包括弹簧和悬挂在其上的光学元件的设备的制作方法

包括弹簧和悬挂在其上的光学元件的设备的制作方法
【专利摘要】本发明涉及包括弹簧和悬挂在其上的光学元件的设备，描述了一种具有致动器、光学元件和弹簧的设备，该致动器具有布置在其上的致动器侧附接区域、该光学元件具有布置在其上的镜面侧附接区域，其中，光学元件经由两个或四个弹簧连接至致动器。
【专利说明】包括弹簧和悬挂在其上的光学元件的设备

【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种包括以可倾斜的方式经由弹簧安装在致动器上的光学元件的设 备。

【背景技术】
[0002] 通常，双压电晶片致动器（bimorph actuator)包括主动和被动层，其中致动器使 用层材料不同的热或压电膨胀或收缩特征来实现致动器的偏转。
[0003] 在大多数情况下，包括双压电晶片致动器和以准静止的方式围绕轴（例如，微反 射镜（micro mirror))具有很大偏转的可倾斜的光学元件的系统需要系统的很大部件表 面，因为双压电晶片致动器的偏转以及因此的光学元件的偏转等依赖于致动器的长度。围 绕两个彼此垂直的扭转轴（torsion axe,扭力轴）偏转的光学元件需要甚至更高的空间要 求，因为设置了另外的致动器。更高的空间需求是MEMS设备的一种显著缺点。
[0004] 引用文献：Umer Izhar，Boon S. 0oi，Svetlana Tatic-Lucic，Multi-axis micromirror for optical coherence tomography,Procedia Chemistry, Vol. 1，Issuel，2009. 9,第 1147-1150 页。


【发明内容】

[0005] 具有彼此垂直的两个扭转轴的微反射镜（其以准静止的方式沿两个扭转轴操作） 的一种实施方式或者所产生的旋转运动在图2A和2b中针对热能偏转致动器而示出，并且 例如也可以被用于压电偏转致动器。
[0006] 图2A示出了包括光学元件12'的设备，光学元件12'经由四个若干次折叠的弹簧 14' a-d安装在四个彼此垂直的致动器16a_d上，并且围绕扭转轴18a和18b是可倾斜的。加 热元件52a_d布置在致动器16a_d上，加热元件52a_d被实施为局部地加热致动器16a_d， 其中局部地改变致动器层的热膨胀系数，当致动器16a_d被加热时导致致动器16a_d的偏 转并且因此导致光学元件12'的偏转。
[0007] 偏转允许光学元件12'的相对较大的倾斜角，然而致动器16a_d以相对于光学元 件12'的边缘的长度的较长方式来实施，这增加了致动器并且因此的设备的空间要求。此 夕卜，弹簧14'a-d示出很大的轴向延伸（expansion,扩展）。总之设备的空间效率很低。由 于光学兀件12'的光学有效面积的扩大伴随着致动器16a_d和弹簧14'a_d的扩大，这样的 设计不适于具有大表面的光学元件。
[0008] 图2B示出了处于偏转状态的图2A中的设备。致动器16a_d的偏转从而使光学元 件12'围绕扭转轴18a倾斜。
[0009] 该设备的结构在[1]光学相干层析成像技术中进行了描述。
[0010] 因此，将期望具有大空间效率的允许大的光学元件的倾斜并实现紧凑结构的设 备。
[0011] 因此，本发明的目的是提供一种其中元件经由弹簧安装、可在两个方向上倾斜并 且允许更高效的操作的设备。
[0012] 该目的通过独立权利要求的主题来解决。
[0013] 因此，本发明的基本思想为在以下两种光学元件中实现以上目标：光学元件经由 弹簧在两个光学侧附接区域精确地安装在致动器上并且围绕第一轴和第二轴可倾斜；以 及光学元件经由弹簧在四个光学侧附接区域处安装在致动器上并且围绕两个轴可倾斜，其 中，每个弹簧分别以90°与180°之间的角度被布置在致动器上。
[0014] 根据实施方式，光学兀件以可倾斜的方式经由布置在光学兀件与某一致动器之间 的两个弹簧悬置，其中弹簧以笔直（straight)的方式实施并包括短的轴向延伸。因此，设 备具有很大的空间效率。
