专利名称：制造一种平板光耦合器的方法
此发明涉及一种用准分子激光器制造用于聚合物光波导系统的平板光耦合器的方法。
光耦合器是一种光学器件，可将N条输入光纤内的光强度分配给M条输出光纤。这类器件可在无源光波导网络中用作光强度分配器成光强度组合器。光强度的分配或多条光纤的光强度组合进入某一条光纤，是在该耦合器的混合区域内完成的。
光纤光耦合器与平板光耦合器之间是有区别的。迄今主要有两种方法已为人所知可用来制造用于聚合物光波导系统的平板光耦合器。
已知的一种制造用于聚合物光波导的平板光学器件的方法，是将一层250μm厚的光刻层沉积在一个衬底上的复合镀层上面，而光刻层是用一层掩膜和紫外光形成的(参见A.Boiarski，SPIE，840卷，29页(1987))。在显影之后，未曝光的区域就形成一个波导通道，其截面为正方形，而其中敷设有直径为250μm的聚合物光波导。然后在光纤之间的自由空间填上某种适当的光学充填树脂。
另外已知的一种光耦合器是用这样一种方法制造的在一个透明衬底上加工出的沟槽内填上某种透光材料，以达到形成波导通道的目的，所述材料的折射率高于衬底的(参见JP61-73，109)。波导通道在技术上的实现未予描述。最后，据信还有用一台准分子激光器来加工塑料的(参见R.Srinivasan等，应用物理快报，41卷(b)，576页(1982))。
现已发现，具有低表面粗糙度和高尺寸精度的波导通道可以用一台准分子激光器在某种塑料内刻蚀出来。
依此发明所述的方法，一块用某种透明塑料制成的片材固定在一个可沿x或y方向移动的滑动台面上，用以制作出通道。用一束沿z方向射出的聚焦的准分子激光束来照射该片材。滑动台面移动的方式使得所需的波导结构的通道能在透明片材上刻蚀出来。另一种可能则是通过一块具有所需结构的金属掩膜来照射塑料片材。在这种情况下，有两种方法可以采用首先，用一束扩散得很大的激光束照射整个掩膜，或其次，用一束跨越掩膜宽度的条缝形激光束借助于一块活动反射镜沿掩膜长度移动。
塑料片材是由某种透明材料制成的，比如PMMA、PS、聚甲基戊烯、PET或PC之类的。该片材的厚度为1至20毫米，最好为1至10毫米。根据所要制成的耦合器的类型，该片材的长度和宽度在5至200毫米范围内，最好在80至120毫米之间。为了达到烧蚀的目的，对于PMMA和聚甲基戊烯最好用ArF(激光波长λ＝193毫微米)作为充入准分子激光器的气体，而对PC、PET和PS最好用KrF(波长λ＝248毫微米)。
在波导通道已用一台准分子激光器在透明塑料片材上刻蚀出之后，聚合物光波导可敷设在通道内，并且光纤端头之间的自由空间可用某种透明充填树脂填上。
更为经济的是用电沉积方法将已刻蚀好的塑料片材镀上某种金属，并且用制成的金属结构作为注射成型机用的模坯，以达到大规模生产的目的。
与已知方法相比，此发明所述方法的优点是一方面，获得了较高的尺寸精度和较低的通道壁粗糙度;另一方面，有可能制成1毫米及以上的结构高度，而采用已知方法这还是不可能的。
下面的例子参照
图1、2、3、4和5说明此发明。
Y形耦合器的制造一块长度为30毫米而宽度为20毫米的4毫米厚的PMMA片材(4)固定在一个能在x和y方向上移动的滑动台面上。该台面由一台其中已存入了Y形波导通道坐标的计算机来控制。由一台装有ArF(λ＝193毫微米)的准分子激光器发出的垂直于台面平面并聚焦于该小片材的光束刻蚀出通道(1)、(2)和(3)，相应于塑料片上的特定坐标形成Y形。通道的宽度和深度精确地都是1毫米，而Y形的夹角α为20°。(图1)。
在清洗了这个已刻蚀出的部分之后，根据所需的良好的光学质量其端头(8、9、10)已事先用精密切刀制备好了的直径为1毫米的聚合物光波导(5、6、7)敷设在通道(1)、(2)和(3)内，相对地接近耦合点(11)(图2)。
