丝网印刷机、元件安装线和丝网印刷方法
【技术领域】
[0001]本发明的一个或多个实施例涉及丝网印刷机、元件安装线和丝网印刷方法。
【背景技术】
[0002]元件安装线设置有将诸如焊料的膏剂印刷在基板上的丝网印刷机和将元件安装在其上由丝网印刷机印刷了膏剂的基板上的元件安装机。在这种元件安装线的丝网印刷机中，使由一对夹紧构件在两侧夹紧的基板与形成有图案孔的掩模的下表面接触，使刮板在与基板接触的掩模上滑动以使掩模的图案孔填充有膏剂，然后使基板沿远离掩模的方向移动以执行板释放(例如参见专利文献I)。
[0003]专利文献I 是 JP-A-2003-266629。
【发明内容】
[0004]然而，近年来，掩模的厚度已经因与细节距基板相关联的印刷图案的精细化而减小。因此，由于在填充膏剂时与基板紧密接触的掩模在随后的板释放中被拉向基板且掩模的中心部由此向下弯曲，因此在基板的端部部分图案孔相对于膏剂形成的方向不垂直于基板，由此膏剂可能失去形状，印刷精度可能降低。
[0005]本发明实施例的目的之一是提供通过防止膏剂在板释放时失去形状而确保良好印刷精度的丝网印刷机、元件安装线和丝网印刷方法。
[0006]根据实施例的丝网印刷机包括:掩模，具有形成在其上的图案孔；基板保持单元，在掩模的下方由一对夹紧构件在两侧夹紧并保持基板；基板保持单元移动机构，使保持基板的基板保持单元移动以使基板与掩模的下表面接触；膏剂填充单元，使通过基板保持单元移动机构与基板接触的掩模的图案孔填充有膏剂；掩模抽吸部，设置在所述一对夹紧构件中，并抽吸与基板接触的掩模；和控制单元，控制掩模抽吸部，以在基板保持单元移动机构使基板沿远离掩模的方向移动以在掩模的图案孔填充有膏剂之后执行板释放时保持抽吸掩模，并在基板的移动开始之后，在被吸到掩模抽吸部的掩模维持平行于基板的姿态的状态下释放对掩模的抽吸。
[0007]根据实施例的元件安装线包括:根据实施例的丝网印刷机；和元件安装机，将元件安装在其上由丝网印刷机印刷了膏剂的基板上。
[0008]根据实施例的丝网印刷方法包括:在其上形成有图案孔的掩模的下方由一对夹紧构件在两侧夹紧并保持基板的基板保持步骤；使由夹紧构件夹紧并保持的基板与掩模的下表面接触的接触步骤；使与基板接触的掩模的图案孔填充有膏剂的膏剂填充步骤；和在掩模的图案孔填充有膏剂之后通过使基板沿远离掩模的方向移动而执行板释放的板释放步骤，其中，在板释放步骤中，当基板沿远离掩模的方向移动时，设置在所述一对夹紧构件中的掩模抽吸部保持抽吸掩模，并且，在基板的移动开始之后，在被吸到掩模抽吸部的掩模维持平行于基板的姿态的状态下，释放掩模到掩模抽吸部的抽吸。
[0009]根据本发明，可以通过防止膏剂在板释放时失去形状而确保良好的印刷精度。
【附图说明】
[0010]参照附图描述实现本发明的各种特征的总体构造。提供附图和相关的描述是用于说明本发明的实施例，而不是限制本发明的范围。
[0011]图1是本发明实施例的元件安装线的构造的示意图。
[0012]图2是构成本发明实施例的元件安装线的丝网印刷机的平面图。
[0013]图3是本发明实施例的丝网印刷机的正视图。
[0014]图4是本发明实施例的丝网印刷机的侧视图。
[0015]图5A、5B和5C是示出本发明实施例的丝网印刷机的操作的图。
[0016]图6是本发明实施例的丝网印刷机的基板保持单元的透视图。
[0017]图7是本发明实施例的基板保持单元的部分分解透视图。
[0018]图8A是横截面图，SB是分解横截面图，示出本发明实施例的与夹紧构件一起的掩模抽吸部。
[0019]图9是示出本发明实施例的丝网印刷机的控制系统的框图。
[0020]图1OA和1B是示出本发明实施例的丝网印刷机的操作的图。
