上偏移。液滴喷射装置1可以以液滴的形式将液体材料111R使用这样的重叠通过多个不同的液滴喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)的喷嘴25喷射到一个像素18R上。
例如，在液体材料111R使用如图8所指示为R1的区域以液滴的形式喷射到其上的像素18R的情况下，在所述区域上第一和第三液滴喷射头21R、23R彼此重叠，如图3所示，通过第一液滴喷射头21R的喷嘴25所喷射的液滴91和通过第三液滴喷射头23R的喷嘴25所喷射的液滴92被供给到其上。
对于此，在图3中，尽管头阵列31R(此处，第一液滴喷射头21R)中的喷嘴25的位置和头阵列32R(此处，第三液滴喷射头23R)的喷嘴25的位置在从Y轴方向观察时在X轴方向上相对彼此偏移，头阵列31R和32R可以被安置，这样各头阵列31R、32R的每个中的喷嘴的位置彼此对应。
尽管在附图中未示出(特别在图3中)，在液体材料111R使用如图8所指示为R2的区域以液滴的形式喷射到其上的像素18R的情况下，在所述区域上第一和第四液滴喷射头21R、24R彼此重叠，通过第一液滴喷射头21R的喷嘴25所喷射的液滴和通过第四液滴喷射头24R的喷嘴25所喷射的液滴被供给到其上。此外，在液体材料111R使用如图8所指示为R3的区域以液滴的形式喷射到其上的像素18R的情况下，在所述区域上第二和第四液滴喷射头22R、24R彼此重叠，通过第二液滴喷射头22R的喷嘴25所喷射的液滴和通过第四液滴喷射头24R的喷嘴25所喷射的液滴被供给到其上。
这样，液滴喷射装置1操作，这样液体材料111R以液滴的形式通过多个不同的液滴喷射头2的喷嘴25喷射到一个像素18R上。因此，即使在多个液滴喷射头2的喷射量之中具有变化(误差)的情况下，也可以防止有害的颜色不均匀性被产生在滤色器衬底10的表面上，所述滤色器衬底10使用液滴喷射装置1的头单元103由基部10A制造。换言之，与本发明的液滴喷射装置1相比，在液体材料111R只通过一个液滴喷射头2的喷嘴25被供给到一个像素18R上的情况下，液滴喷射头2的喷射量的变化直接导致将被供给到各像素18R上的液体材料111R量的变化(误差)，由此颜色不均匀较强地出现在滤色器衬底10中。另一方面，在本发明的液滴喷射装置1中，由于将被供给到一个像素18R上的液体材料111R量变成在扫描方向上重叠的多个液体喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)中的喷嘴25的喷射量的平均值，这就可以使得将被供给到每个像素18R上的液体材料111R的量均匀化，由此就可以防止产生颜色不均匀。
此外，在液滴喷射装置1中，通过由第一和第二液滴喷射头21R、22R构成头阵列31R，第一和第二液滴喷射头21R、22R的喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列，而第三和第四液滴喷射头23R、24R的喷嘴阵列通过由第三和第四液滴喷射头23R、24R构成头阵列32R用作较长喷嘴阵列。这样，就可以放大其中液体材料111R可以通过整个头单元103中的喷嘴25喷射到基部10A上的整个喷射宽度W(即，X轴方向中的头单元103的长度)。因此，就可以减小相对基部10A将液体材料111R喷射到整个基部10A上需要的头单元103的主扫描运动的数目。特别地，在基部10A的宽度小于整个喷射宽度W的情况下，就可以将液体材料111R通过一个主扫描运动喷射到整个基部10A上。
此外，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31R中的喷嘴阵列的接缝r1和头阵列32R中的喷嘴阵列的接缝r2相对彼此在从Y轴方向观察时偏移，液滴喷射装置1具有下述优点。
在液体材料111R通过两个相邻的喷嘴阵列的任何接缝的附近中的喷嘴25供给到其上的像素18R中比设置在其它位置上的像素18R中更容易出现颜色不均匀性。作为其原因，可以考虑用很高的精度控制两个相邻的喷嘴阵列的接缝附近中的喷嘴25的喷射量的困难(因为这样的喷嘴25被安置靠近各喷嘴阵列的两端)、在接缝处的喷嘴节距的误差等。在由于这样的喷嘴阵列的接缝的颜色不均匀被产生的情况下，如同一条线似的、其中这样的颜色不均匀性沿着液滴喷射头2的扫描方向(即，沿着Y轴方向)而延伸的所谓的条纹可能会出现在将被制造的滤色器衬底10中。
