图像形成装置的制作方法

专利名称：图像形成装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及图像形成装置。
背景技术：
例如，作为在激光打印机等中通过光扫描进行描绘的光扫描仪，公知有使用由扭 转振子构成的致动器的光扫描仪(例如参照专利文献I)。
在专利文献I中公开了具有绝缘基板和扫描仪主体的致动器，在所述绝缘基板设 置有一对永磁铁，所述扫描仪主体由绝缘基板支承为位于一对永磁铁之间。并且，扫描仪主 体具有框状的支承部、设置在支承部的内侧的框状的外侧可动板、以及设置在外侧可动板 的内侧的内侧可动板(反射镜)。并且，外侧可动板经由在X轴方向延伸的一对第一扭转杆 与支承部连结，内侧可动板经由在与X轴方向正交的Y轴方向延伸的第二扭转杆与外侧可 动板连结。并且，在外侧可动板和内侧可动板分别设置有线圈。
在这种结构的致动器中，通过使借助通电从各线圈产生的磁场与在一对永磁铁之 间产生的磁场发挥作用，外侧可动板与内侧可动板一起以第一扭转杆作为中心轴绕X轴转 动，内侧可动板以第二扭转杆作为中心轴绕Y轴转动。这样，在专利文献I的致动器中，通 过使内侧可动板二维地转动，能够二维地扫描由内侧可动板反射的光。这种结构在利用I 个光扫描仪二维地扫描光的方面是有效的。
然而，在专利文献I的致动器中，由于内侧可动板的转动角存在界限，因此难以增 大能够扫描光的区域。为了使用专利文献I的致动器而将光扫描区域设定得大，例如考虑 延长光扫描区域与致动器之间的间隔距离，但是，由此，人等障碍物容易进入光扫描区域与 致动器之间，光被上述侵入物遮挡的可能性高，并且会产生设置条件受限的问题。
专利文献1:日本特开2005 — 181395号公报发明内容
本发明的目的在于提供一种即便设置在光扫描区域的附近也能够确保大的光扫 描区域的图像形成装置。
这种目的通过下述的本发明达成。
本发明的图像形成装置的特征在于，
上述图像形成装置具有
光射出部，该光射出部射出光；
光扫描仪，该光扫描仪具有用于反射从上述光射出部射出的光的光反射部，使该 光反射部分别绕相互正交的第一轴和第二轴转动，从而分别绕上述第一轴和上述第二轴扫 描由上述光反射部反射的上述光；以及
驱动构件，使上述第一轴和上述第二轴的交点与上述光射出部之间的相对位置关系保持恒定，并使上述光扫描仪绕预定的轴线转动，上述光扫描仪具有可动板，该可动板具备光反射部；支承部，该支承部支承上述可动板；以及4个连结部，这4个连结部连结上述可动板和上述支承部，在上述可动板的俯视图中，上述4个连结部在上述可动板的外周沿着周方向以90度间隔设置，各上述连结部具有驱动部，该驱动部与上述可动板离开配置，且能够相对于上述支承部转动；以及轴部，该轴部连结上述可动板和上述驱动部，各上述连结部的上述轴部构成为通过上述驱动部的转动，各上述连接部的上述轴部在与上述可动板离开的方向的中途在上述可动板的厚度方向弯折变形，通过使各上述轴部独立地进行上述弯折变形，上述可动板绕上述第一轴和上述第二轴中的各轴转动。由此，能够提供一种即便设置在光扫描区域的附近也能够确保大的光扫描区域的图像形成装置。在本发明的图像形成装置中，优选上述光扫描仪通过依次形成线段的矢量扫描来对上述光进行扫描，上述线段是连结由上述光反射部反射的光所照射的显示面上的不同的2点之间的线段。根据这种扫描方法(矢量扫描)，能够仅对想要照射光的区域扫描光，因此能够高效地显示图像。在本发明的图像形成装置中，优选上述图像形成装置具有支承部，上述支承部在维持上述光射出部和上述光扫描仪相互的相对位置关系的状态下支承上述光射出部和上述光扫描仪，上述驱动构件构成为能够使上述光射出部和上述光扫描仪与上述支承部一起转动。由此，无需进行光射出部和光扫描仪的对准调整就能够变更光的扫描区域(显示图像的区域)。 在本发明的图像形成装置中，优选上述驱动构件具备电动机。由此，能够比较简单且廉价地形成图像形成装置。在本发明的实施方式中，优选当将在上述可动板的俯视图中正交的2轴设为X轴和Y轴时，上述4个连结部具有隔着上述可动板在X轴方向对置的第一连结部和第二连结部；以及隔着上述可动板在Y轴方向对置的第三连结部和第四连结部，上述第一连结部和上述第二连结部分别具有上述驱动部，该驱动部与上述可动板在X轴方向离开配置；作为上述轴部的第一轴部，该第一轴部连结上述可动板和上述驱动部、且沿X轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结上述驱动部和上述扫描仪支承部、且沿Y轴方向延伸，
上述第三连结部和上述第四连结部分别具有上述驱动部，该驱动部与上述可动 板在Y轴方向离开配置；作为上述轴部的第一轴部，该第一轴部连结上述可动板和上述驱 动部、且沿Y轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结上述驱动部和上述扫描仪支承 部、且沿X轴方向延伸。
由此，能够以稳定的状态支承可动板。并且，能够使可动板独立地进行绕相互正交 的2个轴的各轴的转动。因此，形成为适用于矢量扫描的光扫描仪。
在本发明的图像形成装置中，优选当将与上述X轴和上述Y轴正交的轴设为Z轴 时，
上述4个连结部中的上述第一轴部分别能够形成为以下两种变形
以形成朝Z轴方向的一方侧凸出的V字状的方式弯折的第一变形；以及以形成朝 Z轴方向的另一方侧凸出的V字状的方式弯折的第二变形。
通过以这种方式使各第一轴部弯折，能够高效地使可动板变位。
在本发明的图像形成装置中，优选通过交替地反复形成以下两种状态，使上述可 动板绕上述Y轴转动，上述两种状态为使上述第一连结部的上述第一轴部进行上述第一 变形，同时使上述第二连结部的上述第一轴部进行第二变形的状态；以及使上述第一连结 部的上述第一轴部进行上述第二变形，同时使上述第二连结部的上述第一轴部进行上述第 一变形的状态，
通过交替地反复形成以下两种状态，使上述可动板绕上述X轴转动，上述两种状 态为使上述第三连结部的上述第一轴部进行上述第一变形，同时使上述第四连结部的上 述第一轴部进行上述第二变形的状态；以及使上述第三连结部的上述第一轴部进行上述第 二变形，同时使上述第四连结部的上述第一轴部进行上述第一变形的状态。
由此,能够使可动板顺畅地转动。
在本发明的图像形成装置中，优选上述4个连结部的上述第一轴部分别具有应 力缓和部，该应力缓和部设置在上述可动板与上述驱动部之间；可动板侧轴部，该可动板侧 轴部连结上述应力缓和部与上述可动板；以及驱动部侧轴部，该驱动部侧轴部连结上述应 力缓和部与上述驱动部，上述4个连结部的第一轴部在上述应力缓和部弯折。
由此，能够利用应力缓和部缓和可动板侧轴部受到的应力，能够防止或者抑制应 力朝驱动部侧轴部传递。
在本发明的图像形成装置中，优选上述4个连结部的上述可动板侧轴部分别绕该 可动板侧轴部的中心轴扭转变形。
由此，通过另一对连结部的可动板侧轴部扭转变形，能够允许可动板以4个连结 部中的对置的一对连结部为轴转动。因此，能够使可动板绕相互正交的2个轴的各轴顺畅 地转动。
在本发明的图像形成装置中，优选上述4个连结部的上述驱动部侧轴部分别并不变形。
由此,能够高效地将通过驱动部的转动产生的应力用于可动板的转动。因此,能够 使可动板以大的转动角度、且节省电力地变位。
在本发明的图像形成装置中，优选上述4个连结部的上述应力缓和部分别具有变 形部，在上述可动板的俯视图中，该变形部沿着与可动板侧轴部和驱动部侧轴部的延伸方向正交的方向延伸，且绕中心轴扭转变形。由此，通过变形部扭转变形，能够有效地缓和施加于第一轴部的应力。在本发明的图像形成装置中，优选上述4个连结部的上述应力缓和部分别具有一对上述变形部，上述一对变形部中的一方的上述变形部与上述可动板侧轴部连结，另一方的上述变形部与上述驱动部侧轴部连结。由此，通过变形部扭转变形，能够有效地缓和施加于第一轴部的应力。在本发明的图像形成装置中，优选上述4个连结部的上述应力缓和部分别具有非变形部，该非变形部设置在上述一对变形部之间，沿与上述变形部的延伸方向平行的方向延伸，且并不绕中心轴扭转变形。由此，在各连结部中，能够使第一轴部以非变形部为轴弯折。因此，能够简单且可靠地使各连结部的第一轴部弯折，能够使可动板稳定地变位。在本发明的图像形成装置中，优选上述4个连结部中的上述应力缓和部分别具有沿着上述X轴方向和上述Y轴方向交替地延伸而曲折的部位。由此，能够利用应力缓和部缓和可动板侧轴部受到的应力，能够防止或者抑制应力朝驱动部侧轴部传递。在本发明的图像形成装置中，优选上述4个连结部的上述应力缓和部分别具有沿着上述X轴方向延伸的多个延伸部和沿着Y轴方向延伸的多个延伸部，上述多个延伸部分别能够绕中心轴扭转变形且能够弯曲变形。由此，通过各延伸部进行扭转变形和弯曲变形中的至少一方的变形，能够有效地缓和施加于第一轴部的应力。在本发明的图像形成装置中，优选上述4个连结部分别由SOI基板形成，上述SOI基板通过按照顺序层叠第一 Si层、SiO2层以及第二 Si层而成的SOI基板而形成。由此，能够简单地形成各连结部。在本发明的图像形成装置中，优选上述4个连结部的上述非变形部、驱动部侧轴部以及驱动部分别由上述第一 Si层、上述SiO2层以及上述第二 Si层构成，上述可动板侧轴部、上述变形部以及上述第二轴部分别由上述第二 Si层构成。由此，能够简单地形成各连结部。在本发明的图像形成装置中，优选上述图像形成装置具有使上述可动板相对于上述支承部变位的变位构件，上述变位构件与上述4个连结部对应地设置有4个。由此，能够独立地控制各连结部的动作。在本发明的图像形成装置中，优选上述4个变位构件分别具有永磁铁，该永磁铁设置于对应的上述驱动部；以及线圈，该线圈用于产生作用于上述永磁铁的磁场。由此，变位构件的结构变得简单。并且，由于是电磁驱动，因此能够产生大的力。在本发明的图像形成装置中，优选在上述4个变位构件中，上述永磁铁以两极在上述可动板的厚度方向对置的方式设置，上述线圈以产生与上述可动板的厚度方向正交的方向的磁场的方式设置。由此，能够使可动板稳定地变位。
在本发明的图像形成装置中，优选上述4个变位构件的上述水磁铁分别贯通上述 驱动部而设置。由此,能够使可动板稳定地变位。


