滤光器、以及使用其的液晶显示装置的制作方法

专利名称：：滤光器、以及使用其的液晶显示装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及滤色器等滤光器、以及使用其的液晶显示装置。技术背景滤光器是具有只吸收特定波长的光而透射其以外波长的光的功能的构件，用于显示元件等各种光学元件。例如，在全彩色用的液晶显示装置中，使用滤色器，通过红、蓝、绿三原色的光的组合，显示彩色图像。滤色器等多数滤光器具有的构造为按照规定的图案配置透射规定波长的光的透射区域、和遮光的遮光区域。该构造的滤光器中，在遮光区域和透射区域的边界部产生光的衍射或散射，存在滤波器性能下降的问题。为了解决该问题，提出了得到例如使矩形状的像素区域的角部倾斜交叉而成的形状(专利文献l)。专利文献1:日本特开2005-234524号公报
发明内容本发明的课题在于提供一种滤光器，其抑制了在遮光区域和透射区域的边界部产生的光的衍射现象。另外，本发明的课题在于提供一种液晶显示装置，其减少了由滤色器的衍射光而引起的显示性能下降。用于解决上述课题的方法如下所示。[1]一种滤光器，其特征在于，具有透射规定波长的光的透射区域、和与透射区域连接配置并且遮住该光的遮光区域，所述遮光区域中从与所述透射区域的连接点起沿面内的任意方向设置了相对于法线方向的光的光密度的梯度，并且所述光密度在与所述透射区域的连接点处最小。[2]根据[l]所述的滤光器，其中，所述相对于法线方向的光的光密度的梯度从与所述透射区域的连接点起在所述面内的任意方向上连续或者非连续地增加。[3]根据[l]所述的滤光器，其中，所述相对于法线方向的光的光密度的梯度通过所述遮光区域的厚度的梯度而形成。[4]根据[3]所述的滤光器，其中，所述遮光区域的厚度从与所述透射区域的连接点起在所述面内的任意方向上连续或者非连续地增加。[5]根据[1][4]中任一项所述的滤光器，其中，在所述遮光区域的与所述透射区域的连接面的至少一部分，具有比使用时入射的光的波长更短的周期的波形。[6]根据[1][5]中任一项所述的滤光器，其中，所述遮光区域为黑矩阵或电极。[7]根据[1][6]中任一项所述的滤光器，其为滤色器。[8]—种液晶显示装置，其至少具有液晶单元、偏振片和[1][7]中任一项所述的滤光器。根据本发明，可以提供一种滤光器，其抑制了在遮光区域和透射区域的边界部产生的光的衍射现象。另外，根据本发明，可以提供一种液晶显示装置，其减少了由滤色器的衍射光而引起的显示性能下降。图1是本发明的滤光器的一个例子的俯视图(a)、其一部分的放大图(b)以及其一部分的侧视图(c)。图2是表示对于分别使用在遮光区域中没有光密度梯度的现有滤光器(i)和在遮光区域中设置了光密度梯度的本发明的滤光器(ii)的情况下求出衍射光强度的计算结果的曲线图。图3是本发明的滤光器例子的一部分的侧视图。图4是本发明的滤光器例子的一部分的放大图(a)、以及侧视图(b)(d)。图5是表示VA模式液晶显示装置的一个例子的构造的示意图。图6是关于实施例中进行的滤色器基板的制作工序的一部分的示意图。符号说明1214、14，、14"、14"，zx、y101、103、109、111102、110104、108105、107106LCPL1、P12透射区域遮光区域法线方向滤光器面内的任意方向保护膜偏振器光学各向异性层液晶单元基板液晶层液晶单元偏振片具体实施方式以下参照附图，同时对本发明进行详细说明。本说明书中，""是表示含有其前后数值的范围。图1是从法线方向观察本发明的滤光器的一个例子的平面图(a)。另外，图1(b)是图1(a)中用虚线围住部分的放大图，图1(c)是从图中箭头方向观察图l(a)中用2条虚线切断的部分的侧视图。图1(a)(c)是将相对于从法线方向(图1(c)中的箭头z方向)入射的光的、遮光区域14及透射区域12的光密度示意地用深浅表示的图，不一定正确地反映了实际的颜色及形状。图1的滤光器10具有透射区域12、以及与透射区域12相接、在其周围的遮光区域14。如图1(a)(c)中用深浅所示，在遮光区域14中，相对于来自法线方向(箭头z)的光的光密度中存在梯度。遮光区域14的光密度在与透射区域12的相接面上变成最小，沿面内的任意方向、例如图1(b)中的箭头x、y的方向增加。光密度的增加可以是连续的，或者也可以是间断的不连续的增加。将现有的滤色器等滤光器配置在正交尼科耳(CrossNicol)配置的一对偏振片之间进行观察时，在透射区域和遮光区域的边界部经常观察到光泄露。认为这是由于偏振光入射到滤光器上时，在透射区域和遮光区域的边界部引起衍射，该衍射光偏离偏振轴，因此变成光泄露，从而被观察到。在本发明中，通过在遮光区域形成相对于法线方向的光的光密度梯度，抑制衍射现象，减少上述光泄露。图2是关于分别使用在遮光区域中没有光密度梯度的现有滤光器(i)和在遮光区域中设置了光密度梯度的本发明的滤光器(ii)的情况下求出衍射光强度的计算结果。在此衍射光强度的计算可以使用"应用物理工学选书"的"应用光学I"(鹤田匡夫著，培风馆)的pl65中记载的菲涅耳*基尔霍夫(FresnelKirchhoff)的衍射积分进行。由此，当从法线方向入射偏振光到在遮光区域中没有光密度梯度的滤光器(i)上时，如图2中(i)的曲线所示，在超过透射区域的宽度的部分由于上述衍射现象，观测到某种程度的光强度。另一方面，对于在光密度上具有梯度的本发明的滤光器(ii)进行同样观察时，如图2中(ii)的曲线所示，在超过透射区域的宽度时，光强度几乎为0，抑制了由于衍射现象造成的光泄露。遮光区域的光密度可以通过密度计进行测定，光密度中是否具有梯度可以根据密度值的变化进行判断。关于在遮光区域中形成光密度梯度的方法，没有特别限定。主要通过遮光区域的形状、以及通过遮光区域的材料，可以形成光密度梯度，但并不限定于这些。作为前者的方法，是使上述遮光区域的厚度具有梯度、由此使光密度具有梯度的方法。图3中示出通过遮光区域厚度的梯度而形成光密度梯度的滤光器的例子。图3(a)及(b)是用与图1(c)同样的2条虚线切断部分的侧视图。图3(a)中，遮光区域14'的厚度在与透射区域12的连接点处最小，沿面内的箭头y的方向连续增加。另外，在图3(b)中，遮光区域14"的厚度在与透射区域12的连接点处最小，沿面内的箭头y的方向间断地不连续增加。其结果是，相对于从法线方向(箭头z)的入射光的光密度如图1(c)所示，在与透射区域12的连接点达到最小，沿箭头y的方向增加。图4中示出通过遮光区域的形状而在光密度上形成梯度的滤光器的其他例子。