专利名称：印刷设备的真空台面的制作方法
印刷设备的真空台面本申请要求2011年7月18日提交的美国临时专利申请61/508757的优先权，在此通过引用将其并入于此。
背景技术：
可以通过印刷装置的一个或更多个印刷头印刷各种印刷电路板或其他大基板的层。这些印刷处理必须是精确的。一旦印刷开始，必须由印刷机构严格控制基板的任何移动。基板的并非由印刷机构引起的或控制的任何随机移动都会导致印刷材料的随机放置，从而导致不可接受的误差。当基板在印刷前存在特征并且印刷必须与所述特征同步时，通过利用对准机制来确保准确性，该对准机制可以包括对基板上的所述特征的成像和分析。利用基板上的所述特征相对于基准图像上的相应特征的位置来对准印刷头并在所需位置操作印刷头，以放置印刷材料。为了使得该处理成功，避免基板在成像步骤和印刷步骤之间的任何移动是关键的。任何这种移动都将使得对准处理的结果无效并且不能实现所需的准确度。此外，在喷墨印刷系统中，必须在整个印刷面积上和整个处理过程中将目标基板的表面保持在与印刷头相隔相等的距离处。任何高度变化都会导致印刷材料在基板上的横向错位(misplacement),从而同样导致不可接受的误差。因此，在印刷过程中，需要固定基板，以避免印刷高度变化和面板移动。这个要求连同PCB的物理性质一起，通常迫使大多数设计者选择抽吸(vacuum)方法来固定基板。抽吸方案通常具有带有各种直径的孔的水平面(板)，这些孔分布在水平面上以施加抽吸，从而在板与板上的基板之间施加吸力。利用抽吸源(可能是泵)向板提供抽吸力，并将抽吸力传导到水平面上的孔。然而，基板的下表面(与抽吸板接触的表面)上的铜迹线可能具有各种厚度，因此可能在板与基板之间产生空气通道，抽吸力会通过这些空气通道“逃逸”，从而降低其效力。除此以外，基板可能包括许多通孔和开口，导致进一步的抽吸力损失并使得抽吸要求更加严格。为了补偿所有这种真空损失，必须增大抽吸流。这种抽吸流中的一部分不可避免地以进入所述基板中的空气流的形式通过所述通孔逃逸到基板的上表面。当抽吸孔和通孔彼此充分接近时，这种抽吸流会很大并且当在基板上用喷墨进行印刷时会存在非常有害的副作用从印刷头朝着通孔附近的基板滴落的喷墨会受到流过孔的空气的影响，从而在基板上错位。换句话说，抽吸会影响喷墨墨滴“飞行剖面”并导致喷墨墨滴落在基板上的错误的落点上。此外，墨在印刷在基板上之后未被固化，并成为流体，甚至可能经过通孔开口流到基板的另一面，污染它。
发明内容
根据本发明一个实施例，提供了一种系统，包括(a)印刷模块，被配置成通过在基板上喷墨，在所述基板上印刷图案jP(b)基板支承模块(如抽吸台面)，包括(bl)多孔材料模块(如多孔板)，用于支承所述基板，并且在所述基板被放置在所述多孔材料模块的平坦的上表面上时向所述基板的多个位置提供抽吸力；和62)接口模块，包括(i)至少一个进口，用于接收来自抽吸系统的抽吸力；(ii)至少一个出口，用于将抽吸力提供给所述多孔材料模块；以及(iii)至少一个结构元件，被布置成接触所述多孔材料模块并向所述多孔材料模块提供机械支承。多孔材料模块可以提供用于传播抽吸力的多个通道。多孔材料的多孔性质使得能够在大表面上传播抽吸力，提供了强保持力，而不会通过任何一个孔产生明显的方向性流。该系统可以产生足够的抽吸力以保持基板不移动，而不会通过所述基板的两个表面之间的通道产生有害气流。所述接口模块由比所述多孔材料模块的多孔材料更耐用的材料制成。这样，接口模块可以以可靠的方式容纳抽吸口或与抽吸系统的出口或端口相接的其他接口。此外，可以将接口模块附接到机械台座，该机械台座可以移动基板支承模块并且可以经受移动过程中产生的力。所述多孔材料模块由具有微观尺度的孔的多孔材料制成。孔的尺寸可以小于I微米、I个或几个微米、几十微米或几百微米。基板支承模块可以包括多个多孔材料模块。所述多个多孔材料模块的平坦的上表面可以位于同一平面，以支承同一基板。