当头阵列31R的喷嘴阵列的接缝r1的位置对应头阵列32R中的喷嘴阵列的接缝r2的位置时，在如上所述的条纹在滤色器衬底10中产生的情况下，这样的两个条纹在将被制造的滤色器衬底10中重叠，由此这样的条纹变得不显眼。另一方面，当从Y方向观察时，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31R中的喷嘴阵列的接缝r1和头阵列32R中的喷嘴阵列的接缝r2相对彼此被偏移，两个条纹被分散在将被制造的滤色器衬底10中的接缝r1、r2的位置处。因此，就可以使得这样的条纹变得不显眼。
接着，将对包括用于喷射绿色液体材料111G的第一至第四液滴喷射头21G至24G的四个液体喷射头2的位置关系给出说明。包括用于喷射绿色液体材料111G的第一至第四液滴喷射头21G至24G的四个液滴喷射头2的位置关系与包括用于喷射红色液体材料111R的第一至第四液滴喷射头21R至24R的四个液滴喷射头2的位置关系相似。出于此原因，此后将简化这样的位置关系的说明。
第一液滴喷射头21G和第二液滴喷射头22G以连续的方式被安置在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上，以及第一和第二液滴喷射头21G、22G的两个喷嘴阵列被安置，这样当从垂直于各喷嘴阵列(即X轴方向)的Y轴方向观察时，其喷嘴25通过第一和第二液滴喷射头21G、22G的两个相邻喷嘴阵列之间的缝隙接缝g1而连续。在这种情况下，第一和第二液滴喷射头21G、22G的两个喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列。由用这样的位置关系安置的第一和第二液滴喷射头21G、22G所构成的头阵列被称为头阵列31G。
以相似的方式，第三液滴喷射头23G和第四液滴喷射头24G在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上以连续的方式被安置，第三和第四液滴喷射头23G、24G的两个喷嘴阵列被安置，这样当从垂直于各喷嘴阵列(即X轴方向)的Y轴方向观察时，其喷嘴25通过第三和第四液滴喷射头23G、24G的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝g2而连续。在这种情况下，第三和第四液滴喷射头23G、24G的两个喷嘴阵列用作较长喷嘴阵列。由用这样的位置关系安置的第三和第四液滴喷射头23G、24G所构造的头阵列被称为头阵列32G。
由如上所述的头阵列31G所形成的较长喷嘴阵列和由如上所述的头阵列32G所形成的较长喷嘴阵列通过重叠它们而排列，从而在从Y轴方向上观察时接缝g1、g2彼此相对在X轴方向上偏移。液滴喷射装置1可以以液滴的形式使用这样的重叠通过多个不同的液滴喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)的喷嘴25而喷射液体材料111G到一个像素18G上。
换言之，在液体材料111G使用第一和第三液滴喷射头21G、23G重叠的图8中的G1所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的像素18G的情况下，通过第一液滴喷射头21G的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第三液滴喷射头23G的喷嘴25所喷射的液滴被供给到其上。
此外，在液体材料111G使用第一和第四液滴喷射头21G、24G重叠的图8中的G2所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的像素18G的情况下，通过第一液滴喷射头21G的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第四液滴喷射头24G的喷嘴25所喷射的液滴被供给到其上。此外，在液体材料111G使用第二和第四液滴喷射头22G、24G重叠的图8中的G3所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的像素18G的情况下，通过第二液滴喷射头22G的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第四液滴喷射头24G的喷嘴25所喷射液滴被供给到其上。
这样，液滴喷射装置1操作，这样液体材料111G以液滴的形式通过多个不同的液滴喷射头2的喷嘴25喷射到一个像素18g上。因此，即使在多个液滴喷射头2的喷射量中具有变化(误差)的情况下，使用液滴喷射装置1的头单元103也可以防止有害的颜色不均匀性发生在由基部10A制造的滤色器衬底10的表面中。换言之，与本发明的液滴喷射装置1相比，在液体材料111G只通过一个液滴喷射头2的喷嘴25被供给到一个像素18G上的情况下，液滴喷射头2的喷射量的变化直接导致将被供给到各像素18G上的液体材料111G量的变化(误差)，由此颜色不均匀较强地出现在滤色器衬底10中。另一方面，在本发明的液滴喷射装置1中，由于将被供给到一个像素18G上的液体材料111G量变成在扫描方向上重叠的多个液体喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)中的喷嘴25的喷射量的平均值，这就可以使得将被供给到每个像素18G上的液体材料111G的量均匀化，由此就可以防止产生颜色不均匀。