图1是示出本发明的图像形成装置的第一实施方式的图。图2是示出图1所示的图像形成装置的概要结构的图。图3是图1所示的图像形成装置所具有的光扫描仪的平面图。图4是图3所示的光扫描仪的剖视图(沿着图3中A — A线的剖视图)。图5是图3所示的光扫描仪所具有的连结部的立体图。图6是用于说明图3所示的光扫描仪所具有的振动系统的制造方法的剖视图。图7是用于说明图3所示的光扫描仪所具有的振动系统的制造方法的剖视图。图8是用于说明图3所示的光扫描仪所具有的变位构件的图。图9是用于说明图3所示的光扫描仪的驱动的图。图10是用于说明图3所示的光扫描仪的驱动的图。图11是用于说明图3所示的光扫描仪的驱动的图。图12是用于说明图3所示的光扫描仪的驱动的图。图13是示出图1所示的图像形成装置所具有的驱动构件的剖视图。图14是用于说明图13所示的驱动构件的驱动的俯视图。图15是示出图1所示的图像形成装置的动作的图。图16是本发明所涉及的第二实施方式的图像形成装置所具有的光扫描仪的平面 图。图17是本发明所涉及的第三实施方式的图像形成装置所具有的光扫描仪的平面 图。图18是本发明所涉及的第四实施方式的图像形成装置所具有的光扫描仪的立体 图。图19是本发明所涉及的第五实施方式的图像形成装置所具有的光扫描仪的剖视 图。图20是示出本发明的第六实施方式所涉及的图像形成装置所具有的光扫描仪的 平面图。图21是图20所示的光扫描仪所具有的连结部的放大立体图。图22是示出本发明所涉及的第六实施方式的图像形成装置所具有的光扫描仪的 立体图。标号说明1…光扫描仪；11…振动系统；12…基座；121…基部；122…框部；2、2D…可动板； 21…面；22…光反射部；23D…基部；24D…柱部；2 …光反射板；3…支承部；4、4C、5、6、 7…连结部；41、51、61、71 …驱动板；42、42C、52、62、72…第一轴部;421、421C、421E、521、 521E、621、621E、721、721E…应力缓和部；4211、4212、5211、5212、6211、6212、7211、7212… 变形部；4213、4213C、5213、6213、7213…非变形部；4214、4215、5214、5215、6214、6215、7214、7215…连接部;4211E…第一延伸部；4212E…第二延伸部；4213E…第三延伸部;4214E…第四延伸部；4215E…第五延伸部；4216E…第六延伸部；4217E…第七延伸部；422、522、622、722…可动板侧轴部；423、523、623、723…驱动板侧轴部；43、53、63、73…第二轴部；8…变位构件；81、81B…第一变位构件；82…第二变位构件；83…第三变位构件；84···第四变位构件；811、811B、821、831、841 …永磁铁；812、812B、822、832、842…线圈；813、813B、823、833、843…电源;85、85A…线圈固定部;851…突出部；852A…主体部;100…图像形成装置；200…光源单元；210r···红色光源装置；210g…绿色光源装置；210b···蓝色光源装置；220r、220g、220b…准直透镜；230r、230g、230b…分色镜(dichroicmirror) ;300…驱动构件；310…第一齿轮；320…第二齿轮；330…电动机；331…轴部;400…支承部;410…轴部；411…贯通孔;420…轴承;430…安装部;500…SOI基板;510…第一 Si层；520··· SiO2 M ；530…第二 Si层；M1、M2…SiO2膜；X1 X3、Yl Y3…转动中心轴；X4、X5、Y4、Y5…中心轴；J1、J2…预定的轴线投影屏；S1、S2…光扫描区域。
具体实施例方式以下，参照附图对本发明的图像形成装置的优选的实施方式进行说明。〈第一实施方式〉首先，对本发明的图像形成装置的第一实施方式进行说明。图1是示出本发明的图像形成装置的第一实施方式的图，图2是示出图1所示的图像形成装置的概要结构的图，图3是图1所示的图像形成装置所具有的光扫描仪的平面图，图4是图3所示的光扫描仪的剖视图(沿着图3中的A — A线的剖视图)，图5是图3所示的光扫描仪所具有的连结部的立体图，图6和图7分别是用于说明图3所示的光扫描仪所具有的振动系统的制造方法的图，图8是用于说明图3所示的光扫描仪所具有的变位构件的图，图9是用于说明图3所示的光扫描仪的驱动的图，图10、图11、以及图12分别是用于说明图3所示的光扫描仪 的驱动的图，图13是示出图1所示的图像形成装置所具有的驱动构件的剖视图，图14是用于说明图13所示的驱动构件的驱动的俯视图，是示出图1所示的图像形成装置的动作的图。另外，以下，为了说明的方便，将图3中的左侧称为“左”、将右侧称为“右”，将图4 图12中的上侧称为“上”、将下侧称为“下”。并且，如图3所示，将相互正交的3轴设为X轴(第一轴)、Y轴(第二轴)以及Z轴，非驱动状态的可动板的面与由X轴和Y轴形成的面一致(平行)，可动板的厚度方向与Z轴一致。并且，以下，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”、将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”、将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。图1所示的图像形成装置100例如是用于在设置于大楼等建筑物内或者室外的投影屏(显示对象物)S显示静态图像或动态图像等预定的图像的装置。如图2所示，这种图像形成装置100具有光射出部200，该光射出部200用于射出激光(光)；光扫描仪1，该光扫描仪I用于反射从光射出部200射出的光；以及驱动构件300，该驱动构件300用于使光扫描仪I绕预定的轴线转动。作为投影屏S的构成材料，并无特殊限定，例如能够举出聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、丙烯类树脂、ABS树脂、氟树脂、环氧树脂、有机硅树脂、或者以上述材料为主的共聚物、混合物、聚合物合金等，能够使用上述材料中的I种或者组合2种以上进行使用。由此，能够提高图像的目视确认性。另外，投影屏S也可以省略，例如直接在建筑 物的墙面或者地面显示图像。
以下，依次对图像形成装置的各结构进行详细说明。
(光射出部200)
如图2所示，光射出部(光源单元)200具备各种颜色的激光光源210r、210g、 210b ;以及与各种颜色的激光光源210r、210g、210b对应地设置的准直透镜2220r、220g、 220b 和分色镜 230r、230g、230b。
各种颜色的激光光源210r、210g、210b分别射出红色、绿色以及蓝色的激光RR、 GG、BB。激光RR、GG、BB分别以与从未图示的控制部发送的驱动信号对应地被调制的状态 射出，并由作为准直光学元件的准直透镜220r、220g、220b平行化而形成细光束。
分色镜230r、230g、230b分别具有反射红色激光RR、绿色激光GG、蓝色激光BB的 特性，结合各种颜色的激光RR、GG、BB而射出I条激光LL。
另外，能够代替准直透镜220r、220g、220b使用准直反射镜，在该情况下，也能够 形成平行光束的细光束。并且，在从各种颜色的激光光源210r、210g、210b射出平行光束的 情况下，能够省略准直透镜220r、220g、220b。进一步，对于激光光源210r、210g、210b，能 够更换成产生同样的光束的发光二极管等光源。并且，图2的各种颜色的激光光源210r、 210g、210b、准直透镜220r、220g、220b以及分色镜230r、230g、230b的次序只不过是一例， 能够在保持各种颜色的组合(红色为激光光源210r、准直透镜220r、分色镜230r，绿色为激 光光源210g、准直透镜220g、分色镜230g，蓝色为激光光源210b、准直透镜220b、分色镜 230b)的状态下自由地设定顺序。例如，能够按照依次接近光扫描仪I的顺序形成蓝色、红 色、绿色的组合。
(光扫描仪)
其次，对光扫描仪I进行说明。
光扫描仪I是使用光栅扫描(raster scan)、矢量扫描(vector scan)等扫描方法 对投影屏S的表面(显示面)扫描从光源单元200射出的激光LL的装置。此处，所谓光栅扫 描是指当在水平方向扫描激光LL的同时在垂直方向扫描激光LL的方法，与应当在投影屏 S显示的图像无关，一律在显示面的整个区域规则地扫描激光LL。所谓另一方面的矢量扫 描是指以依次形成连结投影屏S的表面上的不同的2点的线段的方式进行扫描的方法，根 据应当在显示面显示的图像仅在显示面的必要的部位不规则地扫描激光LL。另外，在本实 施方式中使用的光扫描仪I能够利用光栅扫描和矢量扫描中的任一种方法扫描激光LL，但 是，在结构上优选利用矢量扫描来扫描激光LL。
如图3和图4所示，光扫描仪I具有振动系统11，该振动系统11由可动板2、支 承部3、以及4个连结部4、5、6、7构成，所述支承部3用于支承可动板2，所述4个连结部4、5、6、7用于连结可动板2和支承部3 ;基座12，该基座12用于支承振动系统11 ;以及变位 构件8，该变位构件8用于使可动板2变位。以下，依次对光扫描仪I的各结构进行详细说 明。另外，将相互正交的3轴设为X轴、Y轴以及Z轴，非驱动状态的可动板的面与由X轴和 Y轴形成的面一致(平行)，可动板的厚度方向与Z轴一致。并且，以下，将与X轴平行的方向 称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向称为“Z轴方 向”。
