光部件、光模块以及光部件的制造方法与流程

本发明涉及用于光通信等的光部件、光模块以及光部件的制造方法。

背景技术：

在光收发器等通信用设备内使用光模块，该光模块是将半导体LD(Laser Diode：激光二极管)或者PD(Photo Diode：光电二极管)等受发光元件和透镜、镜、滤波器、平面波导芯片等光部件收纳在具有光纤插孔等光输入输出端口的气密密封的1个封装内而成的。在光模块中，为了实现受发光元件与被插入到光输入输出端口中的光纤间的高效连接，需要高精度地配置封装内部的光学部件，使光学系统的光路中心对准受发光元件、平面波导芯片的波导元件以及光纤的光轴。但是，受发光元件和平面波导芯片、光纤的光轴高度具有偏差。并且，在对它们进行管芯焊接(die bonding)时也会产生位置偏移。并且，在空间型合分波器中也会产生入出射光轴的角度偏移。为了校正它们的偏移，通常情况下通过调整透镜的位置、镜和棱镜的角度等调整配置在光学系统中的光学部件的位置和角度，从而校正光学系统的光路中心角。

近年来，正在推进光模块的小型化和集成化。例如在专利文献1中公开有一种集成光模块，该集成光模块是集成多个LD元件、多个透镜以及由多个滤波器构成的合波器而成的光模块。在集成光模块中，通常受发光元件和光学部件在同一安装基板平面上或者受限制的高度的范围内二维地配置，多数情况下光路中心在安装基板上是水平的方向。这是因为除了容易配置各种部件，容易形成合分波器这样的复杂光学系统之外，若叠放大量部件则各部件的高度公差累积而引起光轴偏移。

这里在光学部件的配置中，与安装基板平面垂直的方向上的位置和俯仰角的调整成为课题。具体而言，在设与安装基板水平的水平面内的光轴方向为Z轴，在水平面内与光轴垂直的方向为X轴，与安装基板的平面正交的方向为Y轴时，X轴的位置和角度调整能够通过实施X-Z平面内的水平移动和绕Y轴的旋转来进行，与此相对，Y轴的位置调整和绕X、Z轴的角度调整需要确保足够的接合部件厚度并且适当地控制接合部件的厚度即高度和分布。通常作为接合部件使用焊锡等加热熔融性的接合部件、或者因热或UV(Ultra Violet：紫外线)光照射而固化的丙烯酸系或环氧系等树脂的接合部件，但是，在这些接合部件中凝固或者固化时的收缩为百分之几。若接合部件厚度较厚，会产生伴随接合剂部件收缩的垂直位置偏移、由倾斜的变化和不均匀残留应力引起的水平位置偏移。并且，在接合部件厚度较厚的情况下，相邻光学部件的接合部件在固化前流出而干涉，无法以较高的精度将光学部件固定在期望的位置。为了抑制这些情况而需要使接合部件厚度变薄，但是，在该情况下无法确保所需的垂直方向上的位置和角度的调整范围。

作为实现垂直方向上的光学部件的位置和角度的调整并校正光学系统的光路中心角的方式可举出专利文献2和专利文献3。在专利文献2中，以使圆柱形透镜的曲率中心线绕光轴倾斜的方式构成光模块。在专利文献2中公开有如下的方法：能够通过使圆柱形透镜在水平方向上移动来改变透镜面中心的高度，改变透镜面的中心线与入射光路中心的高度之差，改变光路中心的俯仰角。并且，在专利文献3中公开有如下的方法：为了能够在反射板上进行绕任意轴的角度调整，在反射板上形成角度机构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-102498号公报

专利文献2：日本特开2012-083401号公报

专利文献3：日本特开2013-205629号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，在上述专利文献2所述的方法中，在透镜面中心线的倾斜方向上产生光束的变形，即使光轴对准也会使耦合效率降低。在专利文献2中公开有为了防止耦合效率的降低而将透镜中心线的倾斜抑制在至少30度以下，但是，在该情况下，为了得到期望的光轴校正角而需要在水平方向上大幅地移动，将会产生与相邻光学部件的干涉。并且，光轴水平面内的光路中心角的校正另外需要光学部件。

