基板传送机台及其检测装置的制作方法

文档序号:2675926阅读:112来源:国知局
专利名称:基板传送机台及其检测装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种基板传送机台及其检测装置,特别是涉及一种可检测在其上传送的基板是否发生缺角的基板传送机台。
背景技术
近年来,在液晶面板的制造过程中,随着玻璃基板面积的日趋扩大,发现基板在机台上传送的过程中,容易发生缺角的情况;举例来说,在湿式蚀刻机台中,其利用滚子作为传送机制,在传送基板时,须在滚子上方设置一压板,以确保基板沿一既定方向移动,然而,该压板在使用不当的状况下,会产生使基板发生缺角的问题。
在现有的机台中,并未有检测缺角(破片)的类似功能,详而言之,如图1所示,当基板1从一机台将要被移送至另一机台时,基板1通过滚子2被传送至一既定位置,且在到达既定位置前,可借助一减速检测器3使滚子1减速,然后再借助一停止检测器4使滚子1停止,从而使基板1停止在此既定位置上,然后位于基板1下方的举起构件5可将基板1举起,并利用未图示的机械手传送至下一机台;应了解的是当停止检测器4未检测到基板1时,基板会继续前进至停止销6处,此时基板1可由停止销6保持而不致于掉落在机台外,且机台会发出警报通知操作者有异常状况。
如上所述,由于公知机台并没有检测缺角的功能,当具有缺角的基板被移送至另一机台时,因为基板的尺寸不符等因素,会被另一机台的操作者发觉,这不仅造成其它机台操作者的困扰,同时也会造成制造工时的浪费;另外,当基板的缺角扩大时,其将会产生破片掉落于机台中,这不仅需将整个机台停机进行清理,严重时,基板的破片甚至会对机台造成损害。

发明内容
因此,本发明的目的在于提供一种基板传送机台,其可检测在其上传送的基板是否发生缺角。
本发明的另一目的在于提供一种检测装置,其可在不修改原有机台电气的前提下,检测基板是否发生缺角。
根据本发明,提供一种基板传送机台,其用以传送一基板,且包括一举起构件以及多个第一检测器,其中举起构件用以将基板举起,而第一检测器用以检测基板是否有缺角,且与举起构件耦合,当第一检测器没有检测到缺角时发出一信号,以到达举起构件。
在一较佳实施例中,基板传送机台还包括多个开关,分别与第一检测器耦合,其中当任一第一检测器检测到缺角时,使开关断路,以使信号无法传递到举起构件。
此外,开关以串联的方式相互耦合,且分别为一继电器。
在另一较佳实施例中,基板传送机台还包括多个滚子以及一第二检测器,其中滚子用以传送基板,而第二检测器用以检测基板是否到达一既定位置,且与滚子耦合,当第二检测器检测基板到达既定位置时,使滚子停止。
第二检测器以串联的方式与第一检测器耦合,且用以检测基板是否有缺角,而当第二检测器检测到缺角时,使第一检测器的信号无法传递到举起构件。
第一检测器分别设置在位于既定位置的基板的角落。
基板传送机台还包括一第三检测器,其与滚子耦合,用以使滚子减速。
在另一较佳实施例中,基板传送机台还包括一控制单元,其与举起构件耦合,其中当第一检测器没有检测到缺角时,使控制单元和举起构件之间导通。
在另一较佳实施例中,第一检测器是以成对的方式设置,且相邻的第一检测器之间的间隔为5mm。
在另一较佳实施例中,基板传送机台还包括一本体以及一位置调整组件,其中本体上设有举起构件,而位置调整组件以可移动的方式设置于本体上,且其上分别设有第一检测器,用以调整第一检测器的位置。
位置调整组件分别包括一基底以及一移动板,其中基底以可移动的方式设置于本体上,而移动板以可移动的方式设置于基底上,且第一检测器分别以可移动方式设置于移动板上。
本体上形成有一第一导槽,且基底上形成有与第一导槽对应的一第一导轨,通过第一导轨在第一导槽上移动,使基底可在该本体上移动。
此外,上述位置调整组件还包括一第一定位构件,穿过基底与本体结构,用以将基底定位于本体上。
基底上形成有一第二导槽,且移动板上形成有与第二导槽对应的一第二导轨,通过第二导轨在第二导槽上移动,使移动板可在基底上移动。
位置调整组件还包括一第二定位构件,穿过移动板与基底结合,用以将移动板定位于基底上。
移动板上形成有一第三导槽,用以供第一检测器穿过,而使第一检测器可在移动板上移动。
另外本发明提供一种检测装置,其适用于一机台,其中机台用以传送一基板,且具有一举起构件以及多个滚子,而上述检测装置包括多个第一检测器以及一第二检测器;第一检测器用以检测基板是否有缺角,第二检测器用以检测基板是否到达一既定位置,且分别与举起构件、滚子、第一检测器耦合,其中当第二检测器检测基板到达既定位置时,使滚子停止,且起动第一检测器检测基板是否有缺角,当第一检测器没有检测到缺角时发出一信号,以达到举起构件。
