一种对位装置以及阵列基板维修设备的制作方法

本发明涉及液晶显示面板生产技术领域，尤其涉及一种对位装置以及阵列基板维修设备。

背景技术：

TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)阵列基板是在玻璃基板上形成阵列电路；在阵列电路形成以后或在形成过程中，需要对形成工艺进行检测；如果检测结果表明产品中存在不良，例如点不良或者线不良，则需要对存在不良处进行维修。

对于不良的维修主要有两种情况：一种是断开(open)不良的维修，其主要方法是：维修使用的原料是金属碳氧化合物粉末，使用氩气(Ar)将这种粉末携带至反应釜中，用激光作能量源，通过光化学反应，将上述化合物分解，以金属粉末的状态沉积到玻璃基板上，在热效应作用下形成致密的金属膜层，起到连接线路的作用；另一种是残留(remain)不良的维修，其主要方法是利用激光进行切割，使多余的部分与有用的部分断开。

对阵列基板的上述不良进行维修的过程中，需要阵列基板维修设备的对位装置升高，并通过水平方向上移动将放置在设备机台上的待维修的阵列基板推动至准确位置，在维修前或维修完成之后，需要将对位装置收于阵列基板维修设备内，并将对位装置的高度下降与设备机台以下，避免对阵列基板维修设备的工作造成影响。同时，对位装置要实现对阵列基板的放置位置移动，还需要能够在水平方向移动，这样一来，就需要两个驱动器分别控制对位装置进行两个方向的移动。两个驱动器均设置在对位装置中，不但设置结构复杂，增加对位装置的体积，而且会占用阵列基板维修设备的空间，影响阵列基板维修设备的维修工作。

技术实现要素：

本发明实施例提供一种对位装置以及阵列基板维修设备，能够解决需要分别设置两个驱动器控制对位装置在两个方向上的移动而导致的对位装置结构复杂、占用空间大的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的一方面提供一种对位装置，包括，基底；限高部件，通过支架固定设置在基底上；移动件，设置在基底上且能够相对于基底沿前后方向移动；对位臂，通过对位臂支撑件设置在移动件上，对位臂支撑件与对位臂的后端铰接，对位臂的上表面包括一个由后向前逐渐增高的倾斜面；弹性元件，设置在支架的前侧并将移动件和对位臂的底面连接。随着移动件相对于基底向后移动，倾斜面可在与限高部件抵接的状态下相对于限高部件移动，使弹性元件受到的压力逐渐增加。

进一步的，移动件可相对于基底向前移动至倾斜面与限高部件分离。

优选的，限高部件包括设置在支架上的轮轴以及与轮轴同心设置的滚轮，轮轴与基底的主平面平行设置，轮轴的轴心与移动件的移动方向垂直，滚轮以轮轴为中心转动。

进一步的，对位臂上表面还包括与基底的主平面平行设置的平面，平面与倾斜面的后端相连接，移动件可相对于基底向前移动至限高部件与平面抵接。

优选的，倾斜面为弧形面，且所述弧形面向下弯曲。

进一步的，对位装置还包括驱动器，用于驱动移动件沿前后方向往复运动。

进一步的，对位装置还包括第一限位块，第一限位块设置在倾斜面的前端，和/或，第二限位块，第二限位块设置在基底上以限定移动件的移动终端。

优选的，对位臂的前端设置有对位触头。

优选的，弹性元件为弹簧或压簧。

本发明实施例的另一方面提供一种阵列基板维修设备，包括用于放置待维修阵列基板的机台，还包括上述任一项的对位装置，对位装置设置在机台的侧面。

本发明提供一种对位装置以及阵列基板维修设备，包括，基底；限高部件，通过支架固定设置在基底上；移动件，设置在基底上且能够相对于基底沿前后方向移动；对位臂，通过对位臂支撑件设置在移动件上，对位臂支撑件与对位臂的后端铰接，对位臂的上表面包括一个由后向前逐渐增高的倾斜面；弹性元件，设置在支架的前侧并将移动件和对位臂的底面连接。随着移动件相对于基底向后移动，倾斜面可在与限高部件抵接的状态下相对于限高部件移动，使弹性元件受到的压力逐渐增加。

综上所述，通过移动件相对于基底移动，对位臂上由后向前逐渐增高的倾斜面在与限高部件抵接的状态下相对于限高部件移动，在弹性元件弹力的推动下，对位臂前端在沿前后方向运动的同时，还能够移动上下位置，从而可以仅在对位装置中施加一个方向的驱动力，即实现对位臂前端两个方向的同时移动，简化对位装置的结构，减小对位装置的整体体积，降低对位装置所占用的空间。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种对位装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一种对位装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的对位装置中限高部件为轮轴和滚轮的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的对位装置中对位臂的上表面还包括一个平面的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的对位装置中倾斜面为弧形面的一种实施方式；