此外，在液滴喷射装置1中，通过由第一和第二液滴喷射头21G、22G构成头阵列31G，第一和第二液滴喷射头21G、22G的喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列，而第三和第四液滴喷射头23G、24G的喷嘴阵列通过由第三和第四液滴喷射头23G、24G构成头阵列32G用作较长喷嘴阵列。这样，就可以放大其中液体材料111G可以通过整个头单元103中的喷嘴25喷射到基部10A上的整个喷射宽度W(即，X轴方向中的头单元103的长度)。因此，就可以减小相对基部10A将液体材料111G喷射到整个基部10A上需要的头单元103的主扫描运动的数目。特别地，在基部10A的宽度小于整个喷射宽度W的情况下，就可以将液体材料111G通过一个主扫描运动喷射到整个基部10A上。
此外，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31G中的喷嘴阵列的接缝g1和头阵列32G中的喷嘴阵列的接缝g2相对彼此在从Y轴方向观察时偏移，液滴喷射装置1具有下述优点。
在液体材料111G通过两个相邻的喷嘴阵列的任何接缝的附近中的喷嘴25供给到其上的像素18G中比设置在其它位置的像素18G中更容易出现颜色不均匀性。作为其原因，可以考虑用很高的精度控制两个相邻的喷嘴阵列的接缝附近中的喷嘴25的喷射量的困难(因为这样的喷嘴25被安置靠近各喷嘴阵列的两端)，在接缝处的喷嘴节距的误差等。在由于这样的喷嘴阵列的接缝的颜色不均匀被产生的情况下，如同一条线其中这样的颜色不均匀沿着液滴喷射头2的扫描方向(即，沿着Y轴方向)延伸的所谓的条纹可能会出现在将被制造的滤色器衬底10中。
当头阵列31G的喷嘴阵列的接缝g1的位置对应头阵列32G中的喷嘴阵列的接缝g2的位置时，在如上所述的条纹在滤色器衬底10中产生的情况下，这样的两个条纹在将被制造的滤色器衬底10中重叠，由此这样的条纹变得不显眼。另一方面，当从Y方向观察时，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31G中的喷嘴阵列的接缝g1和头阵列32G中的喷嘴阵列的接缝g2从Y轴方向观看时相对彼此被偏移，两个条纹被分散在将被制造的滤色器衬底10中的接缝g1、g2的位置处。因此，就可以使得这样的条纹变得不显眼。
接着，将对包括用于喷射蓝色液体材料111B的第一至第四液滴喷射头21B至24B的四个液体喷射头2的位置关系给出说明。包括用于喷射蓝色液体材料111B的第一至第四液滴喷射头21B至24B的四个液滴喷射头2的位置关系与包括用于喷射红色液体材料111R的第一至第四液滴喷射头21R至24R的四个液滴喷射头2的位置关系相似。出于此原因，此后将简化这样的位置关系的说明。
第一液滴喷射头21B和第二液滴喷射头22B以连续的方式被安置在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上，以及第一和第二液滴喷射头21B、22B的两个喷嘴阵列被安置，这样当从垂直于各喷嘴阵列(即X轴方向)的Y轴方向观察时，其喷嘴25通过第一和第二液滴喷射头21B、22B的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝b1而连续。在这种情况下，第一和第二液滴喷射头21B、22B的两个喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列。由用这样的位置关系安置的第一和第二液滴喷射头21B、22B所构成的头阵列被称为头阵列31B。
以相似的方式，第三液滴喷射头23B和第四液滴喷射头24B在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上以连续的方式被安置，第三和第四液滴喷射头23B、24B的两个喷嘴阵列被安置，这样当从垂直于各喷嘴阵列(即X轴方向)的Y轴方向观察时，其喷嘴25通过第三和第四液滴喷射头23B、24B的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝b2而连续。在这种情况下，第三和第四液滴喷射头23B、24B的两个喷嘴阵列用作较长喷嘴阵列。由用这样的位置关系安置的第三和第四液滴喷射头23B、24B所构造的头阵列被称为头阵列32B。