[振动系统11]在本实施方式中，振动系统11通过利用干蚀刻(dry etching)和湿蚀刻(wetetching)等各种蚀刻方法将SOI基板的不需要的部位除去而一体地形成。另外,对于振动系统11的制造方法在后面详细叙述。支承部3具有支承可动板2的功能。这种支承部3形成为框状，并以包围可动板2的周围的方式设置。另外，作为支承部3的形状，只要能够支承可动板2即可，并无特殊限定，例如，也可以以隔着可动板2在X轴方向或者Y轴方向对置的方式设置有一对。可动板2设置在支承部3的内侧。可动板2形成为平板状，且在一方的面(与基座12相反侧的面)21形成有具有光反射性的光反射部22。光反射部22例如通过在面21上借助蒸镀等形成金、银、铝等的金属膜等而得到。另外，在本实施方式中， 可动板2的俯视形状为圆形，但是，可动板2的俯视形状并无特殊限定，例如也可以是长方形、正方向等多边形，或者是椭圆形等。这种可动板2借助4个连结部4、5、6、7与支承部3连结。4个连结部4、5、6、7在可动板2的俯视图中沿着可动板2的周方向等间隔地、即以90度间隔配置。进而，4个连结部4、5、6、7中的连结部4、6隔着可动板2在X轴方向对置、且相对于可动板2对称地形成，连结部5、7隔着可动板2在Y轴方向对置、且相对于可动板2对称地形成。通过利用这种连结部4、5、6、7支承可动板2，能够以稳定的状态支承可动板2。并且，如后所述，能够分别独立地进彳丁可动板2的绕转动中心轴Xl的转动和绕转动中心轴Yl的转动。4个连结部4、5、6、7相互形成为同样的结构。具体地说，连结部(第一连结部)4具有驱动板(驱动部)41 ;第一轴部42，该第一轴部42连结驱动板41和可动板2 ；以及一对第二轴部43，这一对第二轴部43连结驱动板41和支承部3。并且，连结部(第三连结部)5具有驱动板51 ;第一轴部52，该第一轴部52连结驱动板51和可动板2 ；以及一对第二轴部53，这一对第二轴部53连结驱动板51和支承部3。并且，连结部(第二连结部)6具有驱动板61 ;第一轴部62，该第一轴部62连结驱动板61和可动板2 ;以及一对第二轴部63，这一对第二轴部63连结驱动板61和支承部3。并且，连结部(第四连结部)7具有驱动板71 ;第一轴部72，该第一轴部72连结驱动板71和可动板2 ;以及一对第二轴部73，这一对第二轴部73连结驱动板71和支承部3。另外，上述“同样的结构”是指构成连结部的要素相同。因此，外形形状不需要一致。通过将各连结部4、5、6、7形成为这种结构，连结部的结构变得简单，并且，如后所述，能够使可动板2顺畅地进行绕转动中心轴X1、Yl的转动等。以下，对连结部4、5、6、7进行具体说明，但是，由于连结部4、5、6、7的结构相互同样，因此以连结部4作为代表进行说明，省略对其他的连结部5、6、7的说明。另外，连结部
5、7在可动板2的俯视图中配置成相对于连结部4旋转90度后的状态。因此，对于连结部
5、7，能够通过将下述的连结部4的说明中的“Y轴方向”改成“X轴方向”、将“X轴方向”改成“Y轴方向”进行说明。如图5所示，一对第二轴部43隔着驱动板41在Y轴方向对置配置，对驱动板41进行双支承。并且，一对第二轴部43分别形成为在Y轴方向延伸的棒状。并且，一对第二轴部43能够绕中心轴扭转变形。这种一对第二轴部43同轴地设置，在一对第二轴部43以该轴(以下也称为“转动中心轴Y2”)为中心扭转变形的同时，驱动板41转动。
驱动板41在X轴方向相对于可动板2离开设置。并且，如前面所述，驱动板41由 一对第二轴部43双支承。在这种驱动板41形成有贯通孔411，永磁铁811插通并固定在该 贯通孔中。永磁铁811例如通过嵌合(压入)或者借助粘接剂固定于驱动板41。永磁铁811 是变位构件8的结构的一部分，因此在后面进行说明。
并且，在本实施方式中，驱动板41的俯视形状形成为以Y轴方向作为长边的长方 形。通过将驱动板41形成为这种形状，能够确保固定永磁铁811的空间，并且能够抑制驱动 板41的宽度(X轴方向的长度)。通过抑制驱动板41的宽度，能够抑制当驱动板41绕转动 中心轴Y2转动时产生的惯性矩，驱动板41的响应性提高，能够更高速地转动。并且，当驱 动板41的响应性提高时,能够抑制由于驱动板41的转动(特别是转动方向转换的反转时) 而产生非本意的振动。因此,能够稳定地驱动光扫描仪I。
另外，作为驱动板41的俯视形状，并无特殊限定，例如可以是正方形或五边形以 上的多边形，也可以是圆形。
这种驱动板41借助第一轴部42与可动板2连结。第一轴部42以整体在X轴方 向延伸的方式设置。这种第一轴部42具有应力缓和部421，该应力缓和部421设置在驱 动板41与可动板2之间；可动板侧轴部422，该可动板侧轴部422用于连结应力缓和部421 和可动板2 ；以及驱动板侧轴部(驱动部侧轴部)423，该驱动板侧轴部423用于连结应力缓 和部421和驱动板41。
可动板侧轴部422和驱动板侧轴部423分别呈在X轴方向延伸的棒状。并且，可 动板侧轴部422和驱动板侧轴部423同轴地设置。
这两个轴部中的驱动板侧轴部423优选设定成当光扫描仪I的驱动时不会产生大 的变形的硬度，更加优选设定成实质上不会变形的硬度。与此相对，可动板侧轴部422能够 绕其中心轴扭转变形。这样，第一轴部42具有实质上不变形的硬部分以及位于该硬部分的 前端侧的可扭转变形的部位，由此，如后所述，能够使可动板2绕X轴和Y轴的各轴稳定地 转动。另外，上述“不变形”是指实质上不会产生朝向Z轴方向的弯折或者弯曲以及绕中心 轴的扭转变形。
这种可动板侧轴部422和驱动板侧轴部423经由应力缓和部421连结。应力缓和 部421具有以下功能作为第一轴部42弯折变形时的节部的功能；以及缓和(吸收)通过可 动板侧轴部422的扭转变形产生的扭矩，防止或者抑制上述扭矩传递到驱动板侧轴部423。
如图5所示，应力缓和部421具有:一对变形部4211、4212 ;非变形部4213，该非 变形部4213设置在一对变形部4211、4212之间；用于将变形部4211连接于非变形部4213 的一对连接部4214 ;以及用于将变形部4212连接于非变形部4213的一对连接部4215。
非变形部4213呈在Y轴方向延伸的棒状。这种非变形部4213设定成当光扫描仪 I的驱动时实质上不会变形的硬度。由此，如后所述，能够使第一轴部42以非变形部4213 的中心轴Y4为中心弯折，能够使应力缓和部421可靠地发挥作为节部的功能，能够稳定地 驱动光扫描仪I。
一对变形部4211、4212相对于这种非变形部4213对称地配置。变形部4211、4212 分别呈在Y轴方向延伸的棒状。并且，变形部4211、4212相互在X轴方向离开而并列设置。 这种变形部4211、4212分别能够绕其中心轴扭转变形。
位于可动板2侧的变形部4211在其长度方向的大致中央与可动板侧轴部422的一端连结，并且，在其两端部借助一对连接部4214与非变形部4213连结。同样，位于驱动板41侧的变形部4212在其长度方向的大致中央与驱动板侧轴部423的一端连结，并且，在其两端部借助一对连接部4215与非变形部4213连结。一对连接部4214中的一个连接部将变形部4211和非变形部4213的一端部彼此连结在一起，另一个连接部将变形部4211和非变形部4213的另一端部彼此连结在一起。并且，一对连接部4215中的一个连接部将变形部4212和非变形部4213的一端部彼此连结在一起，另一个连接部将变形部4212和非变形部4213的另一端彼此连结在一起。这种各连接部4214、4215呈在X轴方向延伸的棒状。并且，各连接部4214、4215能够在Z轴方向弯曲、且能够绕其中心轴扭转变形。以上对振动系统11的结构进行了具体说明。如前面所述，这种结构的振动系统11由SOI基板一体地形成。由此，振动系统11的形成变得容易。具体地说，如前面所述，在振动系统11共存有积极地变形的部位和不变形(难以变形)的部位。另一方面，SOI基板是通过按照顺序层叠第一 Si层、SiO2层、以及第二 Si层而成的基板。此处，通过利用上述3个层的所有层构成不变形的部位、且仅利用第二 Si层构成积极地变形的部位，即、使SOI基板的厚度不同，由此，能够简单地形成共存有变形部位和不变形部位的振动系统11。另外，积极地变形的部位也可以由第二Si层和SiO2层这2层构成。在上述“变形的部位”中包括第二轴部43、53、63、73、可动板侧轴部422、522、622、722、变形部 4211、4212、5211、5212、6211、6212、7211、7212、以及连接部 4214、4215、5214、5215、6214、6215、7214、7215。在上述“不变形的部位”中包括可动板2、支承部3、驱动板41、51、61、71、驱动板侧轴部 423、523、623、723、以及非变形部 4213、5213、6213、7213。以下，根据图6和图7对振动系统11的制造方法的一例进行简单说明。另外，图6和图7分别是与沿着图3中的A — A线的剖视图对应的剖视图。并且，振动系统11的制造方法并不限定于此。首先，如图6 (a)所示，准备按照第一 Si层510、SiO2层520、第二 Si层530的顺序从上侧层置而成的SOI基板(娃基板)500。接着，如图6 (b)所示，在SOI基板500的两面形成SiO2膜Ml、M2。接着，如图6(c)所示，通过对SiO2膜M2进行蚀刻而形成可动板2、支承部3、以及连结部4、5、6、7的俯视形状的图案，同时，通过对SiO2膜Ml进行蚀刻而形成与可动板2、支承部3、驱动板41、51、61、71、驱动板侧轴部423、523、623、723、以及非变形部4213、5213、6213、7213对应的形状的图案。接着，如图7 (a)所示，经由SiO2膜Ml对SOI基板500进行蚀刻。此时，作为SOI基板500的中间层的SiO2层520作为上述蚀刻的停止层发挥功能。在该蚀刻结束之后，此次经由SiO2膜M2对SOI基板500进行蚀刻。此时，作为SOI基板500的中间层的SiO2层520作为上述蚀刻的停止层发挥功能。另外，作为蚀刻方法，并无特殊限定，例如能够使用等离子蚀刻、反应离子蚀刻、电子束蚀刻、光辅助蚀刻等物理蚀刻方法、湿蚀刻等化学蚀刻方法中的I种方法，或者组合使用2种以上的方法。另外，在以下的各工序中的蚀刻中也能够使用同样的方法。
接着，如图7 (b)所示,通过利用BFH (Buffered Hydrogen Fluoride :缓冲氢氟 酸)等将SiO2膜Ml、M2以及SiO2层520的露出的部分蚀刻除去而加工出可动板2、支承部3、以及连结部4、5、6、7的外形形状。