并且，在专利文献3所述的方法中，在组装复杂的光学系统的情况下需要配置大量反射板并调整各个反射板，需要与各反射板的位置对准而对齐旋转中心。要想实现该情况，需要向暂时保持并配置反射板的头部导入复杂的机构。

本发明正是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，得到能够适当地调整光路的垂直位置和俯仰角的光部件。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题而达到目的，本发明的特征在于，光部件具有：基板；棱镜，其与所述基板的上表面相接地配置；透镜一体化棱镜，其是将透镜和棱镜一体化而成的；以及接合部件，其使光透过，所述棱镜与所述透镜一体化棱镜经由所述接合部件而被接合，所述透镜一体化棱镜的作为所述棱镜侧的面的下表面、所述棱镜的作为与所述基板的上表面相接的面的下表面以及所述棱镜的上表面与所述基板的上表面平行，所述透镜一体化棱镜和棱镜的镜面分别与所述基板的上表面不平行且与所述透镜一体化棱镜的透镜的光轴不平行，入射到所述棱镜的光的光路中心与所述基板的上表面平行，所述透镜一体化棱镜的透镜的光轴与所述基板的上表面平行。

发明效果

本发明的光部件起到能够适当地调整光路的垂直位置和俯仰角的效果。

附图说明

图1是实施方式1的光部件的剖视图。

图2是示出实施方式1的光部件的制造方法的一例的图。

图3是示出实施方式1的光部件的制造方法的一例的图。

图4是示出在实施方式1的光部件的过程中从-Z方向入射光的情况下的光路中心的轨迹的一例的图。

图5是示出实施方式2的光部件的剖视图的图。

图6是实施方式3的光部件的剖视图。

图7是实施方式4的光部件的剖视图。

图8是具有多个LD和副基座的实施方式4的光部件的俯视图。

图9是实施方式5的光部件的剖视图。

图10是实施方式6的光部件的剖视图。

具体实施方式

以下，根据附图详细地说明本发明的光部件、光模块以及光部件的制造方法的实施方式。另外，本发明不限于本实施方式。并且，在以下所示的附图中，有时为了容易理解而使各部件的比例与现实不同，在各附图间也是相同的。

实施方式1

图1是示出本发明的实施方式1的光部件的剖视图的图。本实施方式的光部件搭载于例如光通信装置中的光模块上。如图1所示，本实施方式的光部件具有：由陶瓷或者玻璃等面精度较高的材料形成的基板1、与基板1的第1面相接的棱镜2、与棱镜2的与基板1相接的面相反的面相接而形成的接合部件3、以及经由接合部件3而与棱镜2接合的透镜一体化棱镜4。在图1中示出在透镜一体化棱镜4形成凸透镜面的例子。

如图1所示，设基板1的与棱镜2相接的面为基板上表面1a。并且，设棱镜2的镜面为镜面2a，设棱镜2的与基板1相接的面为棱镜下表面2c，设棱镜下表面2c为棱镜2的背面时棱镜2的相当于表侧面的面为棱镜上表面2b。并且，设透镜一体化棱镜4的镜面为镜面4a，设形成于透镜一体化棱镜4上的透镜的表面为透镜面4b，设透镜一体化棱镜4的形成透镜的面为透镜主面4c，设透镜一体化棱镜4的与接合部件3相接的面为棱镜下表面4d。另外，将从基板1朝向棱镜2的方向称为上方向，将从棱镜2朝向基板1的方向称为下方向，将各部件的上方向的面称为上表面，将下方向的面称为下表面。

接合部件3是透明的即使光透过的接合部件，优选是因热或UV照射而固化的透明树脂接合剂。因热而固化的热固化性接合剂具有较高的接合强度而具有可靠性。在因UV照射而固化的紫外线固化性接合剂将多个光学元件接合时便利性优越，如能够单独地配置各光学元件而进行固定等。在UV固化接合剂中还有在因UV照射而固化之后进一步加热而提高接合强度的UV固化接合剂，当使用这样的接合剂时，具有UV固化接合剂的便利性和热固化接合剂的可靠性双方，因此更加优选。

