专利名称：镜框固定装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及光刻机生产相关领域，尤其涉及一种镜框固定装置。
背景技术：
在大规模半导体集成电路的前端制造设备中，光刻机是最复杂、要求最高的设备，它集光机电技术于一身，而物镜在光刻机中是核心部件，是光刻机的心脏，因此对于物镜的设计要求很高。当前，物镜的成像质量要求越来越高从而对镜片面型的要求也越来越高，这就对在物镜设计中镜框的固定方式提出了更高的要求，目前使用螺钉直接固定物镜镜框是一个常见的方法，需要通过在上、下镜框之间增加垫圈并进行修磨来实现上镜框中镜片的倾斜角度和高度的调整，这样的方式对垫圈的研磨要求很高，但工作效率却不高，装配不方便，并且容易对镜片产生应力以影响光刻机的质量，因此，这种固定方式不能满足现代物镜镜框的固定需求。
发明内容
本发明提供一种镜框固定装置，既能够满足镜框和镜片的安装精度要求，又不影响镜片的面型。本发明提供一种镜框固定装置，其用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，所述镜框固定装置包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中。进一步的，所述螺钉包括螺帽和螺纹部分，所述螺纹部分的一端与所述螺帽连接，所述螺纹部分上设有螺钉外螺纹，所述下镜框中设有具有与该螺钉外螺纹对应内螺纹的下螺纹孔，所述螺纹部分的另一端穿过螺钉套筒后，通过和所述下螺纹孔旋合，固定于所述下镜框中。进一步的，所述螺纹部分与所述螺钉套筒之间留有空隙。进一步的，所述螺钉固定装置还包括组合垫圈，所述螺纹部分的另一端依次穿过所述组合垫圈与螺钉套筒后固定于所述下镜框中。进一步的，所述组合垫圈包括第一垫圈和第二垫圈，所述第一垫圈的一个面为凹面，所述第二垫圈的一个面为凸面，所述凹面与凸面的形状相匹配。进一步的，所述螺钉固定装置的数量为三个，所述三个螺钉固定装置间隔相等的角度固定安装于所述物镜镜框中。与现有技术相比，本发明具有以下有益效果:该镜框固定装置通过调整螺钉固定装置就可以实现对上镜框中镜片的倾斜角度和上、下镜片间隔的调整，在安装时，先将螺钉套筒固定安装于上镜框中，再将组合垫圈中的第一垫圈与第二垫圈组合起来放置于螺钉套筒上，接着将螺钉穿过组合垫圈及螺钉套筒与下镜框连接，上下调节螺钉固定装置中的螺钉套筒，以调整上镜框与下镜框之间的距离或倾斜角度，最后将螺钉拧紧固定于下镜框中，完成物镜镜框的固定工作，该镜框固定装置结构简单，易安装，安装效率高，稳定牢固，并且由于有组合垫圈及螺钉与螺钉套筒之间的空隙，所以调整上、下镜框的距离及倾斜角度时不会对镜框产生太大的扭曲变形，从而可以保证在螺钉拧紧时不会对镜框产生应力，因此镜框中的镜片就不会受到在螺钉拧紧时产生的应力的影响而变形，保证了镜片的面型及光刻机的质量。
下面结合附图对本发明作进一步说明:图1为本发明实施例提供的镜框固定装置安装于镜框上时的结构示意图。图2为本发明实施例提供的镜框固定装置螺钉套筒的结构示意图。图3为本发明实施例提供的镜框固定装置螺钉套筒的截面图。图4为本发明实施例提供的镜框固定装置组合垫圈的结构示意图。图5为本发明实施例提供的镜框固定装置的结构示意图。图6为本发明实施例提供的镜框固定装置安装于镜框上时的局部截面图。在图1至图6中，100:螺钉固定装置；110:螺钉套筒；120:螺钉；121:螺帽；122:螺纹部分；200:组合垫圈；210:第一垫圈；220:第二垫圈；300:镜框；310:上镜框；311:上螺纹孔；320:下镜框；321:下螺纹孔；400:镜片。
