[0049]曝光部件190可以相对于与第一和第二方向Dl和D2平行的平面倾斜。另外，基板10可以相对于与第一和第二方向Dl和D2平行的平面倾斜。因此，光定向层的定向方向可以相对于基板10的边界和与第一和第二方向Dl和D2平行的平面倾斜预定角度。
[0050]图2是图示图1的第二级的平面图。
[0051]参照图2，基板10被放置在第二级120上。基板10可以由第二级120上的基板固定部件固定。例如，基板固定部件可以是第二级120上的产生负压的多个真空孔，可以借助通过真空孔的真空吸附将基板10固定在第二级120上。另外，基板固定部件可以是抓取基板10的固定器(holder)。
[0052]第二级120包括在第二方向D2上沿着第二级120的一侧延伸的测量部件122。因此，测量部件122沿第二方向D2与基板10的宽度相对应地形成。
[0053]通过在基板10上涂敷光定向材料，在基板10上形成光定向层。基板10可以是用于制造液晶显示装置的多个显示面板的基板。显示面板可以包括包含液晶分子的液晶层。显示面板可以包括给液晶分子一预倾斜角度的定向层。定向层可以被来自紫外线的辐射硬化。
[0054]在曝光过程之后，可以将基板10分离为多个基板。例如，可以沿第二方向D2将基板10划分为三个部分(参见图2中的虚线)。可以沿方向Dl进一步划分基板。
[0055]测量部件122包括多个传感器IS。传感器IS可以测量由曝光部件(参见图1的190)产生的紫外线的特性。传感器IS包括第一传感器IS1、第二传感器IS2、和第三传感器IS3。第一传感器IS1、第二传感器IS2、和第三传感器IS3沿第二方向D2布置。第一传感器IS1、第二传感器IS2、和第三传感器IS3与基板10的三个部分中的每一个(参见图2中的虚线)相对应地布置。因此，随着第二级120沿第一方向Dl移动，第一、第二、和第三传感器ISl到IS3穿过曝光部件下方，接着基板10穿过曝光部件下方。
[0056]第一传感器IS1、第二传感器IS2、和第三传感器IS3中的每一个可以测量由曝光部件190产生的紫外线的强度。紫外线的强度是指在单位时间期间照射在单位面积上的紫外线的总能量。换句话说，紫外线的强度是指影响传感器IS之一的紫外线的强度(辐照度)。
[0057]另外，第一传感器IS1、第二传感器IS2、和第三传感器IS3中的每一个可以测量紫外线的偏振方向。因此，可以确定整个曝光区域上的紫外线的偏振方向的均匀度。
[0058]可以利用由第一传感器IS1、第二传感器IS2、和第三传感器IS3测量的紫外线的强度来确定第二级120(或者第二级120的下一个，第三级130)的移动速度。例如，可以设置第二级的速度以便获得作为紫外线的强度与每一基板的曝光时间的乘积的特定值。可以重复该过程以曝光多个基板。
[0059]可以参考以下公式I和2。
[0060]〈公式1>
[0061]紫外线的强度*每一基板的曝光时间=恒定值
[0062]< 公式 2>
[0063]每一基板的曝光时间=每一基板的曝光距离/级的移动速度。
[0064]因此，当多个基板被曝光时，虽然可能由于曝光部件190的UV灯的老化而存在紫外线强度的减少，但是可以通过控制级的移动速度来将基板均匀地曝光。虽然图中未描述，但是可以通过额外地或者替换地控制曝光部件190的移动速度来将基板均匀地曝光。
[0065]另外，当曝光部件190包括沿第二方向D2延伸的多个UV灯时，可以利用由第一到第三传感器ISl到IS3测量的紫外线的强度来调整从曝光部件190辐射的UV光的量。例如，沿第二方向D2排列的第一到第三传感器ISl到IS3可以测量UV光的量的分布，以使得UV光的量的分布沿着第二方向D2可以是均匀的，这可以通过控制来自UV灯的UV光的量来实现。虽然图中未描述，但是可以通过额外地或者替换地控制曝光部件190的移动速度来将基板均匀地曝光。
[0066]因此，当曝光部件190包括沿第二方向D2延伸的多个UV灯时，可以通过单独地控制UV灯的UV光强度而在整个基板10上将基板10均匀地曝光。
[0067]图3是图示根据本发明构思的示范性实施例的第二级的平面图。
[0068]参照图3，除了传感器IS的排列和数量之外，第二级120与图1和图2的第二级120基本相同。因而，将简要地描述或者省略关于相同元件的进一步详细描述。
[0069]基板10被放置在第二级120上。基板10可以由第二级120上的基板固定部件固定。第二级120包括在第二方向D2上沿着第二级120的一侧延伸的测量部件122。因而，测量部件122沿第二方向D2与基板10的宽度相对应地形成。
[0070]通过在基板10上涂敷光定向材料在基板10上形成光定向层。在曝光过程之后，可以将基板10可以分离为多个基板。例如，可以将基板10沿第二方向D2划分为两个部分(参见图3中的虚线)。可以沿方向Dl进一步划分基板。
[0071]测量部件122包括多个传感器。传感器可以测量由曝光部件(参见图1的190)产生的紫外线的特性。