透镜一体化棱镜4的棱镜下表面4d经由接合部件3而接合到棱镜2的棱镜上表面2b。棱镜2和透镜一体化棱镜4优选为相同的材料或者线膨胀系数接近的材料。在使用相同的材料或者线膨胀系数接近的材料的情况下，当在作为接合的固化中进行加热的情况下，能够抑制因加热引起的棱镜2与透镜一体化棱镜4的剥离、以及因加热引起的棱镜2与透镜一体化棱镜4的接合前后的位置偏移。

通常情况下，棱镜2、透镜一体化棱镜4的材料为玻璃、塑料、树脂，但优选使用线膨胀系数较小的玻璃。通过使用线膨胀系数较小的玻璃，能够抑制相对于搭载本实施方式的光部件的光模块动作时的温度变动的光轴偏移。

基板上表面1a、棱镜上表面2b、棱镜下表面2c、棱镜下表面4d优选为平行，形成透镜面4b的透镜主面4c优选与基板上表面1a垂直。并且，棱镜2的镜面2a和透镜一体化棱镜4的镜面4a分别与基板上表面1a不平行。并且，棱镜2的镜面2a和透镜一体化棱镜4的镜面4a分别与透镜一体化棱镜4的透镜的光轴不平行。另外，棱镜2的镜面2a和透镜一体化棱镜4的镜面4a优选分别与基板上表面1a呈45度的角度。

并且，设光向光部件入射的方向为Z轴，设在基板上表面1a的面内与Z轴垂直的方向为X轴，设与基板上表面1a正交的方向为Y轴。这里，假设与基板上表面1a平行地从-Z方向入射光。

接着，对本实施方式的光部件的制造方法进行说明。图2、3是示出本实施方式的光部件的制造方法的图。首先，如图2所示，作为步骤1，以棱镜下表面2c与基板1的基板上表面1a相接的方式配置棱镜2，在棱镜上表面2b配置接合部件3。接着，作为步骤2，如图3所示，在接合部件3固化之前，使透镜一体化棱镜4与接合部件3相接地配置，如后所述，使透镜一体化棱镜4在光部件的入射光的光轴方向上移动，由此调整从光部件射出的光的俯仰角。然后，作为步骤3，使接合部件3固化。

接着，对上述步骤2中的本实施方式的光学系统的高度和俯仰角的调整方法进行说明。在本实施方式中，在基板1上固定棱镜2，在使接合部件3固化之前使透镜一体化棱镜4与光路中心平行地移动，由此调整从光部件射出的光的高度和俯仰角。

图4是示出从-Z方向入射光的情况下的光路中心的轨迹的一例的图。如图4所示，设向光部件入射时的光路中心即向棱镜2入射的光的光路中心为光路中心5a。光路中心5a与基板1(基板上表面1a)平行。另外，在图4中省略基板1的图示。设棱镜2的-Z侧的面为侧面2d。光在向棱镜2入射时通常情况下会折射。设入射到棱镜2之后的光的光路中心为光路中心5b。并且，光被镜面2a反射。设被镜面2a反射后的光的光路中心为光路中心5c。进而，光透过接合部件3而入射到透镜一体化棱镜4。另外，假设透镜一体化棱镜4在ZX面内被配置在穿过光路中心5c后的光能够被镜面4a反射的位置。设入射到透镜一体化棱镜4的光的光路中心为光路中心5d。入射到透镜一体化棱镜4的光被镜面4a反射。设被镜面4a反射后的光的光路中心为光路中心5e。被镜面4a反射后的光穿过透镜面4b。设穿过透镜面4b的光的光路中心为光路中心5f。透镜一体化棱镜4的透镜的光轴与基板1(基板上表面1a)平行。