为了使本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易于理解,下面特举一较佳实施例,并配合附图进行详细说明如下。


图1为公知的基板传送机台的示意图;图2为本发明的基板传送机台的示意图;图3为本发明的位置调整组件的示意图;图4、5为本发明的检测装置的示意图;图6是显示基板在机台上传送时,各组件的动作示意图。
具体实施例方式
图2、3、4、5显示本发明的基板传送机台100,用以传送一基板1,其包括多个滚子110、一举起构件120、多个第一检测器130、一第二检测器140、一第三检测器150、两个停止销160、多个开关170、一本体180、多个位置调整组件190、以及一控制单元210,其中第一检测器130、第二检测器140、第三检测器150、开关170、位置调整组件190、以及控制单元210构成本发明的检测装置。
滚子110用以将基板1传送至一既定位置。举起构件120用以将到达既定位置的基板1举起,停止销160可使传送超过既定位置的基板1维持在机台100上,本体180为基板传送机台100的基本构成,其上可设置上述各组件。
第一检测器130如图2所示,在本实施例中,其设置数量为六个,用以检测基板1的三个角落上是否有缺角,且分别与举起构件120、开关170耦合,当第一检测器130没有检测到缺角时发出一信号,以达到能举起构件120,使举起构件120可举起基板1。
如图3所示,将每两个第一检测器130设置于一位置调整组件190上,位置调整组件190以可移动的方式设置于本体180上,用以调整第一检测器130的位置,且包括一基底191、两个移动板192、两个第一定位构件193、以及四个第二定位构件194,其中基底191由三个平面构成,基底191的一平面与本体180的顶面平行,其他两平面则与本体180的顶面垂直。
参考图3,本体180上形成有两个第一导槽181,基底191上形成有与第一导槽181对应的两个第一导轨191a(由于与第一导槽181重迭,在图上标示在同一位置),通过第一导轨191a在第一导槽181上移动,使基底191可在本体180上移动,并通过第一定位构件193穿过基底191与本体180结合,可将基底191定位于本体180的一既定位置上;基底191上形成有两个第二导槽191b,各移动板192上分别形成有与第二导槽191b对应的一第二导轨192a(由于与第二导槽191b重迭,在图上标示在同一位置),通过第二导轨192a在第二导槽191b上移动,使移动板192可在基底191上移动,且由于第二定位构件194穿过移动板192与基底191结合,可将移动板192定位于基底191的一既定位置上;移动板192上分别形成有一第三导槽192b,用以供第一检测器130穿过,以使第一检测器130可在移动板192上移动。
应了解的是第一定位构件和第二定位构件可以是一螺丝,在本体和基底上分别设有定位螺孔,可通过螺丝与螺孔啮合而将基底和移动板分别定位于本体和基底上;此外,第一检测器本身可以是两段式的结构,以便在第三导槽上定位。
另外,如图2所示,第一检测器130分别设置在到达既定位置的基板1的角落,并以成对的方式设置,相邻的第一检测器130之间的间隔可小至5mm。
参考图4,每一第一检测器130a、130b、130c、130d、130e、130f可分别与一开关170a、170b、170c、170d、170e、170f耦合,当任一第一检测器130检测到缺角时,使对应的开关170断路,以使信号无法传递到举起构件120。
如图4所示,开关170以串联的方式相互耦合,且可分别为一继电器,如图5所示。
参考图2,第二检测器140设置于到达既定位置的基板1的一角落,且与滚子110耦合,用以检测基板1是否到达一既定位置,当第二检测器140检测基板1到达既定位置时,使滚子110停止。
如图4所示,第二检测器140以串联的方式分别经由各开关170与第一检测器130耦合,用以检测基板1的一角落是否有缺角,当第二检测器140检测到基板1的此角落有缺角时,使第一检测器140的信号无法传递到举起构件120。
参考图2,第三检测器150与滚子110耦合,用以使滚子110减速。
参考图5,控制单元210为基板传送机台100的控制中心,可分别与上述各组件耦合,并包括一控制器211(PLC)、一解码器(SDS)212、以及一输入输出总线端口(SAB)213,当第一检测器130没有检测到缺角时,使控制单元210和举起构件120之间导通,以使举起构件120举起基板1。
