光阻实时检测装置、光阻实时检测方法及光阻涂布设备与流程

本发明属于光阻涂布技术领域，尤其涉及一种光阻实时检测装置、光阻实时检测方法及光阻涂布设备。

背景技术：

目前，液晶面板行业的光阻涂布制程中，多采用涂布机对基板进行光阻涂布。为保证量产良率，需要对光阻涂布制程进行如下三方面检测监控：

1、实际量产中，当每次涂布机进行维护保养完毕要复机，均需要先在基板上涂布光阻，再用膜厚机测量基板涂布的光阻厚度，进而确认光阻厚度整体均一性是否在规格内；

2、生产中，为保证光阻涂布后破膜现象及时发现，需在涂布机后配备1台AOI(Automated Optical Inspection，自动光学检测)检测机，对基板涂布后状况进行抽检；

3、为保证膜厚异常现象(膜厚整体偏薄或偏厚)及时发现，会在月保养时进行测量监控确认。

但是以上检测监控措施，会导致如下问题：

1、维护保养后确认复机时间较长(一般不少于一小时)，影响产能；

2、进行AOI抽检影响产能，抽检频率无法太高，导致漏检风险存在；

3、偶发的膜厚异常现象，通过月保养时确认，无法实时监控避免，存在产品报废风险。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种光阻实时检测装置，以解决现有技术所存在的检测影响产能，抽检存在漏检风险，不能实时监控的问题。

为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：

第一方面，本发明提供一种光阻实时检测装置，包括工台，设置于所述工台上的基板，口金，所述口金用于在所述基板上涂布光阻，所述工台上还设置有光学检测件和与所述光学检测件电连接的控制件，所述口金在所述基板沿第一方向上涂布光阻时，所述光学检测件对所述光阻进行检测，并反馈检测信号至所述控制件，所述控制件将所述检测信号与标准信号进行对比而确定所述光阻是否达标。

在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述控制件包括存储模块和信号处理模块，所述存储模块用于存储所述光学检测件所反馈的无缺陷光阻的标准信号，所述信号处理模块用于将所述检测信号与所述标准信号进行对比。

在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述光学检测件包括在所述基板两侧相对设置的光发射器和光接收器，所述光发射器发出光线，所述光线穿透所述光阻由所述光接收器接收，所述光发射器和所述光接收器跟随所述口金在所述第一方向同步移动。

结合第一方面及第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，所述光接收器可将接收到的所述光线转换为电信号，并将所述电信号传输至所述控制件。

结合第一方面及第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，所述光接收器可将接收到的所述光线转换为电信号，并将所述电信号传输至所述控制件。

第二方面，本发明还提供了一种光阻实时检测方法，包括以下步骤：

提供一光发射器和光接收器，所述光发射器和所述光接收器设置于工台上的基板相对的两侧；

在口金沿第一方向在所述基板上涂布光阻的同时，所述光发射器和所述光接收器跟随所述口金同步移动；

所述光发射器发出光线，所述光线穿透所述光阻由所述光接收器接收；

所述光接收器将接收到的所述光线转换为电信号，并将所述电信号传输至控制件；

所述控制件将所述电信号与标准信号进行对比，从而确定所述光阻是否达标。

在第二方面的第一种可能的实现方式中，所述控制件包括存储模块和信号处理模块，所述存储模块存储所述光接收器传输的无缺陷光阻的标准信号，所述信号处理模块将所述电信号与所述标准信号进行对比。

在第二方面的第二种可能的实现方式中，在所述工台上设置导轨，将所述导轨沿所述第一方向设置，将所述光发射器与所述光接收器设置于所述导轨上。

结合第二方面及第二方面的第二种可能的实现方式，在第二方面的第三种可能的实现方式中，所述导轨在所述工台上的位置可以调整。

第三方面，本发明还提供了一种光阻涂布设备，包括如第一方面中任一所述的光阻实时检测装置。

本发明的有益效果：

本发明提供的一种光阻实时检测装置，通过设置光学检测件，并在口金涂布光阻时对光阻进行检测，光学检测件将检测信号反馈至控制件，控制件将检测信号与标准信号进行对比，在每次涂布光阻时均对光阻进行检测，达到了对光阻实时检测的目的，解除了抽检方式所存在的漏检风险，提高了产品的良率，对产能的影响小。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明一种实施方式的光阻实时检测装置的俯视结构示意图；