所述多个多孔材料模块可以彼此靠近，相邻多孔材料模块之间的距离可以小于任一多孔材料模块的宽度或长度。 所述基板支承模块可以被配置成支承不同形状和尺寸的基板；其中多孔材料模块的不同组合适合不同形状和尺寸的基板。所述多孔材料模块和所述接口模块在被放置在一起时，限定了介于所述接口模块的所述至少一个出口与所述多孔材料模块的下表面之间的至少一个内部空间。所述至少一个内部空间沿着多孔材料的大部分下表面延伸。所述接口模块的一个或更多个结构元件位于所述至少一个内部空间内。所述多孔材料模块和所述接口模块在被放置在一起时，限定了多个内部空间，其中所述多个内部空间介于所述接口模块的所述至少一个出口与所述多孔材料模块的下表面的多个区域之间；其中，所述接口模块包括用于独立地选择对所述多个内部空间中的至少两个的抽吸力的提供的抽吸控制组件。基板支承模块可以包括至少一个抽吸力测量单元。可以通过各种装置产生抽吸力，包括但是不限于抽吸泵。多孔材料模块可以是抽吸板。可以通过各种装置向抽吸板提供抽吸力，包括但是不限于零或更多个管。抽吸板可以具有各种规则或不规则的形状，包括但是不限于直角棱(rectangularprism)。所述抽吸板可以具有用于容纳抽吸力的零或更多个室。
所述室可以一起或者独立地被激活，并且可以一起或独立地被阻塞。所述抽吸板可以具有用于将抽吸力导入所述多孔材料的零或更多个通道。所述通道可以一起或者独立地被激活，并且可以一起或独立地被阻塞。形成多孔材料模块的多孔材料可以具有各种形状，包括但是不限于直角棱。所述多孔材料可以由诸如但是不限于可商业获得的多孔陶瓷、多孔铝等的材料制成。将抽吸力从一侧导至另一侧的多孔材料中的孔可以具有各种几何形状，包括但是不限于规则或不规则的通道、迷宫，这些形状中的每一种都可以具有但是不限于微观(微米)尺寸。通过所述孔的气流可以是方向性的或非方向性的。气流可以沿随机方向流入所述孔中的每一个中。可以提供用于制造所述抽吸台面的方法。所述方法可以包括但是不限于分开地制造抽吸板、多孔材料并在组装在印刷系统中之前接合各个零件。所述方法可以包括但是不限于分开地制造抽吸板、多孔材料并在在印刷系统中分开地接合各个零件。所述方法可以包括但是不限于在需要时更换印刷系统上的多孔材料。可以提供用于在印刷系统上使用所述抽吸台面的方法。所述方法可以包括但是不限于手动地或使用自动装置打开或关闭抽吸。所述方法可以包括但是不限于手动地或使用自动装置控制提供给所述抽吸台面的抽吸量。所述方法可以包括但是不限于手动地或使用自动装置控制向所述抽吸台面的选定部分提供抽吸。所述自动装置可以包括但是不限于电的、气动的、水力的开关、气流控制器、电子控制系统、计算机、计算机程序。所述方法可以包括但是不限于测量进入所述抽吸台面的外多孔表面中的气流、离开所述抽吸台面的气流、所述抽吸台面中的内部通道中的气流等。所述方法可以包括但是不限于利用测量结果来控制提供给抽吸台面的抽吸力、切换和控制所述抽吸台面中的接收抽吸力的区域、调节流入所述多孔表面中的气流。所述方法可以包括但是不限于在印刷系统的范围内使流入所述抽吸台面中的抽吸流与向基板喷墨滴的印刷头的位置同步。根据本发明一个实施例，提供了一种使用本说明书中说明的任何一个系统的方法。该方法可以包括通过基板支承模块的中间模块，向所述基板支承模块的多孔材料模块提供结构支承；将所述基板放置在所述多孔材料模块的平坦的上表面上；通过所述中间模块的至少一个进口接收抽吸力；向所述多孔材料模块的至少一个下表面提供抽吸力；以及通过所述多孔材料模块的平坦的上表面向所述基板的多个位置提供抽吸力。提供了一种在基板上进行印刷的方法，该方法可以包括通过基板支承模块的中间模块，向所述基板支承模块的多孔材料模块提供结构支承；将所述基板放置在所述多孔材料模块的平坦的上表面上；通过所述中间模块的至少一个进口接收抽吸力；向所述多孔材料模块的至少一个下表面提供抽吸力；以及通过所述多孔材料模块的平坦的上表面向所述基板的多个位置提供抽吸力；以及通过在所述基板上喷墨来在所述基板上印刷。