图4(a)与图1(b)同样，是用虚线围住部分的放大图。图4(a)中表示的滤光器在遮光区域14"'与透射区域12的连接面形成波形。该波形为比使用滤光器时入射光的波长更短的波长周期的波形。由于遮光区域14"'的连接面形成比波长更短螺距的波形，因此遮光区域14"'被来自法线方向的光照射的平均面积，在与透射区域12的连接点达到最小，沿面内的箭头x、y的方向增加。其结果是，遮光区域14"'相对于法线方向(箭头z)的光的光密度，沿同方向(箭头x、y)增加。在本方式中，关于遮光区域14"'的厚度方向的形状，没有特别限制，如图4(b)所示，可以是相同厚度，也可以如图4(c)及(d)所示，对于厚度也使其产生梯度。另外，连接面的形状不仅是波形，只要是在透射区域12方向上面积减少的形状即可，例如，可以是三角形的重复等形状。作为通过遮光区域的材料而使光密度形成梯度的方法，可以列举形成光吸收性化合物的浓度具有梯度的区域的方法。更具体而言，优选的是在遮光区域的形成中可以使用例如黑色着色剂，使该黑色着色剂的浓度在与透射区域的连接点处为最低浓度，并且沿图1(c)中的箭头x、y方向使其浓度增加。关于光吸收性化合物的浓度，为了形成具有梯度的区域，例如使用喷墨法时，可以利用调节射出的涂布量或者改变涂布次数等方法。关于可能使用的黑色着色剂的例子，如后所述。在上述中，为了使说明容易，在图中仅示出一个透射区域，但通常滤光器为多个透射区域配置成矩阵状的构造，在各透射区域之间配置遮光区域。本发明的滤光器的一个形态为滤色器。在滤色器的一个形态中，其构造是作为透射区域，被RGB着色，将分别使R光、G光以及B光单独透射的RGB透射区域配置成矩阵状，在其周围形成黑矩阵作为遮光区域。在滤色器的形态中，通常RGB透射区域分别为矩形，其长边约为100500um,以及短边约为30200um。通常以约3050um的间隔规则地配置RGB透射区域，在该间隔中，形成作为遮光区域的黑矩阵。黑矩阵的厚度一般约为0.52um。在滤色器的形态中，上述光密度的梯度优选连续长度约为110ym，更优选连续长度约为36um。如图3(a)及(b)所示，通过黑矩阵厚度的梯度而形成光密度的梯度时，优选的是在与透射区域的连接点处在可能范围内使厚度减小，最终使其增加至上述范围的厚度。另外，如图4所示，使黑矩阵的面为波形时，优选使其周期比可见光区域的光的波长更短。如图3及4所示的微细构造的制作中，可以利用使用了图案用掩模的光刻蚀等技术。以下对本发明的滤光器的制作中使用的各种材料、方法等进行详细说明。本发明的滤光器中的遮光区域可以由黑色感光性树脂组合物形成。作为上述黑色感光性树脂组合物，可以列举例如至少含有(A)黑色着色剂的至少1种、(B)显影液中可溶解的树脂、以及(C)光聚合类材料的感光性树脂组合物。(A)黑色着色剂*颜料本发明中，作为黑色着色剂，优选使用至少l种颜料。颜料通常大致区别为有机颜料和无机颜料，作为本发明中优选使用的颜料的例子，可以列举日本特幵2005-17716号公报中记载的色料、日本特开2005-361447号公报中记载的颜料、日本特开2005-17521号公报中记载的着色剂。在上述颜料中，可以列举碳黑、钛黑、或石墨作为优选颜料。其中，本发明中，从遮光性及成本的观点出发，优选着色剂的至少l种为碳黑。作为碳黑的例子，优选为PigmentBlack(颜料黑)7(碳黑C丄No.77266)。作为市售品，可以列举三菱碳黑MA100(三菱化学(株)制)、三菱碳黑#5(三菱化学(株)制)。作为钛黑的例子，优选为Ti02、TiO、TiN或它们的混合物。作为市售品，可以列举三菱Materials'(株)制造的(商品名)12S或13M。钛黑的平均粒径优选为40100nm。作为石墨的例子，优选粒径以斯托克斯径表示为3um以下的石墨。通过使用3nm以下的石墨，遮光图案的轮廓形状变均匀，清晰度变良好。另外，具有O.lu以下粒径的粒子的存在比率优选为70%以上。上述颜料与下述金属类微粒并用使用时，优选使用色相具有补色关系的颜料。另外，颜料可以是l种，也可以是组合使用2种以上。作为优选颜料的组合，可以列举出红色系及蓝色系的互相具有补色关系的颜料混合物与黄色系及紫色系的互相具有补色关系的颜料混合物的组合、在上述混合物中进一步添加黑色颜料的组合、或蓝色系与紫色系与黑色系的颜料的组合。颜料的当量球直径优选为5nm以上且5um以下，特别优选为10nm以上且lum以下。另外作为滤色器用时，优选为20nm以上且0.5um以下。，金属粒子或具有金属的粒子作为上述黑色着色剂的至少1种，还优选使用金属粒子或具有金属的粒子(以下有时称为"金属类微粒")。由此，可以形成膜薄且可以得到高光密度的显示装置用遮光膜。作为在金属粒子、具有金属的粒子中的金属，没有特别限定，可以使用任意金属。金属粒子可以是组合2种以上的金属而成的金属粒子，也可以是包括合金的金属粒子。另外，具有金属的粒子只要是具有至少1种的金属的金属化合物粒子即可，也可以是金属与金属化合物的复合粒子。作为金属粒子，优选含有选自特别是长式周期表(IUPAC1991)的第4周期、第5周期、以及第6周期中的金属作为主成分(60质量%以上)。另外，优选含有选自第214族中的金属，更优选含有选自第2族、第8族、第9族、第10族、第11族、第12族、第13族、以及第14族中的金属作为主成分。在这些金属中，作为金属粒子，进一步优选为第4周期、第5周期、或第6周期的金属，并且是第2族、第10族、第11族、第12族、或第14族的金属的粒子。作为构成上述金属粒子的优选金属的例子，可以列举出选自铜、银、金、铂、钯、镍、锡、钴、铑、铱、铁、钙、钌、锇、锰、钼、钨、铌、钽、钛、铋、锑、铅、以及它们的合金中的至少l种。进一步优选的金属为铜、银、金、铀、钯、镍、锡、钴、铑、钙、铱以及它们的合金、更优选的金属为铜、银、金、钼、钯、锡、钙、以及它们的合金中的至少l种，特别优选的金属为铜、银、金、铂、锡、以及它们的合金中的至少l种。尤其优选为银或它的合金(作为银，优选为胶体银)，最优选为具有银锡合金部分的粒子。对具有银锡合金部分的粒子进行后述。"金属化合物粒子"金属化合物"是指上述金属与金属以外的其他元素的化合物。作为金属与其他元素的化合物，可以列举出金属的氧化物、硫化物、硫酸盐、碳酸盐等，作为金属化合物粒子，优选这些的粒子。其中，从色调或微粒形成的容易性出发，优选为硫化物的粒子。作为金属化合物的例子，为氧化铜(n)、硫化铁、硫化银、硫化铜(11)、钛黑等，但从色调、微粒形成的容易性或稳定性的观点出发，特别优选为硫化银。