由如上所述的头阵列31B所形成的较长喷嘴阵列和由如上所述的头阵列32B所形成的较长喷嘴阵列通过重叠它们而布置，从而接缝b1和b2在从Y轴方向上观察时在X轴方向上相对彼此偏移。液滴喷射装置1可以以液滴的形式使用这样的重叠通过多个不同的液滴喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)的喷嘴25而喷射液体材料111B到一个像素18B上。
换言之，在液体材料111B使用第一和第三液滴喷射头21B、23B重叠的图8中的B1所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的像素18B的情况下，通过第一液滴喷射头21B的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第三液滴喷射头23B的喷嘴25所喷射的液滴被供给到其上。
此外，在液体材料111B使用第一和第四液滴喷射头21B、24B重叠的图8中的B2所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的像素18B的情况下，通过第一液滴喷射头21B的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第四液滴喷射头24B的喷嘴25所喷射液滴被供给到其上。此外，在液体材料111B使用第二和第四液滴喷射头22B、24B重叠的图8中的B3所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的像素18B的情况下，通过第二液滴喷射头22B的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第四液滴喷射头24B的喷嘴25所喷射的液滴被供给到其上。
这样，液滴喷射装置1操作，这样液体材料111B以液滴的形式通过多个不同的液滴喷射头2的喷嘴25喷射到一个像素18B上。因此，即使在多个液滴喷射头2的喷射量中具有变化(误差)的情况下，使用液滴喷射装置1的头单元103也可以防止有害的颜色不均匀性出现在由基部10A制造的滤色器衬底10的表面中。换言之，与本发明的液滴喷射装置1相比，在液体材料111B只通过一个液滴喷射头2的喷嘴25被供给到一个像素18B上的情况下，液滴喷射头2的喷射量的变化直接导致将被供给到各像素18B上的液体材料111B量的变化(误差)，由此颜色不均匀较强地出现在滤色器衬底10中。另一方面，在本发明的液滴喷射装置1中，由于将被供给到一个像素18B上的液体材料111B量变成在扫描方向上重叠的多个液体喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)中的喷嘴25的喷射量的平均值，这就可以使得将被供给到每个像素18B上的液体材料111B的量均匀化，由此就可以防止产生颜色不均匀。
此外，在液滴喷射装置1中，通过由第一和第二液滴喷射头21B、22B构成头阵列31B，第一和第二液滴喷射头21B、22B的喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列，而第三和第四液滴喷射头23B、24B的喷嘴阵列通过由第三和第四液滴喷射头23B、24B构成头阵列32B用作较长喷嘴阵列。这样，就可以放大其中液体材料111B可以通过整个头单元103中的喷嘴25喷射到基部10A上的整个喷射宽度W(即，X轴方向中的头单元103的长度)。因此，就可以减小相对基部10A将液体材料111B喷射到整个基部10A上需要的头单元103的主扫描运动的数目。特别地，在基部10A的宽度小于整个喷射宽度W的情况下，就可以将液体材料111B通过一个主扫描运动喷射到整个基部10A上。
此外，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31B中的喷嘴阵列的接缝b1和头阵列32B中的喷嘴阵列的接缝b2在从Y轴方向观察时相对彼此偏移，液滴喷射装置1具有下述优点。
在液体材料111B通过两个相邻的喷嘴阵列的任何接缝的附近中的喷嘴25供给到其上的像素18B比设置在其它位置处的像素18B中更容易出现颜色不均匀性。作为其原因，可以考虑用很高的精度控制两个相邻的喷嘴阵列的接缝附近中的喷嘴25的喷射量的困难(因为这样的喷嘴25被安置靠近各喷嘴阵列的两端)、在接缝处的喷嘴节距的误差等。在由于这样的喷嘴阵列的接缝的颜色不均匀被产生的情况下，如同一条线其中这样的颜色不均匀沿着液滴喷射头2的扫描方向(即，沿着Y轴方向)而延伸的所谓条纹可能会出现在将被制造的滤色器衬底10中。
