技术总结
根据本发明提供一种含有碱可溶性树脂(A)、由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)、和光酸产生剂(C)的感光性树脂组合物。式中，A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团，R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基，R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基，a和b表示满足a+b＝3的0～3的整数，c和d表示满足c+d＝3的0～3的整数，m和n表示0～2的整数且m+n≠0。A(Si(R1)a(OR2)b)m(Si(R3)c(OR4)d)n(1)。
技术研发人员：池田拓司
受保护的技术使用者：住友电木株式会社
文档号码：201580024289
技术研发日：2015.03.25
技术公布日：2017.02.22