在透镜面4b的曲率半径无限大的情况下，即透镜面4b为平面的极限情况下，如果棱镜2的镜面2a与透镜一体化棱镜4的镜面4a平行且棱镜2的侧面2d与透镜一体化棱镜4的透镜主面4c平行，则该光学部件的穿过前的光路中心5a与穿过后的光路中心5f平行。这里，考虑固定棱镜2而使透镜一体化棱镜4与光路中心5a平行地移动，调整已固定的棱镜2与透镜一体化棱镜4的水平相对位置。在该情况下，光路中心5e的垂直位置即Y轴方向上的位置根据透镜一体化棱镜4的位置而变化。当设图4的例子的透镜一体化棱镜4的Z轴方向上的位置为第1位置时，在使透镜一体化棱镜4沿-Z方向移动后的第2位置上，光路中心5d被镜面4a反射的位置比透镜一体化棱镜4位于第1位置时高。

这里在透镜面4b的曲率半径有限的情况下，当光路中心5e的高度改变时，与透镜面4b的中心偏移地入射，光路中心5f的出射角变化。这样，通过使透镜一体化棱镜4在光路中心5a的方向上移动，能够自由地调整光路中心5f的俯仰角。并且，通过使透镜一体化棱镜4在基板1的水平面内在与光路中心5a垂直的方向上移动，能够调整水平面内的光路中心5f的角度。如上所述，在进行了角度的调整之后使接合部件3固化，由此能够保持调整后的角度。

如上所述，在本实施方式的光部件中，通过使透镜一体化棱镜4在棱镜2上水平地移动，能够自如地控制作为从光部件射出的光的射出光束的光路中心5f的角度。并且，如果射出光束是准直光，则使光束角度偏转与能够控制由透镜聚光而成的像的位置等价，对应于光路的位置控制。并且，即使是非准直光，光路中心的角度改变也对应于能够控制实像和虚像的位置，十分有用。因此，射出光束是准直光并不是必要条件。

此外，在利用透镜将非准直光转换成准直光的情况下，通常由于焦距的关系而不能使透镜在光轴方向上移动。但是，在本实施方式的光学部件中，在棱镜2的镜面2a与透镜一体化棱镜4的镜面4a平行的情况下，无论是否使透镜在光路中心5a方向上移动，都能够满足准直条件。即，不取决于在光路方向上透镜一体化棱镜4与棱镜2的水平相对位置，都能够固定光路中心5d与光路中心5e的距离之和，因此，容易实现射出光束为准直的状态。

以上描述的控制能够通过使透镜一体化棱镜4在棱镜2上仅在水平方向上移动来实现，因此不需要加厚接合部件3。因此，能够抑制接合部件3固化时的收缩，能够期待以较高的位置精度进行安装。

另外，这里作为应用本实施方式的光部件的装置列举了光通信装置中的光模块，但是，应用本实施方式的光部件的装置不限于光通信装置中的光模块，能够应用于使用光学系统的各种领域的装置。作为一例，也可以应用于小型的照相机、座椅等的传感器、对激光阵列进行聚焦的加工用激光器。

并且，在图1中示出了在透镜一体化棱镜4上形成凸透镜面的例子，但是，也可以在透镜一体化棱镜4上形成凹透镜面。并且，透镜一体化棱镜4不限于一体成型的，只要透镜中心与棱镜中心的相对高度被固定即可，也可以是将透镜和棱镜贴合而成的透镜一体化棱镜、或者将透镜和棱镜固定于共用的基板上的透镜一体化棱镜等。

实施方式2

图5是示出本发明的实施方式2的光部件的剖视图的图。本实施方式是实施方式1的变形例。如图5所示，本实施方式的光部件在实施方式1的光部件中追加与基板1相接地配置的台6和与台6相接地配置的透镜7。如图5所示，台6的下表面与基板上表面1a相接，台6的上表面与透镜7相接。另外，在本实施方式中，在将透镜一体化棱镜4的透镜称为第1透镜时，透镜7是第2透镜。透镜7被配置成与透镜一体化棱镜4的透镜面4b相对。透镜7被配置在能够接受从透镜面4b射出的光的位置上。对与实施方式1相同的结构要素标注与实施方式1相同的标号而省略重复的说明。以下，对与实施方式1不同的方面进行说明。