进一步，如图7 (C)所示，在可动板2的上表面21形成金属膜，从而形成光反射部 22。作为金属膜(光反射部22)的形成方法，能够举出真空蒸镀、溅射(低温溅射)、离子镀等 干镀法、电解电镀、非电解电镀等湿镀法、喷镀法、金属箔的接合等。
能够以这种方式得到振动系统11。
[基座12]
如图4所示，基座12具有平板状的基部121和沿基部121的边缘部设置的框部 122，且形成为箱状(斗状)。这种基座12利用框部122与振动系统11的支承部3的下表面 接合。由此，利用基座12支承振动系统11。这种基座12例如以玻璃或硅作为主材料构成。 另外，作为基座12与支承部3的接合方法，并无特殊限定，例如可以使用粘接剂进行接合， 也可以使用阳极接合等各种接合方法。
[变位构件8]
如图3所示，变位构件8具有第一变位构件81，该第一变位构件81具有永磁铁811、线圈812、以及电源813 ;第二变位构件82，该第二变位构件82具有永磁铁821、线圈 822、以及电源823 ;第三变位构件83，该第三变位构件83具有永磁铁831、线圈832、以及电 源833 ;以及第四变位构件84，该第四变位构件84具有永磁铁841、线圈842、以及电源843。
进而，第一变位构件81与连结部4对应地设置，第二变位构件82与连结部5对应 地设置，第三变位构件83与连结部6对应的设置，第四变位构件84与连结部7对应地设置。
根据这种结构，变位构件8的结构变得简单。并且，通过将变位构件8形成为电磁 驱动，能够产生比较大的力，能够使可动板2更可靠地转动。并且，由于在各连结部4、5、6、 7均设置有I个变位构件，因此能够使各连结部4、5、6、7独立地变形。因此，如后所述，能够 使可动板2以各种各样的形式变位。
以下，对第一变位构件81、第二变位构件82、第三变位构件83、以及第四变位构件 84进行说明，但是，由于上述变位构件分别为同样的结构，因此，以下，以第一变位构件81 作为代表进行说明，省略对第二变位构件82、第三变位构件83、以及第四变位构件84的说 明。另外，第二变位构件82和第四变位构件84在可动板2的俯视图中配置成相对于第一 变位构件81旋转90度的状态。因此，对于第二变位构件82和第四变位构件84，能够将下 述的第一变位构件81的说明中的“Y轴方向”改成“X轴方向”、将“X轴方向”改成“Y轴方 向”进行说明。
如图8所示，永磁铁811形成为棒状，且沿长度方向被磁化。即，永磁铁811的长 度方向的一端侧为S极、另一端侧为N极。这种永磁铁811插通在形成于驱动板41的贯通 孔411，且在长度方向的大致中央被固定于驱动板41。进而，永磁铁811在驱动板41的上 方和下方突出相同的长度，且S极和N极隔着驱动板41 (转动中心轴Y2)对置。由此，如后 所述，能够使可动板2稳定地变位。
并且，永磁铁811以长度方向与驱动板41的面方向正交的方式设置。并且，永磁 铁811以中心轴与转动中心轴Y2交叉的方式设置。
作为这种永磁铁811，并无特殊限定，例如能够适当地使用钕磁铁、铁氧体磁铁、钐钴磁铁、招铁镍钴磁铁、粘结磁铁(bond magnet)等对硬磁体进行磁化而成的磁铁。另外，在本实施方式中，永磁铁811形成为棒状，但是，作为永磁铁的形状，并无特殊限定，例如也可以形成为板状。在该情况下，只要使永磁铁811在面方向磁化，并以面方向与X轴方向正交的方式固定于驱动板41即可。由此，能够缩短永磁铁811的X轴方向长度，因此能够抑制伴随着驱动板41的转动产生的惯性矩。线圈812产生作用于永磁铁811的磁场。这种线圈812在振动系统11的外侧附近以在X轴方向与永磁铁811对置的方式配置。并且，线圈812以能够产生X轴方向的磁场的方式设置，即以能够产生线圈812的永磁铁811侧为N极且相反侧为S极的状态和线圈812的永磁铁811侧为S极且相反侧为N极的状态的方式设置。本实施方式的光扫描仪I在振动系统11的外侧具有与基座12固定设置的线圈固定部85。线圈812卷绕于该线圈固定部85所具有的沿X轴方向延伸的突出部851。通过形成为这种结构，能够使线圈812相对于振动系统11固定，并且，能够简单地产生如前面所述的磁场。并且，通过利用铁等软磁体构成突出部851，能够将突出部851用作线圈812的磁芯，能够更高效地产生如前面所述的磁场。电源813与线圈812电连接。进而，通过从电源813对线圈812施加期望的电压，能够从线圈812产生如前面所述的磁场。在本实施方式中，电源813能够选择施加交变电压和直流电压。并且，当施加交变电压时，能够变更交变电压的强度、频率，进一步，能够重叠偏置电压(直流电压)。以上对光扫描仪I的结构进行了说明。接着，对光扫描仪I的动作进行说明。在如上所述的结构的光扫描仪I中，至少能够选择使可动板2转动的图案、使可动板2振动的图案、以及使可动板2在预定位置静止的图案。这样，如后所述，光扫描仪I能够利用各种图案进行驱动是通过使各连结部4、5、6、7的第一轴部42、52、62、72弯折变形而得到的效果。以下，依次对上述3个图案进行说明。另外，以下，为了说明的方便，以永磁铁811、821、831、841都以N极位于上侧的方式配置的结构作为代表进行说明。[转动]〈绕Y轴的转动〉根据图9对可动板2的绕Y轴的转动进行说明。另外，图9是与沿着图3中的A —A线的剖视图对应的剖视图。首先，以第一状态和第二状态交替地周期性地转换的方式从电源813、833对线圈812、832施加交变电压，在第一状态下，线圈812的永磁铁811侧为N极、线圈832的永磁铁831侧为S极，在第二状态下，线圈812的永磁铁811侧为S极、线圈832的永磁铁8311侧为N极。优选从电源813、833对线圈812、832施加的交变电压相互为相同的波形(强度和频率相同)。在图9 (a)所示的第一状态下，永磁铁811的S极被向线圈812吸引、同时N极远离线圈812，因此，一对第二轴部43扭转变形，并且，驱动板41以上表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴Y2倾斜。与此同时，永磁铁831的N极被向线圈832吸引、同时S极远离线圈832，因此，一对第二轴部63扭转变形，并且，驱动板61以下表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴Y3倾斜。即、驱动板41、61都朝图9 (a)中的顺时针方向倾斜。
在该驱动板41、61倾斜的同时，驱动板侧轴部423以位于可动板2侧的端部朝向 下侧的方式倾斜，驱动板侧轴部623以位于可动板2侧的端部朝向上侧的方式倾斜。由此， 成为驱动板侧轴部423、623的位于可动板2侧的端部彼此在Z轴方向偏移的状态。
进而，通过驱动板侧轴部423、623的位于可动板2侧的端部彼此在Z轴方向偏移， 一边使扭转变形部4211、4212、6211、6212绕其中心轴扭转变形并使各连接部4214、4215、 6214,6215弯曲变形，一边使可动板侧轴部422、622以及可动板2 —体地朝图9 (a)中的逆 时针方向倾斜。
这样，在第一状态下，连结部4的第一轴部42在位于其中途的应力缓和部421以 呈朝下侧凸出的V字状的方式弯折变形(第一变形)，同时，连结部6的第一轴部62在位于 其中途的节部621以呈朝上侧凸出的V字状的方式弯折变形(第二变形)，由此，可动板2以 转动中心轴Yl为中心朝图9 Ca)中的逆时针方向倾斜。
另一方面，在图9 (b)所示的第二状态下，会产生与前面所述的第一状态相反的变 形。即，在第二状态下，连结部4的第一轴部42在应力缓和部421以呈朝上侧凸出的V字 状的方式弯折变形(第二变形)，同时，连结部6的第一轴部62在应力缓和部621以呈朝下 侧凸出的V字状的方式弯折变形(第一变形)，由此，可动板2以转动中心轴Yl为中心朝图 9 (b)中的逆时针方向倾斜。
通过交替地周期性地切换上述的第一状态和第二状态，能够使可动板2绕转动中 心轴Yl转动。另外，通过连结部5、7所具有的可动板侧轴部522、722的绕其中心轴的扭转 变形，允许可动板2的绕转动中心轴Yl的转动。
另外，作为对线圈812、832施加的交变电压的频率，并无特殊限定，可以与由可动 板2和连结部4、5、6、7构成的振动系统的共振频率相等也可以不同，优选与上述共振频率 不同。即，优选以非共振方式驱动光扫描仪I。由此，能够实现光扫描仪I的更稳定的驱动。
〈绕X轴的转动〉
接着，根据图10对可动板2的绕X轴的转动进行说明。另外，图10是与沿着图3 中的B — B线的剖视图对应的剖视图。
首先，以第一状态和第二状态交替地周期性地转换的方式从电源823、843对线圈822、842施加交变电压，在第一状态下，线圈822的永磁铁821侧为N极、线圈842的永磁铁 841侧为S极，在第二状态下，线圈822的永磁铁821侧为S极、线圈842的永磁铁841侧 为N极。优选从电源823、843对线圈822、842施加的交变电压相互为相同的波形(强度和 频率相同)。
与上述的可动板2的绕转动中心轴Yl的转动同样，在图10 (a)所示的状态下，连 结部5的第一轴部52在位于其中途的应力缓和部521以呈朝下侧凸出的V字状的方式弯 折变形(第一变形)，同时，连结部7的第一轴部72在位于其中途的应力缓和部721以呈朝 上侧凸出的V字状的方式弯折变形(第二变形)，由此，可动板2以转动中心轴Xl为中心朝 图10 Ca)中的逆时针方向倾斜。