参照附图，将仅仅以示例的方式描述本发明的其他详情、方面和实施例。在附图中，类似的标号用于表示类似的或功能类似的单元。图中示出的单元是出于简化和清楚的目的示出的，因此不一定是按比例示出的。图1A — ID是根据本发明各种实施例的诸如抽吸板的基板支承模块的剖视图；图2图解说明了根据本发明一个实施例的基板支承模块支承的基板；图3图解说明了根据本发明一个实施例的基板支承模块的多个多孔材料模块支承的多个基板；图4A — 4C是根据本发明各种实施例的接口模块的俯视图；图5是根据本发明一个实施例的诸如抽吸板的基板支承模块的剖视图；图6图解说明了根据本发明一个实施例的系统；以及图7图解说明了根据本发明一个实施例的方法。
具体实施例方式根据结合附图的本发明的以下详细说明，本发明的上述和其他目的、特征、方面以及优点将变得更显见。在附图中，在不同的图中类似的标符表示类似的要素。由于本发明所图解说明的实施例大部分都可以利用本领域技术人员所知的电子组件和电路来实现，因此为了不干扰或分散本发明的教导，不以超出被认为理解本发明的潜在构思所需的程度来解释细节。在以下详细说明中，阐述了各种具体细节以提供对本发明的透彻理解。然而，本领域技术人员应当理解，可以在没有这些具体细节的情况下实现本发明。在其他情况下，不详细描述公知的方法、过程和组件，以避免使本发明变模糊。在说明书的结论部分中特别指出了与本发明有关的主题并分开地对其进行了保护要求。然而，当结合附图阅读以下详细描述时，能够最佳地理解本发明、其组织和操作方法以及目的、特征和优点。应当理解，图中示出的单元是出于简化和清楚的目的示出的，因此不一定是按比例示出的。例如，为了清楚起见，一些单元的尺寸相对于另一些单元被夸大。此外，在认为合适时，在图中可以重复标号，以表示相应或类似的要素。根据本发明一个实施例，提供了一种多孔抽吸台面。它具有多个小孔，这些小孔位于抽吸台面的顶部，并允许吸收空气以保持基板附近的所需抽吸力。图1A — ID是根据本发明各种实施例的基板支承模块10的剖视图。图1A图解说明了基板支承模块10，包括多孔材料模块30，其用于支承基板并且在基板被放置在多孔材料模块的平坦的上表面上时向基板的多个位置提供抽吸力；和接口模块20，包括进口 21，用于接收来自抽吸系统的抽吸力；出口 22，用于将抽吸力提供给多孔材料模块30 (或者，在图1A的情况下，用于经由内部空间40向多孔材料模块30提供抽吸力)；以及至少一个结构元件，如肩台23，被布置成接触多孔材料模块30并向多孔材料模块30提供机械支承。接口模块20由比多孔材料模块30的多孔材料更耐用的材料(如不锈钢)制成。多孔材料模块30可以由具有微观尺度的孔的多孔材料制成。图1A图解说明了多孔材料模块30和接口模块20，当放置在一起时，限定了内部空间40，该内部空间40介于接口模块20的至少一个出口(如出口 22)与多孔材料模块30的下表面之间。图1A图解说明了在多孔材料30的下表面的大部分上延伸的内部空间。接口模块的结构元件可以位于由接口模块20与多孔材料模块30限定的至少一个内部空间内。图1B图解说明了位于内部空间40内但是没有将内部空间40分隔成多个分离的内部空间的一对支承元件25。图1C图解说明将内部空间分隔成彼此分离的多个内部空间40、41以及42的一对支承元件25。图1C还图解说明了在接口模块20中形成的与多孔材料模块30的整个下表面直接接触的三个抽吸通道21，21’以及21〃。支承元件可以彼此不同，可以具有相同的尺寸和形状或不同的尺寸和形状。例如，图4A是接口模块20的顶视图并且图解说明了间隔开的圆柱形支承元件25的阵列，图4B图解说明了杆状的支承元件网格，而图4C图解说明了矩形支承元件25 (I) - 25 (6)，其将内部空间分隔成内部空间40(1) - 40(6)o支承元件的其他非限制性示例可以包括环形(同心或不同心的)结构元件、径向延伸支承元件等。