[0072]传感器包括第一传感器ISl和第二传感器IS2。第一传感器ISl和第二传感器IS2沿第二方向D2布置。第一传感器ISl和第二传感器IS2与基板10的两个部分(参见图2中的虚线)中的每一个相对应地布置。因此，随着第二级120沿第一方向Dl移动，第一和第二传感器ISl和IS2穿过曝光部件下方，接着基板10穿过曝光部件下方。
[0073]第一传感器ISl和第二传感器IS2中的每一个可以测量由曝光部件190产生的紫外线的强度。另外，第一传感器ISl和第二传感器IS2中的每一个可以测量紫外线的偏振方向。
[0074]虽然图2和图3中的示范性实施例包括沿第二方向D2排列的两个或三个传感器，但是可以根据基板的形状适当地排列任意数量的传感器。
[0075]图4是图示根据本发明构思的示范性实施例的曝光装置100的透视图。
[0076]参照图4，除了第一到第三级包括第一到第三测量部件112、122和132之外，曝光装置100与图1的曝光装置基本相同。因此，将简要地描述或者省略关于相同元件的进一步详细描述。
[0077]曝光装置100包括框架102、第一级110、第二级120、第三级130、和曝光部件190。
[0078]框架102沿第一方向Dl延伸，并且沿与第一方向Dl基本垂直的第二方向D2具有一宽度。在框架102上布置多个级。框架102支撑第一级110、第二级120和第三级130。可以沿第一方向Dl在框架上连续传送各级。
[0079]第一级110可以沿第一方向Dl输送基板10。第一级110包括第一测量部件112。第一测量部件112在第二方向D2上沿第一级110的一侧延伸。例如，第一测量部件112在作为基板10的移动方向的第一方向Dl上布置在第一级110的前方，以使得第一测量部件112可以在第一级110上的基板10被来自曝光部件190的紫外线曝光之前穿过曝光部件190下方。
[0080]第一测量部件112可以包括传感器IS。传感器IS可以测量由曝光部件190产生的紫外线的特性。可以通过利用由传感器IS测量的紫外线的特性控制曝光部件190产生的紫外线的强度和曝光时间来均匀地曝光多个基板10。
[0081]第二级120包括第二测量部件122。第二测量部件122沿第一方向Dl布置在第二级120的一侧。例如，第二测量部件122在作为基板10的移动方向的第一方向Dl上布置在第二级120的前方，以使得第二测量部件122可以在第二级120上的基板10被曝光部件190的紫外线曝光之前穿过曝光部件190下方。
[0082]第二测量部件122沿第二方向D2延伸。第二测量部件122包括多个传感器IS。传感器IS可以测量由曝光部件190产生的紫外线的特性。可以利用由传感器IS测量的紫外线的特性控制由曝光部件190产生的紫外线的强度和曝光时间来均匀地曝光多个基板10。
[0083]第三级130沿第一方向Dl输送基板10。第三级130包括第三测量部件132。第三测量部件132沿第一方向Dl布置在第三级130的一侧。例如，第三测量部件132在作为基板10的移动方向的第一方向Dl上布置在第三级130的前方，以使得第三测量部件132可以在第三级130上的基板10被曝光部件190曝光之前穿过曝光部件190下方。
[0084]第三测量部件132沿第二方向D2延伸。第三测量部件132包括多个传感器IS。传感器IS可以测量由曝光部件190产生的紫外线的特性。可以通过利用由传感器IS测量的紫外线的特性控制由曝光部件190产生的紫外线的强度和曝光时间来均匀地曝光基板10。
[0085]传感器IS中的每一个可以测量由曝光部件190产生的紫外线的强度。紫外线的强度是指在单位时间期间照射在单位面积上的紫外线的总能量。换句话说，紫外线的强度是指影响传感器IS之一的紫外线的强度(辐照度)。
[0086]另外，传感器IS可以测量紫外线的偏振方向。因此，可以确定整个曝光区域上的紫外线的偏振方向的均匀度。
[0087]可以利用由传感器IS测量的紫外线的强度来确定第一级到第三级110、120、和130的移动速度。例如，可以设置第一到第三级的速度以获得作为紫外线的强度与每个基板的曝光时间的乘积的特定值。可以参考以下公式3和4。可以重复该过程来曝光多个基板。
[0088]〈公式3>
[0089]紫外线的强度*每一基板的曝光时间=恒定值
[0090]< 公式 4>
[0091]每一基板的曝光时间=每一基板的曝光距离/级的移动速度。
[0092]因而，第一级110的第一测量部件122的传感器IS测量紫外线的强度，然后可以基于紫外线的强度来控制第一级110的移动速度。第二级120的第二测量部件122的传感器IS测量紫外线的强度，然后可以基于紫外线的强度来控制第二级120的移动速度。第三级130的第三测量部件132的传感器IS测量紫外线的强度，然后可以基于紫外线的强度控制第三级130的移动速度。
[0093]因此，当多个基板被曝光时，虽然可能由于暴露部件190的UV灯的老化而存在紫外线强度的减少，但是可以通