[0015] 根据替代性实施方式，至少一个另外的弹簧布置在光学侧附接区域，从而使光学 元件稳定并且可存在更大的尺寸。
[0016] 根据另外的实施方式，光学元件经由以直线方式实施的四个弹簧布置在致动器 上，从而最小化由于光学元件的很大重量的引起的光学元件的倾斜。
[0017] 根据替代性实施方式，弹簧包括曲度或弯曲。
[0018] 另外的有利的实施方式是从属权利要求的主题。

【专利附图】

【附图说明】
[0019] 以下将参照附图讨论本发明的优选实施方式。
[0020] 图1为包括以可倾斜的方式安装在两个光学侧附接区域处的致动器的光学元件 的设备的顶视图；
[0021] 图2A为根据现有技术的包括以可倾斜的方式安装的光学元件的设备的顶视图；
[0022] 图2B为图2A的设备的偏转状态；
[0023] 图3为与图1的设备相似的示意性图示，其中光学元件包括相比到致动器侧附接 区域的到固定位置更大距离；
[0024] 图4为弹簧的示意性截面侧视图；
[0025] 图5为包括分别包括两个致动器元件的致动器的设备的示意性顶视图；
[0026] 图6为其中致动器彼此成一个角度布置的设备的顶视图；
[0027] 图7A为具有功能层和处于非偏转状态的测量元件的致动器的示意性侧截面图；
[0028] 图7B为处于偏转状态的图7A的致动器的示意性截面侧视图；
[0029] 图8为其中两个弹簧分别布置在光学侧附接区域的设备的顶视图；
[0030] 图9为包括光学元件以及成一个角度布置在致动器上的四个弹簧的设备的顶视 图；
[0031] 图10为弯曲的弹簧的顶视图；
[0032] 图11为具有可变横向延伸的弹簧的顶视图；
[0033] 图12为进一步包括被实施为偏转致动器的控制单元的图1的设备的顶视图；
[0034] 图13为进一步包括被实施为偏转致动器的控制单元的图9的设备的顶视图。

【具体实施方式】
[0035] 图1示出了具有圆形光学元件12的设备10,光学元件12的主侧包括质心13并且 经由弹簧14a和14b安装在致动器16a和16b上，围绕第一扭转轴18a和第二扭转轴18b 可倾斜，并且扭力轴18a和18b在质心13附近以角度Θ 5相交。弹簧14a或14b在光学侧 附接区域22a或22b的面向光学元件12的第一端连接到光学元件12,并且在致动器侧附接 区域24a或24b的面向相应致动器16a或16b的第二端连接至致动器16a或16b。光学侧 附接区域22a和22b包括沿着光学元件12的主侧的圆周（circumference,周围）的横向延 伸，该横向延伸分别小于主侧的圆周的10 %。
[0036] 致动器16a和16b在固定处26被牢固的悬挂（cantilever)并且被实施为在致动 过程中在与静止的固定处26相反的一端从静止位置偏转，其中致动器16a和16b的轴向延 伸与光学元件12的主侧的直径的近似大于2. 5倍对应。
[0037] 致动器16a和16b的数量对应光学侧附接区域22a和22b的数量，从而每个光学 侧附接区域22a和22b可被分配给驱动器16a和16b，驱动器16a和16b经由至少一个弹簧 14a或14b连接到致动器16a和16b。
[0038] 致动器16a包括沿着从固定处26开始到致动器侧附接区域24a的延伸方向的致 动器路径28a。类似地，致动器16b包括沿着从固定处26开始到致动器侧附接区域24b的 致动器路径28b。沿着从弹簧14a的第一端到第二端的轴向延伸的弹簧路径32a与沿着从 弹簧14b的第一端到第二端的轴向延伸的弹簧路径32b在交叉点34处相交，该交叉点34 以近似100°的角度θ 6与质心13间隔开。角度描述了弹簧14a相对致动器16a的方 位并且因此描述了两个路径28a与32a的交叉的角度，类似地，角度Θ 2描述了弹簧14B相 对致动器16b的方位并且因此描述了两个路径28b与32b的交叉的角度。
[0039] 扭转轴18a和18b交叉的角度Θ 5取决于沿着从弹簧14a或14b的第一端向第二 端的轴向延伸的弹簧长度以及角度91和θ 2。
