红外三波峰镀膜工艺的制作方法

本发明涉及滤光片镀膜技术领域，尤其涉及一种红外三波峰镀膜工艺。

背景技术：

由于市面上的红外产品，类似于红外监控设备的需求量增大，以及目前红外设备在市场上的单一性，以及技术还未出现超前发展，红外三波峰可使红外设备加强接受效率和方便切换，这属于目前红外设备的一种增强，在长期的发展中有很大的需求量。

技术实现要素：

本发明提供一种设计合理，工艺简单的红外三波峰镀膜工艺，可以使滤光片在镀膜中形成三个红外透过区域。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案，一种红外三波峰镀膜工艺，包括镀膜设备、滤光片，所述的镀膜设备在镀膜过程中采用第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆在红外区域分别对滤光片进行不同波段的截止、增透，其中，所述的第一膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长820nm之前进行截止，中心波长820-1100nm之间进行增透；所述的第二膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长1070nm之前进行增透，中心波长1100-1200nm之间进行截止；所述的第三膜堆对中心波长870-900nm、870-1010nm两个区域进行截止，中心波长850nm、940nm、1060nm三个波段进行增透。

作为优选，所述的第一膜堆采用sih4和sio2。

作为优选，所述的第二膜堆采用sih4和sio2。

作为优选，所述的第三膜堆为第一膜堆与第二膜堆叠加形成。

一种镀膜滤光片，所述的滤光片镀膜后形成的镀膜滤光片在中心波长850nm、中心波长940nm、中心波长1060nm处设有3个透过区域。本方案透过区域波长范围大约为中心波长正负10nm。

本方案在采购的滤光片上进行三波峰的膜系正反面镀膜，最后镀出来的镀膜滤光片达到红外三波峰，红外三波峰是采用多个膜堆在红外透过区域出现高透，通过镀膜设备，高低折射率材料(采用高折射率等特殊性材料)来实现特定波段的截止和透过，在中心波长850和中心波长940和中心波长1060左右出现3个透过区域。

本方案生产的产品膜系可用于红外感应器，例如光学接收器，原本单个接收器可接收一个波段的红外光，如果该接收器使用我们所研发的三波峰的滤光片，可同时接收三个波段的红外光，接收范围更加广泛，接收波段更多种类；同类运用在信用处理系统中，可以提取更多的信息，对更多的信息进行分析，节约分析的时间以及样品的复杂程度，最后传输到显示器及其他设备中，提高了效率。同样显示设备中也可以得到运用，常用的显示器有示波器，显像管，红外感光材料等。装有红外三波峰的红外装置，会有更高的灵敏度，传输信息更快更多。例如原来的红外日夜感应器，在白天的时候它需要一个滤光片，在进入黑夜的时候又需要切换成另一种夜视滤光片，而使用我们最新研发的新的红外三波峰的滤光片，可以不用切换，因为我们的滤光片包含三个透过峰，可以直接运用在其中。

因此，本发明具有如下有益效果：设计合理，工艺简单，可以使滤光片在镀膜中形成三个红外透过区域。

附图说明

图1是本发明滤光片镀膜后的红外透过区域透光率的示意图。

具体实施方式

下面对本发明做进一步的描述。

一种红外三波峰镀膜工艺，包括镀膜设备、滤光片，镀膜设备在镀膜过程中采用第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆在红外区域分别对滤光片进行不同波段的截止、增透，其中，第一膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长820nm之前进行截止，中心波长820-1100nm之间进行增透；第二膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长1070nm之前进行增透，中心波长1100-1200nm之间进行截止；第三膜堆对中心波长870-900nm、870-1010nm两个区域进行截止，中心波长850nm、940nm、1060nm三个波段进行增透；

第一膜堆采用sih4和sio2；

第二膜堆采用sih4和sio2；

第三膜堆为第一膜堆与第二膜堆叠加形成；

一种镀膜滤光片，滤光片镀膜后形成的镀膜滤光片在中心波长850nm、中心波长940nm、中心波长1060nm处设有3个透过区域。

具体使用过程是，准备好滤光片，镀膜设备在镀膜过程中采用第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆在红外区域分别对滤光片进行不同波段的截止、增透，其中，第一膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长820nm之前进行截止，中心波长820-1100nm之间进行增透；第二膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长1070nm之前进行增透，中心波长1100-1200nm之间进行截止；第三膜堆对中心波长870-900nm、870-1010nm两个区域进行截止，中心波长850nm、940nm、1060nm三个波段进行增透；

如图1所示，镀膜工艺完成后，镀膜滤光片在中心波长850nm、中心波长940nm、中心波长1060nm处形成3个透过区域。

技术特征：

1.一种红外三波峰镀膜工艺，包括镀膜设备、滤光片，其特征在于，所述的镀膜设备在镀膜过程中采用第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆在红外区域分别对滤光片进行不同波段的截止、增透，其中，所述的第一膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长820nm之前进行截止，中心波长820-1100nm之间进行增透；所述的第二膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长1070nm之前进行增透，中心波长1100-1200nm之间进行截止；所述的第三膜堆对中心波长870-900nm、870-1010nm两个区域进行截止，中心波长850nm、940nm、1060nm三个波段进行增透。

2.根据权利要求1所述的红外三波峰镀膜工艺，其特征是，所述的第一膜堆采用sih4和sio2。

3.根据权利要求1所述的红外三波峰镀膜工艺，其特征是，所述的第二膜堆采用sih4和sio2。

4.根据权利要求1所述的红外三波峰镀膜工艺，其特征是，所述的第三膜堆为第一膜堆与第二膜堆叠加形成。

5.一种采用权利要求1至权利要求4所述的工艺制得的镀膜滤光片，其特征在于，所述的滤光片镀膜后形成的镀膜滤光片在中心波长850nm、中心波长940nm、中心波长1060nm处设有3个透过区域。

技术总结
本发明公开了一种红外三波峰镀膜工艺，包括镀膜设备、滤光片，镀膜设备在镀膜过程中采用第一膜堆、第二膜堆、第三膜堆在红外区域分别对滤光片进行不同波段的截止、增透，其中，第一膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长820nm之前进行截止，中心波长820‑1100nm之间进行增透；第二膜堆通过高低折射率材料叠加对中心波长1070nm之前进行增透，中心波长1100‑1200nm之间进行截止；第三膜堆对中心波长870‑900nm、870‑1010nm两个区域进行截止，中心波长850nm、940nm、1060nm三个波段进行增透；滤光片镀膜后形成的镀膜滤光片在中心波长850nm、中心波长940nm、中心波长1060nm处设有3个透过区域。本发明设计合理，工艺简单，可以使滤光片在镀膜中形成三个红外透过区域。

技术研发人员：王刚;葛文志;翁钦盛
受保护的技术使用者：杭州美迪凯光电科技股份有限公司
技术研发日：2019.07.15
技术公布日：2019.11.15