当头阵列31B的喷嘴阵列的接缝b1的位置对应头阵列32B中的喷嘴阵列的接缝b2的位置时，在如上所述的条纹在滤色器衬底10中产生的情况下，这样的两个条纹在将被制造的滤色器衬底10中重叠，由此这样的条纹变得不显眼。另一方面，当从Y方向观察时，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31B中的喷嘴阵列的接缝b1和头阵列32B中的喷嘴阵列的接缝b2相对彼此被偏移，两个条纹被分散在将被制造的滤色器衬底10中的接缝b1、b2的位置处。因此，就可以使得这样的条纹变得不显眼。
在这样的头单元103中，分别由用于喷射红色液体材料111R的头阵列31R、32R所形成的两个较长喷嘴阵列、分别由用于喷射绿色液体材料111G的头阵列31G、32G所形成的两个较长喷嘴阵列、以及分别由用于喷射蓝色液体材料111B的头阵列31B、32B所形成的两个较长喷嘴阵列被安置，以在从Y轴方向观察时相对彼此重叠。这使得可以通过用基部10A一次执行头单元103的扫描运动在整个喷射宽度W中将红色、绿色和蓝色液体材料111R、111G和111B供给到像素18R、18G、18B上。
此外，在液滴喷射装置1中，用于喷射红色液体材料111R的头阵列31R、32R中的喷嘴阵列的接缝r1、r2、用于喷射绿色液体材料111G的头阵列31G、32G中的喷嘴阵列的接缝g1、g2、用于喷射蓝色液体材料111B的头阵列31B、32B中的喷嘴阵列的接缝b1、b2被安置以在从Y轴方向观察时偏移。
这样，在将被制造的滤色器衬底10中，可能产生在任何红色像素18R上的条纹、可能产生在任何绿色像素18G上的条纹和可能产生在任何蓝色像素18B上的条纹可以相对彼此扩散。因此，就可以更为可靠地防止这样的条纹变得显眼。特别地，在本实施例中，由于喷嘴阵列的接缝r2、g2、b2、r1、g1和b1的位置在从Y轴方向上观察时被以均匀的间距定位，这就可以在条纹变得有些显眼的情况下规则地分散条纹。因此，就可以让条纹变得不显眼。
图9是示意显示了本发明的液滴喷射装置1中的头单元103’的结构的另外的示例的平面图。四个液滴喷射头51、52、53和54被设置在如图9所示的头单元103’中。各液滴喷射头51、52、53和54包括在Y轴方向上并排方式安置的多个喷嘴阵列(在本实施例中，12个喷嘴阵列)，这样多个液滴喷射头51、52、53和54的每个中的12个喷嘴阵列的两端在从Y轴方向观察时被对齐。这样，四个液滴喷射头51、52、53和54的48个喷嘴阵列被设置在头单元103’中。各液滴喷射头51、52、53和54与如上所述的头单元103相似的方式安置(参看图8)。对于此，为了简化，各液滴喷射头51、52、53和54在图9中被指示作为简单的矩形。
液滴喷射头51和液滴喷射头52在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上以连续的方式被安置，液滴喷射头51、52的24个喷嘴阵列被安置，这样其喷嘴25在从垂直于各喷嘴阵列的Y轴方向观察时通过在两个相邻的液滴喷射头51、52之间的接缝j1而连续。在这种情况下，两个液滴喷射头51、52用作头组阵列61。
以相似的方式，液滴喷射头53和液滴喷射头54在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上以连续的方式被安置，液滴喷射头53和54的24个喷嘴阵列被安置，这样其喷嘴25在从垂直于各喷嘴阵列的Y轴方向观察时通过在两个相邻的液滴喷射头51、52之间的接缝j2而连续。在这种情况下，两个液滴喷射头53、54用作头组阵列62。如上所述的头组阵列61和头组阵列62通过重叠它们而被安置，这样在从Y轴方向上观察时接缝j1和j2相对彼此彼此偏移。
在设有这样的头单元103’的液滴喷射装置1中，从两个液滴喷射头(即，两个液滴喷射头51和53、51和54、或者53和54)所喷射的液体材料111被供给到各像素18R、18G或者18B上。这使得可以在基部10A的任何位置上进一步地均匀化将被供给到各像素18R、18G、18B上的液体材料111的量。因此，就可以更为可靠地防止颜色不均匀产生在将被制造的滤色器衬底10的表面中。
此外，由于液滴喷射头51的喷射宽度W1和液滴喷射头52的喷射宽度W2作用互连，液滴喷射头53的喷射宽度W3和液滴喷射头54的喷射宽度W4作用互连，就可以在加大其中液体材料111可以通过整个头单元103’中的喷嘴25被喷射到基部10A上的X轴方向中的头单元103’的长度(即，图9中的整个喷射宽度W)。