图2是本发明一种实施方式的光阻实时检测装置的正视结构示意图；

图3是本发明一种实施方式的光阻实时检测装置的控制结构示意图；

图4是沿图2中E-F的剖面结构示意图；

图5是一种实施方式的光阻实时检测装置的导轨结构示意图；

图6是另一种实施方式的光阻实时检测装置的导轨结构示意图；

图7是另一种实施方式的光阻实时检测装置的导轨结构示意图；

图8是本发明的光阻实时检测装置的控制件对检测信号进行对比的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

本发明提供一种光阻涂布设备，包括光阻实时检测装置，能够在涂布光阻时对光阻的达标情况实时检测，节省工时，不影响产能。

请参阅图1至图3，图1是本发明一种实施方式的光阻实时检测装置的俯视结构示意图，图2是本发明一种实施方式的光阻实时检测装置的正视结构示意图，图3是本发明一种实施方式的光阻实时检测装置的控制结构示意图。本发明一种实施方式提供一种光阻实时检测装置，包括工台100，设置于所述工台100上的基板200，口金30，所述口金30用于在所述基板300上涂布光阻300，所述工台100上还设置有光学检测件(图中未标号)和与所述光学检测件电连接的控制件90，所述口金30在所述基板200沿第一方向X上涂布光阻300时，所述光学检测件对所述光阻300进行检测，并反馈检测信号至所述控制件90，所述控制件90将所述检测信号与标准信号进行对比而确定所述光阻300是否达标。

通过设置光学检测件，并在口金30涂布光阻300时对光阻300进行检测，光学检测件将检测信号反馈至控制件90，控制件90将检测信号与标准信号进行对比，达到了对光阻300实时检测的目的，解除了抽检方式所存在的漏检风险，提高了产品的良率，对产能的影响小。

工台100用于支撑基板200，工台100包括一平面，基板200设置于该平面上，基板200设置于工台100上时，可设治具(图中未示出)限定基板200的位置，工台100上与基板200对应的位置还可设置有顶针结构(图中未示出)，用于顶起基板100以便于更换下一块基板100。

基板200是光阻300的载体，基板200的材质可以为玻璃。基板200包括长边和短边，在工台100上设置时长边沿第一方向X设置，短边沿第二方向Y设置，第一方向X与第二方向Y具有一例如为90°的夹角，第一方向X和第二方向Y形成的平面与基板200共面，口金30在基板上涂布光阻300时，口金30沿第一方向X移动。

光阻300在液晶面板中应用广泛，一般为无色透明或白色状，涂布的光阻300布满基板200时形成层叠在基板200上的膜，正常情况下光阻300涂布时膜厚应均匀一致，并且没有出现破膜的缺陷。但在实际量产中，往往会出现膜厚不均匀一致，并有破膜的异常现象发生，本发明正是为了能实时监测出上述异常。

口金30优选为狭缝型口金，也就是说，口金30包括呈一条缝状的喷口31，光阻材料从喷口31均匀的喷出并涂布在基板200上，喷口31在第二方向Y上的延伸长度与基板200短边的长度大约相等，使得口金30在第一方向X上移动时，喷口31喷出的光阻可以一次性覆盖基板200的短边。口金30还包括容腔32，容腔32与喷口31连接，容腔32内设有与喷口31连接的管路或腔体，用于给喷口31输送光阻材料，容腔32上还连接有干涉结构50，干涉结构50设于口金30涂布光阻时的移动方向，即第一方向X一侧，用于防止口金30碰撞到其他物体造成损坏，具体的，干涉结构50包括第一干涉件51和第二干涉件52，第一干涉件51与容腔32连接，并且相对容腔32高出一段距离，第二干涉件52与第一干涉件51连接，并向喷口31方向延伸至大约与喷口31尖端相同的高度。口金30可以由横跨在基板200长边的两侧的支撑结构(图中未示出)支撑，也可以由光阻涂布设备伸出的悬空结构(图中未示出)悬吊支撑。

请参考图3，所述控制件90包括存储模块91和信号处理模块92，所述存储模块91用于存储所述光学检测件所反馈的无缺陷光阻的标准信号，所述信号处理模块92用于将所述检测信号与所述标准信号进行对比。