[0040] 弹簧路径的交叉点34与质心13的距离具有如下效果：光学元件12的有效偏转边 缘长度（其分别描述了沿着垂直于任何扭转轴的直线的光学元件12的两个点的最大距离） 小于光学元件的几何边缘长度（其描述光学元件内的两个任意点的最大距离），其中该偏 差存储在查询表中以用于致动器控制并且可因此被更正。
[0041] 由于如图1所示的几何自适应，光学元件12围绕两个扭转轴18a和18b的二维倾 斜通过使用仅仅两个致动器16a和16b是可行的。
[0042] 致动器16a或16b的偏转导致光学元件12围绕扭转轴18a或18b的倾斜。光学 元件12围绕相应不同的扭转轴18a或18b的倾斜可通过设备的几何自适应来最小化，其中 角度9 6总是小于180°。
[0043] 尽管在图1中交叉点34布置在光学元件12的主侧，但实施方式包括交叉点34布 置在光学元件12外部的设备。
[0044] 实施方式为具有需要二维扭转运动和较大光学有效面积或反射镜面积的光学元 件的系统提供了很大的空间效率。二维运动通过光学元件的经由弹簧的适应性悬挂来实 现，从而能够通过仅仅两个致动器来获得二维运动。
[0045] 此外，实施方式同样在机械方面非常有效。由于致动器的偏转强烈地依赖于它们 的长度，因此相对光学元件的致动器偏转的有效转移（transfer)是有利的并且决定光学 元件的倾斜角与系统需要的部件表面之间的比值。
[0046] 根据现有技术的具有四个致动器的设备中的连接弹簧经常必需以长的并且部分 地多次弯曲的方式来实施，因为连接至四个参照点的光学元件的移动总是受这些参照点的 限制，同时光学元件经由另一个参照点偏斜。因此，偏转参照点的弹簧必须是长的并且因此 是软的，以允许光学元件的移动。因此，光学元件的彼此相反（reciprocal)的倾斜同样需 要所有弹簧的相应长的或软的实施方式。在此，缺点是致动器从非常长的或者折叠的弹簧 的偏转仅可传递到有限的范围。
[0047] 然而在图1的实施方式中，光学元件仅经由两个光学侧附接区域连接至致动器， 从而光学元件的移动不受限制。因此，致动器和光学元件之间的弹簧可以是短的以便以高 效的方式传递致动器的偏转并且优化致动器和弹簧两者的尺寸，其中关于未改变的大光学 元件的空间效率增加。
[0048] 替代性实施方式包括致动器，致动器包括大于光学元件的直径并且小于五倍直径 的轴向延伸。
[0049] 与图1类似，图3示出了设备10,其中，相比致动器侧附接区域24a和24b，光学元 件12布置在相距固定处26更大的距离处。角0 1和θ2各自包括大于90°的角，其中角 θ2小于180°，与图1类似。
[0050] 当例如被偏转的光辐射将被根据图1的组件阻碍时（即致动器16a和16b阻挡光 传输路径），光学元件12的这种布置可以是有利的。
[0051] 图4示出了图1的设备10的弹簧14a的顶视图。弹簧14a包括从弹簧14a的第 一端到第二端的轴向延伸Xi，以及垂直于轴向延伸Xi布置的横向延伸χ 2。横向延伸x2小于 横向延伸X:乘以系数0. 3,从而弹簧具有相对于横向宽度的大轴向长度。延伸Xi小于布置 弹簧14a的光学元件的主侧的两个任意点的最大差值的两倍。
[0052] 图5示出了设备20,其中，致动器16a和16b分别包括两个间隔的致动器元件54a 和54b或者54c和54d，其中致动器元件54a与54b或者54c与54d在致动器16a或16b的 可偏转端彼此连接，从而致动器元件54a或54b或54c或54d之一的偏转导致致动器16a或 16b的偏转，其中，可以并行地控制致动器的相应的致动器元件54a和54b或者54c和54d。
[0053] 几个致动器元件54a_54d的组合允许压电操作致动器中的交叉收缩效应的减小， 因为为每个致动器元件优化了致动器长度与致动器宽度的比值。
[0054] 替代性实施方式示出了彼此之间无距离地布置的并且包括共用基板的致动器元 件以及能够互相单独控制的致动器元件。
[0055] 进一步的实施方式示出了具有至少两个致动器元件的致动器，其中，不同的致动 器元件使用不同的致动原理：一个致动器元件包括压电功能层并且另一致动器元件包括热 功能层。