在控制单元210的输入输出总线端口213和第二检测器140之间,除了传送信号外也传送电力。开关170如图5所示,为一继电器的形式,需在一回路的部分171使开关170电力通过,才可使位于第二检测器140和控制单元210之间的部分172导通;此外,如果开关170在回路的部分171上有电力通过,则须借助第一检测器130的信号触发一光纤电路221,且此光纤电路221可触动位于回路上的晶体管222,而使部分171上有电力通过;此外,在回路上还设有一二极管223,借此使回路上的电力可沿一既定方向传送,利用上述构成即可借助第一检测器130以及第二检测器140的检测结果,来决定控制单元210是否须驱动举起构件120。
本发明的基板传送机台的构成如上所述,以下参考图6说明其动作方式。
如图6所示,当基板1从一起始位置传送至一终点位置(上述既定位置),首先会被第一检测器130a、130b检测到,此时第一检测器130a、130b导通与其对应的开关170a、170b;接着,继续前进的基板1被第一检测器130c、130d检测到,此时第一检测器130c、130d导通与其对应的开关170c、170d;然后,继续前进的基板1被第三检测器150c检测到,此时第三检测器150将通过控制单元210使滚子110减速,此后,基板1被第一检测器130e检测到,使与第一检测器130e对应的开关170e导通;最后,基板1被第一检测器130f检测到,使与第一检测器130f对应的开关170f导通,如图6b所示,并且基板1被第二检测器140检测到,此时第二检测器140通过控制单元210使滚子110停止,基板1停止在既定位置上,各第一检测器130于此时判断基板1是否具有缺角,当各第一检测器130以及第二检测器140均未检测到缺角时,控制单元210和举起构件120之间导通,第一检测器130的信号达到举起构件120,进而使举起构件120将基板1举起。
应了解的是当上述任一第一检测器130检测到缺角时,将使与其对应的开关170断路,其信号无法传递到举起构件120,进而使举起构件120无法将基板1举起,并会发出警报。当第二检测器140检测到缺角时,其也通过控制单元210使举起构件120无法将基板1举起。
如上所述,利用在基板的四个角落设置可检测破片的检测器,当在机台内部发生缺角时能第一时间发现,并且能尽快有效的处置,因此降低缺角产品的产生。
由于检测器设置于一位置调整组件上,其位置可随意调整,由此可对检测联机操作时不同位置的缺角进行适当的检测。
另外,由于本发明是通过外部串接开关的方式来检测基板的缺角问题,因此不需要大幅度修改机台上的电气和控制器,就可以最少的成本来完成对它们的改进。
虽然本发明已以较佳实施例揭示,但并非用以限定本发明,任何本领域的技术人员在不脱离本发明的实质和范围内,可作出更动与修改,因此本发明的保护范围以后附的权利要求书所界定。
权利要求
1.一种检测装置,适用于一机台,该机台用以传送一基板,且具有一举起构件以及多个滚子,该检测装置包括多个第一检测器,用以检测该基板是否有缺角;以及一第二检测器,用以检测该基板是否到达一既定位置,且分别与举起构件、滚子、第一检测器耦合,其中当第二检测器检测基板到达既定位置时,使滚子停止,且起动第一检测器检测基板是否有缺角,当第一检测器没有检测到缺角时,发出一信号到达举起构件。
2.如权利要求1所述的检测装置,其中还包括多个开关,分别与第一检测器耦合,其中当任一第一检测器检测到缺角时,使开关断路,以使信号无法传递到举起构件。
3.如权利要求2所述的检测装置,其中开关以串联的方式相互耦合。
4.如权利要求2所述的检测装置,其中开关分别为一继电器。
5.如权利要求1所述的检测装置,其中第二检测器以串联的方式与第一检测器耦合,用以检测基板是否有缺角,当第二检测器检测到缺角时,使第一检测器的信号无法传递到举起构件。
6.如权利要求1所述的检测装置,其中第一检测器分别设置在位于既定位置的基板的角落。
7.如权利要求1所述的检测装置,其中还包括一第三检测器,其与滚子耦合,用以使滚子减速。
8.如权利要求1所述的检测装置,其中机台还包括一控制单元,其与举起构件耦合,当第一检测器没有检测到缺角时,控制单元和举起构件之间导通。
9.如权利要求1所述的检测装置,其中第一检测器以成对的方式设置,相邻的第一检测器之间的间隔为5mm。
10.如权利要求1所述的检测装置,其中机台还包括一本体,而检测装置还包括一位置调整组件,以可移动的方式设置于本体上,其上分别设有第一检测器,用以调整第一检测器的位置。
11.如权利要求10所述的检测装置,其中位置调整组件分别包括一基底,以可移动的方式设置于本体上;以及一移动板,以可移动的方式设置于基底上,且第一检测器分别以可移动方式设置于移动板上。
