集成光收发模块的制作方法

文档序号:12116682阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块,其特征在于:包括矩形氧化硅光波导、两个45°的V型槽、一个垂直腔面激光器、一个光子探测器,矩形氧化硅光波导开有两个45°的V型槽,一个V型槽的垂直顶端安装垂直腔面激光器,一个V型槽的垂直顶端安装光子探测器。

2.如权利要求1所述的集成光收发模块,其特征在于:所述的矩形氧化硅光波导由一个矩形的高折射率氧化硅波导芯层和位于其周围的低折射率氧化硅波导包层组成。

3.如权利要求1所述的集成光收发模块,其特征在于:所述的两个45°的V型槽的切割深度略大于波导的掩埋深度,其一边与水平面垂直,另一边与水平成45°夹角。

4.如权利要求1所述的集成光收发模块,其特征在于:两个45°的V型槽与水平成45°夹角边上分别镀有第一布拉格反射膜和第二布拉格反射膜。

5.如权利要求1或4所述的集成光收发模块,其特征在于:所述的两个45°的V型槽中的一个V型槽与水平成45°的边上,在第一布拉格反射膜或第二布拉格反射膜上,还平行镀有一层金属反射膜。

6.如权利要求1所述的集成光收发模块,其特征在于:所述的垂直腔面激光器通过焊点固定于无金属反射膜的V型槽之上的金属导线上。

7.如权利要求1所述的集成光收发模块,其特征在于:所述的光子探测器通过焊点固定于有金属反射膜的V型槽之上的金属导线上。

8.如权利要求1所述的集成光收发模块,其特征在于:所述的两个V型槽与垂直腔面激光器和光子探测器之间的空间内,填充有固化剂。

9.如权利要求1所述的集成光收发模块,其特征在于,在同一根光波导上,同时排列有垂直腔面激光器和光子探测器,在同一根波导上进行双向传输,同时收发。

10.如权利要求1所述的集成光收发模块,其特征在于,发射光信号和接收光信号以单模的形式在矩形波导芯层中传播。

11.如权利要求1所述的集成光收发模块,其特征在于,与该收发模块相连的光缆是由单模光纤或其阵列构成。

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