[0056] 图6示出了具有光学元件12的设备30,光学元件12以可倾斜的方式经由弹簧14a 和14b布置在致动器16a和16b上，其中，致动器16a和16b的延伸方向被布置为彼此垂直。
[0057] 弹簧14b包括分别以笔直的方式形成的两个部分55a和55b，其中，部分55a相对 部分55b以长的方式实施，并且包括整个延伸的近似97 %，并且部分55b包括整个延伸的近 似3%。
[0058] 具有不同长度的几个轴向部分的组合允许将高效的扭矩引入弹簧。
[0059] 替代性实施方式示出包括多于两个以及最多6个笔直部分的弹簧，其中，各部分 是单独的，并且一个部分被实施为使得其包括弹簧路径的整个轴向延伸的至少80 %，并且 其中，每个较短的部分包括相应弹簧的轴向路径的4%的最大比例。
[0060] 图7A示出了处于非偏转状态的致动器16的侧视图。致动器16包括基板56以及 热功能层58,热功能层58经由从固定处26开始到致动器16的可偏转端的轴向延伸布置在 基板56上。功能层58被实施为在加热期间具有与基板56不同的延伸，从而使致动器16 的与固定处26相对的端偏转。被实施为检测致动器16的偏转并且以信号的形式提供所检 测的偏转的应变测量带62布置在面向远离功能层58的基板56的一侧上。
[0061] 图7B示出了处于偏转状态的致动器16,其中，功能层58的延伸导致应变测量带 62的压缩。
[0062] 在替代性实施方式中，功能层包括被实施为当施加电压时经受收缩或延伸的压电 材料，并且基于收缩或延伸使致动器偏转。
[0063] 根据致动器的操作状态并且因此根据期望的材料压力，可在致动器上布置用于检 测偏转状态的其它测量方法，例如包括在光纤光传感器中的Bragg栅格（Bragg grid)。 [0064] 图8示出了设备40的示意性顶视图，其与图1的设备10类似，其中，额外的弹簧 14d布置在致动器16a与光学元件12之间，并且额外的弹簧14d布置在致动器16b与光学 元件12之间，其中，弹簧14a和14c以及14b和14c分别成对地布置在光学侧附接区域22a 和22b上，从而未改变支撑点的数量，其中弹簧14a-14d分别具有相同的横向延伸。
[0065] 若干个弹簧的阵列允许将致动器偏转更有效地传递到光学元件，或者允许光学元 件的位置的额外稳定性，从而减小光学元件的重量引起的偏转。
[0066] 图9不出了具有四个致动器16a_16d的设备50的顶视图，光学兀件12经由四个弹 簧14a-14d安装在致动器16a-16d上，光学元件12围绕两个扭转轴18a和18b是可倾斜的。 弹簧14a-14d在四个光学侧附接区域22a-22d处连接到光学元件12。致动器16a-16d的致 动器路径28a-28d与布置在相应的致动器16a-16d上的弹簧14a-14d的弹簧路径32a-32d 形成角Θ i、Θ 2、Θ 3或Θ 4。致动器16a-16d被布置成使得路径28a和28b以及路径28b和 28c彼此平行地运动（run)，并且路径28a被布置为与路径28b -致，以及路径28d被布置 为与28c-致。角θ η限定扭转轴18a和18b的位置，其中，两个扭转轴18a和18b以角 度θ5相交，并且角度θ5通过以下等式定义
[0067] θ 5 = 360° -(θ3+θ4)
[0068] 从而光学元件12可偏转的方向可通过弹簧14a_14d相对于致动器16a_16d以及 光学元件12的布置来限定。
[0069] 图10示出了具有弯曲路径的弹簧66的顶视图。弯曲路径被实施为使得弹簧在弹 簧区域68内实施，其中，弹簧区域通过两个圆弧的重叠面积来限定。轴72布置在致动器侧 附接区域24与光学侧附接区域22之间，并且与附接区域24与22之间的连接线成直角相 交。线72包括圆弧中心74a和74b，圆弧围绕圆弧中心74a和74b具有半径76a和76b，从 而相应的圆弧与两个附接区域24和22相交，并且其中，相应圆弧的半径76a或76b大于两 个附接区域24和22彼此的距离的75%。
[0070] 弯曲弹簧允许减小扭转引起的材料压力，从而可获得设备的更长的使用寿命。