复合粒子复合粒子是指金属与金属化合物结合而成为1个粒子的粒子。可以列举出例如在粒子内部与表面的组成不同的粒子、2种粒子合二为一的粒子等，另外，金属化合物与金属可以分别为l种，也可以为2种以上。作为金属化合物与金属的复合微粒的具体例子，可以适宜列举出银与硫化银的复合微粒、银与氧化铜(II)的复合微粒等。本发明中的金属微粒可以为核壳型的复合粒子(核壳粒子)。核壳型的复合粒子(核壳粒子)是指将核心材料的表面用壳体材料涂布后的粒子，作为其具体例子，可以列举日本特开2006-18210号公报的段落号中记载的核壳微粒。*具有银锡合金部的粒子优选上述金属类微粒的至少l种为具有银锡合金部的粒子。作为具有银锡合金部的粒子，包括由银锡合金形成的粒子、由银锡合金部分和其他金属部分形成的粒子、以及由银锡合金部分和其他合金部分形成的粒子。在具有银锡合金部的粒子中，至少一部分以银锡合金构成，对此可以使用例如(株)日立制作所制造的HD-2300和/一，乂(Noran)公司制造的EDS(能量分散型X射线分析装置)，通过由加速电压200kV进行的各自粒子的中心15nm口面积的光谱测定进行确认。具有银锡合金部的粒子，由于黑浓度高，且少量时或薄膜时能够显示优异的遮光性能，同时具有很高的热稳定性，因此可以不损害黑浓度而在高温(例如200度以上)下进行热处理，确保稳定且高度的遮光性。适合于例如要求高度的遮光性、且一般实施烘烤处理的滤色器用遮光膜(所谓的黑矩阵)等。具有银锡合金部的粒子优选的是使相对于锡(Sn)的银(Ag)的比例为3080摩尔％、将Ag和锡(Sn)进行复合化(例如合金化)而得到的粒子。通过使Ag的比例特别设定为上述范围，则在高温区域的热稳定性高，且可以得到抑制了光的反射率的高的黑浓度。特别优选Ag的比例为75摩尔％的粒子即AgSn合金粒子，因其制作容易，得到的粒子也稳定。具有银锡合金部的粒子可以通过在坩埚等中进行加热、熔融混合而形成等通常的方法，进行合金化等而形成，但Ag的熔点在卯(TC附近，而Sn的熔点在200'C附近，两者熔点存在很大的差异，而且另外需要在复合化(例如合金化)后进行微粒化工序，因此优选通过粒子还原法进行。g卩，将Ag化合物与Sn化合物混合、对其进行还原，使金属Ag与金属Sn同时在接近的位置析出，同时实现复合化(例如合金化)和微粒化的方法。由于Ag容易被还原，具有比Sn先析出的倾向，因此优选通过使Ag和域Sn成为络盐而控制析出时机。作为上述Ag化合物，可以优选列举出硝酸银(AgN03)、醋酸银(Ag(CH3COO))、高氯酸银(AgC104*H20)等。其中特别优选为醋酸银。作为上述Sn化合物，可以优选列举出氯化亚锡(SnCl2)、氯化锡(SnCU)、醋酸亚锡(Sn(CH3COO)2)等。其中特别优选为醋酸亚锡。还原可以列举出使用还原剂的方法、通过电解进行还原的方法等作为优选的还原方法。其中，在得到微细粒子的方面，优选通过使用还原剂的前者的方法。作为上述还原剂，可以列举出CTAB、抗坏血酸、对苯二酚、邻苯二酚、对氨基酚、对苯二胺、羟基丙酮等。其中，在易挥发、不易对显示装置带来不良影响的方面，特别优选为羟基丙酮。上述金属类微粒，除了可以使用市售的金属类微粒之外，可以根据金属离子的化学还原法、无电镀法、金属蒸发法等进行制备。例如，棒状的银微粒可以通过以球形银微粒作为种粒子，之后进一步添加银盐，在CTAB(十六垸基三甲基溴化铵)等表面活性剂的存在下，使用抗坏血酸等还原力比较弱的还原剂，由此得到银棒或线。这在AdvancedMaterials2002,14,80-82中有记载。另外，在MaterialsChemistryandPhysics2004,84,197-204、AdvancedFunctionalMaterials2004,14,183-189中有同样的记载。另外，作为使用电分解的方法，记载于MaterialsLetters2001,49,91-95、或者通过照射微波而生成银棒的方法记载于JournalofMaterialsResearch2004,19,469-473。作为将反相胶束与超声波并用的例子，可以列举出JournalofPhysicalChemistryB2003,107，3679-3683。关于金，也同样记载于JournalofPhysicalChemistryB1999，103，3073-3077、以及Langmuir1999,15,701-709、JournalofAmericanChemistrySociety2002,124,14316-14317。棒状粒子的形成方法也可以改进上述记载的方法(调整添加量、控制pH)而进行制备。为了使上述金属类微粒更接近于无彩色，可以通过组合各种类的粒子而得到。例如，通过将粒子形状由球形或立方体向平板状(六角形、三角形)、棒状变化而得到的粒子进行组合，可以得到更高的透射浓度，通过使用这样的金属类微粒，可以在形成遮光层时期求实现薄膜化。作为上述金属类微粒的粒度分布，对粒子分布进行正态分布近似，其数均粒径的粒度分布宽度09()/01()优选为1.2以上且小于50。在此，粒径是将长轴长度L设定为粒子直径，D^为显示粒子的90%接近平均粒径的粒子直径，D^为显示粒子的10%接近平均粒径的粒子直径。从色调的观点出发，粒度分布宽度优选为2以上且30以下，更优选为4以上且25以下。分布宽度小于L2时，存在色调接近单色的情况，为50以上时，存在由于粗大粒子引起的散射而产生混浊的情况。上述粒度分布宽度D^/D"的测定，具体而言，用后述的测定三轴径的方法随机测定膜中的金属粒子100个，将长轴长度L设定为粒子直径，对粒子分布进行正态分布近似，以接近平均粒径的粒子数计，将该数达到90%的范围的粒子直径设定为D9Q，将从平均粒径开始计数达到10%的范围的粒子直径设定为01()，由此可以计算出D,D1、作为上述金属类微粒，优选为金属粒子、含有合^的粒子或金属化合物粒子，更优选为银粒子、含有银合金的粒子或银化合物粒子，最优选为具有银锡合金部的粒子。上述金属类微粒的数均粒径优选为0.1um以下，进一步优选为0.08ym以下，特别优选为0.05um以下。当粒子的数均粒径为0.1lim以下时，存在以下优点表面光滑性良好，且由粗大粒子引起的凸起(7、;0故障也减少。上述金属类微粒优选在组合物中以稳定的分散状态存在，更优选例如为胶体状态。在胶体状态的情况下，优选例如金属微粒实质上以微粒状态进行分散。在此，实质上分散是指一次粒子没有凝聚或软凝聚而是分别独立地分散的状态。