1.双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其结构包括光刻机(1)、滑动开关(2)、双工位旋转装置(3)、激光器(4)、显微镜(5)、控制面板(6)，所述的光刻机(1)前端表面上设有双工位旋转装置(3)，所述的光刻机(1)和双工位旋转装置(3)活动连接，所述的双工位旋转装置(3)右端上安装有滑动开关(2)，所述的光刻机(1)表面上设有控制面板(6)，所述的双工位旋转装置(3)上方设有激光器(4)，所述的光刻机(1)和激光器(4)采用间隙配合，所述的激光器(4)顶端上安装有显微镜(5)，其特征在于：
所述的双工位旋转装置(3)由壳体(301)、旋转工作台(302)、滑动换位机构(303)、第一旋转电机(304)、电动推拉杆(305)、第二旋转电机(306)组成，所述的壳体(301)表面上设有旋转工作台(302)，所述的壳体(301)和旋转工作台(302)滑动配合，所述的旋转工作台(302)底端从左到右并排设有第一旋转电机(304)和第二旋转电机(306)，所述的旋转工作台(302)与第一旋转电机(304)和第二旋转电机(306)榫连接，所述的滑动换位机构(303)设于壳体(301)内部底端，所述的滑动换位机构(303)和壳体(301)活动连接，所述的滑动换位机构(303)上安装有电动推拉杆(305)，所述的滑动换位机构(303)与第一旋转电机(304)和第二旋转电机(306)均采用间隙配合。
2.根据权利要求1所述的双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其特征在于：所述的旋转工作台(302)由工作板(3021)、第一载片盘(3022)、负压吸附机构(3023)、第二载片盘(3024)组成，所述的工作板(3021)表面上从左到右依次并排设有第一载片盘(3022)和第二载片盘(3024)，所述的工作板(3021)与第一载片盘(3022)和第二载片盘(3024)活动连接，所述的第一载片盘(3022)与第二载片盘(3024)上均安装有负压吸附机构(3023)。
3.根据权利要求2所述的双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其特征在于：所述的工作板(3021)还包括内凹环形密封条(3021a)，所述的工作板(3021)表面上内槽设有内凹环形密封条(3021a)，所述的工作板(3021)和内凹环形密封条(3021a)胶连接。
4.根据权利要求2所述的双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其特征在于：所述的第一载片盘(3022)由盘体(3022a)、吸附孔(3022b)、外接导气环(3022c)、传动轴(3022d)组成，所述的盘体(3022a)表面上等距分布设有四个吸附孔(3022b)，并且四个吸附孔(3022b)形成一个环形结构，所述的盘体(3022a)外侧表面上设有外接导气环(3022c)，所述的盘体(3022a)和外接导气环(3022c)为一体化结构，所述的盘体(3022a)底端中间位置上安装有传动轴(3022d)。
5.根据权利要求2所述的双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其特征在于：所述的负压吸附机构(3023)由弹性元件(3023a)、活塞(3023b)、导气管(3023c)、滑杆(3023d)组成，所述的导气管(3023c)内壁上设有弹性元件(3023a)，所述的导气管(3023c)和弹性元件(3023a)一端相连接，所述的弹性元件(3023a)另一端上设有滑杆(3023d)，所述的弹性元件(3023a)和滑杆(3023d)一端相扣合，所述的滑杆(3023d)一端表面上安装有活塞(3023b)。
6.根据权利要求1所述的双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其特征在于：所述的滑动换位机构(303)由驱动块(3031)、导轨架(3032)、滑条(3033)、挡柱(3034)、底座(3035)、吊环(3036)组成，所述的底座(3035)表面上安装导轨架(3032)，所述的导轨架(3032)上设有驱动块(3031)，所述的驱动块(3031)表面上设有滑条(3033)，所述的驱动块(3031)和滑条(3033)固定连接，所述的导轨架(3032)和驱动块(3031)通过滑条(3033)滑动配合，所述的驱动块(3031)底端设有吊环(3036)，所述的驱动块(3031)和吊环(3036)通过电焊焊接，所述的导轨架(3032)上设有两个挡柱(3034)，所述的导轨架(3032)和挡柱(3034)固定连接。