[0071] 作为示出在弹簧路径上具有恒定横向延伸的弹簧的上述实施方式的替代，替代性 实施方式示出了包括在弹簧路径上具有变化的横向延伸的弹簧的设备，如以下将示出的。
[0072] 图11示出弹簧66'的顶视图，弹簧66'在从光学侧附接区域22朝向致动器侧附 接区域24的轴向路径上具有变化的横向延伸。弹簧66'被实施在区域68内，从而弹簧66' 包括图10的弹簧66的弯曲路径。
[0073] 变化的横向延伸允许在弹簧的轴向路径上的变形能量的限定的接收。
[0074] 图12示出具有控制器件78的图1的设备10,控制器件78被实施为控制致动器 16a和16b，并且实现致动器16a和16b的偏转，从而使光学元件12经历倾斜。
[0075] 图13示出具有控制器件78的图9的设备50,控制器件78被实施为控制致动器 16a-16d，并且实现致动器16a-16d的偏转，从而使光学元件12经历倾斜。
[0076] 尽管上述实施方式的光学元件总是以圆形方式来形成，但光学元件可包括任何形 式或形状，例如椭圆形或方形。
[0077] 上述实施方式仅呈现了本发明的原理的说明。显而易见地，本文描述的阵列和细 节的修改和变更将对其他本领域技术人员是显而易见的。旨在使本发明仅受所附权利要求 的范围的限制，而不受本文中基于实施方式的描述和讨论所呈现的具体细节的限制。
【权利要求】
1. 一种设备，包括： 第一致动器（16 ;16a_d); 第二致动器（16 ;16a-d); 光学兀件（12); 至少一个第一弹簧（14a_d ;66 ;66'），布置在所述第一致动器（16 ;16a_d)与所述光学 元件（12)之间； 至少一个第二弹簧（14a_d ;66 ;66'），布置在所述第二致动器（16 ;16a_d)与所述光学 元件（12)之间； 其中，所述光学元件（12)包括两个精确间隔开的光学侧附接区域（22 ;22a-d);并且 其中，所述至少一个第一弹簧（14a-d ;66 ;66'）布置在所述第一光学侧附接区域（22 ; 22a-d)上，并且所述至少一个第二弹簧（14a-d ;66 ;66'）布置在所述第二光学侧附接区域 (22 ;22a-d)上，从而使所述第一致动器（16 ;16a-d)或所述第二致动器（16 ;16a-d)的致动 引起所述光学元件围绕两个轴（18a_b)的倾斜。
2. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述第一弹簧（14a-d ;66 ;66'）在第一致动器侧 附接区域（24 ;24a-b)布置在所述第一致动器（16 ;16a-d)上，并且所述第二弹簧（14a-d ; 66 ;66'）第二致动器侧附接区域（24 ;24a-b)布置在所述第二致动器（16 ;16a-d)上；并且 其中，在相应的致动器侧附接区域与光学侧附接区域（22 ;22a-d ;24 ;24a-b)之间的线 (32a-b)的延伸以小于180°的角度（Θ 6)交叉。
3. 根据权利要求1所述的设备，其中， 所述光学元件（12)布置在所述第一致动器（16 ;16a-d)与所述第二致动器（16 ; 16a_d)之间，并且所述第一弹簧（14a_d ;66 ;66'）布置在所述第一致动器（16 ;16a_d)的 可偏转端，并且所述第二弹簧（14a-d ;66 ;66'）布置在所述第二致动器（16 ;16a-d)的可偏 转端； 其中，所述第一致动器（16 ;16a-d)和所述第二致动器（16 ;16a-d)从固定处（26)开始 沿着相同的方向延伸，或者所述延伸的方向包括直角。
4. 一种设备，包括： 第一致动器（16 ;16a_d); 第二致动器（16 ;16a-d); 第三致动器（16 ;16a-d); 第四致动器（16 ;16a-d); 光学兀件（12); 至少一个第一弹簧（14a_d ;66 ;66'），布置在所述第一致动器（16 ;16a_d)与所述光学 元件（12)之间； 至少一个第二弹簧（14a_d ;66 ;66'），布置在所述第二致动器（16 ;16a_d)与所述光学 元件（12)之间； 至少一个第三弹簧（14a_d ;66 ;66'），布置在所述第三致动器（16 ;16a_d)与所述光学 元件（12)之间； 至少一个第四弹簧（14a-d;66 ;66'），布置在所述第四致动器（16 ;16a-d)与所述光学 元件（12)之间； 其中，所述第一弹簧（14a-d ;66 ;66'）至所述第四弹簧（14a-d ;66 ;66'）中的每一个相 对所分配的致动器（16 ;16a-d)的延伸方向以大于90°且小于180°的角度（θ η)布置。