一种实施方式中，请结合图4，图4是本发明一种实施方式的光阻实时检测装置沿图2中E-F的剖面结构示意图。所述光学检测件包括在所述基板200两侧相对设置的光发射器60和光接收器80，所述光发射器60发出光线70，所述光线70穿透所述光阻300由所述光接收器80接收，所述光发射器60和所述光接收器80跟随所述口金30在所述第一方向X同步移动。

具体而言，光发射器60和光接收器80相对设置于第二方向Y上，在口金30在基板200上涂布光阻300时，光发射器60和光接收器80设置于口金30在第一方向X之后并跟随口金300移动，使得口金300刚涂布完一段光阻300时，光发射器60和光接收器80工作从而对刚涂布的光阻300进行检测，实现实时检测的目的。

光发射器60发射的光线70为多束互相平行的直线光，光线70沿第二方向Y射出，穿透光阻300，光线70入射光接收器80，所述光接收器80可将接收到的所述光线70转换为电信号，并将所述电信号传输至所述控制件90。光线70在光阻300内穿行，由于光阻300的阻挡，及光线在光阻300内的折射、散射等，会造成光量的减少，使得光接收器80接收到的光线70的光强、光通量等参数均会有所下降，光接收器80将接收到的光线70的参数转换为电信号，并将该电信号传输至控制件90，控制件90通过计算得到该电信号的图形，控制件90通过测试无缺陷的光阻300得到标准的电信号的标准图形，将该电信号的图形与标准图形进行对比即可确定光阻300是否达标。本实施方式中，检测信号为电信号，在其他实施方式中，检测信号还可以为其他信号。

光线70应为光阻300吸收量较大，以便于穿透光阻300的光，同时，还应不影响光阻300性质，优选的光线70为红外光。

一种实施方式中，所述光发射器60和所述光接收器80与所述口金30的所述喷口31的距离为1～5cm。具体而言，光发射器60和光接收器80设置的方向为第二方向Y，而喷口30的延伸方向也为第二方向Y，也就是说光发射器60和光接收器80设置的方向与喷口31的延伸方向相同，所述光发射器60和所述光接收器80与所述口金30的所述喷口31的距离为在第一方向X上的距离。优选的，该距离为2～4cm，进一步优选的，该距离为2～3cm。通过设置所述光发射器60和所述光接收器80与所述口金30的所述喷口31的距离的合适范围，使得喷口31涂布光阻300与光发射器60和光接收器80检测的光阻300间隔一定距离，保证已经涂布的光阻已经成型完整，检测的结果有效。如果所述光发射器60和所述光接收器80与所述口金30的所述喷口31的距离的过近，则光阻300还未成型完整，属于半成品，此时检测光阻的结果没有参考意义，如果该距离过远，又耽误了工时，不利于提高效率，不能达到实时检测的目的。

进一步的，请继续参考图4，所述光发射器60发出的光线70在垂直于所述基板200平面的方向上的宽度为5～20um。具体的，光发射器60包括发射口61，光接收器80包括接收口81，发射口61用于发射光线70，接收口81用于接收光线70。发射口61和接收口81在第二方向Y方向上相对设置，由于基板200所在平面为第一方向X和第二方向Y形成的平面，令第三方向Z垂直于第一方向X和第二方向Y形成的平面，使得第一方向X、第二方向Y和第三方向Z形成一坐标系，发射口61包括沿第三方向Z延伸的第一高度，接收口81也包括沿第三方向Z延伸的第二高度，优选的第一高度和第二高度的尺寸相同。发射口61和接收口81的下沿可以与基板200上表面平齐，第一高度不小于光阻300在第三方向Z的厚度，也就是说，发射口61发射的光线70在第三方向Z上覆盖光阻300的上下表面之间的所有位置，保证对光阻300进行整体完全的检测。光线70在第三方向Z上的宽度根据不同的光阻300的厚度可以进行调整，优选的，光线70在垂直于所述基板平面的方向即第三方向Z上的宽度为10～15um，进一步优选的，光线70在垂直于所述基板平面的方向即第三方向Z上的宽度为10um。