只要存在多个内部空间，就可以独立控制到每个内部空间(或到每个内部空间组)的抽吸力。由此可以防止将抽吸力提供给未被基板覆盖的内部空间。在没有内部空间并且多孔材料模块位于中间元件上的情况下，可以应用同样的抽吸力控制方案如图5所示，在与多孔材料模块30的整个下表面直接接触的接口元件20中形成有多个抽吸通道28(1)-28(1)。图1D图解说明了诸如阀门的多个抽吸控制组件26，26’以及26"，每个组件分别控制对内部空间40、41以及42中的一个的抽吸力的提供。图1D还图解说明了形成在与多孔材料模块30的整个下表面直接接触的接口模块20中的三个抽吸通道21，21’以及21"。图1D还图解说明了布置成测量内部空间40、41以及42的抽吸力的抽吸力测量单元 27，27’ 以及 27"。尽管图1A -1D图解说明了位于接口模块20的底面的抽吸管道，图2图解说明了形成在接口模块20的侧壁中的抽吸进口 29。图2还图解说明了基板50和多孔材料模块30。接口模块20能够支承多个多孔材料模块。所述多个多孔材料模块的上平表面可以位于同一平面。多个多孔材料模块可以彼此靠近。根据本发明的各种实施例，基板支承模块可以被配置成支承不同形状和尺寸的基板。多孔材料模块的不同组合可以适合不同形状和尺寸的基板。图3图解说明了接口模块30，其支承可以承载基板50(1)的矩形多孔材料模块20(1)、第一倒L形多孔材料模块20 (2)以及第二倒L形多孔材料模块20(3)，其中多孔材料模块20 (I)和20 (2)的组合支承基板50 (2)，并且多孔材料模块20 (I) 一 20 (3)的组合支承基板50 (3)。基板支承模块可以是印刷系统的一部分，如图6所示。参照图6，提供了一种系统，包括a.印刷模块70，被配置成通过在基板上喷墨(由垂直虚线111所示)，在基板上印刷图案。b.基板支承模块，包括b.1多孔材料模块30，用于支承基板并且在基板被放置在多孔材料模块的平坦的上表面上时向基板的多个位置提供抽吸力；b. 2接口模块20，包括至少一个进口，用于接收来自抽吸系统的抽吸力；至少一个出口，用于将抽吸力提供给多孔材料模块；以及至少一个结构元件，被布置成接触多孔材料模块并向多孔材料模块提供机械支承。c.机械台座60,被布置成相对于印刷模块70移动基板。将墨滴导向基板。墨滴来自基板上方的印刷模块的一个或更多个印刷头。通过减小经由开口的抽吸力损失，抽吸台面的多孔结构能够实现对带有通孔和开口的基板的高抽吸力保持(高抽吸力)。多孔提供了多个方向上的小气流，并且不会形成将墨滴直接吸到基板的另一面上的空气矢量。多孔板的益处是与任何其他方案中的方向性气流相比的非方向性气流。由于低且非方向性的气流，因此不会通过基板开口吸收墨滴，因此墨滴不会在基板上错位。抽吸台面的顶面=多孔材料模块可以由多孔材料制成，如可商业获得的多孔陶瓷、多孔铝、多孔材料的多孔混合物，并且多孔尺寸也可以是微观尺寸。根据本发明的一个实施例，提供了一种方法。该方法可以包括在通过多孔抽吸台面(以非方向性的方式)抽吸空气的同时，在由多孔抽吸台面支承的基板上印刷图案。所述印刷可以包括将嗔墨滴导向基板。图7图解说明了根据本发明一个实施例的方法700。方法700可以在步骤710开始，该步骤通过基板支承模块的中间模块，向基板支承模块的多孔材料模块提供结构支承。步骤710之后接着是步骤720、730、740，甚至有步骤750。步骤720可以包括将基板放置在多孔材料模块的上平表面上。步骤730可以包括通过中间模块的至少一个进口接收抽吸力。步骤740可以包括向多孔材料模块的至少一个下表面提供抽吸力。步骤750可以包括通过多孔材料模块的上平表面向基板的多个位置提供抽吸力。步骤760可以包括通过在基板上喷墨来在基板上印刷。步骤760可以包括在基板与印刷模块之间产生移动。在本公开中示出并描述了本发明的仅仅示例性的实施例和其多样性的少数示例。应当明白，本发明能够在各种其他组合和环境下使用并且能够在在此描述的发明构思的范围内作出改变或变形。在上述说明书中，已经参照本发明的实施例的具体示例描述了本发明。然而，显然在不脱离如所附权利要求描述的本发明的较宽精神和范围的情况下可以作出各种修改和变化。此外，说明书和权利要求中的术语“前”、“后”、“上”、“下”、“上方”、“下方”等，如果