5. 根据权利要求4所述的设备，其中， 所述第一致动器（16 ;16a-d)至所述第四致动器（16 ;16a-d)的从相应的固定处（26) 开始的延伸方向包括彼此相同的或相反的方向。
6. 根据权利要求4所述的设备，其中， 所述光学侧附接区域（22 ;22a-d)包括沿着所述光学元件（12)的主侧的圆周的横向延 伸，所述横向延伸小于所述主侧的平面的所述圆周乘以系数〇. 1。
7. 根据权利要求4所述的设备，其中，所述致动器（16 ;16a-d)的其中一个包括被实施 为使所述致动器（16 ;16a-d)从静止位置偏转的压电元件。
8. 根据权利要求4所述的设备，其中，所述致动器（16 ;16a-d)的其中一个包括被实施 为使所述致动器（16 ;16a-d)从静止位置偏转的热控元件（58)。
9. 根据权利要求4所述的设备，其中，所述致动器（16 ;16a-d)的其中一个包括至少第 一致动器元件和第二致动器元件（54a-d)。
10. 根据权利要求9所述的设备，其中，能够一起控制所述第一致动器元件和所述第二 致动器元件（54a_d)。
11. 根据权利要求4所述的设备，其中，沿着致动器（16 ;16a_d)的所述延伸方向的轴 向延伸大于所述光学元件（12)的所述主侧的两个任意点的最大距离并且等于或小于所述 光学元件（12)的所述主侧的两个任意点的最大距离的5倍。
12. 根据权利要求4所述的设备，其中，所述弹簧（14a-d ;66 ;66'）的第一端与第二端 之间的距离小于所述光学元件（12)的主侧的两个任意点的最大距离乘以系数2。
13. 根据权利要求4所述的设备，其中，所述弹簧（14a-d ;66 ;66'）的其中一个在所述 第一端与所述第二端之间以直线方式被实施。
14. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述弹簧（14a-d ;66 ;66'）的其中一个在第一 端与第二端之间包括在截面中是直线的等于或小于6个的部分（55a-b);其中， 所述部分（55a-b)包括沿着从所述弹簧（14a-d ;66 ;66'）的所述第一端到所述第二端 的所述弹簧路径的不同轴向延伸，从而所述弹簧（14a-d;66 ;66'）包括长的部分（55a-b) 和至少一个短的部分（55a_b); 所述长的部分（55a-b)包括所述弹簧（14a-d;66;66'）的所述路径的整个轴向延伸的 至少80% ;并且 每个短的部分（55a-b)包括所述弹簧（14a-d;66 ;66'）的所述路径的整个轴向延伸的 小于4%的比例。
15. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述弹簧（14a-d ;66 ;66'）的沿着轴向延伸 (xj的路径包括曲线，其中， 所述弹簧在由与所述弹簧（14a-d;66;66'）的第一端和第二端交叉的圆弧限定的区域 (68)内运动；其中， 每个圆弧包括半径（76a_b)，所述半径（76a_b)大于所述弹簧（14a_d ;66 ;66'）的所述 第一端与所述第二端之间的距离的〇. 75倍；并且其中， 每个圆弧包括沿着线（72)定位的中心（74a-b)，所述线（72)被定位成垂直于将所述弹 簧（14a-d ;66 ;66'）的所述第一端和所述第二端彼此连接的直线。
16. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述弹簧（14a-d ;66 ;66'）的其中一个包括横 向延伸，所述横向延伸在轴向路径（Xi)上是恒定的。
