感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜和电子装置的制作方法

技术特征：

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于：

含有碱可溶性树脂(A)、

由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)、和

光酸产生剂(C)，

A(Si(R1)_a(OR2)_b)_m(Si(R3)_c(OR4)_d)_n (1)

式中，A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团，R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基，R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基，a和b表示满足a+b＝3的0～3的整数，c和d表示满足c+d＝3的0～3的整数，m和n表示0～2的整数且m+n≠0。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为具有芳香环的有机基团。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为选自下述式(2)所示的有机基团中的有机基团，

式中，X1表示单键、C(-Y1)(-Y2)、硫原子、醚基、羰基、酯基或含有酰胺基的2价有机基团，Y1和Y2分别独立地表示氢原子、三氟甲基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基、经取代或未经取代的苯基、或者经取代或未经取代的环己基。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为具有脂肪族环的有机基团。

5.根据权利要求1或4所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为选自下述式(3)所示的有机基团中的有机基团，

式中，X2表示单键、C(-Y3)(-Y4)、硫原子、醚基、羰基、酯基或含有酰胺基的2价有机基团，Y3和Y4分别独立地表示氢原子、三氟甲基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基、经取代或未经取代的苯基、或者经取代或未经取代的环己基。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

所述碱可溶性树脂(A)包含选自聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺和聚酰亚胺前体中的至少一种以上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

还含有使苯酚化合物与芳香族醛化合物反应而得到的酚醛树脂(D)。

8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

所述芳香族醛化合物含有由下述式(4)表示的芳香族醛化合物，

式中，R₁表示选自氢、碳原子数1以上20以下的烷基、烷氧基和羟基中的有机基团，t为0以上3以下的整数。

9.根据权利要求7或8所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

所述苯酚化合物含有由下述式(5)表示的苯酚化合物，

式中，X3表示单键、C(-Y7)(-Y8)、硫原子、醚基、羰基、酯基或含有酰胺基的2价有机基团，Y7和Y8分别独立地表示氢原子、三氟甲基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基、经取代或未经取代的苯基、或者经取代或未经取代的环己基，Y5和Y6分别独立地表示经取代或未经取代的碳原子数1～20的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～20的不饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～20的烷氧基、经取代或未经取代的苯基、或者经取代或未经取代的环己基；p和q分别独立地表示1～3的整数，r和s分别独立地表示0～3的整数。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于：

还含有热交联剂(E)。

11.一种固化膜，其由权利要求1至10中任一项所述的感光性树脂组合物的固化物构成。

12.一种保护膜，其由权利要求11所述的固化膜构成。

13.一种绝缘膜，其由权利要求11所述的固化膜构成。

14.一种电子装置，其具有权利要求11所述的固化膜。