另一方面，图10 (b)所示的第二状态下，产生与上述的第一状态相反的变形。SP， 在第二状态下，连结部5的第一轴部51在应力缓和部521以呈朝上侧凸出的V字状的方式 弯折变形(第二变形)，同时，连结部7的第一轴部72在应力缓和部721以呈朝下侧凸出的V字状的方式弯折变形(第一变形)，由此，可动板2以转动中心轴Xl为中心朝图10 (b)中的逆时针方向倾斜。通过交替地周期性地切换上述的第一状态和第二状态，能够使可动板2绕转动中心轴Xl转动。另外，通过连结部4、6所具有的可动板侧轴部422、622的绕其中心轴的扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴Xl的转动。另外，作为对线圈822、842施加的交变电压的频率，并无特殊限定，可以与由可动板2和连结部4、5、6、7构成的振动系统的共振频率相等也可以不同，优选与上述共振频率不同。即，优选以非共振方式驱动光扫描仪I。由此，能够实现光扫描仪I的更稳定的驱动。<绕X轴和Y轴的各轴的转动>通过同时且独立地进行如前面所述的绕X轴的转动和绕Y轴的转动，能够使可动板2绕转动中心轴Yl和转动中心轴Xl的各轴二维地转动。如前面所述，通过可动板侧轴部522、722绕其中心轴扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴Yl的转动，通过可动板侧轴部422、622绕其中心轴扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴Xl的转动。在绕X轴和Y轴的各轴的转动中，作为对线圈812、822、832、842施加的交变电压的频率，并无特殊限定，可以与由可动板2和连结部4、5、6、7构成的振动系统的共振频率相等也可以不同，优选与上述共振频率不同。即，优选以非共振方式驱动光扫描仪I。由此，能够实现光扫描仪I的更稳定的驱动。并且，为了使可动板2绕转动中心轴Yl转动而对线圈812、832施加的交变电压的频率与为了使可动板2绕转动中心轴Xl转动而对线圈822、842施加的交变电压的频率可以相等也可以不同。例如，在想要使可动板2绕转动中心轴Xl比绕转动中心轴Yl更快地转动的情况下，可以将对线圈812、832施加的交变电压的频率设定的比对线圈822、842施加的交变电压的频率高。并且，对线圈812、832施加的交变电压的强度和对线圈822、842施加的交变电压的强度可以相等也可以不同。例如，在想要使可动板2绕转动中心轴Xl比绕转动中心轴Yl更大幅度地转动的情况下，可以使对线圈812、832施加的交变电压的强度比对线圈822、842施加的交变电压的强度强。上面说明了对线圈812、822、832、842施加交变电压的驱动方法，但是，也可以利用下面的驱动方法使可动板2转动。即，可以对从电源813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加的交变电压重叠(+ )或者(一)的偏置电压(直流电压)。换言之，可以使永磁铁811、821、831、841的N极被向线圈812、822、832、842吸引的强度(以下仅称为“N极吸引强度，，)和永磁铁811、821、831、841的S极被向线圈812、822、832、842吸引的强度(以下仅称为“S极吸引强度”)不同。以下进行具体说明，将前面所述的N极吸引强度和S极吸引强度相等的状态称为“通常状态”。在线圈812、822、832、842的S极吸引强度比N极吸引强度大的情况下，与通常状态相比较，驱动板41、51、61、71的转动的上死点和下死点(转动方向转换的点)分别朝上侧移动。结果,如图11所示,可动板2的转动中心轴Yl比通常状态朝上侧移动。相反,在线圈812、822、832、842的S极吸引强度比N极吸引强度弱的情况下，与通常状态相比较，驱动板41、51、61、71的转动的上死点和下死点分别朝下侧移动。结果，可动板2的转动中心轴Yl比通常状态朝下侧移动。
这样，通过对从电源813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加的交变电压 重叠偏置电压，能够使可动板2的转动中心轴X1、Y1在Z轴方向偏移。由此，例如在图像形 成装置100中，即便在装配该图像形成装置100之后也能够调整从光源单元200射出的激 光LL距离可动板2的光路长度。即，当装配图像形成装置100时，虽然精密地进行了光源 单元200与可动板2的定位，但是，即便是在假设光源单元200和可动板2的位置相对于设 定值偏移的情况下，也能够在装配后对光源单元200和可动板2的位置进行补正。
[振动]
首先，以第一状态和第二状态交替地周期性地转换的方式从电源813、823、833、 843对线圈812、822、832、842施加交变电压，在第一状态下，线圈812、822、832、842的永磁 铁811、821、831、841侧分别为N极，在第二状态下，线圈812、822、832、842的永磁铁811、821、831、841侧分别为S极。优选从电源813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加 的交变电压相互为相同的波形。
在图12 (a)所示的第一状态下，与前面所述的转动的情况同样，驱动板41、51、61、 71分别以上表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴Y2、X2、Y3、X3倾斜。伴随着驱动板 41、51、61、71的这种倾斜，驱动板侧轴部423、523、623、723分别以可动板2侧的端部朝向下 侧的位置的方式倾斜。由此，第一轴部42、52、62、72在应力缓和部421、521、621、721弯折， 可动板侧轴部422、522、622、722和可动板2 —体地且在将可动板2的姿态(即面方向)保持 为一定的姿态的状态下朝下侧移动。
另一方面，在图12(b)所示的第二状态下，驱动板41、51、61、71分别以下表面朝向 可动板2侧的方式绕转动中心轴Y2、X2、Y3、X3倾斜。伴随着驱动板41、51、61、71的这种倾 斜，驱动板侧轴部423、523、623、723分别以可动板2侧的端部朝向上侧的方式倾斜。由此， 第一轴部42、52、62、72在应力缓和部421、521、621、721弯折，可动板侧轴部422、522、622、 722和可动板2 —体地且在将可动板2的姿态保持为一定的姿态的状态下朝上侧移动。
通过交替地转换这种第一状态和第二状态，能够使可动板2在保持其姿态的同 时、即保持光反射部22的表面与X — Y平面平行的同时在Z轴方向振动。
另外，作为对线圈812、822、832、842施加的交变电压的频率并无特殊限定，可以 与由可动板2和连结部4、5、6、7构成的振动系统的共振频率相等也可以不同，优选与上述 共振频率相等。即，优选以共振方式驱动光扫描仪I。由此，能够实现光扫描仪I的更稳定 的驱动。
即便是这种振动图案，与前面所述的转动图案同样，也能够通过对施加于线圈812、822、832、842的交变电压重叠偏置电压而使其从自然状态在Z轴方向移动而使可动板 2振动。
[静止]
例如，以形成线圈812、822、832、842的永磁铁811、821、831、841侧分别为N极的 状态的方式从电源813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加直流电压。优选从813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加的直流电压相互为相同的强度。当对线圈812、822、832、842施加这种电压时，可动板2在如图12(a)所示的状态静止。
相反，当以形成线圈812、822、832、842的永磁铁811、821、831、841侧分别为S极的状态的方式从电源813、823、833、843对线圈812、822、832、842施加直流电压时，可动板2在如图12 (b)所示的状态静止。这样，能够将可动板2维持在与自然状态不同的位置。根据这种驱动，例如能够使由光反射部22反射的激光LL的光路相对于自然状态时偏移，因此例如当将光扫描仪I作为光开关利用时特别有效。并且，例如在图像形成装置100中，在由于从光源单元200射出异常的激光LL等的原因而不得不停止朝装置外部射出激光LL的情况下，通过使可动板2退避至与自然状态不同的位置(不与激光LL的光路交叉的位置)，能够防止由光反射部22引起的激光LL的反射。由此，能够防止朝装置外部射出激光LL。并且，也可以通过使可动板2变位来变更由光反射部22反射的激光LL的光路，由此来防止朝装置外部射出激光LL。由此，可以不另外组装用于解决这种问题的安全机构，图像形成装置100的制造工序简单化，并且能够削减制造成本。通过应用这种可动板2的静止驱动，并使对线圈812、822、832、842施加的直流电压的强度相互不同，能够以相对于自然状态倾斜的状态维持可动板2。并且，通过使对线圈812、822、832、842施加的直流电压的强度分别独立且随时间推移而变化，能够使可动板2连续地或者阶段性地不规则地变位。这种驱动方法在前面所述的通过矢量扫描来扫描激光LL时是有效的。以上对光扫描仪I的驱动进行了详细说明。在这种光扫描仪I中，能够以相同的机构进行可动板2的绕转动中心轴Yl的转动和绕转动中心轴Xl的转动。并且，在光扫描仪I中，能够独立地进行可动板2的绕转动中心轴Yl的转动和绕转动中心轴Xl的转动。即、在光扫描仪I中，绕转动中心轴Yl的转动不会受绕转动中心轴Xl的转动的影响，相反，绕转动中心轴Xl的转动也不会受绕转动中心轴Yl的转动的影响。因此，根据光扫描仪1，能够使可动板2绕转动中心轴Yl和转动中心轴Xl的各轴稳定地转动。并且，如前面所述，在光扫描仪I中，通过可动板侧轴部522、722绕其中心轴扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴Yl的转动，通过可动板侧轴部422、622绕其中心轴扭转变形，允许可动板2的绕转动中心轴Xl的转动。这样，由于各连结部4、5、6、7具有能够绕中心轴扭转变形的可动板侧轴部422、522、622、722，因此能够使可动板2绕转动中心轴YUXl的各轴顺畅地转动。进一步，在光扫描仪I中，由于可动板侧轴部422、522、622、722直接与可动板2连结，因此能够更顺畅地使可动板2绕转动中心轴Y1、X1的各轴转动、或者朝Z轴方向振动。并且，在光扫描仪I中，在连结部4中，如前面所述，在扭转变形的可动板侧轴部422和不想使其变形的驱动板侧轴部423之间设置有应力缓和部421。因此，由上述的扭转变形而产生的应力通过应力缓和部421的变形部4211、4212或连接部4214、4215变形而被吸收/缓和，不会传递到驱动板侧轴部423。即，通过设置应力缓和部421，能够可靠地防止在可动板2的转动中驱动板侧轴部423绕其中心轴扭转变形。该情况对于连结部4以外的其他的连接部5、6、7也同样。因此，能够使可动板2绕转动中心轴Yl、Xl的各轴顺畅地转动。进一步，能够有效地防止各驱动板侧轴部423、523、623、723的破坏。即，从技术上可以清楚，在棒状的部件中，从产生绕中心轴的扭转变形的状态施加Z轴方向的应力时的 破坏强度比从自然状态施加Z轴方向的应力时的破坏强度低。因此，如上所述，通过设置应 力缓和部421、521、621、721而使驱动板侧轴部423、523、623、723不产生扭转变形，能够有 效地防止驱动板侧轴部423、523、623、723的破坏。
