技术总结
本发明公开了双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其结构包括光刻机、滑动开关、双工位旋转装置、激光器、显微镜、控制面板，双工位旋转装置由壳体、旋转工作台、滑动换位机构、第一旋转电机、电动推拉杆、第二旋转电机组成，通过负压吸附机构将载体吸附在第二载片盘上，进而利用第二旋转电机带动第二载片盘旋转工作，避免了载体在刻画过程中出现误差，导致材料的浪费，通过滑动开关控制滑动换位机构往右移动后，在让第一旋转电机带动第一载片盘上的载体旋转工作，进而取出第二载片盘上的载体，加快了光刻机在工作时送入载体与取出载体，提高了工作效率，该结构设计合理，并且结构简单，适于推广使用。
技术研发人员：潘幼美;黄培龙;江前庆;乐晓红
受保护的技术使用者：泉州台商投资区百亚网络科技有限公司
技术研发日：2019.03.06
技术公布日：2019.07.23