作为进行分散时的分散剂、或可以配合在本发明的组合物中的添加剂，可以列举出日本特开2005-17322号公报的段落号中记载的分散剂或添加剂作为本发明中优选的物质。作为上述感光性组合物中的黑色着色剂的含量，如果考虑附加后烘等工序的可能性，考虑防止金属类微粒融合，则优选进行调节，使相对于形成的遮光层的质量，黑色着色剂的含量约为1090质量％，优选约为1080质量％。另外，黑色着色剂的含量优选考虑由金属类微粒或颜料的平均粒径引起的光密度的变动而确定。(B)显影液中可溶解的树脂一感光性组合物有在碱水溶液中可以显影的感光性组合物、和在有机溶剂中可以显影的感光性组合物。从安全性和显影液的成本的观点出发，优选为在碱水溶液中可以显影的感光性组合物。从这样的观点出发，在上述显影液中可溶解的树脂优选从碱可溶性树脂中进行选择。作为上述碱可溶性树脂的例子，可以列举出具有至少1种来自pKa为3.0以下的酸的基团的树脂。在此，酸的pKa是指在25。C、无限稀释水溶液中的酸解离指数。酸的pKa可以参照例如日本化学会编、"化学便览基础编"改订3版、丸善(株)、昭和59年6月、11-338中记载的值。作为来自pKa为3.0以下的酸的基团，可以列举出磺酸基、硫酸基、磷酸基、膦酸基以及磷酰胺基等。其中，从碎屑缺陷改良、树脂在溶剂中的溶解性的观点出发，优选为选自磷酸基、膦酸基以及磷酰胺基中的至少1种。碱可溶性树脂优选具有从由下述通式(i)(in)的任一个表示的单体得到的重复单元的至少l种。碱可溶性树脂更优选为通过将由通式(I)(III)的任一个表示的单体的至少1种、与具有磷酸、膦酸以及磷酰胺以外的酸性基团的单体的至少1种进行共聚而制造得到的聚合物。<由通式(1)(111)的任一个表示的单体>(i)1(n)(迈)式中，R1、W及113分别独立地表示氢原子、卤素原子(例如，氟、氯、溴等)或者碳原子数为1至6的垸基(例如，甲基、乙基、丙基等)。R1、W及RS更优选为氢原子或者碳原子数为1至3的垸基，最优选为氢原子或者甲基。另外，W及W特别优选为氢原子。X表示氧原子(-O-)或者亚氨基(-NH-)，优选为氧原子。L为单键或2价的连接基团，作为2价的连接基团，可以列举出2价的脂肪族基团(例如，亚烷基、取代亚垸基、亚链烯基、取代亚链烯基、亚炔基、取代亚炔基)、2价的芳香族基团(例如，亚芳基、取代亚芳基)、2价的杂环基团以及它们与氧原子(-O-)、硫原子(-S-)、亚氨基(-NH-)、取代亚氨基(-NR-,R为脂肪族基团、芳香族基团或杂环基团)或者羰基(-CO-)的组合等。上述2价的脂肪族基团可以具有环状结构或者支链结构。上述脂肪族基团的碳原子数优选为120，更优选为115，进一步优选为l10。脂肪族基团中，与不饱和脂肪族基团相比，优选为饱和脂肪族基团。另外，脂肪族基团也可以具有取代基。取代基的例子可以列举出卤素原子、羟基、芳香族基团及杂环基团。上述2价的芳香族基团的碳原子数优选为620，进一步优选为615，最优选为610。另外，上述芳香族基团也可以具有取代基。取代基的例子可以列举出卤素原子、羟基、脂肪族基团、芳香族基团及杂环基团。上述2价的杂环基团优选具有5元环或者6元环作为杂环。杂环也可以与其他杂环、脂肪族环或者芳香族环縮合。另外，杂环基团也可以具有取代基。作为取代基的例子，可以列举出卤素原子、羟基、氧代(=0)、硫代(=S)、亚氨基(=NH)、取代亚氨基(=N-R，R为脂肪族基团、芳香族基团或者杂环基团)、脂肪族基团、芳香族基团及杂环基团。本发明中，L优选为单键、亚垸基或者含有氧化烯烃结构的2价的连接基团。氧化烯烃结构更优选为氧化乙烯结构或者氧化丙烯结构。另外，L可以含有聚氧化烯烃结构，该聚氧化烯烃结构重复含有2个以上的氧化乙烯结构。作为聚氧化烯烃结构，优选为聚氧乙烯结构或者聚氧丙烯结构。聚氧烯烃结构用-(OCH2CH2)n-表示，n优选为2以上的整数，更优选为210的整数。Z表示磷酸或者具有膦酸结构的官能团，优选为磷酸基、膦酸基或磷酰胺基。另外，Y表示次甲基或者氮原子。R4、RS及W分别独立地表示氢原子、卤素原子(例如，氟、氯、溴等)或者碳原子数为1至6的烷基(例如，甲基、乙基、丙基等)、Z或者-L-Z。在此，L及Z与上述含义相同。作为R4、RS及R6，优选为氢原子或者碳原子数为1至3的烷基，更优选为氢原子。本发明中，作为由上述通式(I)表示的单体，优选R1、W及W为氢原子或甲基、L为亚垸基或含有氧化烯烃结构的2价的连接基团、X为氧原子或亚氨基、Z为磷酸、膦酸或磷酰胺的化合物。另外，作为由上述通式(II)表示的单体，优选R1、W及W为氢原子或甲基、L为亚烷基、Z为磷酸、膦酸或磷酰胺、Y为次甲基的化合物。另外，作为由上述通式(m)表示的单体，优选R4、RS及RS为氢原子或甲基、L为单键或者亚烷基、Z为磷酸、膦酸或磷酰胺的化合物。以下示出由式(i)(in)表示的代表性的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>在碱可溶性树脂中，从由通式(i)(in)的任一个表示的单体得到的重复单元的含量，从感光性组合物对基板的粘附性和抑制碎屑缺陷的产生的观点出发，优选为0.0530质量％，更优选为0.120质量%，进一步优选为0.215质量％。上述碱可溶性树脂优选含有从具有磷酸、膦酸以及磷酰胺以外的酸性基团的单体(以下称为"具有酸性基团的单体")得到的重复单元。作为酸性基团，可以列举出羧酸基(羧基)、磺酸基以及其他具有活性氢的基团等，但从溶解性或碱显影性的观点出发，优选为羧基。单体为分子内具有加聚性双键的化合物。作为分子内具有加聚性双键和酸性基团的化合物，可以列举出丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸二聚物、丙烯酸低聚物、分子内具有加聚性双键和羟基的化合物(例如，甲基丙烯酸2-羟基乙酯)与琥珀酸酐的反应产物、马来酸、衣康酸、富马酸、4-乙烯基苯甲酸等。其中，从与其他成分的共聚性的观点出发，优选为选自丙烯酸、甲基丙烯酸以及4-乙烯基苯甲酸中的至少1种。从可以调节到适度的碱显影时间方面出发，上述碱可溶性树脂中的从具有酸性基团的单体得到的重复单元的含量优选为240质量%，更优选为530质量％，最优选为820质量％。上述碱可溶性树脂也可以含有除了由通式(I)(III)的任一个表示的单体及具有酸性基团的单体以外的、可加成聚合的其他单体的至少l种。其他单体可以从与由通式(I)(III)的任一个表示的单体及具有酸性基团的单体可共聚的单体中任意选择。