感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置、有机电激发光显示装置及触摸屏与流程

技术特征：

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

聚苯并噁唑前体；

选自产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂及醌二叠氮化合物中的至少一种；以及

溶剂，且

所述聚苯并噁唑前体以合计为所述聚苯并噁唑前体中的所有重复单元的70mol％以上的比例含有下述通式(1)所表示的重复单元及下述通式(2)所表示的重复单元，通式(1)所表示的重复单元与通式(2)所表示的重复单元的含量的比率以摩尔比计为9:1～3:7；

[化1]

在通式(1)及通式(2)中，X¹及X²分别独立地表示四价的有机基，

R¹～R⁴分别独立地表示氢原子、烷基、酸分解性基或-CORc所表示的基团，且R¹～R⁴的至少一个表示氢原子或酸分解性基，

Rc表示烷基或芳基，

Y¹表示碳数3～15的环状的脂肪族基，

Y²表示碳数4～20的直链或分支的脂肪族基。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述感光性树脂组合物含有产生pKa为3以下的酸的光酸产生剂，

所述聚苯并噁唑前体中，所述聚苯并噁唑前体的所有重复单元所具有的酸基的10％～60％经酸分解性基保护。

3.根据权利要求1或2项所述的感光性树脂组合物，其中所述聚苯并噁唑前体具有在末端由单官能酰氯封闭的结构。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中所述通式(1)中的Y¹为亚环己基或双亚环己基。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中所述通式(1)中的X¹及所述通式(2)中的X²分别独立地为选自下述式(X-1)～式(X-4)中的一种；

[化2]

在式(X-1)～式(X-4)中，*1或*2的任一个表示与-OR¹或-OR³的连结键，另一个表示与聚合物主链的连结键，

*3或*4的任一个表示与-OR²或-OR⁴的连结键，另一个表示与聚合物主链的连结键

6.一种硬化膜的制造方法，其包括：

将根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤；

自所涂布的感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤；

利用活性放射线对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行曝光的步骤；

利用显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤；以及

对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的步骤。

7.根据权利要求6所述的硬化膜的制造方法，其中在所述显影步骤后且所述热硬化步骤前，包括对经显影的感光性树脂组合物进行曝光的步骤。

8.一种硬化膜，其是使根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物硬化而成。

9.根据权利要求8所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。

10.一种液晶显示装置，其具有根据权利要求8或9所述的硬化膜。

11.一种有机电激发光显示装置，其具有根据权利要求8或9所述的硬化膜。

12.一种触摸屏，其具有根据权利要求8或9所述的硬化膜。