12.如权利要求11所述的检测装置,其中本体上形成有一第一导槽,基底上形成有与第一导槽对应的一第一导轨,通过第一导轨在第一导槽上移动,使基底可在本体上移动。
13.如权利要求11所述的检测装置,其中位置调整组件还包括一第一定位构件,其穿过基底与本体结合,用以将基底定位于本体上。
14.如权利要求11所述的检测装置,其中基底上形成有一第二导槽,移动板上形成有与第二导槽对应的一第二导轨,通过第二导轨在第二导槽上移动,使移动板可在基底上移动。
15.如权利要求11所述的检测装置,其中位置调整组件还包括一第二定位构件,其穿过移动板与基底结合,用以将移动板定位于基底上。
16.如权利要求11所述的检测装置,其中移动板上形成有一第三导槽,用以使第一检测器穿过,第一检测器可在移动板上移动。
17.一种基板传送机台,包括一举起构件,用以将一基板举起;以及多个第一检测器,检测基板是否有缺角,并与举起构件耦合,其中当第一检测器没有检测到缺角时,发出一信号到达举起构件。
18.如权利要求17所述的基板传送机台,其中还包括多个开关,分别与第一检测器耦合,其中当任一第一检测器检测到缺角时,使开关断路,以使信号无法传递到举起构件。
19.如权利要求18所述的基板传送机台,其中开关以串联的方式相互耦合。
20.如权利要求18所述的基板传送机台,其中开关分别为一继电器。
21.如权利要求17所述的基板传送机台,其中还包括多个滚子,用以传送基板。
22.如权利要求21所述的基板传送机台,其中还包括一第二检测器,用以检测基板是否到达一既定位置,且与滚子耦合,其中当第二检测器检测基板到达既定位置时,使滚子停止。
23.如权利要求22所述的基板传送机台,其中第二检测器以串联的方式与第一检测器耦合,用以检测基板是否有缺角,当第二检测器检测到缺角时,第一检测器的信号无法传递到举起构件。
24.如权利要求22所述的基板传送机台,其中第一检测器分别设置在位于既定位置的基板的角落。
25.如权利要求21所述的基板传送机台,其中还包括一第三检测器,其与滚子耦合,用以使滚子减速。
26.如权利要求17所述的基板传送机台,其中还包括一控制单元,其与举起构件耦合,其中当第一检测器没有检测到缺角时,控制单元和举起构件之间导通。
27.如权利要求17所述的基板传送机台,其中第一检测器以成对的方式设置,相邻的第一检测器之间的间隔为5mm。
28.如权利要求17所述的基板传送机台,其中还包括一本体,其上设有举起构件;以及一位置调整组件,以可移动的方式设置于本体上,其上分别设有第一检测器,用以调整第一检测器的位置。
29.如权利要求28所述的基板传送机台,其中位置调整组件分别包括一基底,以可移动的方式设置于本体上;以及一移动板,以可移动的方式设置于基底上,第一检测器分别以可移动方式设置于移动板上。
30.如权利要求29所述的基板传送机台,其中本体上形成有一第一导槽,基底上形成有与第一导槽对应的一第一导轨,通过第一导轨在第一导槽上移动,使基底可在本体上移动。
31.如权利要求29所述的基板传送机台,其中位置调整组件还包括一第一定位构件,其穿过基底与本体结合,用以将基底定位于本体上。
32.如权利要求29所述的基板传送机台,其中基底上形成有一第二导槽,移动板上形成有与第二导槽对应的一第二导轨,通过第二导轨在第二导槽上移动,使移动板可在基底上移动。
33.如权利要求29所述的基板传送机台,其中位置调整组件还包括一第二定位构件,其穿过移动板与基底结合,用以将移动板定位于基底上。
34.如权利要求29所述的基板传送机台,其中移动板上形成有一第三导槽,用以使第一检测器穿过,使第一检测器可在移动板上移动。
全文摘要
一种基板传送机台及其检测装置,其中基板传送机台包括多个滚子、一举起构件、多个第一检测器、以及一第二检测器;滚子和举起构件分别用以传送和举起基板,而第一检测器用以检测基板是否有缺角;第二检测器用以检测基板是否到达一既定位置,且分别与举起构件、滚子、第一检测器耦合,其中当第二检测器检测基板到达既定位置时,使滚子停止,并起动第一检测器检测基板是否有缺角,当第一侦测器没有检测到缺角时,发出一信号达到举起构件。
文档编号G02F1/13GK1540408SQ0312324
公开日2004年10月27日 申请日期2003年4月24日 优先权日2003年4月24日
发明者林威呈, 古国仕, 叶启聪, 薛裕耀 申请人:友达光电股份有限公司
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