17. 根据权利要求16所述的设备，其中，所述横向延伸（x2)小于所述轴向延伸（Xl)乘 以系数0. 3。
18. 根据权利要求1所述的设备，其中，至少一个另外的弹簧（14a-d ;66 ;66'）布置在 光学侧附接点（22 ;22a-d)上，并且所述弹簧（14a-d ;66 ;66'）的每一个包括相同的横向延 伸（X!)。
19. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述弹簧（14a-d ;66 ;66'）的横向延伸（x2)在 所述轴向路径上变化；其中，在由与所述弹簧（14a-d ;66 ;66'）的第一端和第二端交叉的圆 弧限定的区域（68)内实施所述横向延伸（x2);其中， 每个所述圆弧包括半径（76a_b)，所述半径（76a_b)大于所述弹簧（14a_d ;66 ;66'）的 所述第一端与所述第二端之间的距离的〇. 75倍；并且其中， 每个所述圆弧包括沿着线（72)定位的中心（74a-b)，所述线（72)被定位成垂直于连接 所述弹簧（14a-d ;66 ;66'）的所述第一端与所述第二端的直线。
20. 根据权利要求1所述的设备，其中，在致动器（16 ;16a-d)上布置测量元件（62)，所 述测量元件￠2)被实施为检测所述致动器（16 ;16a-d)的偏转状态。
21. -种设备，包括： 第一致动器（16 ;16a_d); 第二致动器（16 ;16a-d); 光学兀件（12); 至少一个第一弹簧（14a_d ;66 ;66'），布置在所述第一致动器（16 ;16a_d)与所述光学 元件（12)之间； 至少一个第二弹簧（14a_d ;66 ;66'），布置在所述第二致动器（16 ;16a_d)与所述光学 元件（12)之间； 控制单元（78)，被实施为控制所述致动器（16 ;16a-d);其中， 所述光学元件（12)包括两个精确间隔开的光学侧附接区域（22 ;22a-d);并且其中， 所述至少一个第一弹簧（14a-d;66;66'）布置在所述第一光学侧附接区域（22; 22a-d)上，并且所述至少一个第二弹簧（14a-d;66 ;66'）布置在所述第二光学侧附接区域 (22 ;22a-d)上，从而使所述第一致动器（16 ;16a-d)或所述第二致动器（16 ;16a-d)的致动 引起所述光学元件（12)围绕两个轴（18a-b)的倾斜；并且其中， 所述控制单元（78)被进一步实施为实现所述光学元件在不同于所述两个轴（18a-b) 的方向上的倾斜。
22. -种设备，包括： 第一致动器（16 ;16a_d); 第二致动器（16 ;16a-d); 第三致动器（16 ;16a-d); 第四致动器（16 ;16a-d); 光学元件（12); 至少一个第一弹簧（14a_d ;66 ;66'），布置在所述第一致动器（16 ;16a_d)与所述光学 元件（12)之间； 至少一个第二弹簧（14a_d ;66 ;66'），布置在所述第二致动器（16 ;16a_d)与所述光学 元件（12)之间； 至少一个第三弹簧（14a_d ;66 ;66'），布置在所述第三致动器（16 ;16a_d)与所述光学 元件（12)之间； 至少一个第四弹簧（14a-d;66 ;66'），布置在所述第四致动器（16 ;16a-d)与所述光学 元件（12)之间； 控制单元（78)，被实施为控制所述致动器（16 ;16a-d);其中， 相对所分配的致动器（16 ;16a-d)的延伸方向以大于90°且小于180°的角度布置所 述第一弹簧（14a-d ;66 ;66'）至所述第四弹簧（14a-d ;66 ;66'）中的每一个；并且其中， 所述控制单元（78)被进一步实施为实现所述光学元件（12)在不同于所述两个轴 (18a-b)的方向上的倾斜。
【文档编号】G02B26/08GK104216110SQ201410234671
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年5月29日 优先权日:2013年5月29日
【发明者】顾珊珊, 迪尔克·卡登, 克里斯蒂安·艾泽曼 申请人:弗兰霍费尔运输应用研究公司