感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷布线板的制造方法与流程

文档序号:12287413阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种感光性树脂组合物,其具有:

(A)成分:粘合剂聚合物;

(B)成分:光聚合性化合物;

(C)成分:光聚合引发剂;和

(D)成分:具有-(C4H8O)n-作为结构单元的聚四亚甲基氧化物化合物,其中n为2以上的数,该聚四亚甲基氧化物化合物可以相当于选自(A)成分、(B)成分及(C)成分中的至少1种的一部分或全部,

所述感光性树脂组合物的不挥发成分的酸值小于120mgKOH/g。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述聚四亚甲基氧化物化合物的重均分子量为1000以上。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述(B)成分的一部分或全部为聚四亚甲基氧化物化合物。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,其中,所述(B)成分的总量中的聚四亚甲基氧化物化合物的含有率为20质量%~50质量%。

5.根据权利要求3或4所述的感光性树脂组合物,其中,作为所述(B)成分的一部分或全部的聚四亚甲基氧化物化合物是聚四亚甲基二醇二(甲基)丙烯酸酯。

6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其中,所述聚四亚甲基二醇二(甲基)丙烯酸酯是聚四亚甲基二醇二(甲基丙烯酸酯)。

7.一种感光性元件,其具有支撑体和使用权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂组合物形成于所述支撑体上的感光性树脂层。

8.一种抗蚀图案的形成方法,其具有下述工序:

使用权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂组合物或权利要求7所述的感光性元件、在基板上形成感光性树脂层的感光性树脂层形成工序;

对所述感光性树脂层的至少一部分区域照射活性光线、使所述区域固化的曝光工序;和

将所述感光性树脂层的除所述区域以外的未曝光部分从所述基板上除去的显影工序。

9.一种印刷布线板的制造方法,其包含对利用权利要求8所述的方法形成了抗蚀图案的基板进行刻蚀或者镀覆的工序。

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