专利名称：醌重氮化物类感光剂溶液及正性光致抗蚀剂组合物的制作方法
技术领域：
本发明涉及经时稳定性优异的醌重氮化物(キノンジアジド)类感光剂溶液、醌重氮化物类感光剂的析出得到抑制的正性光致抗蚀剂組合物。
背景技术：
向将酚醛树脂等碱可溶性树脂溶于有机溶剂而成的溶液中掺混环氧树脂等交联剂、醌重氮化物类感光剂等的正性光致抗蚀剂組合物广泛使用于半导体领域和电子零件领域。对于这样的正性光致抗蚀剂組合物，在制备时实施通过过滤器滤去异物之类的除异物处理。但是，即使对正性光致抗蚀剂組合物实施这样的除异物处理，在其保管中也存在醌重氮化物类感光剂析出之类的问题。因此，为防止醌重氮化物类感光剂的析出，提出了将醌重氮化物类感光剂热变性的方法(专利文献1)。现有技术文献专利t献
专利文献1 日本特开昭63-113451号公报
发明内容
发明所要解决的课题
但是，当将醌重氮化物类感光剂热变性吋，虽然析出的问题得到缓解，但在热变性时存在热分解，作为感光剂的感光能力下降的情況。另外，预先将醌重氮化物类感光剂以粉末固体形态进行处理，制备正性光致抗蚀剂組合物时，还存在难以溶于组合物中的问题。本发明为解决上述现有课题而实施，其目的在于，即使不实施热变性处理，在使得能够抑制或防止醌重氮化物类感光剂从正性光致抗蚀剂組合物析出的同吋，在制备正性光致抗蚀剂組合物时使醌重氮化物类感光剂易于溶于正性光致抗蚀剂組合物。解决课题的手段
本发明人发现，通过在正性光致抗蚀剂組合物中使巯基化合物相对于醌重氮化物类感光剂共存，能够抑制或防止醌重氮化物类感光剂的析出，另外在使醌重氮化物类感光剂和巯基化合物溶解于有机溶剂而成的溶液中也能够抑制或防止醌重氮化物类感光剂的析出， 而且能够容易地将这样的溶液混合于正性光致抗蚀剂組合物中，从而完成本发明。S卩，本发明提供醌重氮化物类感光剂溶液，所述溶液为将醌重氮化物类感光剂溶于有机溶剂而成的醌重氮化物类感光剂溶液，其特征在干，含有巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。另外，本发明提供正性光致抗蚀剂組合物，所述组合物为含有碱可溶性树脂、交联剂、醌重氮化物类感光剂和有机溶剂的正性光致抗蚀剂組合物，此外含有巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。此外，本发明提供抑制或防止醌重氮化物类感光剂析出的方法，所述方法为抑制或防止醌重氮化物类感光剂从含有碱可溶性树脂、交联剂、醌重氮化物类感光剂和有机溶剂的正性光致抗蚀剂組合物析出的方法，其特征在干，向正性光致抗蚀剂組合物中掺混巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。发明的效果
在本发明的醌重氮化物类感光剂溶液或正性光致抗蚀剂組合物中，使醌重氮化物类感光剂与巯基化合物共存。因此，在醌重氮化物类感光剂溶液或正性光致抗蚀剂組合物中，能够抑制或防止醌重氮化物类感光剂的析出。实施发明的最佳方式
本发明的醌重氮化物类感光剂溶液将醌重氮化物类感光剂溶于有机溶剤，并且含有巯基化合物作为其防析出剂。因此能够抑制或防止醌重氮化物类感光剂的析出。在本发明中，作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂使用巯基化合物。巯基化合物为分子中含有1个以上、优选2个以上的巯基的芳族或脂族化合物，具体而言可列举出ニ巯基噻ニ唑(ビスムチォール)(化学结构式(A) =MTD,东京化成(株))、2-甲硫基-5-巯基噻ニ唑(化学结构式(B ) :M1384，东京化成(株))、四(巯基丙酸)季戊四醇酯(化学结构式(C) :PEMPII，堺化学(株))、四(巯基丁酸)季戊四醇酯(化学结构式(D) :MTPE1，昭和电エ(株))、2-ニ丁基氨基-4，6-ニ硫-S-三嗪(化学结构式(E) =Zisnet-DB,三協化成(株))等。它们也可合用2种以上。在它们中，可优选使用抑制或防止析出的效果最高的ニ巯基噻ニ唑。
权利要求
1.醌重氮化物类感光剂溶液，所述溶液为醌重氮化物类感光剂溶于有机溶剂而成的醌重氮化物类感光剂溶液，其特征在干，含有巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。
2.权利要求1的醌重氮化物类感光剂溶液，其中，巯基化合物为选自ニ巯基噻ニ唑、 2-甲硫基-5-巯基噻ニ唑、四(巯基丙酸)季戊四醇酯、四(巯基丁酸)季戊四醇酯和2-丁基氨基_4，6- ニ硫-S-三嗪的ー种以上的化合物。
3.权利要求1或2的醌重氮化物类感光剂溶液，其中，醌重氮化物类感光剂为下列化学结构式所表示的萘醌重氮化物衍生物的至少ー种
4.权利要求广3中任ー项的醌重氮化物类感光剂溶液，其中，相对于100质量份醌重氮化物类感光剂，含有0. 0Γ10质量份的巯基化合物。
5.权利要求1、中任ー项的醌重氮化物类感光剂溶液，其中，有机溶剂含有Y-丁内酯和/或三甘醇ニ甲醚。
6.正性光致抗蚀剂組合物，所述组合物为含有碱可溶性树脂、交联剂、醌重氮化物类感光剂和有机溶剂的正性光致抗蚀剂組合物，此外含有巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。
7.权利要求6的正性光致抗蚀剂組合物，其中，碱可溶性树脂为线型酚醛类树脂、甲酚醛类树脂、碱可溶性聚亚胺树脂或聚苯并噁唑前体。
8.抑制或防止醌重氮化物类感光剂析出的方法，所述方法为抑制或防止醌重氮化物类感光剂从含有碱可溶性树脂、交联剂、醌重氮化物类感光剂和有机溶剂的正性光致抗蚀剂組合物析出的方法，其特征在干，向正性光致抗蚀剂組合物中掺混巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。
9.权利要求8的抑制或防止醌重氮化物类感光剂析出的方法，其中，巯基化合物向正性光致抗蚀剂組合物的掺混通过使用将醌重氮化物类感光剂和巯基化合物溶于有机溶剂而成的醌重氮化物类感光剂溶液来进行。
全文摘要
为了即使不实施热变性处理，在能够抑制或防止醌重氮化物类感光剂从正性光致抗蚀剂组合物析出的同时在制备正性光致抗蚀剂组合物时使醌重氮化物类感光剂易溶于正性光致抗蚀剂组合物，将醌重氮化物类感光剂溶于有机溶剂而成的醌重氮化物类感光剂溶液含有巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。另外，正性光致抗蚀剂组合物含有碱可溶性树脂、交联剂、醌重氮化物类感光剂、作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂的巯基化合物。
文档编号G03F7/022GK102597876SQ20108005092
公开日2012年7月18日 申请日期2010年7月7日 优先权日2009年11月10日
发明者金谷纮希 申请人:索尼化学&信息部件株式会社