技术特征：
技术总结
本发明为感光性树脂组合物、感光性干膜、感光性树脂涂层和图案形成方法。将包括(A)有机硅改性的聚苯并噁唑树脂和(B)在曝光至波长190至500nm的辐射时分解产生酸的光致产酸剂的感光性树脂组合物涂布至基材上，以形成厚涂层，将该涂层曝光至辐射，烘焙，并显影以形成图案。所述树脂涂层能够形成精细图案并且具有改进的耐开裂性和其它膜性质，和可靠性。
技术研发人员：丸山仁;近藤和纪;柳泽秀好
受保护的技术使用者：信越化学工业株式会社
技术研发日：2018.02.02
技术公布日：2018.08.10