此外，由于本实施例的液滴喷射装置1被构造这样头组阵列61中的喷嘴阵列的接缝j1和头组阵列62中的喷嘴阵列的接缝j2在从Y轴方向观察时相对彼此偏移，由于接缝j1所可能产生的条纹以及由于接缝j2的缘故可能产生的条纹可以在将被制造的滤色器衬底10中的单独的点处分散。因此，就可以更为可靠地防止条纹变得显眼。
如上所述的本发明不仅可以应用到制造滤色器衬底10的情况而且可以应用到其它类型的图像显示装置，诸如电致发光显示器的制造的情况下。
图10是显示了制造有机电致发光显示器30的方法的示意横截面视图。此后，将对使用本发明制造有机电致发光显示器30的情况给予说明；但是，主要说明制造如上所述的滤色器衬底10的情况和制造有机电致发光显示器30的情况之间的差异，相似的说明将被省略。
如图10所示的基部30A是用于制造有机电致发光显示器30的衬底。基部30A具有以矩阵的方式安置在其上的多个像素(即多个喷射区域)38R、38G和38B。
具体而言，基部30A包括支撑衬底32、形成在支撑衬底32上的电路元件层34、多个形成在电路元件层34上的像素电极36，以及形成在多个像素电极36的相邻两个之间的多个岸40。支撑衬底32相对可见光(光学波长)具有透光性，诸如玻璃衬底。多个像素电极36的每个也相对可见光(光学波长)具有透光性，诸如ITO(铟一锡氧化物/Indium-TinOxide)电极。此外，多个像素电极36以矩阵的方式被安置在电路元件层34上，并且各像素电极36限定一个像素。各岸40具有网格状结构，并且多个像素电极36中的每个由预定的岸40围绕。此外，岸40由形成在电路元件层34上的无机岸40A所构成，以及安置在无机岸40A上的有机岸40B。
电路元件层34是设有如下元件的层多个扫描电极，每个扫描电极在支撑衬底32上朝向预定方向延伸；绝缘薄膜42，所述绝缘薄膜42被形成以覆盖多个扫描电极；多个设置在绝缘薄膜42上并且每个朝向垂直于预定方向的方向延伸的信号电极，多个扫描电极的每个朝向所述预定方向延伸；多个开关元件44，每个设置在扫描电极和信号电极之间的相交点的附近；以及多个被形成以覆盖多个开关元件44的多个间层绝缘薄膜45，诸如聚酰亚胺。各开关元件44的栅电极44G和源电极44S分别被电连接到对应的扫描电极和对应的信号电极。多个像素电极36被安置在间层绝缘薄膜45上。多个通孔44V被设置在对应开关元件44的漏极电极44D的部分处，开关元件44分别通过通孔44V被电连接到对应的像素电极36。此外，开关元件44被设置在分别对应岸44的位置上。换言之，当从图10中的上侧观察时，多个开关元件44的每个被安置以被覆盖有对应的岸40。
每个通过像素电极36所限定的凹陷部分和对应的岸40分别对应像素38R、38G、38B。像素38R是其中具有红色波长区域之内的波长的光通过其发射的发光层211FR将被形成的区域。像素38G是其中具有绿色波长区域之内的波长的光通过其发射的发光层211FG将被形成的区域。像素38B是其中具有蓝色波长区域之内的波长的光通过其发射的发光层211FB将被形成的区域。
使用公知的薄膜形成技术和图案成形技术可以制造这样的基部30A。
首先，基部30A在大气压力之下通过氧等离子处理而变成亲液的。每个通过像素电极36和岸40所限定的像素38R、38G、38B中像素电极36的表面、无机岸40A的表面和有机岸40B的表面通过此过程趋于亲液。此外，然后对基部30A进行使用CF4作为处理气体的等离子处理。通过使用CF4的等离子过程，各凹陷部分中的有机岸40B的表面被氟化，有机岸40B的表面通过此过程趋于非亲液。对于此，通过使用CF4的等离子处理，原先具有亲液性的像素电极36的表面和无机岸40A的表面稍微丧失一点亲液性。但是，即使如此，这些表面可以保持亲液性。
对于此，根据像素电极36的材料，无机岸40A的材料、有机岸40B的材料，每个凹陷部分的表面具有所需的亲液和非亲液性而不进行上述的表面处理。在这样的情况下，不需要表面进行如上所述的表面处理。
此外，对应的孔传输层37R、37G和37B可以形成在这样进行表面处理的多个像素电极36的每个上。在孔传输层37R、37G和37B被分别安置在像素电极36和发光层211FR、211FG和211FB之间的情况下，就可以改良电致发光显示器的发光效率。
如图10(a)至10(c)所示，液体材料211R、211G和211B分别供给到像素38R、38G、38B被如上所述形成在其上的基部30A上，其与使用本发明的液滴喷射装置1的滤色器衬底10的情况相似。在这种情况下，液体材料211R包括红色有机发光材料，液体材料211G包括绿色有机发光材料，以及液体材料211B包括蓝色发光材料。