具体实施例方式以下结合附图和具体实施例对本发明提出的镜框固定装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。本发明的核心思想在于，提供一种镜框固定装置，其用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，所述镜框固定装置包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的上螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中，该镜框固定装置通过调整螺钉固定装置就可以实现对上镜框中镜片的倾斜角度和上、下镜片间隔的调整，在安装时，先将螺钉套筒固定安装于上镜框中，再将组合垫圈中的第一垫圈与第二垫圈组合起来放置于螺钉套筒上，接着将螺钉穿过组合垫圈及螺钉套筒与下镜框连接，上下调节螺钉固定装置中的螺钉套筒，以调整上镜框与下镜框之间的距离或倾斜角度，最后将螺钉拧紧固定于下镜框中，完成物镜镜框的固定工作，该镜框固定装置结构简单，易安装，安装效率高，稳定牢固，并且由于有组合垫圈及螺钉与螺钉套筒之间的空隙，所以调整上、下镜框的距离及倾斜角度时不会对镜框产生太大的扭曲变形，从而可以保证在螺钉拧紧时不会对镜框产生应力，因此镜框中的镜片就不会受到在螺钉拧紧时产生的应力的影响而变形，保证了镜片的面型及光刻机的质量。请参考图1至图6，图1为本发明实施例提供的镜框固定装置安装于镜框上时的结构示意图，图2为本发明实施例提供的镜框固定装置螺钉套筒的结构示意图，图3为本发明实施例提供的镜框固定装置螺钉套筒的截面图，图4为本发明实施例提供的镜框固定装置组合垫圈的结构示意图，图5为本发明实施例提供的镜框固定装置的结构示意图，图6为本发明实施例提供的镜框固定装置安装于镜框上时的局部截面图。本发明提供一种镜框固定装置，其用于固定光刻机物镜镜框300中的上镜框310与下镜框320，所述镜框固定装置包括螺钉固定装置100，所述螺钉固定装置100包括螺钉套筒110和螺钉120，所述螺钉套筒110上设有套筒外螺纹，所述上镜框310中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔311，所述螺钉套筒110的长度大于所述上镜框310的厚度，所述螺钉套筒110旋合于上镜框310的上螺纹孔311中，所述螺钉套筒110的下端与所述下镜框320的上表面相接触，所述螺钉120穿过所述螺钉套筒110固定于所述下镜框320 中。进一步的，所述螺钉120包括螺帽121和螺纹部分122即螺杆，所述螺纹部分122的一端与所述螺帽121连接，所述螺纹部分122上设有螺钉外螺纹，所述下镜框320中设有具有与该螺钉外螺纹对应内螺纹的下螺纹孔321，所述螺纹部分122的另一端穿过螺钉套筒110后，通过和所述下螺纹孔321旋合，固定于所述下镜框320中，通过这样的结构能够使螺钉120旋合于下镜框320的下螺纹孔321中，使得该螺钉固定装置100的固定效果更显著，拆卸与调整时只需旋出螺钉120即可调节螺钉套筒110，使安装及调整更为方便。进一步的，所述螺钉120与所述螺钉套筒110之间留有空隙，螺钉120与螺钉套筒110之间足够的空隙既可以保证在调节上镜框310的倾斜角度时不会因为螺钉120与螺钉套筒110相碰触而产生对上镜框310的应力，从而影响镜片400的面型甚至光刻机的质量。进一步的，所述螺钉固定装置100还包括组合垫圈200，所述螺纹部分122的另一端依次穿过所述组合垫圈200与螺钉套筒110后固定于所述下镜框320中，所述组合垫圈200能够减少螺钉120与螺钉套筒110之间的摩擦与碰撞，从而减少了该螺钉固定装置100在安装过程中对上镜框310与下镜框320的应力。进一步的，所述组合垫圈200包括第一垫圈210和第二垫圈220，所述第一垫圈210的一个面为凹面，所述第二垫圈220的一个面为凸面，所述凹面与凸面的形状相匹配，在上镜框310相对下镜框320有倾斜角度时，螺钉120与螺钉套筒110会产生一定的夹角，然而第一垫圈210与第二垫圈220依然能够紧贴在螺钉120和螺钉套筒110上，这样便减弱了在拧紧螺钉120时螺钉120与螺钉套筒110之间的碰撞对镜框300所产生的应力，起到了很好的保护镜片400的效果。进一步的，所述螺钉固定装置100的数量为三个，所述三个螺钉固定装置100间隔相等的角度固定安装于所述物镜镜框300中，所述三个螺钉固定装置100能够自由调节上镜框310与下镜框320之间的距离和倾斜角度。