一种实施方式中，请参考图5至图7，图5是一种实施方式的光阻实时检测装置的导轨结构示意图，图6是另一种实施方式的光阻实时检测装置的导轨结构示意图，图7是另一种实施方式的光阻实时检测装置的导轨结构示意图。所述光发射器60和所述光接收器80设置于导轨110上，所述导轨110设置于所述工台100上且沿所述第一方向X延伸。

导轨110包括两条且相对设置于工台100上的两侧，导轨110可以通过在工台100上加工形成，也可以通过单独加工并固定在工台上。请参考图5，一种实施方式中，在工台100上相对的两个侧面上挖设出一槽型结构，该槽型结构形成导轨110；请参考图6，另一种实施方式中，在工台100的平面上相对的两边挖出一平台状的结构，并在该平台状的结构上挖设出一凹槽结构，该凹槽结构形成导轨110；请参考图7，另一种实施方式中，在工台100的平面上安装两个相对设置的导轨110。应当理解，以上实施例仅提供了有限的几种导轨的实例，其他实施方式中还可以包括其他的型式。

进一步的，所述导轨110相对所述工台100的位置可调整。设置导轨110位置可调整，便于根据不同规格的基板200以及光阻300调节，可以灵活的布置本光阻实时检测装置。

进一步的，所述导轨110相对所述工台100在垂直于所述基板200平面的方向上可移动的位移为0～2mm。根据基板200以及光阻300的厚度不同，在垂直于基板200平面即第三平面Z方向上，设置导轨110的位移调节范围，使得本光阻实时检测装置能够适配不同的基板200和光阻300。

请参考图1至图4，本发明一种实施方式还提供一种光阻实时检测方法，包括以下步骤：

提供一光发射器60和光接收器80，所述光发射器60和所述光接收器80设置于工台100上的基板200相对的两侧；

在口金30沿第一方向X在所述基板200上涂布光阻300的同时，所述光发射器60和所述光接收器80跟随所述口金30同步移动；

所述光发射器60发出光线70，所述光线70穿透所述光阻300由所述光接收器80接收；

所述光接收器80将接收到的所述光线70转换为电信号，并将所述电信号传输至控制件90；

所述控制件90将所述电信号与标准信号进行对比，从而确定所述光阻300是否达标。

进一步的，所述控制件90包括存储模块91和信号处理模块92，所述存储模块91存储所述光接收器80传输的无缺陷光阻的标准信号，所述信号处理模块92将所述电信号与所述标准信号进行对比。

进一步的，在所述工台100上设置导轨110，将所述导轨110沿所述第一方向X设置，将所述光发射器60与所述光接收器80设置于所述导轨110上。

进一步的，所述导轨110在所述工台100上的位置可以调整。

请参考图8，图8是本发明的光阻实时检测装置的控制件90对检测信号进行对比的示意图，图中横坐标是检测的光阻300的位置距离在基板200上涂布的起始位置的距离，单位是毫米(mm)，竖坐标是光接收器80反馈的电信号的电压，单位是毫伏(mV)，标准图形是光阻300没有缺陷的图形，如图中实线所示，与标准图形进行对比，在相同距离，电压偏高的是光阻300膜厚偏薄的图形，如图中长虚线所示，电压偏低的是光阻300膜厚偏厚的图形，如图中点划线所示，如在光阻300起始端即出现电压偏高的现象，说明起始端有缺陷，例如破膜的现象。电压偏高或偏低与光接收器80接收到的光线70的多少和光强有关系，一般而言，电压偏高说明光接收器80接收到的光线70多，光强大，进而说明与没有缺陷的光阻300相比，光阻300通过的光线更多，则光阻300的膜厚偏薄，电压偏低说明光接收器80接收到的光线70少，光强弱，进而说明与没有缺陷的光阻300相比，光阻300通过的光线更少，则光阻300的膜厚偏厚，破膜现象，会在出现破膜的位置产生膜厚偏薄的现象，则该光阻300的位置光线70的光线和光强明显比其他位置更多，会在该位置产生电压增高的现象，因此，通过控制件90对检测信号的图形的对比，可以得到光阻300的达标情况。

进一步的，当控制件90检测得到不达标(膜厚偏厚、膜厚偏薄或破膜等)的现象时，会发出警报，提醒作业人员对异常进行处理，从而可以实时发现异常，能显著提高良率。

以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施方式而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施方式的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。