基部30A然后传输到干燥装置中。发光层211FR、211FG和211FB通过干燥供给到各像素38R、38G和38B上的液体材料211R、211G和211B而在各像素38R、38G和38B上获得。
接着，对电极46被形成以覆盖发光层211FR、211FG和211FB以及岸40。各对电极46用作负电极。
接着，通过将密封衬底48用它们的周边部分结合到基部30A，获得如图10(d)所示的有机电致发光显示器30。对于此，惰性气体在密封衬底48和基部30A之间包围。
在有机电致发光显示器30中，从发光层211FR、211FG和211FB所发射的光通过像素电极36、电路元件层34和支撑衬底32被发射到外部。其中光以这种方式通过电路元件层34发射的有机电致发光显示器被称为底部发射类型显示器。
尽管本发明所应用到制造液晶显示器(滤色器衬底)和有机电致发光显示器的方法的情况基于附图中的优选实施例进行了说明，必须注意本发明不限于上述的实施例的情况。例如，可以将本发明应用到制造等离子显示器的背部衬底的方法中，或者设有电子发射元件(也称为SED(表面传导电子发射器显示器)或者FED(场发射显示器))的图像显示器上。
<电子装置的实施例>
使用如上所述的方法制造的诸如设有滤色器衬底10的液晶显示器，以及使用如上所述的方法制造的有机电致发光显示器的图像显示装置1000(即，本发明的电子装置)可以被用作不同类型的电子装置的每个的显示器部分。
图11显示了本发明的电子装置所应用的移动(或者膝上型)个人计算机1100的结构。参照图11，个人计算机1100设有具有键盘1102的主体1104、显示单元1106。显示单元1106被可旋转地通过铰链部分支撑在主体1104上。在此个人计算机1100中，显示单元1106设有如上所述的图像显示装置1000。
图12是显示了本发明的电子装置所应用的便携电话(包括个人手持电话系统)的结构的透视图。参照图12，便携式电话1200设有多个按钮1202、耳机1204、话筒1206和显示部分。显示部分由如上所述的图像显示装置1000所构造。
图13是显示了本发明的电子装置所应用的数码相机1300的结构的透视图。在此附图中，数码相机连接到外部设备被示意地显示。通常的相机基于物体的光学图像曝光银盐照相胶卷，而数码相机1300通过将物体的光学图像用诸如电荷耦合装置(CCD)的成像装置而光电转换为图像信号来产生成像信号(图像信号)。
如上所述的图像显示装置1000作为显示部分被设置在数码相机1300中的壳体(主体)1302的后表面上。图像显示装置1000响应从CCD所输出的成像信号而显示图像，并用作显示作为电子图像的物体的取景器。电路板1308设置在壳体1302内。能够存储这样的成像信号的存储器被放置在电路板1308上。
此外，包括光学透镜(成像光学系统)、CCD等的光接收单元1304被设置在壳体1302的前表面侧中。当摄影师确定显示在显示部分(即图像显示装置1000)上的物体的图像，并按下快门按钮1306时，此时的CCD的成像信号被传输到电路板1308的存储器中并存储在此存储器中。
此外，用于数据通信的视频信号输出端子1312和输入/输出端子1314被设置在数码相机1300中的壳体1302的侧表面上。如图13中所示，如果需要，电视监视器1430和个人计算机1440被分别连接到用于数据通信的视频信号输出端子1312和输入/输出端子1314。此外，存储在电路板1308的存储器中的成像信号通过预定的操作被输出到电视监视器1430或者个人计算机1440。
对于此，除了如图19所示的个人计算机1100(移动个人计算机)、如图20所示的便携式电话1200以及如图21所示的数码相机1300，本发明的电子装置可以适当地使用在(或者应用到)诸如电视、摄像机、寻象器类型或者监测器直接取景(monitor direct view)型磁带录像机、膝上型个人计算机、汽车导航装置、寻呼机、电子笔记本(包括这些具有通信功能的装置)，电子辞典、袖珍计算器、电子游戏装置、文档处理器、工作站、电视电话、用于防止犯罪的电视监测器、电子双眼望远镜、POS(point-of-sale)终端、具有接触面板的装置(诸如金融机构中的自动提款机、自动售票机)、医疗装置(例如电子体温表、血压测量仪、血糖测量仪、心电图显示装置、超声诊断装置、内诊镜显示器)、鱼探测器、不同的测量装置、量具(诸如车辆、飞机、轮船等用的量规)、飞行模拟器、任何其它类型的监测器、投影式显示器，诸如投影仪等。
根据本发明的用于使用在液滴喷射装置中的头单元、液滴喷射装置、用于由基部制造面板的方法、图像显示装置和电子装置基于附图中所示的实施例在如上进行了说明，但是必须注意本发明不限于此。根据本发明的头单元、液滴喷射装置和电子装置的各部分可以用任何能够用相同的方式工作的布置替换。此外，任何其它任意部件可以添加到根据本发明的头单元、液滴喷射装置和电子装置。