并且，在连结部4中，由于驱动板侧轴部423实质上并不变形，因此能够高效地将 通过驱动板41的转动产生的应力用于可动板2的转动。该情况对于连结部5、6、7也同样。 因此，能够使可动板2以大的转动角度且节省电力地转动、或者使可动板2以大的振幅在Z 轴方向振动。
并且，在连结部4中，由于应力缓和部421具有非变形部4213，因此，能够使第一轴 部42以该非变形部4213为轴弯折。该情况对于连结部5、6、7也同样。因此，能够使各连 结部4、5、6、7的第一轴部42、52、62、72简单且可靠地弯折，能够使可动板2稳定地转动、振动。
并且，在连结部4中，应力缓和部421具有与可动板侧轴部422连结的变形部4211 和与驱动板侧轴部423连结的变形部4212，当第一轴部42弯折时，变形部4211、4212绕其 中心轴扭转变形，由此，能够有效地缓和由于弯折而产生的应力。该情况对于连结部5、6、7 也同样。因此，能够可靠地使各连结部4、5、6、7的第一轴部42、52、62、72弯折，并且，能够 防止第一轴部42、52、62、72的破坏。即，能够稳定地驱动光扫描仪I。
并且，在连结部4中，由于应力缓和部421具有一对变形部4211、4212，因此能够发 挥如下的效果。即，例如，通过变形部4211、4212变形，能够允许由通过通电从线圈812产 生的热或照射在光反射部22的激光LL产生的热等引起的可动板侧轴部422和驱动板侧轴 部423的热膨胀。该情况对于连结部5、6、7也同样。因此，光扫描仪I能够防止或者抑制 应力残留于振动系统11，能够不受温度影响地发挥期望的振动特性。
此处，返回对光扫描仪I的结构的说明，对于连结部4、6，当将转动中心轴Yl与非 变形部4213的中心轴Y4之间的间隔距离以及转动中心轴Yl与非变形部6213的中心轴Y5 之间的间隔距离分别设为L1、将中心轴Y4与转动中心轴Y2之间的间隔距离以及中心轴Y5 与转动中心轴Y3之间的间隔距离设为L2时，LI与L2的大小关系并无特殊限定，可以满足 L1>L2的关系，也可以满足L1=L2的关系，也可以满足L1〈L2的关系。
在L1=L2的情况下，当使可动板2绕转动中心轴Yl转动时、即第一轴部42弯折时 的可动板侧轴部422相对于X轴的倾斜和驱动板侧轴部423相对于X轴的倾斜相等。因此， 在该情况下，在应力缓和部421的一对变形部4211、4212施加有大致相等的扭矩。并且，驱 动板41的转动角和可动板2的转动角大致相等。该情况对于连结部6的第一轴部62也同 样。因此，能够更高效地使第一轴部42、62弯折。并且，由于容易进行可动板2的转动角的 控制，因此能够使可动板2绕转动中心轴Yl稳定地转动等。
并且，如前面所述，在L1=L2的情况下，在变形部4211、4212施加有大致相等的扭 矩，因此，优选构成为变形部4211、4212相互显示相同的形状、且显示相同的物理特性(扭 转变形的容易度)。由此，能够防止在变形部4211、4212中的某一方产生过度的扭转、或者与 此相反某一方的扭转不足，能够使第一轴部42顺畅地弯折。该情况对于连结部6也同样。
在L1>L2的情况下，与L1=L2的情况相比较，可动板2的转动角变小，但是能够更 高精度地对可动板2的姿态进行控制。即，在该情况下，第一轴部42弯折时的可动板侧轴部422相对于X轴的倾斜比驱动板侧轴部423相对于X轴的倾斜小。该情况对于连结部6也同样。因此，可动板2的转动角比驱动板41、61的转动角小。由此，能够高精度地对可动板2的转动角或静止时的倾斜进行控制。并且，如前面所述，在L1>L2的情况下，第一轴部42弯折时的驱动板侧轴部423相对于X轴的倾斜比可动板侧轴部422相对于X轴的倾斜大，因此施加于变形部4212的扭矩比施加于变形部4211的扭矩大。因此，在该情况下，优选构成为变形部4212比变形部4211容易扭转变形。具体地说，例如优选使变形部4212的宽度比扭转变形部4211的宽度细。这是因为，如前面所述，连结部4通过在SOI基板500的厚度方向对SOI基板500进行蚀刻而形成，因此能够简单且无需增加工序地对与SOI基板500的面方向一致的宽度的控制。该情况对于连结部6也同样。在L1〈L2的情况下，与L1=L2的情况相比较，能够增大可动板2的转动角。S卩、在该情况下，第一轴部42弯折时的可动板侧轴部422相对于X轴的倾斜比驱动板侧轴部423相对于X轴的倾斜大。该情况对于连结部6也同样。因此，能够使可动板2的转动角比驱动板41、61的转动角大。由此,能够增大可动板2的转动角或静止时的倾斜。并且，在L1〈L2的情况下，与L1>L2的情况相反，优选构成为变形部4211比变形部4212容易扭转变形。该情况对于连结部6也同样。以上对连结部4、6进行了说明，但是，对于连结部5、7也可以说是同样的情况。即，当设转动中心轴Xl与非变形部5213的中心轴Xl之间的间隔距离以及转动中心轴Xl与非变形部7213的中心轴X5之间的间隔距离分别为L3、设中心轴X4与转动中心轴X2之间的间隔距离和中心轴X5与转动中心轴X3之间的间隔距离分别为L4时，L3和L4的大小关系并无特殊限定，可以满足L3>L4的关系`，也可以满足L3=L4的关系，也可以满足L3〈L4的关系。另外，L3>L4、L3=L4、以及L3〈L4的情况下的效果分别与上述的L1>L2、L1=L2、以及L1〈L2的情况下的效果同样，因此省略说明。L1、L2的关系和L3、L4的关系可以一致，也可以不一致。S卩，可以是L1=L2且L3=L4、L1>L2 且 L3>L4、L1<L2 且 L3〈L4，也可以是 L1=L2 且 L3>L4、L1>L2 且 L3=L4、L1>L2且L3〈L4等。并且，LI和L3以及L2和L4也可以分别相等或者不同。这样，在光扫描仪I中，通过使L1、L2、L3、L4的长度或关系变化，能够发挥不同的效果。因此，光扫描仪I具有优异的便利性。另外，L1、L2、L3、L4的长度或关系可以根据光扫描仪I的使用用途(所谋求的特性)适当设定。(驱动构件300) 其次，对驱动构件300进行说明。如图13所示，在图像形成装置100中，光源单元200和光扫描仪I由支承部400支承。该支承部400具有轴部410，该轴部410经由轴承420安装于安装部430。安装部430例如固定设置于图像形成装置100的框体(未图示)。进而，驱动构件300使光源单元200和光扫描仪I与支承部400 —起绕预定的轴线J转动。通过以这种方式使光源单元200和光扫描仪I 一体地转动，能够在确保光源单元200和可动板2 (转动中心轴X1、Yl的交点)的相对位置关系的状态下、即无需进行光源单元200和光扫描仪I的对准调整的状态下变更激光LL的扫描区域(显示图像的区域)。另外，预定的轴线J例如能够以与光扫描仪I的转动中心轴X1、Yl的任一方正交的方式设置，也能够以不与任一方正交且也不与任一方平行的方式设置。
驱动构件310由第一齿轮310、第二齿轮320、以及电动机330构成，第一齿轮310 设置于前面所述的支承部400，第二齿轮320与该第一齿轮310啮合，电动机330使第二齿轮320旋转。第一齿轮310具有沿着轴部410的周方向形成的多个齿。另一方面，第二齿轮320安装于电动机330的轴部331，且具有沿着轴部331的周方向形成的多个齿，该齿与第一齿轮310哨合。
电动机330安装于安装部430，使第二齿轮320旋转。更具体地说明，如图14 (a) 所示，电动机330通过使第二齿轮320朝逆时针方向旋转预定角度而使支承部400绕轴部 410朝顺时针方向旋转,从而成为第一状态。另一方面,如图14 (b)所不，电动机330通过使第二齿轮320朝顺时针方向旋转预定角度而使支承部400绕轴部410朝逆时针方向旋转，从而成为第二状态。
具备这种电动机330的驱动构件300能够使图像形成装置比较简单且廉价。
以上对图像形成装置100的结构进行了说明。在这种图像形成装置100中，由于设置有驱动构件300，因此，如以下详细叙述的那样，能够将光扫描仪I设置在投影屏S的附近，并且能够增大可扫描(照射)激光LL的区域(光扫描区域)。
S卩，如图15所示，例如在以不对驱动构件300进行驱动的方式固定支承部400的状态下能够利用光扫描仪I扫描激光LL的区域为SI，与此相对，能够一边对驱动构件300 进行驱动而使支承部400转动一边利用光扫描仪I扫描激光LL的区域为S2。这样，根据图像形成装置100，与以往的图像形成装置(未设置驱动构件300的图像形成装置)相比较，能够增大光扫描区域。并且，图像形成装置100能够通过适当地设定是否对驱动构件300进行驱动、在进行驱动的情况下使支承部400的转动角为多少度而使光扫描区域的大小在SI 到S2之间适当变更，在这方面便利性优异。
这种图像形成装置100例如以下述方式在投影屏S显示图像。如图15所示，当想要在投影屏S上显示“SEIKO EPSON”的文字列的情况下，图像形成装置100对驱动构件 300进行驱动而使支承部400转动，同时，与该支承部400的转动同步地从光源单元200射出期望的颜色的激光LL并利用光扫描仪I进行矢量扫描，由此在投影屏S上显示“SEIKO EPSON”的文字列。此时，光扫描仪I使可动板2绕转动中心轴X1、Y1的各轴不规则地转动， 以描绘“SEIKO EPSON”的各文字的方式、或者以描绘各文字的轮廓的方式扫描激光LL。根据这种扫描方法(矢量扫描)，能够仅对想要照射激光LL的区域扫描激光，因此能够高效地在投影屏S上显示图像。
<第二实施方式>