具体可以列举出氰化乙烯(例如，(甲基)丙烯腈以及a-氯丙烯腈等)、羧酸乙烯酯(例如，乙酸乙烯酯及甲酸乙烯酯等)、脂肪族共轭二烯(例如，1,3-丁二烯及异戊二烯等)、(甲基)丙烯酸的烷酯、芳垸酯或芳酯(例如，(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸甲异丁酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯、以及(甲基)丙烯酸苄酯等)、(甲基)丙烯酸取代垸酯(例如，缩水甘油(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯及(甲基)丙烯酸二甲基氨基丙酯等)、烷基(甲基)丙烯酰胺(例如，(甲基)丙烯酰胺、二甲基(甲基)丙烯酰胺、N-异丙基(甲基)丙烯酰胺、正丁基(甲基)丙烯酰胺、叔丁基(甲基)丙烯酰胺及叔辛基(甲基)丙烯酰胺等)、取代烷基(甲基)丙烯酰胺(例如，二甲基氨基乙基(甲基)丙烯酰胺、及二甲基氨基丙基(甲基)丙烯酰胺等)、聚合性低聚物(例如，单侧末端甲基丙烯酰化聚甲基丙烯酸甲酯等)等。上述其他的单体，可以使用1种，也可以组合2种以上使用。本发明中使用的碱可溶性树脂中的从其他单体得到的重复单元的含量优选为090质量％，更优选为1090质量％，进一步优选为6090质量0/0。上述碱可溶性树脂的质均分子量优选在5000至200000的范围内。当在该范围内时，碱显影性、得到的图案的耐溶剂性良好。另外更优选在7000至100000的范围内，进一步优选在10000至70000的范围内。示出上述碱可溶性树脂的优选具体例子(例示化合物JS-1JS-22)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>上述例示化合物JS-lJS-22中，ae是将碱可溶性树脂中各种单体单元的含量用质量％表示的值。a表示碱可溶性树脂中从由通式(1)(m)的任一个表示的单体得到的重复单元的含量。从基板粘附性改良与残渣减少的平衡及抑制碎屑缺陷的观点出发，a优选在0.0530质量％的范围内，更优选在0.120质量％的范围内，最优选在0.215质量％的范围内。be从酸值及I/O值的观点出发可以任意调节。上述树脂优选选择具有30400mgKOH/g范围内的酸值的树脂。另外，上述JS-lJS-22中，本发明的优选共聚比的具体化合物如表1所示。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>相对于上述感光性组合物的全部固体成分，上述树脂的含量优选为595质量％，更优选为1090质量°/。。通过使树脂的含量在上述范围内，感光性组合物层的粘合性不会过高，所形成的层的强度及光敏度也不会变差。(C)光聚合类材料(c)光聚合类材料是通过光照射进行聚合而固化、在显影液中成为不溶的材料。通常含有光聚合引发剂以及聚合性单体。，光聚合引发剂作为上述光聚合引发剂，可以使用日本特开2006-23696号公报的段落号中记载的公知的引发剂，其中优选为选自氨基苯乙酮类、酰基膦氧化物类以及肟酯类中的至少l种光聚合引发剂。另外，根据需要可以含有光聚合引发助剂。作为氨基苯乙酮类引发剂的具体例子，可以列举出IRGACURE(Irg)369、IRGACURE(Irg)379以及IRGACURE(Irg)907等(均为CibaSpecialityChemicals株式会社制)。作为酰基膦氧化物类引发剂的具体例子，可以列举出DAROCURTPO、Irgacure(Irg)819等(均为CibaSpecialityChemicals株式会社制)。作为肟酯类引发剂的具体例子，可以列举IRGACURE(Irg)OXEOl、CGI242等(均为CibaSpecialityChemicals株式会社制)。上述引发剂的结构如下所示。<氨基苯乙酮类>Irg369<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula><酰基膦氧化物类>DAROCURTPOIrg819<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula><月亏酯类>上述光聚合引发剂除了单独使用1种以外，也可以组合2种以上使用。另外，相对于感光性组合物的全部固体成分的光聚合引发剂的含量通常为0.520质量％，优选为115质量％。当该含量在上述范围内时，可以防止光敏度或图像强度下降，可以充分使性能提高。上述(C)光聚合类材料，根据需要可以含有光聚合引发助剂。光聚合引发助剂，与上述光聚合引发剂组合使用，是一种用于促进通过光聚合引发剂引发聚合的光聚合性化合物的聚合的化合物。作为光聚合引发助剂，优选含有至少l种的胺类化合物。作为上述胺类化合物，可以列举例如三乙醇胺、甲基二乙醇胺三异丙醇胺、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、N，N-二甲基对甲苯胺、4,4'-双(二甲基氨基)二苯甲酮(通称为米氏酮)、4，4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4,4，-双(乙基甲基氨基)二苯甲酮等，其中，优选4，4，-双(二乙基氨基)二苯甲酮。另外，可以将多个胺类或其他的光聚合引发助剂组合使用。作为其他的光聚合引发助剂，可以列举出例如烷氧基蒽类化合物、噻吨酮类化合物、香豆素类化合物等。作为上述烷氧基蒽类化合物，可以列举出例如9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,0-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽等。作为上述噻吨酮类化合物，可以列举出例如2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、2，4-二乙基噻吨酮、2，4-二氯噻吨酮、l-氯-4-丙氧基噻吨酮等。作为上述香豆素类化合物，可以列举出例如7-[2-[4-(3-羟甲基哌啶)-6-二乙基氨基]三嗪基氨基]-3-苯基香豆素等。另外，作为光聚合引发助剂，也可以使用市售的产品，作为市售的光聚合引发助剂，可以列举出例如商品名"EAB-F"(保土谷化学工业(株)制)等。上述感光性组合物中的光聚合引发助剂的使用量是相对于每1质量份光聚合引发剂，优选为0.6质量份以上且10质量份以下，进一步优选为1质量份以上且8质量份以下，尤其优选为1.5质量份以上且5质量份以下。