图6为本发明实施例提供的对位装置中倾斜面为弧形面的另一种实施方式；

图7为本发明实施例提供的对位装置中设置有驱动器的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的对位装置中设置有对位触头的结构示意图；

图9为本发明实施例提供的阵列基板维修设备的结构示意图。

附图标记：

01-对位装置；02-机台；03-待维修基板；10-基底；20-限高部件；21-支架；201-轮轴；202-滚轮；30-移动件；40-对位臂；41-对位臂支撑件；42-倾斜面；43-平面；50-弹性元件；60-驱动器；71-第一限位块；72-第二限位块；80-对位触头。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种对位装置，如图1所示，包括，基底10；限高部件20，通过支架21固定设置在基底10上；移动件30，设置在基底10上且能够相对于基底10沿前后方向移动；对位臂40，通过对位臂支撑件41设置在移动件30上，对位臂支撑件41与对位臂40的后端铰接，对位臂40的上表面包括一个由后向前逐渐增高的倾斜面42；弹性元件50，设置在支架21的前侧并将移动件30和对位臂40的底面连接。随着移动件30相对于基底10向后移动，倾斜面42可在与限高部件20抵接的状态下相对于限高部件20移动，使弹性元件50受到的压力逐渐增加。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明的方案和简化描述过程，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

需要说明的是，第一，本发明中所述的前后方向，前，指的是对位装置靠近待维修基板的一侧，所述向前的方向，即指对位装置移动并向待维修基板靠近的方向，即如图1中双箭头所示的方向；同理，本发明中所述的后，指的是对位装置远离待维修基板的一侧，所述向后的方向，即指对位装置移动并远离待维修基板的方向。本发明的对位装置用于在工作时向上伸出与机台上的待维修基板高度平齐，并向前移动，靠近设置于机台上的待维修基板并推动待维修基板移动和对位。在对待维修基板的移动和对位之前或对位完成后，本发明的对位装置向后移动与待维修基板分离并远离机台，同时向下移动使对位装置的高度低于机台，避免对阵列基板维修设备的维修工作造成影响或在待维修基板的维修过程中与待维修基板之间发生碰撞。

第二，本发明中的移动件30设置在基底10上并能够相对于基底10沿前后方向移动，即移动件30与基底10之间为滑动连接。在本发明中对移动件30和基底10的形状以及移动件30与基底10之间的滑动连接方式不做具体限定，只要移动件30能够在基底10上直线平滑移动即可。其中，由于基底10的底面需要在使用中与放置位置处的地面稳定接触，因此，通常将基底10的底面设置为平面或与放置位置相配合的形状。基底10的上表面通常也设置为平面。当移动件30和基底10之间为滑槽和滑块配合的滑动连接方式时，可以直接在基底10的上表面加工用于导向滑块移动的滑槽，或者另外设置滑槽并将滑槽与基底10的上表面固定连接。

第三，限高部件20通过支架21固定设置在基底10上，固定设置指的是，限高部件20与基底10之间的位置固定不变，即限高部件20的高度固定不变。此外，限高部件20的具体形状本发明中也不做限定。考虑到限高部件20与倾斜面42抵接且倾斜面42在抵接状态下相对于限高部件20移动，因此，应尽量避免限高部件20上包含有尖锐的棱角或起伏较明显的凸起。

第四，对位臂40通过上表面的倾斜面42与限高部件20抵接，当由如图1中双箭头所示的方向推动移动件30移动时，直至对位装置达到图1中虚线所示的位置，倾斜面42能够相对于限高部件20移动，限高部件20始终保持与倾斜面42抵接的状态，且由于受到限高部件20的限制，倾斜面42的抵接位置处高度不变。弹性元件50连接移动件30和对位臂40的底面，且对位臂40的后端与对位臂支撑件41之间铰接连接，因此，对位臂40能够以铰接位置处为中心发生一定范围内的角度变化。

此外，对位臂40的具体形状在本发明中也不做具体限定，对位臂40的上表面可以仅包括一个倾斜面42，也可以在倾斜面42的前端和/或后端包括其他面，对位臂40的前端可以包括有如图1所示的推杆部分，也可以直接通过倾斜面前端的侧面推动待维修基板。