其次，对本发明的图像形成装置的第二实施方式进行说明。
图16是本发明所涉及的第二实施方式的图像形成装置所具有的光扫描仪的俯视图。
以下，对于第 二实施方式的图像形成装置，以与前面所述的实施方式的图像形成装置的不同点为中心进行说明，省略对同样的事项的说明。
第二实施方式的图像形成装置除了光扫描仪所具有的线圈固定部的结构不同以外都与第一实施方式的图像形成装置大致同样。另外，对与前面所述的第一实施方式同样的结构赋予同一标号。
在本实施方式的光扫描仪I中，线圈固定部85A具有以包围线圈812和永磁铁811 的方式(使与第一轴部42相应的部分缺损)形成的主体部852A。这种主体部852A使从线 圈812产生的磁力作用于永磁铁811，并防止或者抑制从线圈812产生的磁力漏出至线圈固 定部85A的外侧。即，主体部852A具有防磁性。由此，例如能够防止从线圈812产生的磁 场作用于相反侧的永磁铁821、831、841，能够稳定地驱动光扫描仪I。
主体部852A的结构只要能够发挥前面所述的效果即可，并无特殊限定，例如，可 以由防磁性的材料构成，也可以在表面涂敷防磁性的涂料。
另外，用于固定线圈822、832、842的未图示的线圈固定部也是与线圈固定部85A 同样的结构。
根据这种第二实施方式,能够发挥与第一实施方式同样的效果。
<第三实施方式>
其次，对本发明的图像形成装置的第三实施方式进行说明。
图17是本发明所涉及的第三实施方式的图像形成装置所具有的光扫描仪的平面 图。
以下，对于第三实施方式的图像形成装置，以与前面所述的图像形成装置的不同 点为中心进行说明，省略对同样的事项的说明。
第三实施方式的图像形成装置除了光扫描仪所具有的变位构件的结构不同以外 都与前面所述的图像形成装置大致同样。另外，在本实施方式中，变位构件所具有的第一变 位构件、第二变位构件、第三变位构件、以及第四变位构件的结构相互为同样的结构，因此 以第一变位构件为代表进行说明，省略对第二变位构件、第三变位构件、以及第四变位构件 的说明。并且，对与前面所述的第一实施方式同样的结构赋予同一标号。
如图17所示，第一变位构件81B具有永磁铁811B、线圈812B、以及电源813B。永 磁铁81IB呈平板状，且固定于驱动板41的下表面(位于基座12侧的面)。并且，永磁铁81IB 在固定于驱动板41的状态下以S极和N极相对于转动中心轴Y2对置的方式设置。
线圈812B设置在永磁铁811B的下侧。该线圈812B能够通过从电源813B施加电 压而产生X轴方向的磁场。进而,利用从线圈812B产生的磁场的作用吸引永磁铁811B的 S极和N极中的一方，并使另一方远离线圈812B，由此能够使驱动板41绕转动中心轴Y2倾 斜。
根据这种第三实施方式,能够发挥与第一实施方式同样的效果。
〈第四实施方式〉
其次，对本发明的图像形成装置的第四实施方式进行说明。
图18是本发明所涉及的第四实施方式的图像形成装置所具有的光扫描仪的立体 图。
以下，对于第四实施方式的图像形成装置，以与前面所述的实施方式的图像形成 装置的不同点为中心进行说明，省略对同样的事项的说明。
第四实施方式的图像形成装置除了光扫描仪所具有的各连结部的应力缓和部的 非变形部的结构不同以外都与前面所述的图像形成装置同样。另外，在本实施方式中，由于 各连结部4、5、6、7中的非变形部的结构相互为同样的结构，因此以连结部4为代表进行说 明，省略对连结部5、6、7的说明。并且，对与前面所述的第一实施方式同样的结构赋予同一标号。如图18所示，在连结部4C的应力缓和部421C设置有一对非变形部4213C。一对非变形部4213C相互在Y轴方向离开，且位于与Y轴平行的I条轴线上。在这种结构的连结部4C中，也能够使第一轴部42C以连结一对非变形部4213C的线段为轴局部地弯折。根据这种第四实施方式，也能够发挥与第一实施方式同样的效果。<第五实施方式>其次，对本发明的图像形成装置的第五实施方式进行说明。图19是本发明所涉及的第五实施方式的图像形成装置所具有的光扫描仪的剖视图。以下，对于第五实施方式的图像形成装置，以与前面所述的实施方式的图像形成装置的不同点为中心进行说明，省略对同样的事项的说明。第五实施方式的图像形成装置除了光扫描仪所具有的振动系统的朝向和可动板的结构不同以外都与前面所述的图像形成装置大致同样。另外，对与前面所述的第一实施方式同样的结构赋予同一标号。如图19所示，在本实施方式中，振动系统11的朝向与前面所述的实施方式相反。即，以在前面所述的实施方式中位于基座12侧的面在本实施方式中位于基座12的相反侧、在前面的实施方式中位于基座12的相反侧的面在本实施方式中位于基座12侧的方式设置。并且，在本实施方式中，可动板2D具有与各连结部4、5、6、7连结的基部23D和经由柱部24D固定于基部23D的光反射板25D。在这种可动板2D中，光反射部22设置在光反射板25D的上表面。通过将可动板2形成为这种结构，能够防止光扫描仪I的大型化，并且能够增大光反射部22的面积。由此，能够利用光反射部22反射光束更粗的激光LL。并且，能够使通过光反射部22处的光反射产生的热难以传递到各连结部54、5、6、7，能够抑制连结部4、5、6、7的热膨胀。从防止朝向各连结部4、5、6、7的热传递的观点出发，可以利用具有优异的绝热性的材料构成柱部24D。另外，作为光反射板25D的形状和大小，只要不阻碍光扫描仪I的驱动即可，可以是任意的形状和大小，例如，优选为在X轴方向收纳在一对非变形部4213、6213之间、在Y轴方向收纳在一对非变形部5213、7213之间的形状和大小。由此，当各连结部4、5、6、7的第一轴部42、52、62、72弯折时，能够可靠地防止驱动板侧轴部423、523、623、723中的某一个与光反射板2 接触。具体地说，作为光反射板25D的俯视形状，例如优选为直径比一对变形部4213、6213之间的间隔距离小的圆形。并且，优选为X轴方向的长度比一对非变形部4213、6213之间的间隔距离短、且Y轴方向的长度比一对非变形部5213、7213之间的间隔距离短的矩形。根据这种第五实施方式,能够发挥与第一实施方式同样的效果。<第六实施方式>其次，对本发明的图像形成装置的第六实施方式进行说明。图20是示出本发明的第六实施方式所涉及的图像形成装置所具有的光扫描仪的平面图，图21是图20所示的光扫描仪所具有的连结部的放大立体图。
以下，对于第六实施方式的图像形成装置，以与前面所述的实施方式的图像形成 装置的不同点为中心进行说明，省略对同样的事项的说明。
第六实施方式的图像形成装置除了光扫描仪所具有的应力缓和部的结构不同以 外都与前面所述的光扫描仪大致同样。另外，对与前面所述的第一实施方式同样的结构赋 予同一标号。
如图20所示，各连结部4、5、6、7所具有的应力缓和部421E、521E、621E、721E分别 呈以在X轴方向和Y轴方向交替延伸的方式曲折的蜿蜒(meander)构造。这些应力缓和部 421E、521E、621E、721E相互为同样的结构，因此，以下以应力缓和部421E为代表进行说明， 省略对其他的应力缓和部521E、621E、721E的说明。
如图21所示，应力缓和部421E具有第一延伸部4211E，该第一延伸部4211E与 可动板侧轴部422连接，且在X轴方向延伸；第二延伸部4212E，该第二延伸部4212E从第 一延伸部421IE的端部朝Y轴方向延伸；第三延伸部4213E，该第三延伸部4213E从第二延 伸部4212E的端部朝X轴方向延伸；第四延伸部4214E，该第四延伸部4214E从第三延伸部 4213E的端部朝Y轴方向延伸；第五延伸部4215E，该第五延伸部4215E从第四延伸部4214E 的端部朝X轴方向延伸；第六延伸部4216E，该第六延伸部4216E从第五延伸部4215E的端 部朝Y轴方向延伸；以及第七延伸部4217E，该第七延伸部4217E从第六延伸部4216E的端 部朝X轴方向延伸，并与驱动板侧轴部423连接。
在X轴方向延伸的4个延伸部4211E、4213E、4215E、以及4217E中的第一延伸部 421IE和第七延伸部4217E分别在XY俯视图中设置在转动中心轴Xl上，第三延伸部4213E 和第五延伸部4215E在XY俯视图(图15的俯视图)中相对于转动中心轴Xl相互设置在相 反侧。另外，优选第三延伸部4213E和第五延伸部4215E距离转动中心轴Xl的间隔距离相互相等。
另一方面，在Y轴方向延伸的3个延伸部4212E、4214E、4216E中的第四延伸部 4214E在XY俯视图中跨越转动中心轴Xl设置，第二延伸部4212E和第六延伸部4216E在XY 俯视图中相对于转动中心轴Xl相互设置在相反侧。另外，优选这3个延伸部4212E、4214E、 4216E在X轴方向以相等的间距排列。即，优选第二延伸部4212E与第四延伸部4214E之间 的间隔距离和第四延伸部4214E与第六延伸部4216E之间的间隔距离相等。
以上说明了的7个延伸部4211E 4217E分别能够绕其中心轴扭转变形，并且能 够弯曲变形。例如，这7个延伸部4211E 4217E分别由前面所述的第一实施方式的图6 和图7中示出的第二 SiO2基板530构成。
在这种应力缓和部421E中，通过使各延伸部421IE 4217E进行扭转变形和弯曲 变形中的至少一方的变形，能够使第一轴部42以第四延伸部4214E为轴弯折，并且，能够缓 和由可动板侧轴部422的扭转变形产生的应力。
以上对应力缓和部421E进行了说明。
在本实施方式中，应力缓和部721E、521E、621E分别形成为使应力缓和部421E朝 图20中顺时针方向旋转90°、180°、270°的结构。即，隔着可动板2对置的应力缓和部 421E、621E相对于可动板2旋转对称，隔着可动板2对置的应力缓和部521E、721E相对于可 动板2旋转对称。