，具有烯属双键的加聚性单体上述"具有烯属双键的加聚性单体(以下也简称为"单体")"，是指通过加成聚合可以得到在显影液中不溶的树脂的单体。作为上述单体，可以列举出沸点在常压下为IOO'C以上的化合物。可以列举例如聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、及(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯等单官能(甲基)丙烯酸酯;聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)氰脲酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、在三羟甲基丙垸或者甘油等多官能醇上使环氧乙烷或环氧丙垸进行加成反应之后进行(甲基)丙烯酸酯化而得到的化合物等多官能(甲基)丙烯酸酯。另外，可以列举出日本特公昭48-41708号、日本特公昭50-6034号、日本特开昭51-37193号各公报中记载的聚氨酯丙烯酸酯类、日本特开昭48-64183号、日本特公昭49-43191号、日本特公昭52-30490号各公报中记载的聚酯丙烯酸酯类、作为环氧树脂与(甲基)丙烯酸的反应生成物的环氧丙烯酸酯类等多官能丙烯酸酯或(甲基)丙烯酸酯。其中，优选为三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。上述单体可以使用1种，也可以组合2种以上使用。上述单体相对于感光性组合物的全部固体成分的含量通常为l50质量％，优选为540质量％。当该含量在上述范围内时，光敏度或图像强度不会下降，也不会产生感光性组合物层的粘合性过剩。在上述感光性组合物中，除了上述(A)(C)以外，进一步根据需要，可以添加公知的添加剂，例如增塑剂、表面活性剂、热聚合防止剂、粘附促进剂、分散剂、下垂防止剂、流平剂、消泡剂、阻燃剂、光亮剂、溶剂等。作为其他成分，可以使用日本特开2006-23696号公报的段落号中记载的其他添加剂。上述遮光区域可以如下进行制作将上述黑色感光性树脂组合物调制为涂布液，将该涂布液在基板表面上进行涂布干燥，通过光掩模等进行曝光，之后通过显影将非曝光部(根据感光性组合物的种类不同，也可以是曝光部)除去而制作。关于涂布的方法，没有特别的限制，可以使用旋转器、转筒式涂版机、辊涂机、帘式淋涂机、刮刀涂布机、绕线棒涂布机、挤出机等各种涂布机进行涂布。另外，上述遮光区域也可以利用转印法、或喷墨法等进行制作。在转印法中，可以利用例如在假支撑体上形成由上述黑色感光性树脂组合物构成的黑色层而制作得到的转印材料。另外，在喷墨法中，可以使用使上述黑色着色剂与(C)光聚合类材料、以及根据需要的粘结剂、表面活性剂等一起溶解和/或分散于溶剂中而制备得到的油墨液。制作本发明的滤光器作为滤色器时，上述遮光区域成为隔着RGB着色区域的黑矩阵。另外，上述遮光区域也可以作为电极而起作用。作为电极而起作用的遮光区域可以是利用蒸镀法等形成的金属膜。制作本发明的滤光器作为滤色器时，将透射区域着色为R色、G色、以及B色。RGB透射区域与上述遮光区域同样，可以分别使用R色、G色、以及B色感光性树脂组合物进行制作。上述各颜色的感光性树脂组合物，可以通过将上述黑色感光性树脂组合物的(A)黑色着色剂分别置换为R色、G色、以及B色着色剂进行制备。在各颜色的着色剂的例子中，包括由有机颜料、有机色素、富勒烯、聚二炔、聚酰亚胺等高分子有机材料、芳香族烃或脂肪族烃(例如，具有取向性的芳香族烃或脂肪族烃、或者具有升华性的芳香族烃或脂肪族烃)等构成的粒子。其中，各颜色的着色剂优选为有机纳米粒子。着色为各颜色的有机纳米粒子可以如下制作将例如作为各颜色的着色剂的有机材料溶解在良溶剂中得到的有机材料溶液、和与上述良溶剂具有相溶性且对于上述有机材料溶液为不良溶剂的溶剂进行混合，使其析出而进行制造。另外，上述各颜色的透射区域可以与上述遮光区域同样，利用转印法、或喷墨法进行制作，关于使用的材料也与遮光区域的形成中使用的材料同样，可以将上述黑色着色剂置换为各颜色的着色剂而进行制备。本发明可以适用于滤色器、天体观测用镜头等各种用途。由于特别是抑制了偏振光入射时的衍射现象，因此适用于与偏振片同时使用的用途，例如作为液晶显示装置中使用的滤色器的用途。[液晶显示装置〗本发明还涉及一种至少具有液晶单元、偏振片和本发明的滤光器的液晶显示装置。以下对本发明的液晶显示装置进行说明。本发明可以利用现有各种模式的液晶显示装置中的任一种。关于各种模式的液晶显示装置，可以列举出例如内田龙雄监修的"反射型彩色LCD综合技术"((株)CMC,1999年刊)、"NewDevelopmentofFlatPanelDisplays"((株)TorayResearchCenter,调查部门，1996年刊)、"液晶相关市场的现状和将来展望(上巻)、(下巻)"(富士Chimera总研(株)、2003年刊)等中记载的液晶显示装置。本发明的液晶显示装置的一个形式为VA模式液晶显示装置。以下对该形式进行说明。(VA模式液晶显示装置)图5中所示的液晶显示装置具有偏振片PL1及PL2、和在其之间的液晶单元LC(105107)。上偏振片PL1具有偏振器102、和其表面上的保护膜101及103;下偏振片PL2具有偏振器110、和其表面上的保护膜109及111。另外，上偏振片PLl与液晶单元LC之间、以及下偏振片PL2与液晶单元LC之间，分别配制有光学各向异性层104及108。光学各向异性层104及108可以为双折射性的聚合物膜，也可以为将液晶组合物的取向状态固定而形成的膜。当为双折射性的聚合物膜时，可以省略保护膜103及109。液晶单元LC具有上下电极基板105及107、和在其之间的液晶层106。液晶层106的介电各向异性为负，包含An-0.0813、△e=-4.6左右的液晶(例如MERCK公司制造的MLC-6608)材料，在无施加电压时，液晶分子相对于基板面大致垂直(例如约89。)地进行取向。液晶层106的厚度d与折射率各向异性An的乘积And的大小优选为约0.20.5nm，更优选为约0.250.35ym。And可以根据液晶层106的厚度(间隙)进行调整，例如可以利用聚合物微珠、玻璃微珠、玻璃纤维、树脂制的柱状隔垫等将间隙设定在所期望的范围。液晶单元LC在上下电极基板105及107中的任一个的内面上具有作为本发明的滤光器的RGB滤色器(图中未标示)。上偏振器102的吸收轴与下偏振器110的吸收轴大致垂直相交。