本发明的对位装置，在由如图1所示的状态运动至图1中虚线所示的位置的过程中，移动件30带动设置在移动件30上的对位臂支撑件41、对位臂40以及弹性元件50沿如图1中双箭头所示的方向向前移动，对位臂40的倾斜面42克服与限高部件20之间的滑动摩擦力并相对于限高部件20移动，对位臂40远离铰接位置的一端，即用于与待维修基板(图1中未示出)接触的前端在弹性元件50弹性力的作用下向上移动，这样一来，在沿向前的方向推动移动件30的情况下，对位臂40前端能够同时向上并向前移动，如图1中箭头所示的向斜前方的运动轨迹。

本发明提供一种对位装置，包括，基底；限高部件，通过支架固定设置在基底上；移动件，设置在基底上且能够相对于基底沿前后方向移动；对位臂，通过对位臂支撑件设置在移动件上，对位臂支撑件与对位臂的后端铰接，对位臂的上表面包括一个由后向前逐渐增高的倾斜面；弹性元件，设置在支架的前侧并将移动件和对位臂的底面连接。随着移动件相对于基底向后移动，倾斜面可在与限高部件抵接的状态下相对于限高部件移动，使弹性元件受到的压力逐渐增加。

综上所述，通过移动件相对于基底移动，对位臂上由后向前逐渐增高的倾斜面在与限高部件抵接的状态下相对于限高部件移动，在弹性元件弹力的推动下，对位臂前端在沿前后方向运动的同时，还能够移动上下位置，从而可以仅在对位装置中施加一个方向的驱动力，即实现对位臂前端两个方向的同时移动，简化对位装置的结构，减小对位装置的整体体积，降低对位装置所占用的空间。

进一步的，如图2所示，移动件30可相对于基底10向前移动至对位臂40的倾斜面42与限高部件20分离。

通过调整弹性元件50的压缩范围，能够使得在移动件30向前移动的过程中，弹性元件50受到的作用力大小逐渐变化，而弹性元件50对对位臂40的支撑力使得对位臂40的倾斜面42与限高部件20能够相互分离。这样一来，本发明的对位装置在移动过程中能够划分为两个不同的移动过程。

在第一过程中，如图1所示，移动件30向前移动，对位臂40的前端沿图1中单箭头所示的方向同时向前并向上移动。当对位臂40的前端移动至与待维修基板的高度一致时，如图2所示，进入移动的第二过程，移动件30向前移动，由于对位臂40的倾斜面42前高后低，弹性元件50不再向对位臂40施加向上推动的弹性力，在向前移动的过程中倾斜面42与限高部件20之间分离，从而使得对位臂40仅沿移动件30的受力方向移动，即对位臂40的前端沿如图2中单箭头所示的方向移动。

这样一来，设置弹性元件50的压缩范围，能够使弹性元件50在平衡状态下，使得支撑对位臂40的高度正好与待维修基板的高度平齐。从而使得本发明的对位装置在工作时，推动移动件30向前移动，对位臂40首先沿向前并向上的方向(如图1中的单箭头所示的方向)抬起并靠近待维修基板，当对位臂40前端用于推动待维修基板的部分的高度与待维修基板平齐时，弹性元件50受力平衡，并通过弹性支撑力支撑对位臂40；继续推动移动件30向前移动，对位臂40前端向前移动(如图2中的单箭头所示的方向)与待维修基板的侧面接触并推动待维修基板进行定位。对位臂40前端在与待维修基板接触并推动待维修基板进行定位时，始终为水平方向向前移动，避免将对位臂40受到的向上的推力也施加在待维修基板上时导致待维修基板放置不稳定。当对位装置完成对待维修基板的对位操作后，拉动移动件30向后移动，首先使得对位臂40前端在与待维修基板分离并远离一段距离后，对位臂40的倾斜面42与限高部件20接触，随着对位臂40进一步向后移动，限高部件20对倾斜面42的压力逐渐增加，使得弹性元件50逐渐压缩，对位臂40前端向后并向下移动，直至对位臂40收于待维修基板以下。

优选的，如图3所示，限高部件20包括设置在支架21上的轮轴201以及与轮轴201同心设置的滚轮202，轮轴201与基底10的主平面平行设置，轮轴201的轴心与移动件30的移动方向垂直，滚轮202以轮轴201为中心转动。

需要说明的是，本发明中所述的基底10的主平面，指的是基底10的上表面，由于通常基底10的上表面即设置为平面，该平面即为基底10的主平面。其中，当移动件30和基底10之间为滑槽和滑块配合的滑动连接方式，且基底10的上表面上加工有滑槽时，基底10的上表面不是一个完整的平面，该主平面指的是用于导向滑块移动的滑槽的底面。