另外，应力缓和部42IE形成为7条延伸部在X轴方向和Y轴方向交替延伸的结构，但是，延伸部的条数并不限定于此，例如也可以是11条或者15条。但是，优选在X轴方向延伸的多条延伸部中的相对于转动中心轴Xl位于一方侧的延伸部的数量与位于另一方侧的延伸部的数量相等。根据这种第六实施方式，也能够发挥与第一实施方式同样的效果。<第七实施方式>其次，对本发明的图像形成装置的第六实施方式进行说明。图22是示出本发明所涉及的第六实施方式的图像形成装置所具有的光扫描仪的立体图。以下，对于第六实施方式的图像形成装置，以与前面所述的实施方式的不同点为中心进行说明，省略对同样的事项的说明。第六实施方式的图像形成装置除了使光扫描仪转动的机构以外都与第一实施方式大致同样。另外，在图22中,对与前面所述的实施方式同样的结构赋予同一标号。如图22所示，在本实施方式中，仅光扫描仪I由支承部400支承。即，与前面所述的第一实施方式不同，光源单元200不由支承部400支承。该支承部400安装于电动机330的轴部331，使光扫描仪I与支承部400 —起绕预定的轴线J2转动。并且，在本实施方式中，设计成在将光扫描仪I的可动板2的转动中心轴Xl和转动中心轴Y2的交点与光源单元200之间的相对位置关系(即激光LL的光路长度)保持恒定的同时进行光扫描仪I绕轴线J2的转动。由此，无需进行光源单元200和光扫描仪I的对准调整就能够变更激光LL的扫描区域。根据这种第七实施方式，也能够发挥与第一实施方式同样的效果。以上，根据图示的实施方式对本发明的图像形成装置进行了说明，但是，本发明并不限定于此。例如，在本发明的图像形成装置中，各部分的结构能够置换成发挥同样的功能的任意的结构，并且，能够附加任意的结构。并且，在本发明的图像形成装置中，也可以适当地组合前面所述的实施方式。并前，在前面所述的实施方式中，作为光扫描仪所具有的变位构件的结构，对采用使用永磁铁和电磁线圈的电磁驱动的结构进行了说明，但是，只要能够使可动板以前面所述的方式变位即可，并不限定于此，例如，作为变位构件也可以采用静电驱动、压电驱动。并且，在前面所述的实施方式中，对光扫描仪所具有的各连结部的第一轴部具有应力缓和部的结构进行了说明，但是，并不限定于此，也可以省略应力缓和部。即，各连结部的第一轴部也可以直接连接可动板侧轴部和驱动板侧轴部。并且，在前面所述的实施方式中，对光扫描仪的驱动时各连结部的驱动板侧轴部不变形的结构进行了说明，但是，并不限定于此，也可以构成为在Z轴方向弯折变形(弯曲变形)。并且，在前面所述的实施方式中，通过使SOI基板的厚度不同而分别制作各连结部的变形的部位(第二轴部、可动板侧轴部、变形部、以及连接部)和不变形的部位(驱动板、驱动板侧轴部、以及非变形部)，但是，并不限定于此，例如，也可以通过使宽度不同来分别制作变形的部位和不变形的部位。
权利要求
1.一种图像形成装置，其特征在于， 所述图像形成装置具有 光射出部，该光射出部射出光； 光扫描仪，该光扫描仪具有用于反射从所述光射出部射出的光的光反射部，使该光反射部分别绕相互正交的第一轴和第二轴转动，从而分别绕所述第一轴和所述第二轴扫描由所述光反射部反射的所述光；以及 扫描仪转动部，该扫描仪转动部使所述第一轴和所述第二轴的交点与所述光射出部之间的相对位置关系保持恒定，并使所述光扫描仪绕预定的轴线转动， 所述光扫描仪具有 可动板，该可动板具备所述光反射部，且能够变位； 4个连结部，这4个连结部连结于所述可动板；以及 扫描仪支承部，该扫描仪支承部用于支承所述4个连结部， 在所述可动板的俯视图中，所述4个连结部在所述可动板的外周沿着周方向以90度间隔设置， 各所述连结部具有 能够转动的驱动部；以及 轴部，该轴部连结所述可动板和所述驱动部，且通过所述驱动部的转动而在所述可动板的厚度方向弯折变形， 通过使各所述轴部独立地进行所述弯折变形，所述可动板绕所述第一轴和所述第二轴的各轴转动。
2.根据权利要求1所述的图像形成装置，其特征在于， 所述光扫描仪通过依次形成线段的矢量扫描来对所述光进行扫描，所述线段是连结由所述光反射部反射的光所照射的显示面上的不同的2点之间的线段。
3.根据权利要求1所述的图像形成装置，其特征在于， 所述图像形成装置具有支承部，所述支承部在维持所述光射出部和所述光扫描仪相互的相对位置关系的状态下支承所述光射出部和所述光扫描仪， 所述扫描仪转动部构成为能够使所述光射出部和所述光扫描仪与所述支承部一起转动。
4.根据权利要求1所述的图像形成装置，其特征在于， 所述扫描仪转动部具备电动机。
5.根据权利要求1所述的图像形成装置，其特征在于， 当将在所述可动板的俯视图中正交的2轴设为X轴和Y轴时， 所述4个连结部具有隔着所述可动板在X轴方向对置的第一连结部和第二连结部；以及隔着所述可动板在Y轴方向对置的第三连结部和第四连结部， 所述第一连结部和所述第二连结部分别具有所述驱动部，该驱动部与所述可动板在X轴方向离开配置；作为所述轴部的第一轴部，该第一轴部连结所述可动板和所述驱动部、且沿X轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结所述驱动部和所述扫描仪支承部、且沿Y轴方向延伸， 所述第三连结部和所述第四连结部分别具有所述驱动部，该驱动部与所述可动板在Y轴方向离开配置；作为所述轴部的第一轴部，该第一轴部连结所述可动板和所述驱动部、 且沿Y轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结所述驱动部和所述扫描仪支承部、且沿 X轴方向延伸。
6.根据权利要求5所述的图像形成装置，其特征在于，当将与所述X轴和所述Y轴正交的轴设为Z轴时，所述4个连结部中的所述第一轴部分别能够形成为以下两种变形以形成朝Z轴方向的一方侧凸出的V字状的方式弯折的第一变形；以及以形成朝Z轴方向的另一方侧凸出的V字状的方式弯折的第二变形。
7.根据权利要求6所述的图像形成装置，其特征在于，通过交替地反复形成以下两种状态，使所述可动板绕所述Y轴转动，所述两种状态为使所述第一连结部的所述第一轴部进行所述第一变形，同时使所述第二连结部的所述第一轴部进行第二变形的状态；以及使所述第一连结部的所述第一轴部进行所述第二变形，同时使所述第二连结部的所述第一轴部进行所述第一变形的状态，通过交替地反复形成以下两种状态，使所述可动板绕所述X轴转动，所述两种状态为使所述第三连结部的所述第一轴部进行所述第一变形，同时使所述第四连结部的所述第一轴部进行所述第二变形的状态；以及使所述第三连结部的所述第一轴部进行所述第二变形，同时使所述第四连结部的所述第一轴部进行所述第一变形的状态。
8.根据权利要求5所述的图像形成装置，其特征在于，所述4个连结部的所述第一轴部分别具有应力缓和部，该应力缓和部设置在所述可动板与所述驱动部之间；可动板侧轴部，该可动板侧轴部连结所述应力缓和部与所述可动板；以及驱动部侧轴部，该驱动部侧轴部连结所述应力缓和部与所述驱动部，所述4个连结部的第一轴部在所述应力缓和部弯折。
9.根据权利要求8所述的图像形成装置，其特征在于，所述4个连结部的所述可动板侧轴部分别绕该可动板侧轴部的中心轴扭转变形。
10.根据权利要求8所述的图像形成装置，其特征在于，所述4个连结部的所述驱动部侧轴部分别并不变形。
11.根据权利要求8所述的图像形成装置，其特征在于，所述4个连结部的所述应力缓和部分别具有变形部，在所述可动板的俯视图中，该变形部沿着与可动板侧轴部和驱动部侧轴部的延伸方向正交的方向延伸，且绕中心轴扭转变形。
12.根据权利要求11所述的图像形成装置，其特征在于，所述4个连结部的所述应力缓和部分别具有一对所述变形部，所述一对变形部中的一方的所述变形部与所述可动板侧轴部连结，另一方的所述变形部与所述驱动部侧轴部连结。
13.根据权利要求12所述的图像形成装置，其特征在于，所述4个连结部的所述应力缓和部分别具有非变形部，该非变形部设置在所述一对变形部之间，沿着与所述变形部的延伸方向平行的方向延伸，且并不绕中心轴扭转变形。
14.根据权利要求8所述的图像形成装置，其特征在于， 所述4个连结部的所述应力缓和部分别具有沿着所述X轴方向和所述Y轴方向交替地延伸而曲折的部位。
15.根据权利要求14所述的图像形成装置，其特征在于， 所述4个连结部的所述应力缓和部分别具有沿着所述X轴方向延伸的多个延伸部和沿着Y轴方向延伸的多个延伸部，所述多个延伸部分别能够绕中心轴扭转变形且能够弯曲变形。
16.根据权利要求13所述的图像形成装置，其特征在于， 所述4个连结部分别由SOI基板形成，所述SOI基板通过按照顺序层叠第一 Si层、SiO2层以及第二 Si层而形成。
17.根据权利要求16所述的图像形成装置，其特征在于， 所述4个连结部的所述非变形部、驱动部侧轴部以及驱动部分别由所述第一 Si层、所述SiO2层以及所述第二 Si层构成，所述可动板侧轴部、所述变形部以及所述第二轴部分别由所述第二 Si层构成。
18.根据权利要求1所述的图像形成装置，其特征在于， 所述图像形成装置具有用于使所述驱动部转动的变位赋予部， 所述变位赋予部与所述4个连结部对应地设置有4个。
19.根据权利要求18所述的图像形成装置，其特征在于， 所述4个变位赋予部分别具有永磁铁，该永磁铁设置于对应的所述驱动部；以及线圈，该线圈产生作用于所述永磁铁的磁场。
20.根据权利要求19所述的图像形成装置，其特征在于， 在所述4个变位赋予部中，所述永磁铁以两极在所述可动板的厚度方向对置的方式设置，所述线圈以产生与所述可动板的厚度方向正交的方向的磁场的方式设置。
21.根据权利要求19所述的图像形成装置，其特征在于， 所述4个变位赋予部的所述永磁铁分别贯通所述驱动部而设置。
全文摘要
本发明提供图像形成装置，该图像形成装置具有光射出部；光扫描仪，该光扫描仪具有反射从上述光射出部射出的光的光反射部，使上述光反射部绕相互正交的2个轴转动，从而扫描由上述光反射部反射的光；以及扫描仪转动部，使上述2个轴的交点与上述光射出部之间的相对位置关系保持恒定，并使上述光扫描仪绕预定的轴线转动，上述光扫描仪具有具备上述光反射部的可动板；以及在上述可动板的外周沿着周方向以90度间隔设置的4个连结部，各上述连结部具有连结上述可动板和上述驱动部的轴部，通过使各上述轴部独立地进行弯折变形，上述可动板绕上述2个轴转动。
文档编号G02B26/10GK103064182SQ20121056838
公开日2013年4月24日 申请日期2011年2月22日 优先权日2010年2月23日
发明者沟口安志 申请人:精工爱普生株式会社