在实施方式1的情况下，当在透镜面4b射出的光不是准直光的情况下，通过使透镜一体化棱镜4在光轴方向即光路中心5a方向上移动而使射出后的光线的实像和虚像的形成位置在光轴方向偏移。通过使透镜7在光轴方向上移动，能够校正实像和虚像的形成位置。另外，透镜7的光轴优选与基板上表面1a平行。并且，根据本实施方式，能够进行使由透镜面4b会聚后的光线再次返回到准直光等光轴方向上的光束形状的灵活调整。

另外，在图5的结构例中，透镜7被配置在台6上，但是，台6不是必须的，可以使台6与棱镜2共用化，也可以将透镜7直接配置在基板1上，还可以使用形成于基板1上的阶梯来取代台6。

实施方式3

图6是本发明的实施方式3的光部件的剖视图。本实施方式是实施方式1的变形例。如图6所示，本实施方式的光部件在实施方式1的光部件中追加与基板1相接地配置的棱镜8和与棱镜8相接地配置的棱镜9。如图6所示，棱镜8的下表面与基板上表面1a相接，棱镜8的上表面与棱镜9相接。并且，棱镜9被配置在能够接受从透镜面4b射出的光的位置上。另外，在本实施方式中，在将棱镜2称为第1棱镜时，棱镜8是第2棱镜，棱镜9是第3棱镜。对与实施方式1相同的结构要素标注与实施方式1相同的标号而省略重复的说明。以下，对与实施方式1不同的方面进行说明。

棱镜8和棱镜9的镜面分别与基板上表面1a不平行。棱镜8的镜面与棱镜9的镜面也可以不平行。在本实施方式中，能够使通过棱镜2和透镜一体化棱镜4而向上方移动后的光轴返回到下方。对齐光轴的高度是光学系统的基本，并且，在射出窗的位置被规定的光模块中高度的调整是特别重要的要素。棱镜8与棱镜9的水平方向即ZX面内的光轴也可以不一致。例如也可以通过使棱镜9的光轴相对于棱镜8的光轴绕Y轴旋转，使来自本实施方式的光部件的射出光束的水平方向左右偏转。并且，棱镜8、9不需要一定单独地配置，也可以作为一体的平行棱镜而配置在基板1上。

实施方式4

图7是本发明的实施方式4的光部件的剖视图。本实施方式是实施方式1的变形例。如图7所示，本实施方式的光部件在实施方式1的光部件中追加与基板1相接地配置的阶梯10、与阶梯10相接地配置的副基座(sub mount)11、作为与副基座11相接地配置的发光元件的LD 12、以及与基板1相接地配置的透镜13。如图7所示，阶梯10的下表面与基板上表面1a相接，阶梯10的上表面与副基座11的下表面相接，副基座11的上表面与LD 12相接。并且，透镜13被配置在能够接受从LD 12射出的光的位置上，棱镜2被配置在能够接受从透镜13射出的光的位置上。另外，在本实施方式中，在将透镜一体化棱镜4的透镜称为第1透镜时，透镜13是第2透镜。透镜13被配置成与棱镜2相对。对与实施方式1相同的结构要素标注与实施方式1相同的标号而省略重复的说明。以下，对与实施方式1不同的方面进行说明。

当在实施方式1中被入射出射扩展角较宽的光束时，在除了棱镜2与透镜一体化棱镜4的接合部以外的部位通过的光无法进行射出光路的调整，成为所谓渐晕损失。在本实施方式中，即使在作为光源使用生成出射扩展角较大的光的LD 12的情况下，通过透镜13使从LD 12输出的光成为出射扩展角较窄的光束，由此也能够抑制渐晕损失。通常，虽然LD 12、副基座11、阶梯10、棱镜2、透镜一体化棱镜4会产生高度公差，但是，由高度公差引起的光轴的偏移能够如实施方式1所述通过使透镜一体化棱镜4在光路中心5a的方向上移动而进行校正。并且，通过配置各部件以使从LD12输出的光在穿过透镜13之后被会聚，由此能够降低棱镜2和透镜一体化棱镜4中的渐晕损失。