这样一来，如图3所示，在倾斜面42与限高部件20抵接且相对于限高部件20移动时，限高部件20由同心设置的滚轮202和轮轴201组成，滚轮202以轮轴201为中心转动(如图3中单箭头所示的方向)，由于轮轴201与基底10的主平面平行设置且轮轴201的轴心与移动件30的移动方向垂直，滚轮202在转动时与倾斜面42之间为滚动摩擦，由于滚动摩擦的摩擦力小于滑动摩擦的摩擦力，因此能够减小限高部件20与倾斜面42之间相对移动时的摩擦阻力，并且降低相对运动过程中限高部件20对倾斜面42的磨损。

如图2中虚线部分所示，由于弹性元件50具有受压压缩变形和减轻压力后发生弹性形变，且形状趋于回复的特性，在减轻施加在弹性元件50上的压力时，弹性元件50会向施压方向释放弹性力，而且弹性元件50的这种压缩、弹性运动属于阻尼振动，在一定时间范围内会保持振幅逐渐减小的往复运动，直至在阻力的作用下停止。在对位臂40的倾斜面42与限高部件20之间分离后，限高部件20对弹性元件50的压力去除，弹性元件50仅受到对位臂40自身的重力，此时在移动件30带动对位臂40水平向前移动的过程中，弹性元件50所释放的弹性力仍然会对弹性元件50产生在上下方向的小范围压缩和回弹的变形抖动，这样就容易导致对位臂40在弹性元件50变形抖动的作用下上下晃动，从而影响本发明的对位装置的运动稳定性。在对位臂40前端与待维修基板接触时，对位臂40的上下抖动还可能会使对位臂40的前端与待维修基板碰撞，导致待维修基板的破损。

在此基础上进一步的，如图4所示，对位臂40上表面还包括与基底10的主平面平行设置的平面43，平面43与倾斜面42连续设置且平面43位于倾斜面42的后端，移动件30可相对于基底10向前移动至限高部件20与平面43抵接。

这样一来，对位臂40在向前移动的过程中，对位臂40的上表面始终与限高部件20抵接，弹性元件50仍然为受压压缩状态。在对位臂40的倾斜面42与限高部件20抵接运动的过程中，对位臂40的前端为如图1中单箭头所示的运动方向，在对位臂40的平面43与限高部件20抵接并与限高部件20相对运动的过程中，对位臂40的前端沿如图4中单箭头所示的方向运动。此时对位臂40的前端的运动方向与限高部件20与对位臂40脱离接触后的运动方向相同，在限高部件20与平面43抵接并相对运动的过程中，弹性元件50提供的弹性支撑力使得平面43始终与限高部件20相抵，从而避免了对位臂40不与限高部件接触时自由移动可能产生的晃动，提高了对位臂40的前端在水平向前运动时的运动稳定性。

进一步的，如图5所示，倾斜面42为弧形面。

这样一来，能够使得倾斜面42在与滚轮202之间接触并相对运动时，对位臂40前端的运动轨迹为倾斜的曲线，与倾斜面42为斜面的情形下对位臂40前端的运动轨迹相比，能够使得对位臂40前端的运动轨迹较为平滑。

倾斜面42的弧形面可以为如图5所示的向上弯曲的弧形面，也可以为如图6所示的向下弯曲的弧形面，此处不做限定，可以根据对位装置的放置位置与待维修基板之间的具体位置关系进行设定。其中，弧形面向上弯曲的程度越高，对位臂40前端在水平方向运动的距离相同的情况下，在竖直方向运动的距离越大(如图5中单箭头所示的运动轨迹)，反之，弧形面向下弯曲的程度越高，对位臂40前端在水平方向运动距离相同的情况下，在竖直方向运动的距离越小(如图6中单箭头所示的运动轨迹)。

通常情况下，在使用对位装置对待维修基板进行对位操作中，需要对位装置在收起状态时与待维修基板保持一定的距离，以避免阵列基板维修设备在对待维修基板进行维修的过程中，与对位装置发生误碰撞，因此，优选的，如图6所示，倾斜面42为弧形面，且所述弧形面向下弯曲。

进一步的，如图7所示，对位装置还包括驱动器60，用于驱动移动件30沿前后方向往复运动。

如图7所示，通过驱动器60驱动移动件30的运动，便于稳定移动件30的移动方向、控制移动件30的移动速度，使移动件30在运动过程中保持直线方向上的匀速运动，能够提高移动件30的运动稳定性。

优选的，如图7所示，驱动器60为驱动气缸，驱动气缸固定安装在移动件30后端的基底10上，驱动气缸的推杆由缸筒中伸出推动移动件30向前移动，驱动气缸的推杆向缸筒内回收，拉动移动件30向后移动。