权利要求
1.一种用于液滴喷射装置中的头单元，所述头单元设有多个液滴喷射头，所述多个液滴喷射头用于将一种或者多种类型的预定颜色的液体材料以液滴的形式喷射到基部上，所述液滴喷射头的每一个均包括至少一个喷嘴阵列，所述喷嘴阵列由多个直线对齐的喷嘴所构成，所述液体材料适于以液滴的方式通过多个液滴喷射头的多个喷嘴被喷射，其中多个液滴喷射头包括至少两组两个相邻液滴喷射头，所述至少两组两个相邻液滴喷射头以连续的方式沿平行于每个喷嘴阵列的第一方向布置用于喷射相同颜色的液体材料，至少两组两个相邻液滴喷射头的每个的两个相邻喷嘴阵列被布置为其喷嘴在从垂直于第一方向的第二方向观察时通过两个相邻的液滴喷射头的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝而连续，以及其中用于喷射相同颜色的液体材料的液滴的所述至少两组两个相邻液滴喷射头被布置为其所有的接缝在从第二方向观察时沿第一方向彼此相对偏移。
2.根据权利要求1所述的头单元，其中多个液滴喷射头的每个的喷嘴阵列的多个喷嘴包括被构造以不喷射液体材料的液滴的、喷嘴阵列的两端附近的不起作用喷嘴，并且两个相邻的喷嘴阵列被布置为两个相邻的喷嘴阵列的一个的一端部分地与两个相邻的喷嘴阵列的另一个的一端重叠以提供接缝。
3.根据权利要求1所述的头单元，其中每个液滴喷射头均包括多个喷嘴阵列，多个喷嘴阵列以并排的关系沿第二方向布置，从而多个液滴喷射头的每个中的多个喷嘴阵列的两端在从第二方向观察时对齐。
4.根据权利要求1所述的头单元，其中一种或者多种类型的液体材料包括三种类型的液体材料，该液体材料分别具有红、绿和蓝色。
5.一种用于将一种或者多种类型的液体材料以液滴的方式供给到基部上的液滴喷射装置，所述一种或者多种类型的液体材料具有预定的颜色，所述装置包括权利要求1所限定的头单元；具有两个主表面的工作台，工作台的两个主表面的一个朝向头单元的多个液滴喷射头，而基部被支撑在工作台的所述一个主表面上；移动机构，用于相对于头单元相互移动工作台；以及控制单元，所述控制单元用于控制头单元以及移动机构的操作，从而沿垂直于第一方向的第二方向相对于头单元相互移动工作台的同时，头单元的多个液滴喷射头的每个将液体材料的液滴喷射到基部上。
6.根据权利要求5所述的液滴喷射装置，其中基部是用于制造滤色器衬底的基部材料，所述滤色器衬底用于液晶显示器，并且所述一种或者多种类型的液体材料是用于形成滤色器衬底的滤色器层的墨。
7.根据权利要求5所述的液滴喷射装置，其中基部是用于制造电致发光显示器的基部材料，以及所述一种或者多种类型的液体材料包括用于制造电致发光显示器的发光材料。
8.一种使用权利要求5限定的液滴喷射装置由基部制造面板的方法，所述方法包括步骤制备基部；以及相对头单元沿垂直于第一方向的第二方向相互移动基部的同时，将预定颜色的一种或者多种类型的液体材料以液滴的形式通过液滴喷射装置喷射液滴而供给到基部上。
9.根据权利要求8所述的方法，其中基部是用于制造滤色器衬底的基部材料，所述滤色器衬底用于液晶显示器，并且所述一种或者多种类型的液体材料是用于形成滤色器衬底的滤色器层的墨。
10.根据权利要求8所述的方法，其中基部是用于制造电致发光显示器的基部材料，以及所述一种或者多种类型的液体材料包括用于制造电致发光显示器的发光材料。
11.一种图像显示装置，包括使用权利要求8限定的方法制造的面板。
12.一种电子装置，包括权利要求11限定的图像显示装置。
全文摘要
一种用于液滴喷射装置中的头单元，头单元设有多个液滴喷射头，各液滴喷射头包括至少一个喷嘴阵列，喷嘴阵列由多个线性对齐的喷嘴所形成，液体材料以液滴的方式通过多个液滴喷射头的多个喷嘴被喷射，液滴喷射头包括至少两组两个相邻液滴喷射头，液滴喷射头以连续方式安置在平行于各喷嘴阵列的第一方向用于喷射相同颜色的液体材料，至少两组两个相邻液滴喷射头的每个的两个相邻喷嘴阵列被安置为其喷嘴在从垂直于第一方向的第二方向观察时通过两个相邻的液滴喷射头的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝而连续，以及至少两组的用于喷射相同颜色的液体材料的液滴的两个相邻液滴喷射头被安置，这样所有的接缝在从第二方向观察时相对第一方向上相对彼此偏移。
文档编号B41J2/21GK1755456SQ20051010880
公开日2006年4月5日 申请日期2005年9月30日 优先权日2004年10月1日
发明者川濑智己 申请人:精工爱普生株式会社