在电极基板105及107上未施加驱动电压的非驱动状态下，液晶层106中的液晶分子相对于基板面大致垂直进行取向，其结果是通过液晶单元的光的偏振状态几乎不变化。即，图5的液晶显示装置在非驱动状态下实现了理想的黑显示。相对于此，在驱动状态下，液晶分子在电极基板面上倾斜至略微平行，通过液晶面板的光由于该倾斜的液晶分子而使偏振状态变化。换言之，在液晶显示装置中，在驱动状态下得到白显示。VA模式的特征在于高速应答和对比度高。但是，存在对比度在正面(相对显示面为法线方向)较高、但在倾斜方向较低的课题。如上所述，黑显示时液晶分子在基板面上大致垂直进行取向。当从正面观察时，由于几乎没有液晶分子的双折射，因此黑显示的透射率低，可以得到高对比度。但是，从斜向观察时，液晶分子产生双折射。另外，上下偏振器的吸收轴的交叉角在正面为卯°的垂直相交，但从斜向观察时偏离90°。由于这2个重要因素，所以在斜方向上，黑显示时产生光泄露，且对比度下降。光学各向异性层104及108具有减少该黑显示时在斜方向上的光泄露的作用。另外，由于滤色器的透射区域和遮光区域的衍射现象，黑显示时也产生光泄露。图5的液晶显示装置具备本发明的滤光器作为滤色器，因此也减少了由该滤色器引起的光泄露。其结果是与利用通常的滤色器的VA模式液晶显示装置比较，减少了黑显示时的光泄露，可以实现高对比度。白显示时液晶分子是倾斜的，但在倾斜方向和其反方向上，从斜向观察时的液晶分子的双折射大小不同，有时亮度或色调上产生差异。为了解决该问题，可以图5中，示出使用介电常数各向异性为负的液晶材料的例子，但即使在使用具有正的介电常数各向异性的VA模式液晶显示装置中，本发明也具有同样效果。在该形式中，仅在一个基板上形成电极，在与基板面平行的横方向上施加电场。另外，在VA模式液晶显示装置中，TN模式液晶显示装置中一般使用的手性材料的添加由于使动态应答特性变差而较少采用，但为了减少取向不良，也存在添加的情况。(TN模式液晶显示装置)本发明的液晶显示装置的一个形式为TN模式液晶显示装置。TN模式液晶单元作为彩色-TFT液晶显示装置被利用得最多，可以列举多数文献中的记载。在TN模式的黑显示中的液晶单元中的取向状态是，处于在液晶单元中央部的棒状液晶性分子竖起、在液晶单元基板附近的棒状液晶性分子卧倒的取向状态。本形式的液晶显示装置具有TN模式液晶单元、以及在该液晶单元的基板的任一个内面上的本发明的滤光器即滤色器。(IPS模式液晶显示装置)本发明的液晶显示装置的一个形式为IPS模式液晶显示装置。IPS模式液晶单元是液晶分子相对于基板总是在水平面内旋转的模式，未施加电场时以相对于电极的长边方向具有一定角度的方式取向。当施加电场时，液晶分子向电场方向改变朝向。通过将夹持液晶单元的偏振片配置为规定的角度，可以改变光透射率。作为液晶分子，使用介电常数各向异性Ae为正或负的向列液晶。IPS模式液晶单元的An'd优选设定为约0.250.32um。另外在液晶单元中，可以利用向列液晶。本形式的液晶显示装置具有IPS模式液晶单元、以及在该液晶单元的基板的任一个内面上的本发明的滤光器即滤色器。另外，作为IPS模式的一个形式，也存在利用在2层电极之间生成的横电场而使液晶分子在水平面内旋转的FFS(FringeFieldSwitching)模式。(其他的液晶模式)本发明在其他模式的液晶显示装置中也得到同样的效果。其他液晶模式的例子包括STN模式及ECB模式。实施例以下基于实施例对本发明进行更加详细的说明。以下实施例中所示的材料、使用量、比例、处理内容、处理顺序等，只要不脱离本发明的主旨，则可以适宜进行变更。因此，本发明的范围并不限于以下所示的具体例子。<液晶显示装置的制作及评价>，滤色器(CF)的制作-黑矩阵用半色调光掩模的制作-制作图6所示的半色调光掩模。该半色调光掩模为一种光掩模，其相当于着色层的图案的部分为遮光部，相当于黑矩阵的中央的部分为透明的开口部，以及相当于黑矩阵的端部的部分为半色调。设定开口部的幅面的长度为30nm、遮光部的幅面的长度为50ym、及半色调部的幅面的长度为3"m。使用该半色调光掩模，如图6所示，在玻璃基板上制作黑矩阵。具体通过以下的方法形成。-黑(K)图像的形成-将无碱玻璃基板用UV洗涤装置进行洗涤后，使用洗涤液进行刷洗，再用超纯水进行超声波洗涤。将该基板在12(TC下进行热处理3分钟，使表面状态稳定。将该基板冷却，温度调节至23t后，用具有狭缝状喷嘴的玻璃基板用涂布机(平田机工(株)制)，涂布黑色感光性树脂组合物K1。接着用VCD(真空干燥装置东京应化工业(株)制)将溶剂的一部分进行干燥30秒，使涂布层失去流动性，之后在12(TC预烘3分钟，得到膜厚为2.4um的感光性树脂层Kl。使用具有超高压水银灯的PROXIMITY型曝光机(日立八一f夕电子工:/、:;-7yy义'(株)制)，在将基板与上述制作的半色调光掩模垂直竖起的状态下，将曝光掩模面与该感光性树脂层之间的距离设定为200um，以曝光量为300mJ/cn^进行图案曝光。之后用淋浴喷嘴喷雾纯水，使该感光性树脂层Kl的表面均匀润湿后，用KOH类显影液(KOH，含有非离子表面活性剂，商品名CDK-l,FUJIFILMELECTRONICMATERIALS(株)帝lj)在23。C、80秒、扁平喷嘴压力0.04MPa下进行显示显影，得到图案图像。接着，用超高压洗漆喷嘴以9.8MPa的压力喷射超纯水，进行残渣除去，再将超纯水用淋浴喷嘴从两面喷出，将附着的显影液或上述感光性树脂层溶解物除去，用气刀进行液体切除，得到黑(K)图像(黑矩阵)。之后在22(TC下进行热处理30分钟。遮光性能可以以光密度(OD)作为指t示。用麦克贝斯(Macbeth)浓度计(Kollmorgen制，TD-卯4)测定黑矩阵的OD值，结果是在中央部的OD值达到3.8，在端部的OD值达到2.7，确认形成了光密度的梯度。另外，具有如图3(a)及图3(b)所示梯度的黑矩阵也与上述相同地制作。但是，替代上述的半色调光掩模，使用利用了半色调部的浓度变化的高频振动法(f—f法)的半色调掩模。另外，如图4(a)所述的端部为波形的黑矩阵也与上述相同地制作。但是，代替实施的半色调光掩模，使用了具有波形狭缝的掩模。-红(R)像素的形成-在形成有上述K的图像的基板上用UV洗涤装置进行洗涤后，使用洗涤液进行刷洗，再用超纯水进行超声波洗涤。将该基板在120°C下进行热处理3分钟，使表面状态稳定。将该基板冷却，温度调节至23X:后，用具有狭缝状喷嘴的玻璃基板用涂布机(平田机工(株)制)，涂布红色感光性树脂组合物R1。