光纤端面(8、9、10)之间的自由空间用一种透光的环氧树脂(12)(型号EPO-TEK301、-2，n＝1.564)填上。选择树脂(12)的折射率使得以PMMA作为光学包覆的耦合区域(11)的数值孔径(NA)等同于敷设在沟槽(1、2、3)内的聚合物光波导(5、6、7)的NA。
最后，一小块PMMA片材粘在耦合器上作为封壳。
与作为输入装在通道(1)中的光纤(5)和作为输出装在通道(2)及(3)中光纤的插入损失分别为4.7分贝和4.9分贝。因而它们的差仅为0.2分贝。
图3表示一个由三根按以上所述方式在耦合点(11)处相连接的光波导(5、6和7)构成的X形耦合器。例如，还有可能在一台注射成形机上制造这种耦合器。
非对称耦合器的制造非对称的Y形通道是借助于一台准分子激光器在一块长度为35毫米而宽度为30毫米的4毫米厚的PMMA片材上刻蚀出来的。制成的通道(1、2、3)宽度和深度为1毫米。非对称Y形的夹角β在0至60°范围内，典型情况下在5至25°之间。
在清洗了刻蚀部分之后，端头已用精密切刀切割好的直径为1毫米的聚合物光波导敷设在通道内，相对地接近耦合点(11)(图4)。与对称Y形耦合器类似，剩余的自由空间用一种透光的环氧树脂(型号EPO-TEK301-2，no＝1.564)填上。一小块粘在耦合器片材(4)上的PMMA薄片(13)也是用作封壳。该小薄片长度为35毫米、宽度为30毫米而厚度为2毫米。
用这种方法有可能通过改变夹角β选定某个确定的分配比率。具有光纤截面的Y形耦合器具有半圆形截面的对称Y形结构是用一台准分子激光器(λ＝193毫微米)在两小块长度为30毫米、宽度为20毫米而厚度为4毫米的PMMA厚片材上刻蚀出来的。所制成的通道(1′、2′、3′)直径为1毫米。
在清洗了刻蚀部分之后，端头已用精密切刀切割好的直径为1毫米的聚合物光波导敷设在一块中相对地接近耦合点(1))的通道中(图5)。与前面的例子类似，空隙还是用一种环氧树脂填上。为了避免气泡形成，光纤之间的粘合剂在空气中预先干燥。在固化开始之后，第二小块也带有Y形的PMMA片材(13)倒扣在第一小块已敷设了光纤(5、6、7)的片材(4)上，并粘结起来。
与作为输入装在通道(1)中的光纤和作为输出装在通道(2)及(3)中的光纤的插入损耗分别为4.0分贝和4.2分贝。因而其差只有2分贝。采用半圆形通道截面的结果是有可能将前面各例中存在的1分贝的表面损耗降低至最小。采用半圆形的边缘形状在非对称Y形耦合器的情况下，插入损耗可降低多达1分贝。
也有可能用某种CNC(计算机数控)机床来刻蚀出半圆形截面。
权利要求
1.一种通过在一块透明塑料片材表面上加工出通道，在通道内敷设聚合物光波导并用某种透明充填树脂填充光波导之间的自由空间来制造平板光耦合器的方法，其中包括用一台准分子激光器来刻蚀出通道。
2.权利要求1所述的方法，其中如果使用聚甲基丙烯酸甲酯或聚甲基戊烯片材，则用ArF作为激光器充气。
3.权利要求1所述的方法，其中如果使用聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙酯或聚苯乙烯片材，则用KrF作为激光器充气。
4.权利要求1所述的方法，其中通道设置成一非对称的Y形，并形成一个夹角β＝0-60°。
5.权利要求1所述的方法，其中通道设置成一对称的Y形，并具有一半圆形截面。
全文摘要
可在其中敷设聚合物光波导的通道，可以用一台准分子激光器在塑料片材表面上刻蚀出来。光波导之间的自由空间用一种透明充填树脂填上。用激光制成的通道的特点是高尺寸精度和低表面粗糙度。
文档编号G02B6/36GK1048104SQ9010431
公开日1990年12月26日 申请日期1990年6月12日 优先权日1989年6月13日
发明者约克恩·康坦迪恩, 沃纳尔·格罗, 皮特·赫布莱施迈尔约根·泰斯 申请人:赫彻斯特股份公司