并且，在本实施方式中，由于LD 12的光轴的高度比透过透镜一体化棱镜4后的光轴的高度低，因此，在光部件被安装成封装的情况下，LD 12接近封装的底面，容易使LD 12的发热向封装外散热。

在本实施方式中，对光的入射源是LD 12的例子进行了说明，但不限于LD 12，在光的入射源是合波器芯片的波导、波导型受光元件、侧面入射型受光元件、光纤等的情况下，也能够应用使用上述透镜13的调整方法。并且，在本实施方式中，对光的入射方向相对于基板1水平的例子进行了说明，但是，即使在光的入射方向与基板1垂直的情况下，也能够通过利用镜反射等而成为与基板1平行的光路，从而进行相同的调整。

另外，阶梯10是为了校正LD 12和副基座11与透镜13的高度差而使用的，在不需要校正高度差的情况下也可以不具有阶梯10。

并且，LD和副基座不限于1个，也可以采用并排地配置有多个LD和副基座的结构。图8是具有多个LD和副基座的本实施方式的光部件的俯视图。如图8所示，在阶梯10上并排地配置副基座11-1～11-4，在各副基座11-1～11-4上配置LD 12-1～12-4。并且，与LD 12-1～12-4分别对应地将透镜13-1～13-4配置在基板1上，将透镜一体化棱镜4-1～4-4配置在棱镜2上。在集成光模块中通常这样并排地配置多个LD和副基座，由此，容易向各LD输入输出高频电信号。另外，为了抑制高度方向的偏差，优选使阶梯10共用化。更优选使副基座11共用化且在副基座11上倒装配置各LD、或者在LD自身能够集成多个射出通道端口。通过使LD具有多个射出通道端口，能够与多芯光纤耦合或者由合波器汇集，能够增大传送容量。特别是当能够在使多个射出通道端口的相对高度和相对间隔精密地对准的状态下配置LD时，能够使用透镜阵列而汇总地安装，便利性提高。并且，透镜13-1～13-4也可以是微透镜阵列。在图8中示出了具有4个LD和副基座的例子，但是，LD和副基座的数量不限于4个。

实施方式5

图9是本发明的实施方式5的光部件的剖视图。本实施方式是实施方式4的变形例。如图9所示，本实施方式的光部件在实施方式4的光部件中追加作为测定光强度的受光元件的监视PD 14。监视PD 14的活性层面与基板1平行。另外，在图9中省略用于固定监视PD 14的构造物的图示。监视PD 14的固定方法可以使用任何方法，但是，作为一例可以使用如下的方法：在基板1上竖立桥墩，在桥墩上承载粘贴有监视PD 14的监视PD基板。对与实施方式4相同的结构要素标注与实施方式4相同的标号而省略重复的说明。以下，对与实施方式4不同的方面进行说明。

在本实施方式中，使透镜一体化镜4的镜面4a的反射率稍微下降，使入射到镜面4a的光透过一定比率。由此，向透镜一体化镜4的上方射出从LD 12输出的光的一部分。被配置成与透镜一体化镜4的上表面相对的监视PD 14接受射出到透镜一体化镜4的上方的光，由此，能够监视LD 12的光强度。在光模块中，需要这样地监视LD 12的光强度的监视PD 14。有时在LD 12的后方即-Z方向上配置驱动器，在该情况下很难将监视PD配置在后方。在将监视PD配置在前方即Z方向上的情况下，通常情况下需要附加棱镜而使光路分开一部分，由于本实施方式的光部件已具有透镜一体化棱镜4，因此，能够在不新附加棱镜的情况下容易地实现监视PD 14的前方配置。