接着用VCD(真空干燥装置东京应化工业(株)制)将溶剂的一部分进行干燥30秒，使涂布层失去流动性，之后在12(TC预烘3分钟，得到膜厚为1.6nm的感光性树脂层Rl。使用具有超高压水银灯的PROXIMITY型曝光机(日立八^亍夕电子工y^二7yy夕'(株)制)，在将基板与掩模(具有图像图案的石英曝光掩模)垂直竖起的状态下，将曝光掩模面与该感光性树脂层之间的距离设定为200um，以曝光量为300mJ/crr^进行图案曝光。之后用淋浴喷嘴喷雾纯水，使该感光性树脂层Rl的表面均匀润湿后，用KOH类显影液(KOH，含有非离子表面活性剂，商品名CDK-1，FUJIFILMELECTRONICMATERIALS(株)制)在23。C、80秒、扁平喷嘴压力0.04MPa下进行显示显影，得到图案图像。接着，用超高压洗涤喷嘴以9.8MPa的压力喷射超纯水，进行残渣除去，再将超纯水用淋浴喷嘴从两面喷出，将附着的显影液或上述感光性树脂层溶解物除去，用气刀进行液体切除，得到红(R)的图像。之后在220'C下进行热处理30分钟。该感光性树脂层Rl的膜厚为1.6um，颜料C丄颜料红254以及C丄颜料红177的涂布量分别为0.88、0.22g/m2。-绿(G)像素的形成-在形成上述K图像与R像素的基板上，使用绿色感光性树脂组合物G3，通过与上述R像素的形成同样的工序，形成G像素为基板状。该感光性树脂层G3的膜厚为1.6Pm，颜料C丄颜料绿36以及C丄颜料黄150的涂布量分别为1.12、0.48g/m2。-蓝(B)像素的形成-在形成有上述K图像、R像素及G像素的基板上，使用蓝色感光性树脂组合物B3，通过与上述R像素的形成同样的工序，形成B像素。该感光性树脂层B3的膜厚为1.6Pm，颜料C丄颜料蓝15:6以及C.I.颜料紫23的涂布量分别为0.63、0.07g/m2。"液晶显示装置的制作除了上述得到的滤色器基板的R像素、G像素、B像素以及黑矩阵以外，通过溅射进一步形成ITO(IndiumTinOxide)的透明电极。之后，根据日本特开2006-64921号公报的实施例l，在相当于上述形成的ITO膜上的隔壁(黑矩阵)上部的部分，形成隔垫，隔垫的高度为3.5um。另外，准备玻璃基板作为对向基板，通过溅射形成ITO透明电极。之后，通过湿式蚀刻法将滤色器基板上的透明电极以及对向基板上的透明电极分别形成为用于PVA模式的锯齿形的狭缝图案。锯齿形的角度为90度，锯齿形间距(pitch)为100um，电极宽度为20um，狭缝宽度为3um。另外，在ITO膜上进一步涂布由聚酰亚胺形成的垂直取向膜(JSR社制AL-1H659)，进行热煅烧。之后，在相当于以包围滤色器的像素组的方式设置于周围的黑矩阵外框的位置上通过分配(dispencer)方式涂布紫外线固化树脂的封口剂，滴加MERCK公司的PVA模式用液晶MLC6886，与对向基板贴合后，对贴合的基板进行UV照射，之后进行紫外线处理，使封口剂固化。在这样得到的液晶单元的两面上贴合(株)SANRITSU制造的偏振片HLC2-2518。然后，使用FR1112H(STANLEYELECTRIC(株)制造的倾斜型(tip-type)LED)作为红色(R)LED，使用DG1112H(STANLEYELECTRIC(株)制造的倾斜型LED)作为绿色(G)LED，使用DB1112H(STANLEYELECTRIC(株)制造的倾斜型LED)作为蓝色(B)LED,构成侧光方式的背光源，在设置了上述偏振片的液晶单元的背面一侧进行配置，从而制得液晶显示装置。[比较例]在实施例1中的滤色器基板的制作中，在黑矩阵形成时，除了使用没有半色调部的掩模之外，同样进行操作，制作滤色器基板，除了使用该滤色器基板之外，与实施例1同样进行操作，制作液晶显示装置。遮光性能用麦克贝斯(Machbeth)浓度计(Kollmorgen帝U，TD-904)进行测定，结果是在黑矩阵的中央部和端部的OD值没有差别，均为3.7。[评价]-黑显示的光强度的测定将实施例1和比较例1中制作的液晶显示装置分别在黑显示(即无电压状态)及白屏状态(滤色器基板与对向基板的透明电极之间的施加电压:5V的状态)下，使用彩色亮度计((株)TOPCON制BM-5)测定正面的亮度。其结果如下表所示。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>实施例1的液晶显示装置与比较例的液晶显示装置相比，黑屏状态的亮度减少，由此，对比度从1614提高到1754。该结果可以理解为是因为通过图2的(i)与(ii)的比较而明确的、滤色器的遮光区域和透射区域的边界部产生的衍射在实施例1中被减少的缘故。另外，对具有图3(a)、(b)及图4(a)的黑矩阵形状的液晶显示装置也进行了评价，结果是同样确认了对比度的提高。权利要求1、一种滤光器，其特征在于，具有透射规定波长的光的透射区域、和与透射区域连接配置并且遮住所述光的遮光区域，所述遮光区域中从与所述透射区域的连接点起沿面内的任意方向，设置了相对于法线方向的光的光密度梯度，并且所述光密度在与所述透射区域的连接点处最小。2、根据权利要求1所述的滤光器，其中，所述相对于法线方向的光的光密度梯度从与所述透射区域的连接点起在所述面内的任意方向上连续或者非连续地增加。3、根据权利要求1所述的滤光器，其中，所述相对于法线方向的光的光密度梯度通过所述遮光区域的厚度梯度而形成。4、根据权利要求3所述的滤光器，其中，所述遮光区域的厚度从与所述透射区域的连接点起在所述面内的任意方向上连续或者非连续地增加。5、根据权利要求14中任一项所述的滤光器，其中，在所述遮光区域的与所述透射区域的连接面的至少一部分，具有比使用时入射的光的波长更短的周期的波形。6、根据权利要求15中任一项所述的滤光器，其中，所述遮光区域为黑矩阵或电极。7、根据权利要求16中任一项所述的滤光器，其中，所述滤光器为滤色器。8、一种液晶显示装置，其特征在于，至少具有液晶单元、偏振片和权利要求17中任一项所述的滤光器。全文摘要本发明提供了一种滤光器，其抑制了在遮光区域和透射区域的边界部产生的光的衍射现象。该滤光器的特征在于，具有透射规定波长的光的透射区域、和与透射区域连接配置并且遮住该光的遮光区域，所述遮光区域中从与所述透射区域的连接点起沿面内的任意方向，设置了相对于法线方向的光的光密度的梯度，并且所述光密度在与所述透射区域的连接点处最小。文档编号G02B5/20GK101261334SQ20081008218公开日2008年9月10日申请日期2008年3月7日优先权日2007年3月7日发明者实藤龙二,海鉾洋行,齐藤之人申请人:富士胶片株式会社