[0021]图1lAUlB和IlC是示出本发明实施例的丝网印刷机的操作的图。
【具体实施方式】
[0022]下面，参照附图描述本发明的实施例。图1所示的元件安装线I设置成用于通过将元件3安装在基板2上来制造元件安装基板，并构造成包括用诸如焊料的膏剂Pst在从基板供应部4供应来的基板2的电极2a上执行丝网印刷的丝网印刷机5、以及将元件3安装在其上由丝网印刷机5印刷了膏剂Pst的基板2上的元件安装机6。在该实施例中，基板2在元件安装线I中流动的方向是图1中从左侧向右侧的水平面内方向(操作者OP观察的纵向方向)，并且被称为X轴方向。与X轴方向垂直的水平面内方向(操作者OP观察的前后方向)被称为Y轴方向，垂直方向被称为Z轴方向。在该实施例中，图1平面的左侧对应于基板2流动的上游侧(上游处理侧)，图1平面的右侧对应于基板2流动的下游侧(下游处理侧)。
[0023]在图2、3和4中，丝网印刷机5设置有位于基台11上的基板保持_移动机构12，掩模13安装在基板保持-移动机构12的上方。作为基板送入部的将从位于上游处理侧的另一装置(这里是基板供应部4)送入的基板2送至基板保持-移动机构12的送入传送器14设置在基台11上的基板保持-移动机构12的基板2流动的上游侧(图2和3平面的左侧)，并且作为基板排出部的接收从基板保持-移动机构12送来的基板2并将基板2排出到位于下游处理侧的另一装置(这里是元件安装机6)的排出传送器15设置在基台11上的基板保持-移动机构12的基板2流动的下游侧(图2和3平面的右侧)。丝网印刷机5在掩模13的上方设置有印刷头16和膏剂供应注射器17，并在掩模13的下方设置有照相机单元18，印刷头16通过印刷头移动机构16M移动，膏剂供应注射器17与印刷头16 —体地设置，照相机单元18作为成像装置，在照相机单元移动机构18M的作用下在水平面中移动。
[0024]在图3和4中，基板保持_移动机构12由保持基板2的基板保持单兀21和使基板保持单元21在水平面内方向(在X-Y平面中)和垂直(Z轴)方向上移动的基板保持单元移动机构22形成。基板保持单元21设置有:升降板31，成为基部；一对前后传送器支撑构件32，从升降板31向上延伸；一对前后传送器33 (还参见图2)，附接到传送器支撑构件32 ;下接收部35，在附接到升降板31的升降致动器34的作用下在升降板31的上方上下移动；以及一对前后夹紧构件37 (还参见图2)，设置在传送器33的上方，并在夹紧构件驱动电机36的作用下沿Y轴方向打开或闭合。
[0025]在图3和4中，下接收部35由在升降致动器34的作用下上下移动的基部工作台35a和设置成从基部工作台35a的上表面向上延伸的多个下接收销35b形成。下接收部35的基部工作台35a，在基板保持单元移动机构22不上推基板保持单元21且升降致动器34也不上推下接收部35的第一位置到达Hl的高度(图5A)，在基板保持单元移动机构22不上推基板保持单元21且升降致动器34上推下接收部35的第二位置到达H2的高度，并在基板保持单元移动机构22在升降致动器34上推下接收部35的状态下上推基板保持单元21的第三位置到达H3的高度(图5C)。图3和4示出基部工作台35a位于第一位置的状态。
[0026]在图2中，掩模13具有在X-Y平面中延伸的矩形的平板形状，其外周由框架构件13W支撑。掩模13具有图案孔13P，图案孔13P的布置形成为对应于基板2的电极2a的布置。一对基板侧标记2m设置在基板2的对角位置,一对掩模侧标记13m对应于基板侧标记2m设置在掩模13上。
[0027]在图6中，每个夹紧构件37设置有掩模抽吸部40。如图7、8A和8B所示，掩模抽吸部40具有块体41，该块体41由设置成