有的话，用于描述性目的，而不一定是描述永久的相对位置。应当理解，这些术语在合适的情况下是可互换的，使得在此描述的本发明的实施例能够以除在此描述或图示的取向以外的取向进行操作。在此讨论的连接可以是任何类型的适合于通过中间装置在相应的节点、单元或装置之间传送信号的连接。因此，除非暗示或记载，这些连接可以是直接连接或间接连接。这些连接可以图示或描述成单个连接、多个连接、单向连接或双向连接。然而，不同实施例可以改变连接的实现方式。例如，可以使用分离的单向连接而不是双向连接，反之亦然。此外，可以用串行地或者以时间复用的方式传送多个信号的单个连接取代多个连接。类似的是，可以将运载多个信号的单个连接分离成运载这些信号的子集的各种不同连接。因此，存在传送信号的许多选项。尽管在示例中描述了特定导电类型或电势极性，但是应当明白导电类型或电势极性可以反转。可以将在此描述的每个信号指定为逻辑正或负。在逻辑负信号的情况下，信号是有效低的，其中逻辑真状态对应于逻辑电平零。在逻辑正信号的情况下，信号是有效高的，其中逻辑真状态对应于逻辑电平I。注意，可以将在此描述的任何信号指定为负或正逻辑信号。因此，在替换实施例中，可以将被描述为逻辑正信号的信号实现为逻辑负信号，并且可以将被描述为逻辑负信号的信号实现为逻辑正信号。此外，术语“断言”或“设定”以及“否定”(或去断言或清除)用于表示将信号、状态比特或类似的装置变成其逻辑真状态或逻辑假状态。如果逻辑真状态是逻辑电平1，那么逻辑假状态是逻辑电平O。如果逻辑真状态是逻辑电平0，那么逻辑假状态是逻辑电平I。本领域技术人员将明白，逻辑块之间的边界仅仅是例示性的，并且替换实施例可以合并逻辑块或电路单元，或者对各个逻辑块或电路单元进行功能分解。应当，应当明白，在此描述的结构仅仅是示例性的，实际上可以实现许多能够实现相同功能的其他结构。实现相同功能的部件的任何布置实际上是“关联的”，使得实现所需功能。因此，可以将在此被组合以实现特定功能的任何两个组件视为彼此“关联”从而实现所需功能，无论其结构或中间组件如何。类似的，也可以将如此关联的任何两个组件视为彼此“操作地连接”、或“操作地耦合”以实现所需功能。此外，本领域技术人员将认识到，上述操作之间的边界仅仅是例示性的。可以将多个操作合并成单个操作，可以将单个操作分成多个操作，并且可以至少部分地以时间重叠的方式执行操作。此外，替换实施例可以包括特定操作的多个实例，并且在其他各种实施例中可以改变操作的顺序。此外，例如，在一个实施例中，可以将所例示的示例实现为位于单个集成电路上或在同一装置内的电路。作为替换方式，可以将这些示例实现为以合适的方式彼此互连的任何多个分离的集成电路或分离的装置。此外，例如，可以将示例或其部分实现为物理电路的软的或代码的表示或可转换成物理电路的逻辑表示，如采用任何合适类型的硬件描述语言。此外，本发明并不限于实现为非可编程硬件的物理装置或单元，而是也可以实现为可编程装置或单元，其能够通过根据合适的程序代码来操作而执行所需装置功能，如主框、微计算机、服务器、工作站、个人计算机、笔记本、个人数字助理、电子游戏、自动的和其他嵌入式系统、蜂窝电话和各种其他无线装置，在本申请中将这些统称为“计算系统”。然而，其他变形、变化和替换也是可以的。因此，说明书和附图应当视为示例性的而非限制性的。在权利要求中，括号之间的任何标符不应解释为对权利要求的限制。术语“包括”并不排除存在除权利要求中列出的以外的其他单元或步骤。此外，术语“一个”并定义为一个或一个以上。此外，权利要求中的术语“至少一个”和“一个或更多个”并应解释为以不定冠词限定的另一权利要求的单元限定了仅包含一个这种单元，即使同一权利要求包括“一个或更多个”或“至少一个”以及不定冠词。这同样适合于定冠词的使用。除非另外说明，术语“第一”、“第二”等用于任意区分单元。因此这些术语并不一定旨在表示对这种单元的时间或其他方面的优先区分。在不同权利要求中描述特定手段的事实并不表示不可以利用这些措施的组合。尽管在此例示和描述了本发明的某些特征，但是对于本领域技术人员将显见许多修改、替换、变化和等同物。因此，应当明白，所附权利要求旨在覆盖落入本发明的真实精神内的所有这种修改和变化。