下面结合图1至图6更详细的说明本发明实施例提供的镜框固定装置的功能实现过程。该镜框固定装置通过调整三个螺钉固定装置100就可以实现对上镜框310中镜片400的倾斜角度和上镜框310与下镜框320之间间隔的调整，在安装时，先将螺钉套筒110拧进上镜框310的上螺纹孔311中，将螺钉套筒110的下端碰触到下镜框320的上表面，再将组合垫圈200中的第一垫圈210的凹面与第二垫圈220的凸面组合起来放置于螺钉套筒110上，接着将螺钉120的螺纹部分122穿过组合垫圈200及螺钉套筒110与下镜框320连接，此时若继续向下调节螺钉套筒110，则上镜框310靠近该螺钉固定装置100的一端会向上移动产生倾斜角度，若想调节上镜框310与下镜框320之间的距离，则将三个螺钉固定装置100中的螺钉套筒110均向下调节相同的距离，继续调节三个螺钉套筒110以达到理想的上、下镜框间隔和倾斜角度，最后将螺钉120的螺纹部分122拧紧固定于下镜框320的下螺纹孔321中，使螺钉120的螺帽121通过组合垫圈200紧压住螺钉套筒110，完成物镜镜框300的固定工作，该镜框固定装置结构简单，易安装，安装效率高，稳定牢固，并且由于有组合垫圈200及螺钉120的螺纹部分122与螺钉套筒110之间的空隙，所以调整上、下镜框的距离及倾斜角度时不会对镜框300产生太大的扭曲变形，从而可以保证在螺钉120拧紧时不会对镜框300产生应力，因此镜框300中的镜片400就不会受到在螺钉120拧紧时产生的应力的影响而变形，保证了镜片400的面型及光刻机的质量。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变形而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种镜框固定装置，用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，其特征在于:包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的上螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中。
2.根据权利要求1所述的镜框固定装置，其特征在于，所述螺钉包括螺帽和螺纹部分，所述螺纹部分的一端与所述螺帽连接，所述螺纹部分上设有螺钉外螺纹，所述下镜框中设有具有与该螺钉外螺纹对应内螺纹的下螺纹孔，所述螺纹部分的另一端穿过螺钉套筒后，通过和所述下螺纹孔旋合，固定于所述下镜框中。
3.根据权利要求2所述的镜框固定装置，其特征在于，所述螺纹部分与所述螺钉套筒之间留有空隙。
4.根据权利要求2所述的镜框固定装置，其特征在于，所述螺钉固定装置还包括组合垫圈，所述螺纹部分的另一端依次穿过所述组合垫圈与螺钉套筒后固定于所述下镜框中。
5.根据权利要求4所述的镜框固定装置，其特征在于，所述组合垫圈包括第一垫圈和第二垫圈，所述第一垫圈的一个面为凹面，所述第二垫圈的一个面为凸面，所述凹面与凸面的形状相匹配。
6.根据权利要求1至5任一项所述的镜框固定装置，其特征在于，所述螺钉固定装置的数量为三个，所述三个螺钉固定装置间隔相等的角度固定安装于所述物镜镜框中。
全文摘要
本发明提供一种镜框固定装置，其用于固定光刻机物镜镜框中的上镜框与下镜框，所述镜框固定装置包括螺钉固定装置，所述螺钉固定装置包括螺钉套筒和螺钉，所述螺钉套筒上设有套筒外螺纹，所述上镜框中设有具有与该套筒外螺纹对应内螺纹的上螺纹孔，所述螺钉套筒的长度大于所述上镜框的厚度，所述螺钉套筒旋合于上镜框的上螺纹孔中，所述螺钉套筒的下端与所述下镜框的上表面相接触，所述螺钉穿过所述螺钉套筒固定于所述下镜框中，该镜框固定装置结构简单，易安装，安装效率高，稳定牢固，并且不会受到在螺钉拧紧时产生的应力的影响而变形，保证了镜片的面型及光刻机的质量。
文档编号G02B7/00GK103197396SQ20121000508
公开日2013年7月10日 申请日期2012年1月9日 优先权日2012年1月9日
发明者王健 申请人:上海微电子装备有限公司