并且，由于能够进行配置以使透镜13形成的LD 12的实像耦合在监视PD 14上，因此，与不具有透镜13的情况相比，能够缩小监视PD 14的尺寸，能够实现杂光的抑制和监视PD的成本削减。并且，能够以由监视PD 14监视到的光强度为基准而进行位置调整。例如，在由监视PD 14监视到的光强度较小的情况下可认为位置偏移较大，因此，能够通过使透镜一体化镜4移动以使光强度变大，来进行位置调整。

实施方式6

图10是示出本发明的实施方式6的光部件的剖视图的图。本实施方式是实施方式4的变形例。如图10所示，本实施方式的光部件在实施方式4的光部件中追加与基板1相接的台15以及与台15相接的透镜16和波导17。并且，在本实施方式中，在制造时，使用观测入射光的观测装置18、19。如图10所示，台15的下表面与基板上表面1a相接，台15的上表面与透镜16和波导17相接。并且，透镜16被配置在能够接受从透镜面4b射出的光的位置上，波导17被配置在能够接受从透镜16射出的光的位置上。另外，在本实施方式中，在将透镜一体化棱镜4的透镜称为第1透镜，将透镜13称为第2透镜时，透镜16是第3透镜。透镜16被配置成与透镜一体化棱镜4的透镜面4b相对。并且，波导17以与透镜16相对的方式配置在透镜16的出射侧。对与实施方式4相同的结构要素标注与实施方式4相同的标号而省略重复的说明。以下，对与实施方式4不同的方面进行说明。

在本实施方式中，在从LD 12射出且透过透镜面4b后的光是准直光的情况下，透镜16会聚从透镜面4b射出的光而向波导17入射。在透过透镜面4b后的光是非准直光的情况下，也可以不具有透镜16。观测装置18、19仅在制造时使用，因此，可以不是光部件、光模块以及光部件的制造方法的结构要素。

在固定了LD 12和波导17的配置之后，能够通过使透镜一体化棱镜4和透镜16在水平方向上移动而调整光轴。这里，使透镜一体化棱镜4的镜面4a的反射率稍微下降，使入射到镜面4a的光透过一定比率。并且，当将观测装置18、19分别配置在透镜一体化棱镜4的侧面、上表面方向时，能够观测出来自LD 12的射出光的光轴与波导17的出射端面的光轴的偏移。具体而言，利用透镜16使来自LD 12的射出光会聚到波导17的端面。该会聚后的光在波导17的端面上散射，该光能够透过透镜一体化棱镜4而由观测装置18观测。这里，当使光还从波导17向相反方向即-Z方向射出时，该射出光能够透过透镜一体化棱镜4而由观测装置18观测。其结果是，观测装置18能够观测来自LD 12的射出光和波导17的射出光双方，能够调整两者的光轴。在使用观测装置19的情况下，能够观测来自波导17的射出光在LD 12端面上被会聚而散射后的光和来自LD 12的射出光。关于观测装置18和观测装置19，可以使用任意一方，也可以使用双方。

实施方式7

接着，对本发明的实施方式7的光部件进行说明。在本实施方式中，将实施方式1～实施方式6中描述的光部件密封到金属或者树脂封装中。由此，可得到能够确保气密性、能够吸收冲击、容易搬运、容易与其他部件连接等效果。

以上的实施方式所示的结构示出本发明的内容的一例，也可以与别的公知技术组合，还可以在不脱离本发明主旨的范围内省略、变更结构的一部分。

标号说明

1：基板；1a：基板上表面；2、8、9：棱镜；2a、4a：镜面；2b：棱镜上表面；2c、4d：棱镜下表面；3：接合部件；4、4-1～4-4：透镜一体化棱镜；4b：透镜面；4c：透镜主面；5a、5b、5c、5d、5e、5f：光路中心；6、15：台；7、13、13-1～13-4、16：透镜；10：阶梯；11、11-1～11-4：副基座；12、12-1～12-4：LD；14：监视PD；17：波导。