权利要求
1.一种系统，包括印刷模块，被配置成通过在基板上喷墨，在所述基板上印刷图案；和基板支承模块，包括多孔材料模块，用于支承所述基板，并且在所述基板被放置在所述多孔材料模块的平坦的上表面上时向所述基板的多个位置提供抽吸力；和接口模块，包括至少一个进口，用于接收来自抽吸系统的抽吸力；至少一个出口，用于将抽吸力提供给所述多孔材料模块；以及至少一个结构元件，被布置成接触所述多孔材料模块并向所述多孔材料模块提供机械支承。
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述接口模块由比所述多孔材料模块的多孔材料更耐用的材料制成。
3.根据权利要求1所述的系统，其中所述多孔材料模块由具有微观尺度的孔的多孔材料制成。
4.根据权利要求1所述的系统,包括多个多孔材料模块。
5.根据权利要求4所述的系统，其中所述多个多孔材料模块的平坦的上表面位于同一平面。
6.根据权利要求4所述的系统，其中所述多个多孔材料模块彼此靠近。
7.根据权利要求4所述的系统，其中所述基板支承模块被配置成支承不同形状和尺寸的基板；其中多孔材料模块的不同组合适合不同形状和尺寸的基板。
8.根据权利要求1所述的系统，其中所述多孔材料模块和所述接口模块在被放置在一起时，限定了介于所述接口模块的所述至少一个出口与所述多孔材料模块的下表面之间的至少一个内部空间。
9.根据权利要求8所述的系统，其中所述至少一个内部空间跨越了多孔材料的大部分下表面。
10.根据权利要求8所述的系统，其中所述接口模块的一个或更多个结构元件位于所述至少一个内部空间内。
11.根据权利要求1所述的系统，其中所述多孔材料模块和所述接口模块在被放置在一起时，限定了多个内部空间，其中所述多个内部空间介于所述接口模块的所述至少一个出口与所述多孔材料模块的下表面的多个区域之间；其中，所述接口模块包括用于独立地选择对所述多个内部空间中的至少两个的抽吸力的提供的抽吸控制组件。
12.根据权利要求1所述的系统，包括至少一个抽吸力测量单元。
13.根据权利要求1所述的系统，其中所述接口模块包括多个。
14.一种用于支承基板的方法，所述方法包括通过基板支承模块的中间模块，向所述基板支承模块的多孔材料模块提供结构支承；将所述基板放置在所述多孔材料模块的平坦的上表面上；通过所述中间模块的至少一个进口接收抽吸力；向所述多孔材料模块的至少一个下表面提供抽吸力；通过所 述多孔材料模块的平坦的上表面向所述基板的多个位置提供抽吸力；以及通过在所述基板上喷墨来在所述基板上印刷。
全文摘要
本发明涉及印刷设备的真空台面。一种系统，包括印刷模块，被配置成通过在基板上喷墨，在所述基板上印刷图案；和基板支承模块，包括多孔材料模块，用于支承所述基板，并且在所述基板被放置在所述多孔材料模块的平坦的上表面上时向所述基板的多个位置提供抽吸力；和接口模块，包括至少一个进口，用于接收来自抽吸系统的抽吸力；至少一个出口，用于将抽吸力提供给所述多孔材料模块；以及至少一个结构元件，被布置成接触所述多孔材料模块并向所述多孔材料模块提供机械支承。
文档编号B41J11/00GK102991145SQ201210249
公开日2013年3月27日 申请日期2012年7月18日 优先权日2011年7月18日
发明者U·维卡斯丁, T·普雷斯博格 申请人:卡姆特有限公司