进一步的，如图7所示，对位装置还包括第一限位块71，第一限位块71设置在倾斜面72的前端，和/或，第二限位块72，第二限位块72设置在基底10上以限定移动件30的移动终端。

如图7所示，为了进一步提高对位装置的稳定性，避免对位装置在回收对位臂40时移动距离超限而使得限高部件20与对位臂40分离，在对位臂40的倾斜面42前端设置第一限位块71，将对位臂40回收时，当倾斜面42与限高部件20的抵接位置达到倾斜面42的前端，第一限位块71即与限高部件20卡接，从而限制对位臂40的进一步向后移动，避免对位臂40与限高部件20之间猛然脱离，弹性元件50发生较快的弹性形变，导致对位臂40脱离弹性元件50后沿铰接位置转动，进而使得铰接位置处受力过大而损坏或者使得对位臂40的前端转动至后侧撞击地面损坏。

和/或，还可以在移动件30的前端设置第二限位块72，对对位臂40在运动中向前移动的终端位置进行限定。当移动件30的前端移动至第二限位块72处，即与第二限位块72卡接，从而限制了移动件30以及设置在移动件30上的对位臂40等部件向前移动的移动终端位置。

此外，由于待维修基板通常为玻璃材质，且厚度较薄，而对位臂40为了保证结构稳定不易变形，通常材质较硬，直接通过对位臂40的前端推动待维修基板，在对位臂40的前端与待维修基板相接触时，如果运动速度较大，可能会将待维修基板的边缘碰碎，或者如果对位臂40为导电的金属材质制作，在与待维修基板相接触的瞬间，还可能由于传导静电对待维修基板造成不利的影响，甚至导致待维修基板上的电路击穿损坏。

因此，优选的，如图8所示，在对位臂40的前端设置有对位触头80。通常，对位触头80采用较为柔软、具有一定弹性且不易导电的材质制作，通过粘贴等方式连接设置在对位臂40的前端，或者也可以如图8所示，套接在对位臂40的前端，以使得当本发明的对位装置运动至待维修基板的侧面时，通过对位触头80与待维修基板相接触并推动待维修基板移动。对位触头80具有一定的弹性且不易导电，能够降低对位过程中接触待维修基板的瞬间可能对待维修基板产生的碰撞损伤或静电损害。

优选的，弹性元件50为弹簧或压簧。

弹簧或压簧的制作工艺简单，加工技术成熟，在能够实现本发明对位装置所需要弹性元件50实现的压缩和回弹的效果的基础上，使用方便，不易变形。

本发明实施例的另一方面提供一种阵列基板维修设备，如图9所示，包括用于放置待维修阵列基板的机台02，还包括上述任一项的对位装置01，对位装置01设置在机台02的侧面。

如图9所示，待维修基板03通过机械手或其他移动设备移动并放置在阵列基板维修设备的机台02上，对位装置01位于机台02侧面，其中，对位装置01中对位臂40的运动方向，向前运动指的是对位臂40向靠近机台02的方向运动，反之，向后运动指的是对位臂40向远离机台02的方向运动。在不使用时，对位装置01的对位臂40通过移动件30带动向后收起，对位臂40在收起状态时的高度低于阵列基板维修设备的机台02，避免对阵列基板维修设备的工作造成影响。当需要使用对位装置01对放置在阵列基板维修设备的机台02上的待维修基板03移动对位时，对位装置01的移动件推动对位臂40向前移动，由于对位臂40的倾斜面42与限高部件20抵接并相对移动，使得对位臂40的前端在向前移动的同时向上移动，形成一个斜向上的移动轨迹，直至达到与放置在机台02上的待维修基板03相同的高度，推动待维修基板03移动定位。对位装置01完成定位操作之后，再通过移动件30带动对位臂40向后收回于机台02一侧的下方。

需要说明的是，仅在阵列基板维修设备的机台02的一侧设置本发明的对位装置01时，对位装置01仅能够对机台02上放置的待维修基板03进行一个方向上的推动对位，当需要对机台02上放置的待维修基板03进行多个方向的推动对位时，可在对应方向的机台02侧面设置相应的对位装置01。为了避免相对侧的对位装置01同时向前推动待维修基板03导致待维修基板03的挤压破碎，当机台02的相对侧均设置有对位装置01时，相对侧的对位装置01不同时工作。

在上述对位装置的具体结构和工作过程的说明中，已经对待维修基板在阵列基板维修机台上的放置位置以及对位装置对待维修基板的定位操作进行了详细的说明，此处不再赘述，在对位装置对待维修基板移动定位后，阵列基板维修设备上的相关部件即可对待维修基板进行维修操作。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。